JPH0627306Y2 - ディスクの加工装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、磁気ディスク等の記録媒体に使用されるアル
ミディスクの超精密加工装置に関する。

（従来の技術） 一般に、アルミディスクの加工は、ブランク材からサブ
ストレートまで次の如き工程により行う。

ブランク材→荒旋盤加工→洗浄→加圧焼鈍→ダイヤモンド旋盤→洗浄→検査 （ＲＣ） （ＰＡ） （ＤＴ） 上記工程において、ＤＴによる切削加工は送り量４０μ
ｍ／rev、切削量１０μｍ前後、ディスクの回転数２０
００〜２５００r.p.m.である。

このディスクを取り付けるための面板は、ウレタンゴム
又は塩化ビニル等からなる断面ドーナツ型を有し、エア
ースピンドルによって円滑に回転するようになってい
る。また、エアースピンドルのシャフト内には、長手方
向に沿って空孔が設けられており、その空孔内にエアー
を吹き込んだり吸引したりすることにより空孔内を減圧
または加圧状態にする。

而して、ディスクの切削中は、該空孔内を真空状態にし
て面板に取り付けたディスクを吸着せしめ、切削が終了
すると該空孔内からエアーを吹き出し、該ディスクを面
板から離脱し、ローダーに移行せしめる。

なお、面板には溝部が設けられており、上記の如く空孔
内よりエアーを吸引することによって該溝部が負圧にな
り、それによりディスクが吸引されて面板に密着する。
また、ディスクを脱離させるときは、空孔からエアーを
吹き込んで加圧状態とする。

この切削後のディスクの検査は厳正を要し、例えば５1/
4″のサイズのもので微少うねり０．０５μｍ／３mm、
半径真直度２μｍ／４２mmを確保している。したがっ
て、ディスクの加工には細心の注意を払う必要がある。
この加工装置において面板を吸引する場合に、該面板の
径方向に沿って吸引部分が断続的であると、当然ディス
クに作用する力にもムラが発生する。そのためにディス
クに微少なうねりが発生したり表面が粗くなったりし
て、ディスクの特性が低下してしまう。

また、吸引部分が断続的であり、吸引部分と非吸引部分
ができると、加工終了後に前記空孔内をエアーにより加
圧状態にして面板からディスクを離脱する場合に、吸引
部は直接加圧されて容易に離脱するが、非吸引部は十分
に圧力が及ばず脱離を十分に行うことができないことが
ある。したがって、ディスク全体を離脱させるために必
要以上の空気圧が必要となり、このためディスクが受け
る応力も大きくなってしまう。

（考案が解決しようとする問題点） 本考案はかかる現状に鑑み鋭意研究を行った結果、表面
を平滑にしてうねり等が生じない状態でディスクを切削
できる加工装置を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本考案は、エアースピンドルが取り付けられた支持板に
断面ドーナツ型面板を取り付けた超精密旋盤の該面板に
アルミディスクを吸引により吸着して精密に切削する加
工装置において、該面板の外周縁部および内周縁部によ
り囲まれた部分が、サブミクロンから数十μｍの気孔径
を有し、かつ２０〜４０％の気孔率を有するプラスチッ
ク又はゴムからなる多孔質体で形成されており、該面板
の外周縁部および内周縁部がアルミディスクの吸脱着の
際のエアーの通過を防止するように形成されており、該
多孔質体の気孔を介してアルミディスクを該面板に吸着
させることを特徴とするものである。

本考案の加工装置において、上記の如く断面ドーナツ型
面板の外周縁部および内周縁部は、アルミディスクを吸
脱着する際のエアーの通過を防止するように形成する。
これは、面板の外周縁部および内周縁部からエアーが通
過すると、アルミディスクの吸脱着が良好に行われなく
なるからである。

また、多孔質面板はプラスチック、ゴム等を使用するも
のであり、その気孔径はサブミクロンから数１０μｍま
でが好ましく、その気孔率は２０〜４０％が望ましい。
気孔率をこの範囲に設定することにより、充分にディス
クを吸引保持することができる。

（実施例） 第１図は本考案のディスクの加工装置の一例を示す概略
説明図である。図中１は、中央部に４５mmの空孔部２を
設けた直径１２５mm、厚さ５mmのドーナツ型面板を示
す。面板１の外周縁部３および内周縁部４は気孔構造を
有しない硬質ナイロンにより形成されており、外周縁部
と内周縁部により囲まれた部分５は多孔質の硬質ナイロ
ンにより形成されている。この面板１は、多孔質硬質ナ
イロンをドーナツ形状に成形し、その内外周縁に気孔構
造を有しない硬質ナイロンからなるリング状体を接着等
により取り付けて外周縁部３および内周縁部４を設ける
ことにより作製される。

面板１を支持するアルミプレート６には、面板１の表面
に対して垂直な方向に沿って形成された複数の細孔７
ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄが設けられている。この細孔は、
第２図に示すように、アルミプレート６の主面に間隔を
おいて設けられている。なお、この細孔７ａ〜７ｄの位
置は、アルミプレート６の主面にランダムに設けられて
いてもよい。アルミプレート６は、中心部に空孔を有す
るエアースピンドル（図示せず）にネジ８により取り付
けられており、細孔７ａ〜７ｄと空孔が連通するように
なっている。したがって、細孔７ａ〜７ｄと空孔が連通
するようになっている。したがって、細孔７ａ〜７ｄか
ら外周縁部と内周縁部により囲まれた部分５の多孔質硬
質ナイロンを介してエアーを吸引することにより、面板
１がアルミプレート６に吸着される。

なお、面板１をアルミプレート６に取り付ける場合、ア
ルミプレートの細孔７ａ〜７ｄの位置に対応する位置に
孔が形成されたカップ状の受け皿に多孔質硬質ナイロン
からなるドーナツ状体を嵌め込み、細孔７ａ〜７ｄ、受
け皿の孔、および外周縁部と内周縁部により囲まれた部
分５の多孔質硬質ナイロンを介してエアーを吸引しても
よい。

このような構成を有する本考案のディスクの加工装置で
は、エアーにより面板１にアルミディスク９を着脱自在
に取り付けることができ、表面を平滑にしてうねり等が
生じない状態でアルミディスク９を切削できる。

（考案の効果） 本考案のディスクの加工装置は、次の如き効果を有す
る。

(1)ディスクを面板に均一に吸着あるいは脱離させるこ
とができ、ディスクに必要以上の応力がかからない。こ
のため、極めて平滑性に富んだディスクを得ることがで
きる。

(2)ディスクの吸着あるいは脱離のために加わる負圧ま
たは加圧の圧力も極めて低圧になるため、ディスクの着
脱に要する時間も短くなり、作業性が著しく向上する。

(3)面板の凹部に残存するアルミ切削粉を容易にエアー
にて除去することができる。

(4)本考案では、面板の外周縁部と内周縁部に囲まれた
部分をサブミクロンから数十μｍの気孔径を有し、かつ
２０〜４０％の気孔率を有するプラスチックまたはゴム
からなる多孔質体で形成している。気孔径をサブミクロ
ンから数十μｍにすることにより、気孔部にアルミ切削
粉が詰まることを防止できる。また、気孔率を２０〜４
０％にすることにより充分な吸引力を維持することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案ディスクの加工装置の一例を示す概略説
明図、第２図は本考案ディスクの加工装置におけるアル
ミプレートの細孔の位置を示す図である。 １…面板、２…空孔部、３…外周縁部、４…内周縁部、
５…外周縁部と内周縁部により囲まれた部分、６…アル
ミプレート、７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ…細孔、８…ネ
ジ、９…アルミディスク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】エアースピンドルが取り付けられた支持板
   に断面ドーナツ型面板を取り付けた超精密旋盤の該面板
   にアルミディスクを吸引により吸着して精密に切削する
   加工装置において、該面板の外周縁部および内周縁部に
   より囲まれた部分が、サブミクロンから数十μｍの気孔
   径を有し、かつ２０〜４０％の気孔率を有するプラスチ
   ック又はゴムからなる多孔質体で形成されており、該面
   板の外周縁部および内周縁部がアルミディスクの吸脱着
   の際のエアーの通過を防止するように形成されており、
   該多孔質体の気孔を介してアルミディスクを該面板に吸
   着させることを特徴とするディスクの加工装置。