JPH06279060A - 薄い被覆の積重体で覆われた基材 - Google Patents

薄い被覆の積重体で覆われた基材

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JPH06279060A
JPH06279060A JP6017302A JP1730294A JPH06279060A JP H06279060 A JPH06279060 A JP H06279060A JP 6017302 A JP6017302 A JP 6017302A JP 1730294 A JP1730294 A JP 1730294A JP H06279060 A JPH06279060 A JP H06279060A
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コーシュ ステファニ
Veronique Rondeau
ロンドー ベロニク
Jean-Pierre Brochot
ブロショ ジャン−ピエール
Olivier Guiselin
ギュイゼリ オリビエ
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Saint Gobain Vitrage International SA
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 熱的性質が改良され、特に輻射率の値がより
小さく、且つ光学的性質に低下の見られない、１又は２
以上の機能性被覆を有する薄い被覆の積重体を備えた透
明基材を提供する。 【構成】 本発明の基材１においては、機能性被覆５よ
り下の層が、この被覆５に隣接する少なくとも一つの湿
潤層を有し、そしてこの湿潤層は酸化タンタルを基礎材
料とするかあるいは酸化ニオブを基礎材料とする被覆３
を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、太陽放射線とかなりの
波長の赤外線に作用することができる金属被覆を少なく
とも一つ有する薄い被覆の積重体で被覆された透明な基
材、特にガラスの基材に関する。本発明はまた、そのよ
うな基材を断熱及び／又は太陽保護ガラスを製造するの
に使用することにも関する。後者は、空調の費用、及び
／又は車両のガラスをはめた面の大きさが絶え間なく増
大していることにより引き起こされる過度の過熱を減ら
す目的で、建物と車両の両方に装備しようとするもので
ある。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】基材に
特に低輻射特性を与えるための一つの公知の薄い被覆積
重体のタイプは、二つの誘電材料の被覆、例えば金属酸
化物の被覆の如きものの間に配置された少なくとも一つ
の金属被覆、例えば銀の被覆のようなものにより構成さ
れる。この積重体は、一般に、真空を利用する方法によ
って、例えば磁界により任意的に支援される陰極スパッ
タリングのようなものによって行われる連続の堆積によ
り得られる。銀被覆は得られた窓ガラスの熱的性能特性
を、特に輻射率に関して、本質的に決定するとは言え、
誘電性材料の被覆はいくつかの機能を果たす。と言うの
は、それらは第一に基材の光学的な外観に干渉するよう
にして作用するからである。それらはまた、銀被覆を化
学的及び／又は機械的な作用から保護するのを可能にす
る。
【０００３】例えば、ヨーロッパ特許出願公開第226993
号明細書は、混成のスズと亜鉛の酸化物により構成され
た誘電性材料の二つの被覆の間に銀被覆を配置した積重
体を開示している。この積重体はまた、積重体の全体の
耐久性を増加させることになる相互の付着力を増加させ
るために、銀被覆とおのおのの酸化物被覆との界面に配
置される金属、特に銅から作製された、非常に薄い、い
わゆる「固着用(anchoring) 」又は「核形成用(nucleat
ing)」の被覆を有する。銀被覆の耐腐食性をなお向上さ
せるために、フランス国特許第 2641271号明細書は、銀
被覆が二つの誘電性材料層の間に配置され、これらの層
のおのおのが複数の金属酸化物被覆で構成されている積
重体を記載している。銀被覆より下の層は、酸化スズの
被覆を含めて、重ねられた三つの酸化物被覆により構成
され、銀被覆に隣接しているのは酸化亜鉛の被覆であっ
て、そしてこの文書によれば、銀を、特に酸素の作用に
対してより攻撃を受けにくくすることによって、保護す
る働きをする。ところが、この亜鉛被覆の厚さには制限
がある。と言うのは、その他の点では耐性が乏しい酸化
亜鉛は、過剰に存在すると完成した積重体を弱くするで
あろうからである。米国特許第 5153054号明細書に対応
しており、その教示するところが上述のフランス国特許
明細書のそれに非常に近いフランス国特許第2641272号
明細書はまた、銀被覆を覆う犠牲金属被覆上に存在する
酸化亜鉛被覆もやはりそれを酸化から保護するのに寄与
するということを明らかにしている。
【０００４】本発明の目的は、耐久性が申し分のないも
のであるばかりでなく、熱的な性質も改良され、特に輻
射率の値がより小さくて、これが光学的な性質を低下さ
せない、１又は２以上の機能性被覆を有する新しいタイ
プの積重体を見いだすことである。この第一の目的と任
意的に組み合わされる、本発明のもう一つの目的は、良
好な熱的性質を保持しながら、光学的性質が改良され、
特に光の透過率の値がより大きい、同じタイプの積重体
を得ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用効果】本発明によ
る解決策は、誘電性材料を基礎材料とする二つの層の間
に位置する、太陽放射線領域及び／又は赤外領域におけ
る諸特性、特に低輻射性を有する少なくとも一つの金属
被覆を有する薄い被覆の積重体を備えてなる透明な、特
にガラスの、基材からなる。本発明によれば、この積重
体は、当該金属被覆より下の層が、例えばニッケル−ク
ロム又はスズといったような金属合金又は金属を基礎材
料とする薄い被覆が上に任意的に載っている、酸化タン
タルを基礎材料とする被覆かあるいは酸化ニオブを基礎
材料とする被覆からなる少なくとも一つの「湿潤(wetti
ng) 」層を有するように設計される。太陽放射線領域及
び／又は赤外領域における諸特性を有する金属被覆は、
本発明によれば、好ましくは低輻射性のものであり、そ
して銀を基礎材料とする。それは、以下においては「機
能性被覆」と称される。
【０００６】先に明らかにされたとおりの積重体を、光
学的及び熱的性質に関して、同じ厚さの同じ機能性被覆
を有するけれども酸化タンタル又は酸化ニオブを基礎材
料とする「湿潤」被覆のない積重体のそれらと比較する
と驚くべきことに、本発明による積重体は輻射率がより
小さく、且つ光の透過率がより大きいことが分かる。こ
のように、本発明の発明者らは、誘電性材料層、特に機
能性被覆より下の層の性質の選定が、機能性被覆を保護
する積重体の化学的及び／又は物理的な耐久性に影響を
及ぼすばかりでなく、その固有の特性、例えば輻射率の
値といったようなものにも影響を及ぼすことを発見し
た。この現象を説明するためには、酸化タンタルと酸化
ニオブは銀のような金属被覆の適切な核形成のために特
に適しており、より良好な濡れ、すなわちより連続的で
あって、且つ表面との間に距離のあるピークがより少な
い被覆の成長をもたらすという仮説を提唱することが可
能である。このことから、上記の被覆の性能特性が改良
されるように当該被覆の均質性がが並外れたものにな
り、且つ連続性がより良好になる。
【０００７】このように、本発明によれば、用いられる
機能性被覆の厚さの及び／又は必要な性能特性の関数と
して、あらゆる種類の適当な折衷を行うことが可能であ
る。と言うのは、本発明は、機能性被覆の厚さが同一の
場合により小さい輻射率の値を、あるいは厚さが低下し
た場合に変わらない輻射率レベルを得るのを可能にする
からである。本発明の主要な利点は、この種の折衷を、
光学的な性能特性に、特に、建物においても自動車にお
いても極めて重要な光の透過率に関して、害を及ぼすこ
となしに行うことができるということである。例えば、
従来技術においては、より小さな輻射率の値は機能性被
覆の厚さを増加させることにより、従って光の透過率を
低下させることによって得られていたに過ぎない。
【０００８】好ましくは、機能性被覆より下の層は、前
述の湿潤層とは別に、酸化スズもしくは酸化タンタルと
いったような金属酸化物を基礎材料とする薄い被覆、あ
るいは窒化物の、例えば窒化ケイ素の薄い被覆を有す
る。この態様の利点は次に述べるとおりである。本発明
によれば、比較的厚さの薄い酸化ニオブ又はタンタルの
被覆を用いて所望の「湿潤効果」を得ることが可能であ
る。更に、下層全体は、機能性被覆に関して光学的に干
渉しそして保護する効果を維持するように、一定の厚さ
を有することを保証することが必要である。従って、酸
化タンタル又は酸化ニオブの付着速度は、特に陰極スパ
ッタリングにより堆積を行う場合には、極端に速くはな
いので、堆積速度のはるかに速い誘電性被覆、例えば酸
化スズの被覆のようなものを湿潤層の下に付着させるこ
とが利益になる。このようにして、生産速度を有意に落
とすことなしに本発明を実施することが可能である。こ
れはまた、陰極スパッタリングのターゲットを製造する
ニオブとタンタルはスズよりももっと高価であるので、
出発物質の費用に関して利益をもたらすことになる。
【０００９】好ましくは、その機能が後にそれより上
に、反応性陰極スパッタリングにより、すなわち酸素の
存在下で標準的に行われる誘電性材料を付着させる際に
機能性被覆を酸化から保護することであるため「犠牲」
被覆と言われるべき金属又は金属合金を基礎材料とする
被覆、例えばニッケル−クロムのような被覆も、機能性
被覆の上に付着させる。最終製品においては、結果とし
て上記の犠牲被覆は、その厚さ及び堆積条件の関数とし
て、部分的に又は完全に酸化される。機能性被覆より上
に位置する誘電性材料層は、有利には、酸化スズを基礎
材料とする被覆及び／又は酸化タンタルを基礎材料とす
る被覆及び／又は窒化ケイ素の被覆を少なくとも一つ有
する。別の被覆、特に酸化タンタルの被覆が上に載った
酸化スズ被覆により構成される組み合わせの利益は、先
に述べたように、酸化スズの堆積速度が比較的速いとい
うことである。更に、酸化タンタルは、積重体全体を腐
食から効果的に保護する比較的硬くて緻密な酸化物であ
る。このように、層を二つに分けるということは、申し
分のない生産速度の利点と非常に耐久性の最終製品の利
点とを組み合わせることを可能にする。
【００１０】本発明による積重体の被覆及び層の厚さに
関しては、機能性被覆の厚さは７〜12nm、下層の全体の
厚さは30〜60nm、そして機能性被覆より上の層の全体の
厚さは30〜60nmであるのが好ましい。有利には、「湿
潤」層の一部分を形成する酸化タンタル又は酸化ニオブ
を基礎材料とする被覆の厚さは、５〜30nm、好ましくは
５〜20nm、特におよそ10nmである。この厚さの範囲は、
機能性被覆の性質に関して手に入れようとする効果を得
るのに適切である。同じように、犠牲被覆の厚さは好ま
しくは 0.3〜８nm、特に１〜３nm、あるいはまたおよそ
６nmである。好ましくは、同様の厚さの範囲、特に 0.3
〜４nmの厚さの範囲が、湿潤層の酸化タンタル又は酸化
ニオブ被覆の上に配置することができる任意的な金属被
覆のために選ばれる。
【００１１】全てのこれらの特性は、ガラス板を製造す
るのを、特に、輻射率が0.08に等しいかこれ未満であ
り、そして光の透過率が高いままであることができて、
二重ガラスの場合には特に75％に等しいかあるいはそれ
より高くすることができる、多重断熱ガラスを製造する
のを可能にする。明らかに、本発明の利点は、一つの機
能性被覆の代わりにいくつかの、例えば誘電性材料を基
礎材料とする三つの層の間に配置された二つの機能性被
覆を有する基材に適用された場合に、より一層顕著であ
る。有利には、機能性被覆のそれぞれはこの場合、本発
明に従って湿潤層を施される。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の有利な特徴と詳細を、非制限
的な例に関連して、また図１を参照して詳しく説明す
る。これらの例においては、薄い被覆の連続の堆積を磁
界に支援される陰極スパッタリング法によって行うが、
これらは真空を利用しそして得られる被覆の厚さをうま
く制御するのを保証する任意の他の方法によって得るこ
ともできよう、ということが指摘される。積重体をその
上に堆積させる基材は、厚さ４mmのソーダ−石灰−シリ
カガラス基材である。
【００１３】図１において、ガラス基材１の上には、酸
化タンタル又は酸化ニオブの被覆３が載っており、この
被覆は、任意的に、酸化スズ被覆２の上且つ薄いニッケ
ル−クロム又はスズの被覆４の下に配置することができ
る。次いで、その上に、銀を基礎材料とする機能性被覆
５が位置し、そしてこの上にニッケル−クロムを基礎材
料とする犠牲被覆６が載っていて、その上に酸化スズ被
覆７及び／又は酸化タンタル被覆８が配置されている。
堆積装置は、適当な材料から作られたターゲットを備え
そしてそれらの下を基材１が連続して通過する陰極を有
する少なくとも一つのスパッタリング室を含む。おのお
のの被覆についての堆積条件は次のとおりである。
【００１４】銀を基礎材料とする被覆５は、８×10-3mb
ar（0.8Pa ）の圧力で、アルゴン雰囲気中において、銀
のターゲットを用いて堆積させる。SnO2を基礎材料とす
る被覆２、７は、８×10-3mbar（0.8Pa ）の圧力で、36
体積％の酸素を含むアルゴン／酸素雰囲気中において、
スズターゲットを用いる反応性スパッタリングにより堆
積させる。Ta2O5 又はNb2O5 を基礎材料とする被覆３、
８は、８×10-3mbar（0.8Pa ）の圧力で、およそ10体積
％の酸素を含むアルゴン／酸素雰囲気中において、タン
タル又はニオブのターゲットを用いる反応性スパッタリ
ングにより堆積させる。NiCr又はSnを基礎材料とする被
覆４、６は、同じ圧力下に、アルゴン雰囲気中におい
て、スズ又はニッケル−クロム合金のターゲットを用い
て堆積させる。パワー密度と基材の移動速度は、所望の
被覆厚さを得るために公知のやり方で調整される。
【００１５】第一の一連の例は、本発明による「湿潤」
層を使用しそして酸化タンタルを含むものに関する。例１〜６ これらの例は、本発明により得られる低輻射率特性に関
する改良を明らかにする。例１は、酸化タンタル湿潤層
がないので比較例である。次に掲げる表１は、各積重体
の構造を要約して示しており、存在している各被覆の厚
さをナノメートル単位で示している。
【００１６】 表 １ 例１ 例２ 例３ 例４ 例５ 例６ SnO2 (2) 40 - - - 30 30 Ta2O5 (3) - 38 38 38 10 10 Ni-Cr (4) 1 1 1 1 1 1 Ag (5) 9 9 7.9 9 9 9 Ni-Cr (6) 3 3 3 3 3 3 SnO2 (7) 40 - - 40 - 30 Ta2O5 (8) - 38 38 - 38 10
【００１７】次に、こうして被覆された六つの基材のそ
れぞれを、初めからガスにより、この場合には12mmの厚
さの空気層により分離されたもう一つの同様のガラス基
材（厚さ４mmのソーダ−石灰−シリカガラス）を用いて
二重ガラスを作製するのに使用する。次に掲げる表２
は、各例ごとに、光の透過率ＴL の値（％）、エネルギ
ーの透過率ＴE の値（％）（光源Ｄ65をもとに測定）、
太陽係数(solar factor)ＦＳの値（単位はなく、またこ
れは入射太陽エネルギーに対するガラスを通過する総エ
ネルギーの比に相当する）、Ｋファクターと呼ばれ、 W
/m2Kで表される表面熱透過の値、そして輻射率εの値
（単位なし）を示している。
【００１８】 表 ２ 例 ＴL ＴE ＦＳ Ｋ ε １ 74.4 52.6 0.64 1.77 0.09 ２ 77.9 55.2 0.64 1.72 0.06 ３ 77.5 58.2 0.68 1.76 0.08 ４ 76.9 54.1 0.64 1.75 0.07 ５ 76.6 54.6 0.64 1.74 0.07 ６ 75.6 52.9 0.64 1.76 0.08
【００１９】これらの例は全て、例３を除いて同じ厚さ
の銀被覆５、全体の厚さがおよそ40nmで同じである下層
２、３、４、そして銀被覆５の上にあり全体の厚さがや
はりおよそ40nmで同じである層６、７、８を使用してい
る。例１と４を比較すると、例４は銀被覆より下のSnO2
被覆の代わりにTa2O5 被覆を使用していることのみで例
１と異なっており、このTa2O5 被覆の存在していること
（例４）から輻射率が0.09から0.07へ低下することにな
るということがわかり、そしてこれはかなりの改良にな
る。この輻射率の低下には、ＴL が74.4％から76.9％に
向上することも伴っており、これもやはり断じて無視で
きるものではなく、大変に有利である。
【００２０】例５と６は、下にある層が本発明によるTa
2O5 被覆のほかに最初のSnO2被覆を有しているので、折
衷したものになっている。驚くべき点は、Ta2O5 被覆
は、限られた厚さでも、輻射率が0.08以下のままである
ため、銀被覆の特性に非常に好都合の影響を及ぼし続け
るということである。これらの二つの例のＴL は比較例
のそれよりもなお高い。下層を二つに分けることの二次
的な、しかし無視できない利益は、タンタルのターゲッ
トはスズのターゲットよりも高価であるから、このよう
にして製造費を低減することが可能であり、一方では生
産速度の上昇にも寄与する（酸化タンタルの体積速度は
酸化スズのそれより小さいことは工業的に証明されてい
る）ということである。
【００２１】このように、あらゆることが所望される性
能レベルに依存している。例えば、例２と３は、銀被覆
５の上に比較的厚いTa2O5 被覆８が存在することによっ
て積重体の特性を更に改良することが可能であることを
明らかにした。銀被覆の下の38nmのTa2O5 被覆と銀被覆
の上の40nmのTa2O5 被覆の両方を備えた例２は、78％に
近いＴL に対して0.06という非常に低い輻射率を得るの
を可能にしている。もう一つの選択は、積重体の特性を
低下させることなしに銀被覆５の厚さを減少させようと
するものである。例えば、例３は、銀被覆の厚さがおよ
そ12％減少すると、二つのTa2O5 被覆の存在することが
0.08の低輻射率と、78％に近い高いＴL とを保持するの
を可能にしている。更に、例３のＴE の値は例１のそれ
より有意に高く、輻射率の値は非常に近くて、これはそ
のような窓ガラスを備えた車両室内の総熱レベルの改善
に関して大変有利である。銀被覆の上にTa2O5 被覆が、
スズ被覆とともにまたはそれなしに存在していること
は、積重体の化学的な及び物理的な耐久性にとって非常
に有意の改良になるということにも注目すべきである。
【００２２】例７〜12 銀被覆５の下のTa2O5 被覆３とNi-Cr 被覆４のそれぞれ
の影響をよりよく分析するため、別の一連の例７〜12を
実施した。積重体は、この場合には銀被覆５の上に酸化
物被覆７、８のないものであった。例７は銀被覆５の下
にTa2O5 被覆がない比較例である。これらの例の被覆の
構成とナノメートルを単位とする厚さを表３に示す。
【００２３】 表 ３ 例 SnO2(2) Ta2O5(3) Ni-Cr(4) Ag(5) Ni-Cr(6) ７ 40 - 1 9 3 ８ - 38 - 9 3 ９ 35 5 - 9 3 10 32.5 7.5 - 9 3 11 40 10 - 9 3 12 25 15 - 9 3
【００２４】これらの積重体の性能特性を評価するた
め、四点法を使って、スケアオームで表した表面抵抗Ｒ
sqを測定した。得られた結果を表４に示す。
【００２５】
【００２６】良好に近似すればスケア抵抗は輻射率に比
例すると考えることができるということを知って、下に
あるTa2O5 被覆はその厚さが限られている場合にも有意
の改良をもたらし、このことは例９及び例10においてそ
のとおりである、ということも分かった。これらの例
は、 Ni-Cr被覆４は任意のものに過ぎないこと、そして
Ta2O5 被覆は銀被覆の光学的性質にかなりの改良をもた
らすのにそれだけで十分であることも示している。
【００２７】更に、原子力顕微鏡検査(atomic force mi
croscopy) による分析から、銀被覆の表面状態に関する
情報が得られた。この分析は、２μｍ2 の表面で行っ
た。NiCr被覆（４）がないことを別として例７と同じ積
重体７’の銀被覆（５）で最初に分析を行い、そして次
に例８による積重体の銀被覆（５）で分析を行った。表
５は、被覆表面のピークから谷までの高さをナノメート
ルで表した値と、被覆表面に存在している集団の平均の
横方向寸法をナノメートルで表した値で分析結果を示し
ている。
【００２８】 表 ５ 例 ピーク−谷高さ 平均横方向寸法 ７’ 11.3 30 ８ 10.0 70
【００２９】これらの数字は次のように解釈することが
できる。銀被覆をSnO2被覆の上よりもむしろTa2O5 被覆
の上に堆積させることは、ピークから谷までの高さの値
が少し小さいため、銀の表面の粗さを少し軽減すること
を可能にする。しかし、同時に、集団又は凝集体の幅に
非常にかなりの増加があって、「より幅の広い」集団は
被覆の表面の連続性をより良好にし、従って特に導電性
に関して、より良好な性能特性をもたらすという限りに
おいて、本発明により得られる湿潤効果を証明した。
【００３０】次に掲げる例は、この場合には酸化ニオブ
を含む本発明による「湿潤」層を使用することに関係し
ている。例１３ 表６は、この例による積重体の構造を要約して示してお
り、また各被覆の厚さをナノメートルの単位で示してい
る。
【００３１】
【００３２】この積重体のタイプでは、銀被覆（５）に
上にあるNi-Cr 被覆６は前の例におけるよりも厚く、こ
の積重体を備えた支持基材の光の透過率を70％未満の値
まで、詳しく言うとおよそ60〜65％の値まで少し下げる
という効果がある。例えば、ある一定の用途は光の透過
率がより小さいガラスを必要とすることがある。このよ
うに、下にある酸化ニオブの被覆（３）と銀被覆（５）
の「覆い」は、酸化タンタル被覆の効果と非常に類似の
効果を有し、少なくとも有効であって、同時に、酸化タ
ンタルと比べて出発物質の経費に関して少し有利であ
る。結論として、本発明は機能性被覆の下の二つの新し
いタイプの誘電性層を開発したものであって、これは機
能性被覆の性質に都合よく作用し、且つそれらの用途に
関して非常に融通性がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄い被覆の積重体を備えた基材を一般
的に説明する図である。
【符号の説明】
１…ガラス基材 ２…酸化スズ被覆 ３…酸化タンタル又は酸化ニオブの被覆 ４…ニッケル−クロム又はスズの被覆 ５…機能性被覆 ６…犠牲被覆 ７…酸化スズ被覆 ８…酸化タンタル被覆
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジャン−ピエール ブロショ フランス国，75014 パリ，リュ デュ ジェネラ ドゥ モーデュ ５ (72)発明者 オリビエ ギュイゼリ フランス国，75017 パリ，アブニュ ド ゥ ビリエール ３

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 誘電性材料を基礎材料とする二つの層の
    間に配置された、赤外領域において諸特性、特に低輻射
    性を備えた少なくとも一つの金属被覆（５）を有する薄
    い被覆の積重体を備えてなる透明な基材（１）であっ
    て、赤外領域において諸特性を有する上記の金属被覆
    （５）より下の層がこの被覆（５）に隣接して少なくと
    も一つの湿潤層を有し、そしてそれが酸化タンタルを基
    礎材料とする被覆（３）あるいは酸化ニオブを基礎材料
    とする被覆を含むことを特徴とする基材。
  2. 【請求項２】 前記湿潤層が、金属合金又は金属を基礎
    材料とする被覆（４）を上に載せた酸化タンタル又は酸
    化ニオブを基礎材料とする被覆（３）を含むことを特徴
    とする、請求項１記載の基材。
  3. 【請求項３】 赤外領域において諸特性を有する前記被
    覆（５）が銀を基礎材料としていることを特徴とする、
    請求項２記載の基材。
  4. 【請求項４】 前記湿潤層の前記金属合金又は金属を基
    礎材料とする被覆（４）がスズ又はニッケル−クロム合
    金の被覆であり、そして特に 0.3〜４nmの厚さを有する
    ことを特徴とする、請求項２又は３記載の基材。
  5. 【請求項５】 赤外領域において諸特性を有する前記金
    属被覆（５）より下の層が、前記湿潤層の下に、金属酸
    化物を基礎材料とする薄い被覆（２）、特に酸化スズも
    しくは酸化タンタルを基礎材料とする被覆、あるいは窒
    化ケイ素のような窒化物を基礎材料とする被覆を少なく
    とも一つ有することを特徴とする、請求項１から４まで
    のいずれか一つに記載の基材。
  6. 【請求項６】 赤外領域において諸特性を有する前記被
    覆（５）が、ニッケル−クロム合金のような金属合金又
    は金属を基礎材料とする犠牲被覆（６）であって、特に
    0.3〜８nmの厚さ、とりわけ１〜３nm又はおよそ６nmの
    厚さを有するもので覆われていることを特徴とする、請
    求項１から５までのいずれか一つに記載の基材。
  7. 【請求項７】 赤外領域において諸特性を有する前記金
    属被覆（５）より上の誘電性材料を基礎材料とする層
    が、少なくとも一つの薄い金属酸化物の被覆、特に酸化
    スズを基礎材料とする被覆（７）及び／又は酸化タンタ
    ルを基礎材料とする被覆（８）及び／又は窒化ケイ素の
    被覆を有することを特徴とする、請求項１から６までの
    いずれか一つに記載の基材。
  8. 【請求項８】 赤外領域において諸特性を有する前記被
    覆（５）の厚さが７〜12nmであることを特徴とする、請
    求項１から７までのいずれか一つに記載の基材。
  9. 【請求項９】 赤外領域において諸特性を有する前記被
    覆（５）より下の層の全体の厚さが30〜60nmであること
    を特徴とする、請求項１から８までのいずれか一つに記
    載の基材。
  10. 【請求項１０】 前記湿潤層に属している前記酸化タン
    タル又は酸化ニオブを基礎材料とする被覆（３）の厚さ
    が５〜30nm、好ましくは５〜20nm、特におよそ10nmであ
    ることを特徴とする、請求項１から９までのいずれか一
    つに記載の基材。
  11. 【請求項１１】 赤外領域において諸特性を有する前記
    金属被覆（５）より上の誘電性材料の層（６、７）の全
    体の厚さが30〜60nmであることを特徴とする、請求項１
    から10までのいずれか一つに記載の基材。
  12. 【請求項１２】 赤外領域において諸特性を有する少な
    くとも二つの金属被覆（５）を含む薄い被覆の積重体を
    備えてなることを特徴とする、請求項１から11までのい
    ずれか一つに記載の基材。
  13. 【請求項１３】 低輻射性の多重ガラス、特に輻射率が
    0.08以下であり、且つ、特に75％以上の高い光の透過率
    ＴL 、あるいは70％以下、特におよそ60〜65％の透過率
    を有するものに適用される、請求項１から12までのいず
    れか一つに記載の基材。
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