JPS5919647A - 真空チヤツク - Google Patents
真空チヤツクInfo
- Publication number
- JPS5919647A JPS5919647A JP12896882A JP12896882A JPS5919647A JP S5919647 A JPS5919647 A JP S5919647A JP 12896882 A JP12896882 A JP 12896882A JP 12896882 A JP12896882 A JP 12896882A JP S5919647 A JPS5919647 A JP S5919647A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- absorption
- work
- workpiece
- chuck
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は工作物を真空吸着によって支持する真空チャッ
クに関するものである。
クに関するものである。
本発明の目的は′、工作物の吸着面に弾性を付与するこ
とＫより加速度特性を大幅に向上させ超精密加工の精度
を確保したことである。
とＫより加速度特性を大幅に向上させ超精密加工の精度
を確保したことである。
従来、アルミニウムから成る薄い円板の板面を加工する
場合、把持爪等による一般のチャックではチャッキング
が不可能であるため、前記円板の対接面に真空源に連通
する環状溝を形成した金属製のチャック本体により真空
圧力を利用して前記円板である工作物を吸着して加工し
ていた。しかしながら、このような真空チャックに【加
工すると加速度特性を要求値（、５０ｍ／Ｂ２．、）に
入れた加工が困難であった。
場合、把持爪等による一般のチャックではチャッキング
が不可能であるため、前記円板の対接面に真空源に連通
する環状溝を形成した金属製のチャック本体により真空
圧力を利用して前記円板である工作物を吸着して加工し
ていた。しかしながら、このような真空チャックに【加
工すると加速度特性を要求値（、５０ｍ／Ｂ２．、）に
入れた加工が困難であった。
例えば、工作物が、コンピュータの外部記憶装置等に用
いられる磁気ディスクの基板である場合、アルミニウム
円板の板面を超精密加工により鏡面に仕上げられるが、
加工後における仕上げ面の精度として、アルミニウム円
板を高速回転させた状態で所定の半径位置におげろ表面
のうねりの大きさを測定したランアウトの大きさだけで
な（、このランアウト特性を微分することにより得られ
る表面位置の変化の急激さく早さ）を示す速度特性、及
びこの速度特性をさらに微分して得られる加速度特性に
おいて、所定の精度が要求される。このような薄肉のア
ルミニウム円板よりなるディスクの基板を従来のように
金属製のチャックで真空吸着させると、チャックの工作
物支持面（吸着面）か全く弾性変形しない場合ｌＣは、
工作物の取付面となる表面に微少な凹凸があると、これ
によって工作物の取付時において工作物が部分的に微少
変形され、加速度特性が悪化する問題があった。これは
、チャックの吸着面と工作物との間圧微少なゴミ等が介
在した場合にも生じる。また、従来のものでは真空チャ
ックの吸着面と工作物とが完全に密着せず、微少な隙間
ができるため、この隙間にミストとして供給される切削
油や、空気中に浮遊しミスト供給時にミスト含入するゴ
ミ等が侵入し、これが工作物を微少変形させるおそれも
′あった。
いられる磁気ディスクの基板である場合、アルミニウム
円板の板面を超精密加工により鏡面に仕上げられるが、
加工後における仕上げ面の精度として、アルミニウム円
板を高速回転させた状態で所定の半径位置におげろ表面
のうねりの大きさを測定したランアウトの大きさだけで
な（、このランアウト特性を微分することにより得られ
る表面位置の変化の急激さく早さ）を示す速度特性、及
びこの速度特性をさらに微分して得られる加速度特性に
おいて、所定の精度が要求される。このような薄肉のア
ルミニウム円板よりなるディスクの基板を従来のように
金属製のチャックで真空吸着させると、チャックの工作
物支持面（吸着面）か全く弾性変形しない場合ｌＣは、
工作物の取付面となる表面に微少な凹凸があると、これ
によって工作物の取付時において工作物が部分的に微少
変形され、加速度特性が悪化する問題があった。これは
、チャックの吸着面と工作物との間圧微少なゴミ等が介
在した場合にも生じる。また、従来のものでは真空チャ
ックの吸着面と工作物とが完全に密着せず、微少な隙間
ができるため、この隙間にミストとして供給される切削
油や、空気中に浮遊しミスト供給時にミスト含入するゴ
ミ等が侵入し、これが工作物を微少変形させるおそれも
′あった。
本発明は上記のような従来の問題や懸念を解消した真空
チャックを提供するものである。以下その実施例につい
て図面に基ぎ説明する。
チャックを提供するものである。以下その実施例につい
て図面に基ぎ説明する。
第１図及び第２図において、１は主軸頭、２は主軸頭１
に回転自在に軸承した主軸、３は主軸２の先端に固着し
たチャック本体であり、アルミニウムの円盤によるもの
である。このチャック本体３の肉厚内には半径方向の放
射状に中間通路５が穿設されており、前記主軸２の軸心
線上に穿設されているエア通路６と連通している。また
、チャック本体３の盤面７には前記中間通路と連通ずる
複数の通路穴８が盤面７と直交する方向に開設されてい
る。
に回転自在に軸承した主軸、３は主軸２の先端に固着し
たチャック本体であり、アルミニウムの円盤によるもの
である。このチャック本体３の肉厚内には半径方向の放
射状に中間通路５が穿設されており、前記主軸２の軸心
線上に穿設されているエア通路６と連通している。また
、チャック本体３の盤面７には前記中間通路と連通ずる
複数の通路穴８が盤面７と直交する方向に開設されてい
る。
さらに、このチャック本体３の盤面７にウレタンゴム等
の弾性体からなる工作物吸着体９を接着する。この工作
物吸着体９０表面、すなわち、工作物Ｗの吸着面１２に
は複数の環状溝１０が主軸２と同心円で波紋状に形成さ
れ、前記通路穴８と交差する環状溝１０の底面に、通路
穴８と連通する連通穴１１が穿設されている。尚連通穴
８及び１１は、工作物吸着体９をチャック本体３に接着
した後で同時加工されろ。また前記工作物吸着体９を構
成する弾性体は、その硬度が日本工業規格Ｋ ６３０１
で測定方法を規定するＨｓ（ＪＩ８Ｃ）硬度９０程度の
ウレタンゴムが好ましい。
の弾性体からなる工作物吸着体９を接着する。この工作
物吸着体９０表面、すなわち、工作物Ｗの吸着面１２に
は複数の環状溝１０が主軸２と同心円で波紋状に形成さ
れ、前記通路穴８と交差する環状溝１０の底面に、通路
穴８と連通する連通穴１１が穿設されている。尚連通穴
８及び１１は、工作物吸着体９をチャック本体３に接着
した後で同時加工されろ。また前記工作物吸着体９を構
成する弾性体は、その硬度が日本工業規格Ｋ ６３０１
で測定方法を規定するＨｓ（ＪＩ８Ｃ）硬度９０程度の
ウレタンゴムが好ましい。
本発明は上記の通りの構造であるから、アルミニウム薄
板よりなるディスク状円板の工作物Ｗは環状溝１０の真
空圧力によって弾性体よりなる工作物吸着体９の吸着面
１２に真空吸着にょって密着されダイヤモンドバイトに
より切削加工される。
板よりなるディスク状円板の工作物Ｗは環状溝１０の真
空圧力によって弾性体よりなる工作物吸着体９の吸着面
１２に真空吸着にょって密着されダイヤモンドバイトに
より切削加工される。
そこで、工作物Ｗ６−吸着される弾性体よりなる工作物
吸着体９の硬度は、工作物Ｗの表面の局部的で微少な凹
凸に対しては工作物の吸着時に工作物吸着体９が弾性変
形し、加工工具であるダイヤモンドバイトによって加工
時に作用する切削力に対してはほとんど弾性変形しない
硬度であり、硬度９（ｌ中心として硬度７０−１００程
度の弾性体が工作物吸着体として利用できる。
吸着体９の硬度は、工作物Ｗの表面の局部的で微少な凹
凸に対しては工作物の吸着時に工作物吸着体９が弾性変
形し、加工工具であるダイヤモンドバイトによって加工
時に作用する切削力に対してはほとんど弾性変形しない
硬度であり、硬度９（ｌ中心として硬度７０−１００程
度の弾性体が工作物吸着体として利用できる。
従って本発明によれば、工作物吸着体を弾性体とするこ
とにより、吸着面の弾性変形で工作物が微少に変形され
ることｔ防止し、また吸着面に工作物が密着するために
工作物と吸着面との間に切削油及びこれに含入する空気
中のゴミ等が侵入することがない。さらに、吸着面に環
状溝を形成し、これを真空源に連通した構造であるから
、吸着面の平坦度を得やすく、また吸着時に工作物Ｙた
わませるおそれもない。よって、極めて高精度の加工が
得られる効果を有し、構造も簡単である利点を有してい
る。
とにより、吸着面の弾性変形で工作物が微少に変形され
ることｔ防止し、また吸着面に工作物が密着するために
工作物と吸着面との間に切削油及びこれに含入する空気
中のゴミ等が侵入することがない。さらに、吸着面に環
状溝を形成し、これを真空源に連通した構造であるから
、吸着面の平坦度を得やすく、また吸着時に工作物Ｙた
わませるおそれもない。よって、極めて高精度の加工が
得られる効果を有し、構造も簡単である利点を有してい
る。
因に従来のチャックによって加工したう場合の加速度特
性は第３図（α）に示すように１００？７Ｌ１５２以上
であったが、本発明のチャックによる場合は工作物吸着
体を硬度９０のウレタンゴムによって構成した場合を例
にすると、第３図（ｂ）に示すよ５ Ｋ ４０ ｍ／ｓ
２以下となり、加速度特性の要求値を十分満足すること
ができた。
性は第３図（α）に示すように１００？７Ｌ１５２以上
であったが、本発明のチャックによる場合は工作物吸着
体を硬度９０のウレタンゴムによって構成した場合を例
にすると、第３図（ｂ）に示すよ５ Ｋ ４０ ｍ／ｓ
２以下となり、加速度特性の要求値を十分満足すること
ができた。
第１図は本発明による真空チャックの要部断面図、第２
図は正面図、第３図（α）は従来のチャックにて加工し
た場合の加速度特性を示すグラフ、第３図（ｈ） ｔＸ
本発明のチャックにて加工した場合の加速度特性を示す
グラフである。 １・・拳主軸頭、２・・・主軸、３・・・チャック本体
、５・・・中間通路、６・・・エアー通路、７・・・盤
面、８・・・通路穴、９・・・工作物吸着体、１０・・
・環状溝、１１・・・連通穴、１２・・・吸着面。
図は正面図、第３図（α）は従来のチャックにて加工し
た場合の加速度特性を示すグラフ、第３図（ｈ） ｔＸ
本発明のチャックにて加工した場合の加速度特性を示す
グラフである。 １・・拳主軸頭、２・・・主軸、３・・・チャック本体
、５・・・中間通路、６・・・エアー通路、７・・・盤
面、８・・・通路穴、９・・・工作物吸着体、１０・・
・環状溝、１１・・・連通穴、１２・・・吸着面。
Claims (1)
- 金属製チャック本体の工作物取付面に、ウレタンゴム等
の弾性体から成る工作物吸着体を取付け、この工作物吸
着体に真空源に連通する複７数の環状溝を形成したこと
を特徴とする真空チャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12896882A JPS5919647A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 真空チヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12896882A JPS5919647A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 真空チヤツク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5919647A true JPS5919647A (ja) | 1984-02-01 |
Family
ID=14997858
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12896882A Pending JPS5919647A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 真空チヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919647A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01222838A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | 真空吸着チャック装置用チャック板 |
| US6089801A (en) * | 1998-07-01 | 2000-07-18 | Thermwood Corporation | Machine tool with improved workpiece holddown system |
| EP1568448A1 (en) * | 2002-11-21 | 2005-08-31 | Bridgestone Corporation | Suckingly conveying apparatus |
| CN109500636A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-03-22 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种真空吸附工装密封条的装夹方法 |
| JP2020015133A (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 株式会社タカハシキカイ | 真空チャック |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5733439A (en) * | 1980-07-31 | 1982-02-23 | Fujitsu Ltd | Working method of magnetic disk substrate |
-
1982
- 1982-07-26 JP JP12896882A patent/JPS5919647A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5733439A (en) * | 1980-07-31 | 1982-02-23 | Fujitsu Ltd | Working method of magnetic disk substrate |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01222838A (ja) * | 1988-03-02 | 1989-09-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | 真空吸着チャック装置用チャック板 |
| US6089801A (en) * | 1998-07-01 | 2000-07-18 | Thermwood Corporation | Machine tool with improved workpiece holddown system |
| EP1568448A1 (en) * | 2002-11-21 | 2005-08-31 | Bridgestone Corporation | Suckingly conveying apparatus |
| EP1568448A4 (en) * | 2002-11-21 | 2008-10-08 | Bridgestone Corp | Suction conveyor |
| US7717482B2 (en) | 2002-11-21 | 2010-05-18 | Bridgestone Corporation | Suckingly conveying apparatus |
| JP2020015133A (ja) * | 2018-07-25 | 2020-01-30 | 株式会社タカハシキカイ | 真空チャック |
| CN109500636A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-03-22 | 成都飞机工业（集团）有限责任公司 | 一种真空吸附工装密封条的装夹方法 |
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