JPH06274833A - 磁気抵抗効果型磁気ヘッド - Google Patents
磁気抵抗効果型磁気ヘッドInfo
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Abstract
ノイズを抑制すると共に再生出力を高める。 【構成】 磁気抵抗効果型磁気ヘッド(MRヘッド)に
おける磁気抵抗効果素子(MR素子)10の膜厚を、両
端部と中央部とに段差を設けることにより、両端部のリ
−ド部12との接合部の厚みを中央部の再生部10aの
厚みより薄く形成した。
Description
気記録装置に用いられる磁気抵抗効果型磁気ヘッドに関
するものである。
残留磁束密度、低ノイズの特徴を有する金属薄膜ディス
クが開発され、磁気ヘッドとしてメタルインギャップヘ
ッドや薄膜ヘッド、さらに、金属磁性膜を積層した積層
型磁気ヘッド等が開発されてきている。しかし、これ等
の磁気ヘッドは全て電磁誘導現象を利用したものであ
り、その再生出力は磁気ヘッドと磁気ディスクとの相対
速度に比例する。磁気ディスクの径が小さくなると、十
分な再生出力を得ることができなくなってくる。そのた
め、磁気抵抗効果(以下MR効果と略す)を利用して磁
気ディスクからの磁束を感磁する磁気抵抗効果型磁気ヘ
ッド(以下MRヘッドと略す)が使用されている。
いて図8を参照しながら説明する。図8は従来のMRヘ
ッドの斜視図であり、これはMRヘッドを媒体対向面側
から見たときのものである。図において、1はNiFe
等からなる磁気抵抗効果素子(以下MR素子と略す)、
2はFeMn等からなる反強磁性膜、3はMR素子1に
電流を流すリ−ド部、4はMR素子1にバイアス磁界を
発生させる軟磁性膜、5はMR素子1と軟磁性膜4とを
磁気的に分離する中間層、6、7は磁気シ−ルド材、8
は軟磁性膜4と磁気シ−ルド材6とを絶縁する絶縁層、
9はリ−ド部3と磁気シ−ルド材6とを絶縁する絶縁層
である。
明する。一方のリ−ド部3よりセンス電流は反強磁性膜
2を介してMR素子1に供給され他方のリ−ド部3へと
流れる。この時、MR素子1に流れるセンス電流はMR
素子1と軟磁性膜4と中間層5との抵抗比により、MR
素子1と軟磁性膜4と中間層5とに分流することにな
る。通常、軟磁性膜4と中間層5はMR素子1に比べて
比抵抗の大きな材料を選択するためセンス電流は概ねM
R素子1に流れることになる。
の図中矢印方向の磁化容易軸方向にセンス電流を流し、
このセンス電流により中間層5を介して配置された軟磁
性膜4が磁化される。そして磁化された軟磁性膜4から
発生する磁界によりMR素子1にバイアス磁界が印加さ
れる。一方、MR素子1の再生部1aの磁化容易軸方向
に垂直な膜面内磁化困難軸方向に、磁気記録媒体に記録
された磁束の信号磁界を流入させると、流入した磁束に
よってMR素子1の抵抗が変化する。この抵抗変化を再
生出力電圧として検出する。
を電圧として検出するときに相対速度に依存せずに再生
出力電圧を得ることができる。
は、図9に示すようにMR素子1の膜厚が厚いと再生部
1aが多磁区化され易く信号磁界によって不規則な磁壁
移動が起こり、再生波形にバルクハウゼンノイズが生じ
その発生頻度が増加するが、膜厚を薄くすると発生頻度
は少なくなる。しかし、その反面、図10に示すように
MR素子1の膜厚を薄くするとMR比が悪化し、再生出
力電圧が低下するという問題点を有していた。
に本発明のMRヘッドは、MR素子のリ−ド部との接合
部を他の部分より段落ちさせて形成した。
制し、かつ、十分な再生出力電圧を高めたMRヘッドを
得ることができる。
ながら説明する。図1は本発明の一実施例におけるMR
ヘッドの斜視図であり、これはMRヘッドを媒体対向面
側から見たときのものである。図において、10はNi
Fe等からなるMR素子、10aはMR素子10の磁気
記録媒体の磁束に感応する再生部、MR素子10の厚み
は再生部10aよりも両端部を薄く形成している。11
はMR素子10の両端部に形成したFeMn等からなる
反強磁性膜、12はMR素子10にセンス電流を印加す
るAu、W等からなるリ−ド部、13はバイアス磁界を
発生させる軟磁性膜、14はMR層10と軟磁性膜13
とを磁気的に分離する中間層、15、16は磁気シ−ル
ド材、17は軟磁性膜13と磁気シ−ルド材15を絶縁
する絶縁層、18はリ−ド部12と磁気シ−ルド材16
を絶縁する絶縁層、19は磁気シ−ルド材15を保持す
るセラミックの基板である。
は、前述した従来技術と同じ動作をするので説明は省略
する。
ついて図2〜図7を用いて説明する。図2に示すよう
に、セラミック等の基板19の上に、スパッタリング或
いはメッキ等によりNiFe或いはFeAlSi等を磁
気シ−ルド材15として形成する。さらに、形成した磁
気シ−ルド材15の上にスパッタリング等によりSiO
2 或いはAl2 O3 等からなる絶縁層17を形成する。
この絶縁層17の上にスパッタリング等により軟磁性膜
13を形成する。この軟磁性膜13の上にSiO 2 或い
はAl2 O3 、Ta、Ti等からなる中間層14を形成
する。さらに、中間層14の上にスパッタリング等でN
iFe等からなるMR素子10を形成する。
生部10aにレジスト等の保護材20を被着させる。次
に図4に示すように、MR素子10の両端部はエッチン
グ等により厚みを減少させる。次に図5に示すように、
MR素子10の両端部の厚みを減少させた部分に、スパ
ッタリング或いは真空蒸着等でFeMn等からなる反強
磁性膜11を形成する。さらに、反強磁性膜11の上に
スパッタリング或いは真空蒸着等でAu、W等のリ−ド
部12を形成する。次に図6に示すように、MR素子1
0の再生部10aの保護材20と、保護材20の上に形
成された反強磁性膜11とリ−ド部12とを除去する。
次に図7に示すように、リ−ド部12の上にスパッタリ
ング等により絶縁層18を形成すると共に、絶縁層18
の上に磁気シ−ルド材16を形成する。
と従来のMRヘッドとの特性の比較を行う。磁気記録媒
体への記録は別の記録ヘッドを用いて1.8インチのデ
ィスクに記録周波数4MHzで信号を記録する。記録し
た磁気記録媒体からの再生特性はMR素子10の再生部
10aをそれぞれ5μmの幅で形成し、ディスクの内周
半径11.6mmの位置で周速4.37m/sの条件で
測定した。又、バルクハウゼンノイズについては孤立波
を書き込みその再生波形から判断した。
ッド(図8参照)としてMR素子1の膜厚を300Åで
形成した場合、バルクハウゼンノイズの抑制効果として
は十分であるが、再生出力電圧は低く0.23mVであ
る。さらに、MR素子1の膜厚を増して、MR素子1の
膜厚を500Åで形成した場合、バルクハウゼンノイズ
の発生が顕著に認められ、再生出力電圧は0.25〜
0.30mVとばらつきが生じている。本実施例のMR
ヘッド(図1参照)の場合、MR素子10の再生部10
aの膜厚を500Åに形成し、両端部を300Åと薄く
形成すると、バルクハウゼンノイズの発生頻度は少な
く、かつ、再生出力電圧が0.30mVと安定した出力
特性が得られる。
てセラミック等の基板19の上にNiFe或いはFeA
lSi等からなる磁性膜を形成したが、NiZnフェラ
イト等を用いることにより基板19と磁気シ−ルド材1
5とを兼用させてもよい。又、バイアス方式としてSA
L(Soft Adjacent Layer)バイア
ス方式のMRヘッドを示したが、SALバイアス方式に
限定さるものではなくシャントバイアス等、他のバイア
ス方式においても同じ効果が得られる。
R素子の再生部と両端部との間で膜厚を変え両端部を薄
くすることにより、バルクハウゼンノイズを抑制すると
共に十分な再生出力電圧を得ることができる。
法を示す製造工程図
法を示す製造工程図
法を示す製造工程図
法を示す製造工程図
法を示す製造工程図
法を示す製造工程図
ウゼンノイズの発生頻度を示す図
との関係を示す図
Claims (1)
- 【請求項1】磁気抵抗効果素子と、前記磁気抵抗効果素
子の両端部に接合されたリ−ド部とを備えた磁気抵抗効
果型磁気ヘッドであって、磁気抵抗効果素子のリ−ド部
との接合部を他の部分より段落ちさせたことを特徴とす
る磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06493793A JP3208906B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド |
US08/216,387 US5600518A (en) | 1993-03-24 | 1994-03-23 | Magnetoresistive head having a stepped magnetoresistive film element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06493793A JP3208906B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06274833A true JPH06274833A (ja) | 1994-09-30 |
JP3208906B2 JP3208906B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=13272448
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06493793A Expired - Lifetime JP3208906B2 (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5600518A (ja) |
JP (1) | JP3208906B2 (ja) |
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JPH097122A (ja) * | 1995-06-22 | 1997-01-10 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果ヘッドおよびそれを用いた磁気記録再生ヘッド |
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JP3984839B2 (ja) * | 2002-02-26 | 2007-10-03 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気抵抗効果ヘッド |
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- 1993-03-24 JP JP06493793A patent/JP3208906B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-03-23 US US08/216,387 patent/US5600518A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
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