JPH0457670A - 磁気ヘッドスライダの表面加工工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、特に磁気ヘッドスライダの浮上面の一部の傾
斜面を加工するに際して、その角度精度を向上し得るよ
うにした磁気ヘッドスライダの表面加工工具に関するも
のである。

〔従来の技術〕

周知のように、磁気ディスク装置の大記憶容量、高速デ
ータ転送を実現するために、現在では全て微細な浮動型
磁気ヘッドか用いられている。

これは、磁気ディスクが高速回転するときに、空気の粘
性で発生する動圧を利用して、磁気ヘッドを微小量浮上
させて、気体潤滑作用を行わせるものである。このよう
な動圧の発生は、磁気ヘッドスライダの浮上面の片端、
つまり気流衝突端に傾斜面を設けて浮力を発生させるよ
うにしている。

また、磁気ヘッドの左右の振れを防止するために平行な
複数の条面を設けている。さらに、傾斜面の角度、面積
の相違により磁気ヘッドの浮上量が変わるので、これら
には極めて高い加工精度が要求されることとなる。つま
り、この浮上面の各条面間の片端部に設けられる傾斜面
には均一性か要求されるので、このような微細加工に対
する加工精度の向上を可能ならしめる加工装置の開発か
要望されていた。

ところで、微細部品の加工精度を向上させるために種々
の加工装置か提案されているか、それらの中に、例えば
特開平１−１３５４６７号公報において開示されてなる
ものか公知である。

以下、この加工装置の概要を、基板の概略斜視図の第５
図（ａ）と、加工原理図の第５図（ｂｌとを参照しなが
ら説明すると、平坦面（５１ａ）を有する三角状の基板
（５１）の底辺側の面に支持部材（５２）を固着する一
方、この基板（５１）の頂各側の面に支持部材（５２）
よりも高さの低い間隔部材（５３）を固着する。

そして、上記支持部材（５２）の反間着側の面に加工を
施す磁気ヘッドスライダ（６０）或いはブロック（６１
）を接着する。次いで、上記間隔部材（５３）と磁気ヘ
ッドスライダ（６０）或いはブロック（６１）を下側に
した状態で研磨定盤（６２）に合わせて押圧してこの研
磨室１１（６１）を水平状態で駆動させて研磨すること
により磁気ヘッドスライダ（６０）の浮上端の微細な角
度を持つ傾斜面の加工を施している。

〔発明か解決しようとする課題〕

上記加工装置によれば、それなりに磁気ヘッドスライダ
或いは複数個の磁気ヘッドスライダからなるブロックの
浮上端の微細な角度を有する傾斜面を加工することが可
能であるか、磁気ヘッドスライダ或いは複数個の磁気ヘ
ッドスライダからなるブロックを接着する前に基板の平
坦面に支持部材と間隔部材とを接着するため、これら支
持部材と間隔部材とを所定の角度に加工したとしても、
接着層の厚さが２層となり厚いため、支持部材に接着さ
れた後に加工される磁気ヘッドスライダ或いは複数個の
磁気ヘッドスライダからなるブロックの傾斜面の角度精
度か必ずしも高櫂度にはなり得ないという加工精度上の
問題かあった。

従って、本発明は磁気ヘッドスライダに高精度の傾斜面
加工を施すことのできる磁気ヘッドスライダ或いは複数
個の磁気ヘッドスライダからなるブロックの表面加工工
具の提供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、
従って本発明に係る磁気ヘッドスライダの表面加工工具
の構成は、磁気ディスク装置用の加工前の磁気ヘッドス
ライダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダからなるブロ
ックか固着され、この加工面側を下側にして研磨定盤に
押圧される基板を有する磁気ヘッドスライダの表面加工
工具において、前記磁気ヘッドスライダ或いは複数個の
磁気ヘッドスライダからなるブロックか接着される固定
部を一端側に有する固定用ブロックを該ブロックの他端
側で前記基板により揺動可能に支持し、さらに該固定ブ
ロックの揺動支持部と固定部との間に該固定ブロックの
角度を調整する機械的角度調整手段を設けてなることを
特徴とする。

〔作用〕

本発明に係る磁気ヘッドスライダの表面加工工具によれ
ば、加工前の磁気ヘッドスライダ或いは複数個の磁気ヘ
ッドスライダからなるブロックか接着される固定部を一
端側に有する固定用ブロックを該ブロックの他端側で前
記基板により揺動可能に支持し、さらに該固定ブロック
の揺動支持部と固定部との間に該固定ブロックの角度を
調整する機械的角度調整手段を設けなる構成としたので
、固定ブロックの角度を調整する機械的角度調整手段を
操作すると、該固定ブロックは揺動支持部を中心として
回転し、これにより加工前の磁気ヘッドスライダ或いは
複数個の磁気ヘッドスライダからなるブロックか接着さ
れる固定部か傾斜する。

そして、固定部に加工前の磁気ヘッドスライダ或いは複
数個の磁気ヘッドスライダからなるブロックを接着した
後に、この接着側を研磨定盤に合わせ、この基板を研磨
定盤側に押圧すると共に研磨定盤を稼働すると、磁気へ
ットスライダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダからな
るブロックの面には機械的角度調整手段により設定した
角度の傾斜面が加工される。

しかも、接着部位は従来加工装置の場合と異なり磁気ヘ
ッドスライダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダからな
るブロックのみのため接着層は１層であるから、従来よ
りも高精度の角度を有する加工面を得ることができる。

〔実施例〕

本発明に係る磁気ヘッドスライダ表面の加工工具の実施
例を、基板に固定用ブロックを装着した状態を示す全体
斜視図の第１図と、固定用ブロックの平面図の第２図と
、固定用ブロックの裏面図の第３図と、基板の裏面図の
第４図とを参照しなから以下に説明する。

即ち、第２図と第３図とに示す符号（１）は、四角形の
固定用ブロワつてあり、この固定用ブロック（１）の一
端側には加工前の磁気へットスライダ或いは複数個の磁
気ヘッドスライダからなるブロック（図示省略）か接着
される、平板状の固定部（２）が辺と平行に設けられて
いる。また、他端側には固定用ブロック（１）の揺動支
持部として、この固定部（２）の長手方向と平行な軸心
を持つ回転用軸（３）が両端面から突出する状態で設け
られている。

さらに、前記固定用ブロック（１）の固定部（２）と回
転用軸（３）との間であって、かつ固定部（２）の近傍
に所定の間隔を持たせて角度調整用螺子（４ａ）が螺着
される２つの角度調整用螺子螺子孔（４）が螺刻される
他、この固定用ブロック（１）の裏面には、第３図に示
すように、機械的角度調整手段としての前記２つの角度
調整用螺子螺子孔（４）の貫通部の中央に凹状の支点部
（５）が穿設されている。

一方、基板（６）は第４図に示すように、円板状であっ
て、その径方向の中心を中心とする等間隔の４か所に支
点支持用螺子（８ａ）か螺着される支点支持用螺子孔（
図示省略）が螺刻されている。

つまり、第１図に示すように、この基板（６）に固定用
ブロック（１）か組み合わされたときに、この支点支持
用螺子（８ａ）の先端が支点部（５）の凹みの底部に当
接するようになっており、押圧による固定用ブロック（
１）の撓み変形を防止する働きをする。

また、同図に示すように、この基板（６）の外周付近に
は前記支点支持用螺子孔の対面同士の中心を通る線に対
して直交する軸心を有する貫通孔を穿設してなる扇形の
ブロックを機械的手段により固着した。この貫通孔には
前記回転用軸（５）が嵌挿される回転軸用孔（７）とな
るものである。

さらに、同図から良く理解されるように、この基板（６
）には４つの固定用ブロック＋１）かその固定部（２）
側を相対する状態で嵌まり込む座部を十の字状に設けら
れてなる構成になっている。

従って、角度調整用螺子（４ａ）を所定量螺子込むと共
に支点支持用螺子（８ａ）を所定量螺子込むと、固定ブ
ロック（１）は回転用軸（３）を中心として回転し、加
工前の磁気ヘッドスライダ或いは複数個の磁気ヘッドス
ライダからなるブロックが接着される固定部（１）の表
面かこれら両螺子（４ａ）、（８ａ）の螺子込み量に応
じた角度だけ傾斜することとなる。

このような角度調整作業に際しては、予め計算により所
望の傾斜角に対応する螺子込み量を求めると共に、角度
設定後にはダイヤルゲージ等の測定器を用いてその傾斜
角度を確認すると共に、必要に応して微調整した。実際
には０．　４ｍｍ螺子込んで０．８°の傾斜角度に設定
した。

次いで、これを研磨定盤（図示省略）に押圧して磁気ヘ
ッドスライダに傾斜面加工を施した結果、接着部位は従
来加工装置の場合と異なり磁気ヘッドスライダのみのた
め接着層は１層であるから、従来の場合に比較してより
高精度の角度を有する加工面を得ることができた。

因みに、従来の加工装置により得られる角度精度は±０
．４度程度度程ったが、この実施例により角度精度は±
０．２度程とζ９、傾斜面の加工精度が大幅に向上する
ことを確認した。

以上では、上記した構成になる加工工具を磁気ヘッドス
ライダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダからなるブロ
ックの傾斜面の加工に用いた例を説明したが、上記説明
から良く理解されるように、磁気ヘッドスライダ或いは
複数個の磁気ヘッドスライダからなるブロックの傾斜面
加工だけでなく、傾斜角度を０度に設定することにより
磁気ヘッドスライダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダ
からなるブロックの水平な浮上面の加工を行うことも可
能である。

なお、上記した実施例は本発明の一具体例にすぎず、従
って上記実施例によって本発明の技術的思想の範囲が限
定されるものではなく、しかも本発明の技術的思想を逸
脱しない範囲内における設計変更等は自由自在である。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明に係る磁気ヘッドスライダ
の表面加工工具によれば、固定ブロックの角度を調整す
る機械的角度調整手段を操作すると、該固定ブロックは
揺動支持部を中心として回転し、これにより加工前の磁
気ヘッドスライダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダか
らなるブロックが接着される固定部が傾斜する。

そして、固定部に加工前の磁気ヘッドスライダ或いは複
数個の磁気ヘッドスライダからなるブロックを接着した
後に、この接着側を研磨定盤に合わせ、基板を研磨定盤
側に押圧すると共に研磨定盤を稼働すると、磁気ヘッド
スライダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダからなるブ
ロックの面には機械的角度調整手段により設定した角度
の傾斜面が加工され、しかも従来加工装置の場合には接
着層が２層であるのに対して、本発明では磁気ヘッドス
ライダのみの１層であるから、従来よりも高精度の角度
を育する加工面が得られ、磁気ディスク装置の大記録化
や高速データ転送等に対する性能の向上に対して極めて
多大な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第２図は本発明の実施例に係り、第１図は基
板に固定用ブロックを装着した状態を示す加工工具全体
斜視図、第２図は固定用ブロックの平面図、第３図は固
定用ブロックの裏面図、第４図は基板の裏面図、以下、
第５図（ａ）及び第５図（ｂ）は従来例に係り、第５図
ｔａ＋は基板の概略斜視図、第５図（ｂｌは加工原理図
である。 （１）・・・固定用ブロック、（２）・・・固定部、（
３）・・・回転用軸、（４）・・・角度調整用螺子孔、
（４ａ）・・・角度調整用螺子、（５）・・・凹み状の
支点部、（６）・・・基板、（７）・・・回転軸用孔、
（８ａ）・・・支点支持用螺子。 特許出願人　株式会社神戸製鋼所

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気ディスク装置用の加工前の磁気ヘッドスライ
   ダ或いは複数個の磁気ヘッドスライダからなるブロック
   が固着され、この加工面側が研磨定盤に押圧される基板
   を有する磁気ヘッドスライダの表面加工工具において、 前記磁気ヘッドスライダ或いは複数個の磁気ヘッドスラ
   イダからなるブロックが接着される固定部を一端側に有
   する固定用ブロックを該ブロックの他端側で前記基板に
   より揺動可能に支持し、さらに該固定ブロックの揺動支
   持部と固定部との間に該固定ブロックの角度を調整する
   機械的角度調整手段を設けてなることを特徴とする磁気
   ヘッドスライダの表面加工工具。