JPH11207584A

JPH11207584A - ワーク外周面の研削方法及び装置

Info

Publication number: JPH11207584A
Application number: JP2932098A
Authority: JP
Inventors: Haruo Ozaki; 治雄尾崎; Hideo Kamikawachi; 秀夫上川内
Original assignee: Daito Electron Co Ltd; M Tec Co Ltd
Current assignee: Daito Electron Co Ltd; M Tec Co Ltd
Priority date: 1998-01-27
Filing date: 1998-01-27
Publication date: 1999-08-03

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ＮＣ制御研削と倣いマスタ方式の両方の長所を
活かして１台の装置で粗研削とバフ仕上げに近い精度の
高い研削加工を可能とする。【解決手段】数値制御により回転及び直進の２軸制御さ
れるワーク取付台３と、該ワーク取付台をワーク１を回
転させるスピンドル側部４０と数値制御により直進往復
動するＮＣ駆動側部４１とに分割するように構成された
分割機構４と、該分割機構４のスピンドル側部４０とＮ
Ｃ駆動側部４１とをロックし又は該ロックを解除できる
ようにしたロック機構５と、該ロック機構５によるロッ
クを解除したときのスピンドル側部４０とＮＣ駆動側部
４１との相対移動可能範囲を設定し得るストッパ機構６
と、スピンドル側部４０をカッタ１９に対して押圧付勢
する弾性体の一例たるガススプリング８とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェーハ
等のワーク外周面（ノッチ部を含む）の研削方法及び装
置に係り、特にワーク取付台を該ワークを回転させるス
ピンドル側部と数値制御により直進駆動されるＮＣ駆動
側部とに分割し、ワークの粗研削の場合には該ワーク取
付台をロックすることによって一体化して強制的な数値
制御研削を行い、仕上げ研削の場合にはワーク取付台を
ロック解除により分割してスピンドル側部がＮＣ駆動側
部に対してわずかに相対移動可能にかつ弾性体でカッタ
に対して押圧付勢されたフローティング状態（倣いマス
タ方式と同様の状態）で研削を行うことによって、粗研
削で生じた微細なクラックを含むワークの加工歪みを同
一のカッタによりほとんど除去できるようにし、１台の
装置で粗研削と仕上げ研削（バフ仕上げに近い研削）の
両方を行うことを可能とし、バフ仕上げ用の非常に高価
な専用機を不要化し、設備費の大幅な節減を図ったワー
ク外周面の研削方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】シリコンウェーハ等のウェーハは、薄い
円板状の半導体の総称であり、通常円柱状に精製された
単結晶母材から切り出され、その一表面は鏡面研摩さ
れ、種々の半導体素子がその表面上にエッチング法等に
より形成されるものである。シリコンウェーハでは、例
えばその寸法は、直径１０〜４００ｍｍφ、厚さ２００
μｍ〜１０ｍｍの薄い円板状のものであり、シリコン等
の結晶の向きにより定まる円周方向の方位を容易に合わ
せ易くするため、外周部の一部を直線状に研削していわ
ゆるオリエンテーションフラット（通常ＯＦと称する）
を形成し、又はＶ字形の凹部であるノッチ部を形成す
る。またこれと同時に完全な円弧である外周面も同様に
連続的に研削し、更に厚さ方向に滑らかな面取りを施
す。

【０００３】一方、ウェーハの表面に微細な加工を行う
際に問題となるのは、ウェーハの表面や外周面より発生
するゴミであり、ウェーハの外周面がシャープであると
粉塵が多く発生する。そこで外周面に形成されるオリエ
ンテーションフラットの直線部と外周面との接続面を円
弧状に形成することは粉塵の発生を防止する上で有効な
手段となる。

【０００４】またウェーハの直径やオリエンテーション
フラット又はノッチ部を正確な寸法に加工することは、
次工程の微細加工時の位置合わせ時間を短縮することが
できる結果となるので、高精度の研削加工が要求される
と共に、加工後の表面アラサは極力小さく、加工歪みや
クラックの深さはμｍのオーダであっても極力小さくな
くてはならない。

【０００５】従来、昭和６１年頃までは、このウェーハ
のオリエンテーションフラットの直線部及びその両側の
円弧部又はノッチ部を正確な寸法に加工する一方式とし
ては、倣いマスタ方式が採用されていた。この方式で
は、ウェーハの加工目標（完成品）と同一形状のマスタ
を作成して、機械的な倣い機構により該マスタに倣って
ワークとしてのウェーハを研削するため、ウェーハの完
成品形状が変更されると、その都度マスタを作成した
り、少なくともマスタを交換しなければならず、マスタ
の製作費が高くつく上に、段取り作業に多くの工数がか
かるという欠点があったが。しかし、この倣いマスタ方
式では、カッタを重り（ウェイト）又はスプリング力で
ウェーハに押圧して研削するようになっているため、研
削時の負荷が大き過ぎると、押圧力が加工反力に負けて
ウェーハを完全な形状に研削できないことが発生するも
のの、カッタが適宜逃げながら研削するので、ウェーハ
に与える負荷が一定の限度内に制限されるため、クラッ
クを含む加工歪みは小さいという特長があった。

【０００６】昭和６２年頃からは本願発明者の発明であ
る特許第２１２７９４８号（特願昭６２−２０９８４
０、特公平６−３７０２４）の発明、即ちすべてのウェ
ーハの形状をコンピュータ制御で研削加工するＮＣ制御
方式が実施されるようになったため、上記倣いマスタ方
式は、現在ではほとんど実施されていない。

【０００７】このＮＣ制御方式は、ほとんどあらゆる面
で上記倣いマスタ方式より優れているものの、カッタ又
はウェーハは数値制御で強制的に動かされるため、加工
時の負荷が研削能力を超えた場合には、ウェーハに過負
荷がかかり、極端な場合にはウェーハが割れたりするこ
とがあり、たとえウェーハが割れても数値制御される軌
跡通りカッタ又はウェーハが相対的に動いて研削作業が
行われる。このようにＮＣ制御方式では、研削時の負荷
が時として過大となるため、倣いマスタ方式に比べて粗
研削加工時のクラックを含む加工歪みが大きいという欠
点があった。例えば図１８に示すように、粒度♯８０
０、♯１５００、♯３０００のいずれのカッタを使用し
た場合であっても、粗研削後のワーク（例えばシリコン
ウェーハ）１の外周面１ａに生ずる加工歪み（クラッ
ク）１ｂは、倣いマスタ方式の場合に比べて約２倍の深
さδとなっている。なお、図１８はクラック１ｂの深さ
δをワーク１の直径の割合には誇張して描いたものであ
り、実際にはこの深さδはμｍのオーダであって、肉眼
で見える程度のものではない。

【０００８】半導体市場においては、当初倣いマスタ方
式が採用されていたが、ＮＣ制御方式が開発されると、
倣いマスタ不要、使い易さなどの利点が多いことから、
倣いマスタ方式は市場からなくなり、ＮＣ制御方式の独
占市場となっている。しかしながら、市場はウェーハサ
イズの１２インチ化、高密度高集積化、コスト低減化の
要求などから低歪み加工の要求が強く出されて来てい
る。

【０００９】しかし、低歪み加工を実現するための装置
は、半導体装置メーカより他の方式で数例提供されてい
るが、その装置はカッタの振動を抑えるためにエアスピ
ンドル等を利用しているため、極めて高価格（１億円／
台）となっており、到底市場の要求を満たすものではな
かった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来技術の欠点を除くためになされたものであって、その
目的とするところは、円形のカッタを回転させてその外
周により円板状のワークの外周面を数値制御により研削
するワーク外周面の研削方法において、ワーク取付台を
ワークを回転させるスピンドル側部と数値制御により直
進往復動するＮＣ駆動側部とに分割してロック装置によ
り該スピンドル側部と該ＮＣ駆動側部とをロックしたと
きにはワーク取付台は一体となりスピンドル側部と前記
ＮＣ駆動側部とのロックを解除したときにはワーク取付
台はスピンドル側部がＮＣ駆動側部に対してカッタに接
近又は離脱する方向に一定の範囲で摺動自在となりかつ
カッタに接近する方向に弾性体により押圧付勢されるよ
うにしておき、カッタによりワークの粗研削を行う場合
にはスピンドル側部とＮＣ駆動側部とをロックして数値
制御により強制的な研削を行い、仕上げ研削を行う場合
にはスピンドル側部とＮＣ駆動側部とのロックを解除し
て弾性体で該スピンドル側部を仕上げ研削用カッタに軽
く押圧してワークを適宜逃がしながら該仕上研削用カッ
タにより粗研削で生じた加工歪みを除去することによっ
て、粗研削用の従来のワーク外周面研削装置を用いて、
単にカッタを仕上げ研削用のものに交換するだけでＮＣ
制御による粗研削で生じたワーク外周面（オリエンテー
ションフラットを含む）の比較的大きな加工歪みを１／
２程度に軽減できるようにして、短時間でしかも非常に
低コストで加工歪みのほとんどないウェーハを提供でき
るようにし、またこれによって非常にコストの高い仕上
げ研削専用の装置を不要とし、設備費の大幅な低減を図
ることである。

【００１１】また他の目的は、円柱形の細いカッタを回
転させてその外周により円板状のワークのノッチ部を数
値制御により研削するワークノッチ部の研削方法におい
て、カッタ取付台をカッタを回転させるスピンドル側部
と通常は移動しないように構成された固定側部とに分割
してロック装置により該スピンドル側部と該固定側部と
をロックしたときにはカッタ取付台は一体となりスピン
ドル側部と前記固定側部とのロックを解除したときには
カッタ取付台はスピンドル側部が固定側部に対してワー
クに接近又は離脱する方向に一定の範囲で摺動自在とな
りかつワークに接近する方向に弾性体により押圧付勢さ
れるようにしておき、粗研削を行う場合にはスピンドル
側部と固定側部とをロックして数値制御により強制的な
研削を行い、仕上げ研削を行う場合にはスピンドル側部
と固定側部とのロックを解除して弾性体で該スピンドル
側部をワークに軽く押圧して仕上研削用カッタを適宜逃
がしながら該カッタにより粗研削で生じた加工歪みを除
去することによって、粗研削用の従来のワーク外周面研
削装置を用いて、単にカッタを仕上げ研削用のものに交
換するだけでＮＣ制御による粗研削で生じたワークノッ
チ部の比較的大きな加工歪みを１／２程度に軽減できる
ようにして、短時間でしかも非常に低コストで加工歪み
のほとんどないノッチ部を有するウェーハを提供できる
ようにし、またこれによって非常にコストの高いノッチ
部の仕上げ研削専用の装置を不要とし、設備費の大幅な
低減を図ることである。

【００１２】また他の目的は、円形のカッタを回転させ
てその外周により円板状のワークの外周面を数値制御に
より研削するワーク外周面の研削装置において、ワーク
を固定して数値制御により回転及び直進の２軸制御され
るワーク取付台と、該ワーク取付台をワークを回転させ
るスピンドル側部と数値制御により直進往復動するＮＣ
駆動側部とに分割するように構成された分割機構と、該
分割機構のスピンドル側部とＮＣ駆動側部とをロックし
又は該ロックを解除できるようにしたロック機構と、該
ロック機構によるロックを解除したときのスピンドル側
部とＮＣ駆動側部との相対移動可能範囲を設定し得るス
トッパ機構と、スピンドル側部をカッタに対して押圧付
勢する弾性体とを備えることによって、単にカッタを交
換するだけで同一のワーク取付台を用いて粗研削と仕上
げ研削とを行うことができるようにすることであり、ま
たこの２種類の研削加工をμｍオーダで極く精度が高く
加工歪み及び表面アラサの小さい加工を可能とし、高精
度の外周面及びオリエンテーションフラットを持つウェ
ーハの製造を安価な装置により可能とすることである。

【００１３】更に他の目的は、円柱形の細いカッタを回
転させてその外周により円板状のワークのノッチ部を数
値制御により研削するワークノッチ部の研削装置におい
て、カッタを固定して通常は動かないように固定された
カッタ取付台と、該カッタ取付台をカッタを回転させる
スピンドル側部と通常は動かないように固定された固定
側部とに分割するように構成された分割機構と、該分割
機構のスピンドル側部と固定側部とをロックし又は該ロ
ックを解除できるようにしたロック機構と、該ロック機
構によるロックを解除したときのスピンドル側部と前記
固定側部との相対移動可能範囲を設定し得るストッパ機
構と、スピンドル側部をワークに対して押圧付勢する弾
性体とを備えることによって、単にノッチ部研削用のカ
ッタを交換するだけで同一のカッタ取付台を用いて粗研
削と仕上げ研削とを行うことができるようにすることで
あり、またこの２種類の研削加工をμｍオーダで極く精
度が高く加工歪み及び表面アラサの小さい加工を可能と
し、高精度のノッチ部を持つウェーハの製造を安価な装
置により可能とすることである。

【００１４】また他の目的は、スピンドル側部押圧用の
弾性体にガススプリングを用いることによって、ガスの
圧力を変えるだけで簡単にスピンドル側部の押圧力を変
化させることができるようにすることであり、またこれ
によって理想的な押圧付勢力でスピンドル側部を押圧し
て仕上げ研削加工を行うことができるようして加工歪み
を最も効率よく除去できるようにすることである。

【００１５】更に他の目的は、スピンドル側部押圧用の
弾性体にコイルスプリングを用いることによって、スプ
リングの圧縮量をロックナット等により変えるだけで簡
単にスピンドル側部の押圧力を変化させることができる
ようにすることであり、またこれによって理想的な押圧
付勢力でスピンドル側部を押圧して仕上げ研削加工を行
うことができるようして加工歪みを最も効率よく、また
簡単な構造で安価に除去できるようにすることである。

【００１６】また他の目的は、ストッパ装置にマイクロ
メータを使用することによって、スピンドル側部のロッ
クを解除してのフローティング状態にした場合におい
て、該スピンドル側部の移動可能範囲をμｍのオーダで
正確に設定できるようにし、非常に高精度でウェーハの
外周面又はノッチ部の仕上げ加工ができるようにし、最
も効率的に粗研削における加工歪みを所望の量だけ除去
できるようにすることである。

【００１７】また他の目的は、分割装置には、スピンド
ル側部と前記固定側部との位置決めを正確に行うための
テーパピンと該テーパピンと係合するテーパ穴とからな
る位置決め機構を配設することによって、スピンドル側
部とＮＣ駆動側部又はスピンドル側部と固定側部とをロ
ック装置によりロックした粗研削の場合の各部の精度を
分割装置のない装置と同様に高精度に維持できるように
し、従来の粗研削専用の装置と何ら遜色なく使用できる
ようにすることである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】要するに本発明方法（請
求項１）は、円形のカッタ又は円柱形の細いカッタを回
転させてその外周により円板状のワークの外周面又はノ
ッチ部を数値制御により研削するワーク外周面又はワー
クノッチ部の研削方法において、ワーク取付台及び前記
カッタのいずれか一方を、弾性体により互いに接近する
方向に押圧付勢しながら互いに接近又は離脱する方向に
わずかに摺動自在に構成し、粗研削の場合には前記カッ
タ及び前記ワーク取付台の双方を前記摺動ができないよ
うに固定して研削を行うと共に、仕上げ研削の場合には
前記カッタ及び前記ワーク取付台のいずれか一方を摺動
自在として前記ワークを前記カッタに軽く押圧しながら
研削を行い、前記粗研削で生じた加工歪みを前記仕上げ
研削で除去することを特徴とするものである。

【００１９】また本発明方法（請求項２）は、円形のカ
ッタを回転させてその外周により円板状のワークの外周
面を数値制御により研削するワーク外周面の研削方法に
おいて、ワーク取付台を前記ワークを回転させるスピン
ドル側部と数値制御により直進往復動するＮＣ駆動側部
とに分割してロック機構により該スピンドル側部と該Ｎ
Ｃ駆動側部とをロックしたときには前記ワーク取付台は
一体となり前記スピンドル側部と前記ＮＣ駆動側部との
ロックを解除したときには前記ワーク取付台は前記スピ
ンドル側部が前記ＮＣ駆動側部に対して前記カッタに接
近又は離脱する方向に一定の範囲で摺動自在となりかつ
前記カッタに接近する方向に弾性体により押圧付勢され
るようにしておき、前記カッタにより前記ワークの粗研
削を行う場合には前記スピンドル側部と前記ＮＣ駆動側
部とをロックして数値制御により強制的な研削を行い、
仕上げ研削を行う場合には前記スピンドル側部と前記Ｎ
Ｃ駆動側部とのロックを解除して前記弾性体で該スピン
ドル側部を仕上げ研削用カッタに軽く押圧して前記ワー
クを適宜逃がしながら該仕上研削用カッタにより前記粗
研削で生じた加工歪みを除去することを特徴とするもの
である。

【００２０】また本発明方法（請求項３）は、円柱形の
細いカッタを回転させてその外周により円板状のワーク
のノッチ部を数値制御により研削するワークノッチ部の
研削方法において、カッタ取付台を前記カッタを回転さ
せるスピンドル側部と通常は移動しないように構成され
た固定側部とに分割してロック機構により該スピンドル
側部と該固定側部とをロックしたときには前記カッタ取
付台は一体となり前記スピンドル側部と前記固定側部と
のロックを解除したときには前記カッタ取付台は前記ス
ピンドル側部が前記固定側部に対して前記ワークに接近
又は離脱する方向に一定の範囲で摺動自在となりかつ前
記ワークに接近する方向に弾性体により押圧付勢される
ようにしておき、粗研削を行う場合には前記スピンドル
側部と前記固定側部とをロックして数値制御により強制
的な研削を行い、仕上げ研削を行う場合には前記スピン
ドル側部と前記固定側部とのロックを解除して前記弾性
体で該スピンドル側部を前記ワークに軽く押圧して仕上
研削用カッタを適宜逃がしながら該カッタにより前記粗
研削で生じた加工歪みを除去することを特徴とするもの
である。

【００２１】また本発明装置（請求項５）は、円形のカ
ッタ又は円柱形の細いカッタを回転させてその外周によ
り円板状のワークの外周面又はノッチ部を数値制御によ
り研削するワーク外周面又はワークノッチ部の研削装置
において、ワーク取付台及び前記カッタのいずれか一方
を、弾性体により互いに接近する方向に押圧付勢しなが
ら互いに接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在に構
成すると共に、該摺動ができないように固定するロック
機構を設け、粗研削の場合には前記カッタ及び前記ワー
ク取付台の双方を前記ロック機構により前記摺動ができ
ないように固定して研削を行うと共に、仕上げ研削の場
合には前記カッタ及び前記ワーク取付台のいずれか一方
を摺動自在として前記ワークを前記カッタに軽く押圧し
ながら研削を行い、前記粗研削で生じた加工歪みを前記
仕上げ研削で除去するように構成したことを特徴とする
ものである。

【００２２】また本発明装置（請求項６）は、円形のカ
ッタを回転させてその外周により円板状のワークの外周
面を数値制御により研削するワーク外周面の研削装置に
おいて、ワークを固定して数値制御により回転及び直進
の２軸制御されるワーク取付台と、該ワーク取付台を前
記ワークを回転させるスピンドル側部と数値制御により
直進往復動するＮＣ駆動側部とに分割するように構成さ
れた分割機構と、該分割機構の前記スピンドル側部と前
記ＮＣ駆動側部とをロックし又は該ロックを解除できる
ようにしたロック機構と、該ロック機構によるロックを
解除したときの前記スピンドル側部と前記ＮＣ駆動側部
との相対移動可能範囲を設定し得るストッパ機構と、前
記スピンドル側部を前記カッタに対して押圧付勢する弾
性体とを備え、前記カッタにより前記ワークの粗研削を
行う場合には前記スピンドル側部と前記ＮＣ駆動側部と
を前記ロック機構によりロックして数値制御により強制
的な研削を行い、仕上げ研削を行う場合には前記スピン
ドル側部と前記ＮＣ駆動側部とのロックを解除して前記
弾性体で該スピンドル側部を前記カッタに軽く押圧して
前記ワークを適宜逃がしながら仕上げ研削用カッタによ
り前記粗研削で生じた加工歪みを除去するように構成し
たことを特徴とするものである。

【００２３】また本発明装置（請求項７）は、円柱形の
細いカッタを回転させてその外周により円板状のワーク
のノッチ部を数値制御により研削するワークノッチ部の
研削装置において、カッタを固定して通常は動かないよ
うに固定されたカッタ取付台と、該カッタ取付台を前記
カッタを回転させるスピンドル側部と通常は動かないよ
うに固定された固定側部とに分割するように構成された
分割機構と、該分割機構の前記スピンドル側部と前記固
定側部とをロックし又は該ロックを解除できるようにし
たロック機構と、該ロック機構によるロックを解除した
ときの前記スピンドル側部と前記固定側部との相対移動
可能範囲を設定し得るストッパ機構と、前記スピンドル
側部を前記ワークに対して押圧付勢する弾性体とを備
え、前記カッタにより前記ワークの粗研削を行う場合に
は前記スピンドル側部と前記固定側部とをロックして数
値制御により強制的な研削を行い、仕上げ研削を行う場
合には前記スピンドル側部と前記固定側部とのロックを
解除して前記弾性体で該スピンドル側部を前記ワークに
軽く押圧して仕上げ研削用カッタを適宜逃がしながら該
カッタにより前記粗研削で生じた加工歪みを除去するよ
うに構成したことを特徴とするものである。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示す第１実施
例（弾性体についての）に基いて説明する。図１から図
５において、本発明に係るワーク外周面の研削装置２
は、ワーク取付台３と、分割機構４と、ロック機構５
と、ストッパ機構６と、弾性体の一例たるガススプリン
グ８とを備えている。また図１及び図２、図８から図１
１において、本発明のワークノッチ部の研削装置１２
は、カッタ取付台１３と、分割機構１４と、ロック機構
１５と、ストッパ機構１６と、弾性体の一例たるガスス
プリング１８とを備えている。

【００２５】まずワーク外周面の研削装置２について説
明すると、ワーク取付台３は、図１から図５並びに図１
４及び図１６に示すように、円形のカッタ１９を矢印Ｊ
の如く回転させてその外周１９ａにより円板状のワーク
１の外周面１ａを数値制御により研削するワーク外周面
の研削装置２の主要な部分であり、ワーク１を固定して
数値制御により回転及び直進の２軸制御されるように構
成されており、回転は回転駆動機構（回転サーボ機構）
２０により、直進は直進駆動機構（直進サーボ機構）２
１により夫々駆動されるように構成されている。

【００２６】回転駆動機構２０は、図２に示すように、
スピンドル２２に固定されたサーボモータの一例たるＤ
Ｃサーボモータ２３の回転軸２４に、継手２５を介して
駆動軸２６が連結され、該駆動軸は軸受２８を介してス
ピンドル２２に回動自在に支承され、駆動軸２６の大径
部２６ａは、複数のシール部材２９を介してスピンドル
２２に回動自在に支持され、該大径部の中央には垂直及
び水平方向に連通した空気吸引穴２６ｂが貫通形成さ
れ、該空気吸引穴に連通する溝２６ｃが大径部２６ａの
外周面２６ｄに形成され、該溝２６ｃにエアポート３０
が連通接続され、該エアポートは外部の真空ポンプ等の
真空源（図示せず）に連通接続されており、該真空源か
ら空気が吸引されるようになっている。

【００２７】駆動軸２６の上端にはフランジ部２６ｃが
形成され、該フランジ部に回転板３１の座ぐり部３１ａ
が嵌合し、その上からワーク吸着板３３が複数のねじ３
４により回転板３１と共締めされてフランジ部２６ｃに
固定されており、ワーク吸着板３３には空気吸引穴２６
ｂに連通する空気吸引穴３３ｂが形成されている。ワー
ク吸着板３３には、複数の空気吸引溝３３ａが同心円状
及び縦横に互いに連通しながら空気吸引穴３３ｂに連通
して形成され、空気吸引穴３３ｂからの負圧がワーク１
の下面１ｃ全体に均一に作用するようになっており、ワ
ーク１が吸引中に割れたりするのを防止するように構成
されている。

【００２８】図１から図４において、スピンドル２２の
段部２２ａには、分割機構４の一部をなす四角形の浮動
板３５が固定されており、該浮動板３５の下面３５ａの
両側には、複数のボール３６を内蔵した２つのリニアガ
イド３８の移動側ガイド３９が夫々固定されている。

【００２９】そしてＤＣサーボモータ２３、その回転軸
２４、継手２５、駆動軸２６、回転板３１、ワーク吸着
板３３、浮動板３５及び移動側ガイド３８ａが一体とな
ってスピンドル側部４０を構成しており、該スピンドル
側部４０がカッタ１９に接近し又は離脱する方向（以下
Ｙ方向又はＹ軸方向という）に一定範囲（例えば５０μ
ｍ位の範囲）内でＮＣ駆動側部４１に対して相対的に移
動可能に構成されている。

【００３０】図２において、分割機構４は、ワーク取付
台３をワーク１を回転させるスピンドル側部４０と数値
制御により直進往復動するＮＣ駆動側部４１とに分割す
るように構成したものであって、浮動板３５と、リニア
ガイド３８と、四角形の固定板４２とから構成されてお
り、リニアガイド３８の固定側ガイド３８ｂは固定板４
２に固定され、固定板４２はＮＣ駆動側部４１の一部で
あるリニアスライダ４３に固定されている。

【００３１】リニアスライダ４３は、直進駆動用のサー
ボモータの一例たるＤＣサーボモータ（図示せず）の回
転軸（図示せず）に連結された送りねじ４４に螺合した
ナット４５に固定されている。そしてコンピュータ（図
示せず）により数値制御されて直進駆動用のＤＣサーボ
モータにより、リニアスライダ４３を含むＮＣ駆動側部
４１をガイドレール４６に沿ってＹ方向に直進往復動さ
せるように構成されている。即ち、リニアガイド３８の
固定側ガイド３８ｂ、固定板４２、リニアスライダ４３
及びナット４５が一体となってＮＣ駆動側部４１を構成
している。

【００３２】ロック機構５は、分割機構４で分割された
スピンドル側部４０とＮＣ駆動側部４１とをロックし又
は該ロックを解除できるようにしたものであって、分割
機構４の両側に２個配設され、浮動板３５と固定板４２
の位置決め機構４７を構成しており、固定板４２に固定
されたブラケット４８にエアシリンダ４９が固定され、
該エアシリンダのピストンロッド５０のおねじ部５０ａ
がかぎ形のロック部材５１のめねじ５１ａに螺合し、ロ
ックナット５３により位置決め固定されている。

【００３３】ロック部材５１は、下水平部５１ｂ、これ
に連続形成された垂直部５１ｃ及びこれに連続形成され
た上水平部５１ｄからなり、上水平部５１ｄには、下向
きに次第に細くなるように形成されたテーパ部５２ａ
と、つば部５２ｂと、軸部５２ｃとからなる位置決め用
テーパピン５２が圧入されて固着されており、エアシリ
ンダ４９の作動により２本のテーパピン５２のテーパ部
５２ａが、浮動板３５に形成された２個のテーパ穴３５
ｂに矢印Ａの如く強く嵌合することによって浮動板３５
は固定板４２に一体的に固定され、矢印Ｂの如く抜け出
ることによって浮動板３５が固定板４２と分割され、ス
ピンドル側部４０がＮＣ駆動側部４１に対して浮動状態
となるように構成されている。

【００３４】ストッパ機構６は、ロック機構５によるロ
ックを解除したときのスピンドル側部４０とＮＣ駆動側
部４１との相対移動可能範囲（５０μｍ位）を設定し得
るようにしたものであって、固定板４２のＹ方向の両側
に２個配設されており、固定板４２に固着されたブラケ
ット５５にマイクロメータ５６のスピンドル５６ａが固
定され、つまみ５６ｂを回転させることによって、測定
子５６ｃが回転しながら軸方向に正確に移動するように
なっており、測定子５６ｃの位置によって浮動板３５の
移動量が規制されるようになっている。マイクロメータ
５６の測定子５６ｃが当たる浮動板３５の位置には、ボ
ール５８を回動自在に内蔵した板部材５９が夫々固着さ
れており、該ボールに測定子５６ｃが当接してμｍのオ
ーダで正確な移動量の設定ができるようになっている。

【００３５】弾性体の一例たるガススプリング８は、ス
ピンドル側部４０をカッタ１９に対して押圧付勢するた
めのものであって、固定板４２に固着されたブラケット
６０にシリンダ８ａが固定されており、ピストンロッド
である押圧子８ｂが浮動板３５のＹ方向の側面３５ｂを
カッタ１９に向けて押圧付勢するようになっており、そ
の押圧力（約０．４９Ｎ＝５０ｇｆ）は、ガススプリン
グ８の仕様により所定圧力のものを選定して使用しても
よく、またエアポート８ｃを有する可変圧力式のものの
場合には、エアポート８ｃから供給される空気の圧力に
よって任意に押圧力を調節できることになる。

【００３６】図５において、研削が行われない自由状態
においては、ガススプリング８の押圧子８ｂにより浮動
板３５が矢印Ｃ方向に押圧されて、浮動板３５は図中左
側のマイクロメータ５６の測定子５６ｃに当接し、右側
のマイクロメータ５６の測定子５６ｃと浮動板３５のボ
ール５８との間には浮動板３５が研削時の加工反力によ
って逃げるための隙間Ｓが形成され、研削時にはその加
工反力により浮動板３５がガススプリング８の付勢力に
抗して図中矢印Ｄ方向に移動し、右側のマイクロメータ
５６の測定子５６ｃにボール５８が当接するまでの間、
即ち隙間Ｓの分（５０μｍ位）だけ逃げることができ、
この間に過度の加工反力を吸収できるようになってい
る。

【００３７】そしてカッタ１９によりワーク１の粗研削
を行う場合には、スピンドル側部４０とＮＣ駆動側部４
１とを位置決め機構４７を介してロック機構５によりロ
ックして数値制御により強制的な研削を行い、仕上げ研
削を行う場合にはスピンドル側部４０とＮＣ駆動側部４
１とのロックを解除してガススプリング８でスピンドル
側部４０をカッタ１９に軽く押圧してワーク１を適宜逃
がしながら仕上げ研削用カッタ１９により粗研削で生じ
たクラック１ｂ等の加工歪みを除去するように構成され
ている。

【００３８】次に、ワークノッチ部の研削装置１２につ
いて説明すると、図１、図２及び図８から図１１におい
て、前述のようにワークノッチ部の研削装置１２は、カ
ッタ取付台１３と、分割機構１４と、ロック機構１５
と、ストッパ機構１６と、弾性体の一例たるガススプリ
ング１８とを備えている。

【００３９】図１において、カッタ取付台１３は、円柱
形の細いカッタ６９を矢印Ｊの如く回転させてその外周
６９ａにより円板状のワーク１のノッチ部１ｄを数値制
御により研削するワークノッチ部の研削装置１２の主要
部をなすものであって、カッタ６９を固定して通常は動
かないように固定されたもので、該カッタ６９を上下動
させる場合にのみカッタ取付台１３が上下動する構造と
なっている。

【００４０】図１において、カッタ取付台１３を支持す
る固定板７２は、カッタ１９のカッタ取付台７３から延
設された２本の腕７３ａに固着されており、該カッタ取
付台７３にはカッタ１９のスピンドル７４が固定され、
カッタ１９の駆動軸８６が回動自在に支承され、該駆動
軸の上端にはプーリ７６が固定され、該プーリには電動
モータ（図示せず）により駆動される平ベルト７７が巻
き掛けられて高速で回転駆動されるように構成されてい
る。なお、カッタ取付台７３は、機枠７９に固着された
２本のガイドレール７５に上下方向に摺動自在に係合し
た４個のリニアスライダ７８に固着されており、カッタ
１９による研削箇所の変更により上下方向の駆動源（図
示せず）により駆動されて上下動可能に構成されてい
る。

【００４１】分割機構１４は、図１、図２及び図８から
図１１において、カッタ取付台１３をカッタ６９を回転
させるスピンドル側部７０と、通常は動かないように固
定された固定側部７１とに分割するように構成したもの
で、固定板７２と、スピンドル９４が固定された浮動板
８５と、リニアガイド８８とから構成されており、ボー
ル８６を内蔵し、固定側ガイド８８ａと浮動側ガイド８
８ｂとからなるリニアガイド８８の固定側ガイド８８ａ
は固定板７２に固定され、固定板７２はカッタ取付台７
３と一体の腕７３ａに固定されている。固定板７２に
は、その中央に大径の長穴７２ａがあけられ、空気圧で
駆動されるスピンドル９４が十分な余裕をもって貫通し
得るようになっている。

【００４２】ロック機構１５は、図１０において、分割
機構１４のスピンドル側部７０と固定側部７１とをロッ
クし又は該ロックを解除できるようにしたものであっ
て、分割機構１４の両側に２個配設されており、浮動板
８５と固定板７２の位置決め機構９７を構成しており、
固定板７２に固定されたブラケット９６にエアシリンダ
９９が固定され、該エアシリンダのピストンロッド１０
０のおねじ部１００ａがかぎ形のロック部材９８のめね
じ９８ａに螺合し、ロックナット１０３により位置決め
固定されている。

【００４３】ロック部材９８は、図１０において、上水
平部９８ｂ、これに連続形成された垂直部９８ｃ及びこ
れに連続形成された下水平部９８ｄからなり、下水平部
９８ｄには、上向きに次第に細くなるように形成された
テーパ部１０２ａと、つば部１０２ｂと、軸部１０２ｃ
とからなる位置決め用テーパピン１０２が圧入されて固
着されており、エアシリンダ９９の作動により２本のテ
ーパピン１０２のテーパ部１０２ａが、浮動板８５に形
成された２個のテーパ穴８５ｂに矢印Ｅの如く強く嵌合
することによって浮動板８５は固定板７２に一体的に固
定され、矢印Ｆの如く抜け出ることによって浮動板８５
が固定板７２と分割され、スピンドル側部７０が固定側
部７１に対して浮動状態となるように構成されている。

【００４４】ストッパ機構１６は、図８、図９及び図１
１において、ロック機構１５によるロックを解除したと
きのスピンドル側部７０と固定側部７１との相対移動可
能範囲を設定し得るようにしたものであって、固定板７
２のＹ方向の両側に２個配設されており、固定板７２に
固着されたブラケット１０５にマイクロメータ５６のス
ピンドル５６ａが固定され、つまみ５６ｂを回転させる
ことによって、測定子５６ｃが回転しながら軸方向に正
確に移動するようになっており、測定子５６ｃの位置に
よって浮動板８５の移動量（５０μｍ位）が規制される
ようになっている。マイクロメータ５６の測定子５６ｃ
が当たる浮動板８５の位置には、ボール５８を回動自在
に内蔵した板部材１０９が夫々固着されており、該ボー
ルに測定子５６ｃが当接してμｍのオーダで正確な移動
量の設定ができるようになっている。

【００４５】弾性体の一例たるガススプリング１８は、
スピンドル側部７０をワーク１に対して押圧付勢するた
めのものであって、固定板７２に固着されたブラケット
１１０にシリンダ１８ａが固定され、ピストンロッドで
ある押圧子１８ｂが浮動板８５のＹ方向の側面８５ｂを
ワーク１に向けて押圧付勢するようになっており、その
押圧力（約０．４９Ｎ＝５０ｇｆ）は、ガススプリング
１８の仕様により所定圧力のものを選定して使用しても
よく、またエアポート１８ｃを有する可変圧力式のもの
の場合には、エアポート１８ｃから供給される空気の圧
力によって任意に押圧力を調節できることになる。

【００４６】図８において、研削が行われない自由状態
においては、ガススプリング１８の押圧子１８ｂにより
浮動板８５が矢印Ｇ方向に押圧されて、浮動板８５は図
中右側のマイクロメータ５６の測定子５６ｃに当接し、
左側のマイクロメータ５６の測定子５６ｃと浮動板３５
のボール５８との間には浮動板８５が研削時の加工反力
によって逃げるための隙間Ｓが形成され、研削時にはそ
の加工反力により浮動板８５がガススプリング１８の付
勢力に抗して図中矢印Ｈ方向に移動し、左側のマイクロ
メータ５６の測定子５６ｃにボール５８が当接するまで
の間、即ち隙間Ｓの分（５０μｍ位）だけ逃げることが
でき、この間に過度の加工反力を吸収できるようになっ
ている。

【００４７】そしてカッタ６９によりワーク１の粗研削
を行う場合には、スピンドル側部７０と固定側部７１と
をロック機構１５及び位置決め機構９７によりロックし
て数値制御により強制的な研削を行い、仕上げ研削を行
う場合にはスピンドル側部７０と固定側部７１とのロッ
クを解除してガススプリング１８でスピンドル側部７０
をワーク１に軽く押圧してカッタ６９を適宜逃がしなが
ら仕上げ研削用カッタ６９により粗研削で生じたクラッ
ク１ｂ等の加工歪みを除去するように構成されている。

【００４８】次に、弾性体に関する本発明の第２実施例
について説明すると、図６及び図７において、弾性体に
はコイルスプリング６８が使用されており、コイルスプ
リング６８は、シリンダ６１内に収容され、該シリンダ
には、外周におねじ６１ａが形成され、内部にばね室６
１ｂを有し、穴６１ｃが形成されている。穴６１ｃには
押圧子６２が摺動自在に嵌合し、そのフランジ部６２ａ
でコイルスプリング６８の一端を受け、コイルスプリン
グ６８の他の一端には、ばね圧調節ねじ６３のフランジ
部６３ａが当接し、そのねじ部６３ｂはシリンダ６１の
ばね室６１ｂを塞ぐ蓋部材６６に形成されためねじ６６
ａに螺合し、蓋部材６６は止めねじ６７によりシリンダ
６１に固定され、ばね圧調節ねじ６３はロックナット６
４に位置決めされて蓋部材６６に固定されている。そし
てロックナット６４を弛めてばね圧調節ねじ６３を回転
させてロックナット６４を締め付けることで容易にコイ
ルスプリング６８のばね圧、即ちスピンドル側部４０に
対する付勢力を調節することができるようになってい
る。

【００４９】シリンダ６１をブラケット６０に取り付け
るには、シリンダ６１のおねじ６１ｃをブラケット６０
に螺着し、ロックナット６５により締め付ければよく、
これによって押圧子６２が浮動板３５に当接し、該浮動
板をカッタ１９に対して軽い力（０．４９Ｎ＝５０ｇｆ
位の力）で押圧付勢するようになっている。なお、この
コイルスプリング６８方式の弾性体は、ワーク外周面の
研削装置２及びワークノッチ部の研削装置１２の双方に
用いることができることは言うまでもない。その他の構
成は、第１実施例と同一であるので、同一の部分には図
面に同一の符号を付して説明を省略する。

【００５０】また上記第１実施例及び第２実施例におい
ては、円形のカッタ１９の部分を２分割して同様に仕上
げ研削する構成を示していないが、この部分に同様の分
割機構、ロック機構及びストッパ機構を設けてもよい。
しかしカッタ１９と一体に動く部分の重量は非常に大き
いので、ワーク１の外周面１ａを研削する場合には、ワ
ーク取付台３に分割機構、ロック機構及びストッパ機構
を設けて、この部分を仕上げ研削の場合に摺動自在とし
た方がやはり有利である。

【００５１】そして本発明に係るワーク外周面又はワー
クノッチ部の研削方法（請求項１）は、円形のカッタ１
９又は円柱形の細いカッタ６９を回転させてその外周１
９ａ，６９ａにより円板状のワーク１の外周面１ａ又は
ノッチ部１ｄを数値制御により研削するワーク外周面又
はワークノッチ部の研削方法において、ワーク取付台３
及び前記カッタ１９，６９のいずれか一方を、弾性体
（一例としてガススプリング８，１８又はコイルスプリ
ング６８）により互いに接近する方向に押圧付勢しなが
ら互いに接近又は離脱する方向にわずかに摺動自在に構
成し、粗研削の場合には前記カッタ１９，６９及び前記
ワーク取付台３の双方を前記摺動ができないように固定
して研削を行うと共に、仕上げ研削の場合には前記カッ
タ１９．６９及び前記ワーク取付台３のいずれか一方を
摺動自在として前記ワーク１を前記カッタ１９，６９に
軽く押圧しながら研削を行い、前記粗研削で生じた加工
歪みを前記仕上げ研削で除去する方法である。

【００５２】また本発明に係るワーク外周面の研削方法
（請求項２）は、円形のカッタ１９を回転させてその外
周１９ａにより円板状のワーク１の外周面１ａを数値制
御により研削するワーク外周面の研削方法において、ワ
ーク取付台３をワーク１を回転させるスピンドル側部４
０と数値制御により直進往復動するＮＣ駆動側部４１と
に分割してロック機構５により該スピンドル側部４０と
該ＮＣ駆動側部４１とをロックしたときにはワーク取付
台３は一体となりスピンドル側部４０とＮＣ駆動側部４
１とのロックを解除したときにはワーク取付台３はスピ
ンドル側部４０がＮＣ駆動側部４１に対してカッタ１９
に接近又は離脱する方向に一定の範囲で摺動自在となり
かつカッタ１９に接近する方向に弾性体の一例たるガス
スプリング８により押圧付勢されるようにしておき、カ
ッタ１９によりワーク１の粗研削を行う場合にはスピン
ドル側部４０とＮＣ駆動側部４１とをロックして数値制
御により強制的な研削を行い、仕上げ研削を行う場合に
はスピンドル側部４０とＮＣ駆動側部４１とのロックを
解除してガススプリング８で該スピンドル側部４０を仕
上げ研削用カッタ１９に軽く押圧してワーク１を適宜逃
がしながら該仕上研削用カッタ１９により粗研削で生じ
た加工歪みを除去する方法である。

【００５３】また本発明に係るワークノッチ部の研削方
法（請求項３）は、円柱形の細いカッタ６９を回転させ
てその外周６９ａにより円板状のワーク１のノッチ部１
ｄを数値制御により研削するワークノッチ部の研削方法
において、カッタ取付台１３をカッタ６９を回転させる
スピンドル側部７０と通常は移動しないように構成され
た固定側部７１とに分割してロック機構１５により該ス
ピンドル側部７０と該固定側部７１とをロックしたとき
にはカッタ取付台１３は一体となりスピンドル側部７０
と固定側部７１とのロックを解除したときにはカッタ取
付台１３はスピンドル側部７０が固定側部７１に対して
ワーク１に接近又は離脱する方向に一定の範囲で摺動自
在となりかつワーク１に接近する方向に弾性体の一例た
るガススプリング１８により押圧付勢されるようにして
おき、粗研削を行う場合にはスピンドル側部７０と固定
側部７１とをロックして数値制御により強制的な研削を
行い、仕上げ研削を行う場合にはスピンドル側部７０と
固定側部７１とのロックを解除してガススプリング１８
で該スピンドル側部７０をワーク１に軽く押圧して仕上
研削用カッタ６９を適宜逃がしながら該カッタ６９によ
り粗研削で生じた加工歪みを除去する方法である。

【００５４】本発明は、上記のように構成されており、
以下その作用について説明する。まずワーク外周面の研
削装置２の作用について説明すると、該ワーク外周面の
研削装置２は、図１から図５及び図１４において、円板
状のカッタ１９を用いて、ワーク１のオリエンテーショ
ンフラットＯＦを含む外周面１ａの研削を行うための装
置であって、ノッチ部１ｄ（図１４）の研削は行わな
い。まず粗研削を行う場合について説明すると、研削を
行うに当たっては、まずワーク１をワーク取付台３のワ
ーク吸着板３３に載置し、芯出し作業を行ってから、真
空源からの負圧により空気吸引穴３３ｂから空気を吸引
してワーク１を適度の力でワーク吸着板３３に固定す
る。

【００５５】この場合、図５及び図１４において、分割
機構４及び位置決め機構４７は、ロック機構５が作動状
態となり、エアシリンダ４９が作動して、ロック部材５
１が矢印Ａの如く下方に引かれてテーパピン５２のテー
パ部５２ａが浮動板３５のテーパ穴３５ｂに強く係合
し、浮動板３５と固定板４２とを一体的に結合させてい
る。このためスピンドル側部４０とＮＣ駆動側部４１と
は一体となり、分割機構４が存在しない場合と同じ状態
になっている。

【００５６】従って、コンピュータ（図示せず）制御に
よりＤＣサーボモータ（図示せず）我回転して、直進サ
ーボ機構により送りねじ４４が回転すると、ワーク取付
台３は、そのスピンドル側部４０とＮＣ駆動側部４１と
が一体となってＹ軸方向に移動し、ワーク１を載置した
状態でカッタ１９に対して早送りで接近し、該カッタに
接近すると、低速で移動し、コンピュータ制御による回
転サーボ機構が作動して、ＤＣサーボモータ２３がゆっ
くりと矢印θ（θ軸）の如く回転を開始する。一方カッ
タ１９は、粗研削を行うため、ダイヤモンドの砥粒の大
きい♯８００から♯１５００のものが用いられ、高速度
で回転を開始する。

【００５７】ワーク１がシリコンウェーハである場合に
は、カッタ１９の研削速度は約１３００ｍ／ｍｉｎの如
く高速で回転する。またカッタ１９のスピンドル７４は
その使用状態においては単に回転するのみで、Ｘ軸（Ｙ
軸と直角）方向にもＹ軸方向にも全く移動しない。ただ
しワーク１の外周面１ａの上側のエッジ部と下側のエッ
ジ部と厚さ方向の中央の外周を研削するのに、上下動さ
せてカッタ１９の研削に使用する部分を変更するときの
みカッタ取付台７３が上下動して適宜な位置にカッタ１
９を移動させて固定し、必要に応じた研削を行う。

【００５８】ワーク１の回転角θは、コンピュータにフ
ィードバックされて予め該コンピュータに記憶された関
数Ｌ＝ｆ（θ）（Ｌは、カッタ１９の中心とワーク１の
中心間の距離）の演算がなされ、回転角θに対する適正
な距離Ｌが演算され、該演算結果ガ制御信号として直進
サーボ機構のＤＣサーボモータに送出される。すると該
ＤＣサーボモータが回転してワーク取付台３はＹ軸に沿
って移動を開始し、ワーク１はカッタ１９に対して急速
に接近し、カッタ１９に対しては接触する直前にコンピ
ュータによりＤＣサーボモータの回転速度が遅くなって
静かにカッタ１９の外周１９ａにワーク１の外周面１ａ
が接触して研削が開始される。

【００５９】そしてワーク１は回転サーボ機構によって
少しずつ回転し、その回転角θがコンピュータにフィー
ドバックされて刻々距離Ｌが演算され、該演算結果の制
御信号が直進サーボ機構のＤＣサーボモータに送出され
て送りねじ４４が正確に回転し、距離Ｌが刻々変化し、
まずワーク１のオリエンテーションフラットＯＦの図中
右側（時計方向側）の円弧部の研削加工が行われ、次い
でオリエンテーションフラットＯＦの直線部の研削加工
が行われ、最後にオリエンテーションフラットＯＦの図
中左側（反時計方向側）の円弧部の研削加工が行われて
加工が完了する。

【００６０】このようにしてワーク１はカッタ１９に対
して必要に応じて接近し、又はこれから遠ざかることに
よってオリエンテーションフラットＯＦ及びその両端の
小さな円弧部が設計通りに、しかも正確に研削加工され
ることになる。そしてＹ軸方向の直進往復移動とワーク
１の回転角θの２軸制御のみによって複雑な形状のオリ
エンテーションフラットＯＦ及びその両端の円弧部を研
削加工することができる。

【００６１】しかしこの粗研削においては、図１２に細
かい斜線で示すように、ワーク１の外周面１ａを相当大
きな削り代１ｅを以て研削し、またＮＣ駆動により強制
的に研削加工が行われ、カッタ１９が加工反力により逃
げるということが全くないため、図１５及び図１８に示
すような比較的深さδの大きなクラック１ｂの加工歪み
がワーク１の外周面１ａに発生するのが不可避である。
この加工歪みは、ワーク１の外周面１ａに形成される凹
凸の凹部に当たる部分であるが、実際には図示のような
小さなクラック１ｂとして発生するものである。粗研削
終了後のこのクラック１ｂの深さδを指数１００とした
場合に、本発明ワーク外周面の研削装置２では、♯３０
００の仕上げ研削用カッタ１９を用いて仕上げ研削を行
うことによって、これを指数５０以下程度まで小さくで
きるようにしたものである。

【００６２】そこで本発明ワーク外周面の研削装置２の
仕上げ研削について説明すると、ワーク１はワーク吸着
板３３に固定したまま、カッタ１９を♯３０００の仕上
げ研削用カッタ１９に交換し、ロック機構５のエアシリ
ンダ４９を作動させてそのピストンロッド５０を、図５
及び図１６に示すように、上方に突出させ、ロック部材
５１を矢印Ｂ方向に上昇させ、テーパピン５２のテーパ
部５２ａを浮動板３５のテーパ穴３５ｂから引き抜く。
これによって、分割機構４が作動状態となり、浮動板３
５は固定板４２に対して矢印Ｃ，Ｄの如くストッパ機構
６により定まる所定の隙間Ｓだけ自由に移動できる状態
となるが、ガススプリング８が浮動板３５を矢印Ｃ方向
に押圧付勢しているので、図５に示すように、ニリアガ
イド３８の浮動側ガイド３８ａが固定側ガイド９８ｂに
対して相対的に移動して浮動板３５は、カッタ１９側の
マイクロメータ５６の測定子５６ｃに当接している。

【００６３】この状態で、上記と同様にしてＮＣ制御に
よりワーク取付台３がワーク１を載置してカッタ１９に
接近し、仕上げ研削が行われる。この仕上げ研削は、図
１３に細かい斜線で示す小さな削り代１ｆを研削するこ
とによって、粗研削で生じた加工歪み、クラック１ｂの
深さδを１／２程度まで除去するために行うものであ
る。

【００６４】仕上げ研削が開始されると、ワーク１は分
割機構４によって、ワーク取付台３がスピンドル側部４
０と、ＮＣ駆動側部４１とに分割されていて、浮動板３
５が固定板４２に対して浮動状態であるため、ワーク１
がＮＣ駆動側部からの力によってカッタ１９に強制的に
押し付けられたとしても、加工反力がガススプリング８
の付勢力より大きいときには、ワーク１はカッタ１９か
ら逃げることができるため、ワーク１に無理な力がかか
らない。この状態は、従来の倣いマスタ方式のワーク外
周面の研削と同様の状態である。従って、♯３０００の
仕上げ研削用のカッタ１９の使用が可能であり、またこ
のカッタによって、非常に精度の高い仕上げ研削を行う
ことができる。そして加工歪みであるクラック１ｂの深
さδを、図１７及び図１９に示すように、指数にして５
０以下まで除去することができ、１台の装置でバフ仕上
げ装置と同様の作業まで完了させることができ、半導体
ウェーハのエッジ研削を飛躍的に能率化することが可能
となる。

【００６５】また浮動板３５の固定板４２に対する移動
量、即ち隙間Ｓは、ストッパ機構１６である２つのマイ
クロメータ５６の測定子５６ｃをつまみ５６ｂを適宜回
転させて移動させることにより簡単にμｍの精度で調節
することができる。またガススプリング８の付勢力もそ
の仕様を変更することにより、又は外部からの空気の圧
力を調節することにより容易に調節することが可能であ
る。

【００６６】また図６及び図７において、弾性体の第２
実施例であるコイルスプリング６８を使用した場合に
は、ロックナット６４を弛めてばね圧調節ねじ６３を適
宜調節することにより、コイルスプリング６８の付勢力
を容易に調節することができる。

【００６７】なお、この弾性体はガススプリング８やコ
イルスプリング６８に限定されるものではなく、板ば
ね、皿ばね、ゴム又は合成樹脂等を用いることもでき
る。

【００６８】次に、本発明に係るワークノッチ部の研削
装置１２の作用について説明すると、ワーク取付台３の
方は、従来と全く同様に完全に固定式のものを用いても
よく、また上記ワーク外周面研削装置２の分割機構４を
ロック機構５により完全に固定状態として使用すること
もできる。

【００６９】図１の場合には、ワーク取付台３はロック
機構５がロック状態にして使用されるものである。従っ
て、浮動板３５と固定板４２は一体化されテーパピン５
２により非常に高い精度で一体のワーク取付台が形成さ
れている。

【００７０】これに対して、図１、図２及び図８から図
１１において、カッタ取付台１３は、ノッチ部１ｄの粗
研削の場合には、その分割機構１４が固定状態となり、
仕上げ研削の場合には浮動状態となって２種類の細いカ
ッタ６９により粗研削と仕上げ研削の２種類の研削が１
台の装置で行われる。従って、この装置の場合には、ワ
ーク１ではなく、カッタ６９を仕上げ研削で逃がすこと
によって、加工歪みを除去するものである。

【００７１】図１、図２及び図８から図１１において、
まずノッチ部１ｄの粗研削について説明すると、エアシ
リンダ９９が作動して、ロック機構１５のロック部材９
８をピストンロッド１００により矢印Ｅの如く上昇させ
て引き込み、テーパピン１０２のテーパ部１０２ａを強
く浮動板８５のテーパ穴８５ｂに係合させる。これによ
って浮動板８５は固定板７２に完全に位置決めされて固
定され、分割機構１４が存在しないのと同様の状態とな
る。

【００７２】そこで、図１４に示すように、ＮＣ制御に
よりワーク１が載置されたワーク取付台３をＹ軸に沿っ
てカッタ６９に接近させ、ノッチ部１ｄの所定の加工部
位からカッタ６９に接触させ、ワーク１をゆっくりと回
転させならその回転角θをコンピュータにフィトーバッ
クして、ノッチ部１ｄが設計通りの形状及び寸法に仕上
がるような、ワーク１の中心とカッタ６９の中心の距離
Ｌを演算により算出してワーク１をカッタ６９に対して
接近又は離脱させてノッチ部１ｄの研削を行う。これに
よってノッチ部１ｄの粗研削が完了する。

【００７３】この粗研削においては、外周面１ａの場合
と同様に、ノッチ部１ｄに指数にしてクラック１ｂの深
さδ＝１００の加工歪みが存在する。これを本発明に係
るワークノッチ部の研削装置１２により除去するもので
ある。

【００７４】即ち、同一のワークノッチ部の研削装置１
２を用いてノッチ部１ｄの仕上げ研削を行う場合につい
て説明すると、まず分割機構１４によりスピンドル側部
７０と固定側部７１とを分割して、スピンドル側部７０
を浮動状態にして仕上げ研削を行う。図１０に示すよう
に、まずロック機構１５のエアシリンダ９９を作動させ
てそのピストンロッド１００を下方に突出させてロック
部材９８を矢印Ｆの如く下降させ、テーパピン１０２の
テーパ部１０２ａを浮動板８５のテーパ穴８５から引き
抜く。これによって浮動板８５は、リニアガイド８８の
浮動側ガイド８８ｂが固定側ガイド８８ａに対して摺動
自在となり、スピンドル側部７０は固定側部７１に対し
て浮動状態となる。

【００７５】この浮動状態におけるスピンドル側部７０
の移動可能範囲は、ストッパ機構１６によって規制さ
れ、２個のマイクロメータ５６のつまみを回転させて測
定子５６ｃを移動させることにより、図３における浮動
板８５と図中左側のマイクロメータ５６の測定子５６ｃ
との隙間Ｓ（５０μｍ位）をμｍオーダの精度で自由に
調節することができる。またガススプリング１８は、そ
の押圧子１８ｂで浮動板８５を図中右方向に押圧付勢し
ているので、浮動板８５はボール５８が右側のマイクロ
メータ５６の測定子５６に当接して停止している。この
付勢力は適宜調節できるが、約０．４９Ｎ（＝５０ｇ
ｆ）位である。

【００７６】このような状態で、カッタ６９を仕上げ用
のカッタ、即ち♯３０００のカッタに交換して研削が開
始される。ワーク１がカッタ６９に接触して仕上げ研削
が開始されると、その加工反力によって、スピンドル側
部７０がガススプリング１８の付勢力に抗して逃げるた
め、無理な力がワーク１のノッチ部１ｄにかかることが
防止され、このような仕上げ研削を数回繰り返すことに
よって、クラック１ｂの深さδの指数１００の加工歪み
を指数５０以下まで低減させ、その半分以上を除去する
ことができる。これによって、１台の装置でノッチ部１
ｄの粗研削及び仕上げ研削を行うことができるから、非
常に高価なバフ仕上げ装置が不要となる。

【００７７】

【発明の効果】本発明は、上記のように円形のカッタを
回転させてその外周により円板状のワークの外周面を数
値制御により研削するワーク外周面の研削方法におい
て、ワーク取付台をワークを回転させるスピンドル側部
と数値制御により直進往復動するＮＣ駆動側部とに分割
してロック装置により該スピンドル側部と該ＮＣ駆動側
部とをロックしたときにはワーク取付台は一体となりス
ピンドル側部と前記ＮＣ駆動側部とのロックを解除した
ときにはワーク取付台はスピンドル側部がＮＣ駆動側部
に対してカッタに接近又は離脱する方向に一定の範囲で
摺動自在となりかつカッタに接近する方向に弾性体によ
り押圧付勢されるようにしておき、カッタによりワーク
の粗研削を行う場合にはスピンドル側部とＮＣ駆動側部
とをロックして数値制御により強制的な研削を行い、仕
上げ研削を行う場合にはスピンドル側部とＮＣ駆動側部
とのロックを解除して弾性体で該スピンドル側部を仕上
げ研削用カッタに軽く押圧してワークを適宜逃がしなが
ら該仕上研削用カッタにより粗研削で生じた加工歪みを
除去するようにしたので、粗研削用の従来のワーク外周
面研削装置を用いて、単にカッタを仕上げ研削用のもの
に交換するだけでＮＣ制御による粗研削で生じたワーク
外周面（オリエンテーションフラットを含む）の比較的
大きな加工歪みを１／２程度に軽減でき、短時間でしか
も非常に低コストで加工歪みのほとんどないウェーハを
提供できるる効果があり、またこの結果非常にコストの
高い仕上げ研削専用の装置を不要とし、設備費の大幅な
低減を図ることができる効果がある。

【００７８】また円柱形の細いカッタを回転させてその
外周により円板状のワークのノッチ部を数値制御により
研削するワークノッチ部の研削方法において、カッタ取
付台をカッタを回転させるスピンドル側部と通常は移動
しないように構成された固定側部とに分割してロック装
置により該スピンドル側部と該固定側部とをロックした
ときにはカッタ取付台は一体となりスピンドル側部と前
記固定側部とのロックを解除したときにはカッタ取付台
はスピンドル側部が固定側部に対してワークに接近又は
離脱する方向に一定の範囲で摺動自在となりかつワーク
に接近する方向に弾性体により押圧付勢されるようにし
ておき、粗研削を行う場合にはスピンドル側部と固定側
部とをロックして数値制御により強制的な研削を行い、
仕上げ研削を行う場合にはスピンドル側部と固定側部と
のロックを解除して弾性体で該スピンドル側部をワーク
に軽く押圧して仕上研削用カッタを適宜逃がしながら該
カッタにより粗研削で生じた加工歪みを除去するように
したので、粗研削用の従来のワーク外周面研削装置を用
いて、単にカッタを仕上げ研削用のものに交換するだけ
でＮＣ制御による粗研削で生じたワークノッチ部の比較
的大きな加工歪みを１／２程度に軽減できるようにし
て、短時間でしかも非常に低コストで加工歪みのほとん
どないノッチ部を有するウェーハを提供できる効果が
り、またこの結果非常にコストの高いノッチ部の仕上げ
研削専用の装置を不要とし得、設備費の大幅な低減を図
ることができる効果がある。

【００７９】また円形のカッタを回転させてその外周に
より円板状のワークの外周面を数値制御により研削する
ワーク外周面の研削装置において、ワークを固定して数
値制御により回転及び直進の２軸制御されるワーク取付
台と、該ワーク取付台をワークを回転させるスピンドル
側部と数値制御により直進往復動するＮＣ駆動側部とに
分割するように構成された分割機構と、該分割機構のス
ピンドル側部とＮＣ駆動側部とをロックし又は該ロック
を解除できるようにしたロック機構と、該ロック機構に
よるロックを解除したときのスピンドル側部とＮＣ駆動
側部との相対移動可能範囲を設定し得るストッパ機構
と、スピンドル側部をカッタに対して押圧付勢する弾性
体とを備えたので、単にカッタを交換するだけで同一の
ワーク取付台を用いて粗研削と仕上げ研削とを行うこと
ができる効果があり、またこの２種類の研削加工をμｍ
オーダで極く精度が高く加工歪み及び表面アラサの小さ
い加工を可能とし得、高精度の外周面及びオリエンテー
ションフラットを持つウェーハの製造を安価な装置によ
り可能とし得る効果がある。

【００８０】更には、円柱形の細いカッタを回転させて
その外周により円板状のワークのノッチ部を数値制御に
より研削するワークノッチ部の研削装置において、カッ
タを固定して通常は動かないように固定されたカッタ取
付台と、該カッタ取付台をカッタを回転させるスピンド
ル側部と通常は動かないように固定された固定側部とに
分割するように構成された分割機構と、該分割機構のス
ピンドル側部と固定側部とをロックし又は該ロックを解
除できるようにしたロック機構と、該ロック機構による
ロックを解除したときのスピンドル側部と前記固定側部
との相対移動可能範囲を設定し得るストッパ機構と、ス
ピンドル側部をワークに対して押圧付勢する弾性体とを
備えたので、単にノッチ部研削用のカッタを交換するだ
けで同一のカッタ取付台を用いて粗研削と仕上げ研削と
を行うことができ、またこの２種類の研削加工をμｍオ
ーダで極く精度が高く加工歪み及び表面アラサの小さい
加工を可能とし得、高精度のノッチ部を持つウェーハの
製造を安価な装置により可能とし得る効果がある。

【００８１】またスピンドル側部押圧用の弾性体にガス
スプリングを用いたので、ガスの圧力を変えるだけで簡
単にスピンドル側部の押圧力を変化させることができ、
またこの結果理想的な押圧付勢力でスピンドル側部を押
圧して仕上げ研削加工を行うことができるため加工歪み
を最も効率よく除去できるという効果がある。

【００８２】更には、スピンドル側部押圧用の弾性体に
コイルスプリングを用いたので、スプリングの圧縮量を
ロックナット等により変えるだけで簡単にスピンドル側
部の押圧力を変化させることができ、またこの結果理想
的な押圧付勢力でスピンドル側部を押圧して仕上げ研削
加工を行うことができるため加工歪みを最も効率よく、
また簡単な構造で安価に除去できるという効果がある。

【００８３】またストッパ装置にマイクロメータを使用
したので、スピンドル側部のロックを解除してのフロー
ティング状態にした場合において、該スピンドル側部の
移動可能範囲をμｍのオーダで正確に設定できる効果が
あり、非常に高精度でウェーハの外周面又はノッチ部の
仕上げ加工がで、最も効率的に粗研削における加工歪み
を所望の量だけ除去できるという効果がある。

【００８４】また分割装置には、スピンドル側部と前記
固定側部との位置決めを正確に行うためのテーパピンと
該テーパピンと係合するテーパ穴とからなる位置決め機
構を配設したので、スピンドル側部とＮＣ駆動側部又は
スピンドル側部と固定側部とをロック装置によりロック
した粗研削の場合の各部の精度を分割装置のない装置と
同様に高精度に維持でき、従来の粗研削専用の装置と何
ら遜色なく使用できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図面は本発明の実施例に係り、図１から図５は
弾性体の第１実施例（ガススプリング）を示し、図１は
ワーク外周面の研削装置及びワークノッチ部の研削装置
の斜視図である。

【図２】図１と同様の縦断面図である。

【図３】ワーク取付台、分割機構、ロック機構及び弾性
体の部分破断斜視図である。

【図４】分割機構、ロック機構、ストッパ機構及び弾性
体の部分縦断面側面図である。

【図５】分割機構、ロック機構、ストッパ機構及び弾性
体の部分破断斜視図である。

【図６】図６及び図７は弾性体の第２実施例（コイルス
プリング）を示し、図６は分割機構、ロック機構、スト
ッパ機構及び弾性体の部分破断斜視図である。

【図７】弾性体の使用状態を示す縦断面図である。

【図８】図８から図１１はワークノッチ部の研削装置に
係り、図８は分割機構、ロック機構、ストッパ機構及び
弾性体を示す平面図である

【図９】分割機構とストッパ機構の部分破断斜視図であ
る。

【図１０】ロック機構とスピンドルの部分破断斜視図で
ある。

【図１１】分割機構、ストッパ機構及び弾性体の部分斜
視図である。

【図１２】粗研削における削り代を示すワークの部分縦
断面図である。

【図１３】仕上げ研削における削り代を示すワークの部
分縦断面図である。

【図１４】粗研削用カッタによりワーク外周面の粗研削
及びワークノッチ部の粗研削を行っている状態を説明上
同時に示す斜視図である（実際には外周面とノッチ部と
は異なるワークにより別に研削する）。

【図１５】粗研削終了後のワークの加工歪みを示す斜視
図である。

【図１６】仕上げ用カッタによりワーク外周面の仕上げ
研削を行っている状態を示す斜視図である。

【図１７】仕上げ研削終了後のワークの加工歪みを示す
斜視図である。

【図１８】粗研削終了後のワークの加工歪みを示す部分
拡大平面図である。

【図１９】仕上げ研削終了後のワークの加工歪みを示す
部分拡大平面図である。

【符号の説明】

１ワーク１ａ外周面１ｄノッチ部２ワーク外周面の研削装置３ワーク取付台４分割機構５ロック機構６ストッパ機構８弾性体の一例たるガススプリング１２ワークノッチ部の研削装置１３カッタ取付台１４分割機構１５ロック機構１６ストッパ機構１８弾性体の一例たるガススプリング１９カッタ１９ａ外周２２スピンドル３５浮動板３５ｂテーパ穴４０スピンドル側部４１ＮＣ駆動側部４７位置決め機構５１ロック部材５２テーパピン５６マイクロメータ６８弾性体の一例たるコイルスプリング６９カッタ６９ａ外周７０スピンドル側部７１固定側部７３カッタ取付台７４スピンドル８５浮動板８５ｂテーパ穴９４スピンドル９７位置決め機構１０２テーパピン１０２ａテーパ部 δ クラックの深さ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円形のカッタ又は円柱形の細いカッタを回
転させてその外周により円板状のワークの外周面又はノ
ッチ部を数値制御により研削するワーク外周面又はワー
クノッチ部の研削方法において、ワーク取付台及び前記
カッタのいずれか一方を、弾性体により互いに接近する
方向に押圧付勢しながら互いに接近又は離脱する方向に
わずかに摺動自在に構成し、粗研削の場合には前記カッ
タ及び前記ワーク取付台の双方を前記摺動ができないよ
うに固定して研削を行うと共に、仕上げ研削の場合には
前記カッタ及び前記ワーク取付台のいずれか一方を摺動
自在として前記ワークを前記カッタに軽く押圧しながら
研削を行い、前記粗研削で生じた加工歪みを前記仕上げ
研削で除去することを特徴とするワーク外周面又はワー
クノッチ部の研削方法。
【請求項２】円形のカッタを回転させてその外周により
円板状のワークの外周面を数値制御により研削するワー
ク外周面の研削方法において、ワーク取付台を前記ワー
クを回転させるスピンドル側部と数値制御により直進往
復動するＮＣ駆動側部とに分割してロック機構により該
スピンドル側部と該ＮＣ駆動側部とをロックしたときに
は前記ワーク取付台は一体となり前記スピンドル側部と
前記ＮＣ駆動側部とのロックを解除したときには前記ワ
ーク取付台は前記スピンドル側部が前記ＮＣ駆動側部に
対して前記カッタに接近又は離脱する方向に一定の範囲
で摺動自在となりかつ前記カッタに接近する方向に弾性
体により押圧付勢されるようにしておき、前記カッタに
より前記ワークの粗研削を行う場合には前記スピンドル
側部と前記ＮＣ駆動側部とをロックして数値制御により
強制的な研削を行い、仕上げ研削を行う場合には前記ス
ピンドル側部と前記ＮＣ駆動側部とのロックを解除して
前記弾性体で該スピンドル側部を仕上げ研削用カッタに
軽く押圧して前記ワークを適宜逃がしながら該仕上研削
用カッタにより前記粗研削で生じた加工歪みを除去する
ことを特徴とするワーク外周面の研削方法。
【請求項３】円柱形の細いカッタを回転させてその外周
により円板状のワークのノッチ部を数値制御により研削
するワークノッチ部の研削方法において、カッタ取付台
を前記カッタを回転させるスピンドル側部と通常は移動
しないように構成された固定側部とに分割してロック機
構により該スピンドル側部と該固定側部とをロックした
ときには前記カッタ取付台は一体となり前記スピンドル
側部と前記固定側部とのロックを解除したときには前記
カッタ取付台は前記スピンドル側部が前記固定側部に対
して前記ワークに接近又は離脱する方向に一定の範囲で
摺動自在となりかつ前記ワークに接近する方向に弾性体
により押圧付勢されるようにしておき、粗研削を行う場
合には前記スピンドル側部と前記固定側部とをロックし
て数値制御により強制的な研削を行い、仕上げ研削を行
う場合には前記スピンドル側部と前記固定側部とのロッ
クを解除して前記弾性体で該スピンドル側部を前記ワー
クに軽く押圧して仕上研削用カッタを適宜逃がしながら
該カッタにより前記粗研削で生じた加工歪みを除去する
ことを特徴とするワークノッチ部の研削方法。
【請求項４】前記ワークはシリコンウェーハであること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記
載のワーク外周面又はノッチ部の研削方法。
【請求項５】円形のカッタ又は円柱形の細いカッタを回
転させてその外周により円板状のワークの外周面又はノ
ッチ部を数値制御により研削するワーク外周面又はワー
クノッチ部の研削装置において、ワーク取付台及び前記
カッタのいずれか一方を、弾性体により互いに接近する
方向に押圧付勢しながら互いに接近又は離脱する方向に
わずかに摺動自在に構成すると共に、該摺動ができない
ように固定するロック機構を設け、粗研削の場合には前
記カッタ及び前記ワーク取付台の双方を前記ロック機構
により前記摺動ができないように固定して研削を行うと
共に、仕上げ研削の場合には前記カッタ及び前記ワーク
取付台のいずれか一方を摺動自在として前記ワークを前
記カッタに軽く押圧しながら研削を行い、前記粗研削で
生じた加工歪みを前記仕上げ研削で除去するように構成
したことを特徴とするワーク外周面又はワークノッチ部
の研削装置。
【請求項６】円形のカッタを回転させてその外周により
円板状のワークの外周面を数値制御により研削するワー
ク外周面の研削装置において、ワークを固定して数値制
御により回転及び直進の２軸制御されるワーク取付台
と、該ワーク取付台を前記ワークを回転させるスピンド
ル側部と数値制御により直進往復動するＮＣ駆動側部と
に分割するように構成された分割機構と、該分割機構の
前記スピンドル側部と前記ＮＣ駆動側部とをロックし又
は該ロックを解除できるようにしたロック機構と、該ロ
ック機構によるロックを解除したときの前記スピンドル
側部と前記ＮＣ駆動側部との相対移動可能範囲を設定し
得るストッパ機構と、前記スピンドル側部を前記カッタ
に対して押圧付勢する弾性体とを備え、前記カッタによ
り前記ワークの粗研削を行う場合には前記スピンドル側
部と前記ＮＣ駆動側部とを前記ロック機構によりロック
して数値制御により強制的な研削を行い、仕上げ研削を
行う場合には前記スピンドル側部と前記ＮＣ駆動側部と
のロックを解除して前記弾性体で該スピンドル側部を前
記カッタに軽く押圧して前記ワークを適宜逃がしながら
仕上げ研削用カッタにより前記粗研削で生じた加工歪み
を除去するように構成したことを特徴とするワーク外周
面の研削装置。
【請求項７】円柱形の細いカッタを回転させてその外周
により円板状のワークのノッチ部を数値制御により研削
するワークノッチ部の研削装置において、カッタを固定
して通常は動かないように固定されたカッタ取付台と、
該カッタ取付台を前記カッタを回転させるスピンドル側
部と通常は動かないように固定された固定側部とに分割
するように構成された分割機構と、該分割機構の前記ス
ピンドル側部と前記固定側部とをロックし又は該ロック
を解除できるようにしたロック機構と、該ロック機構に
よるロックを解除したときの前記スピンドル側部と前記
固定側部との相対移動可能範囲を設定し得るストッパ機
構と、前記スピンドル側部を前記ワークに対して押圧付
勢する弾性体とを備え、前記カッタにより前記ワークの
粗研削を行う場合には前記スピンドル側部と前記固定側
部とをロックして数値制御により強制的な研削を行い、
仕上げ研削を行う場合には前記スピンドル側部と前記固
定側部とのロックを解除して前記弾性体で該スピンドル
側部を前記ワークに軽く押圧して仕上げ研削用カッタを
適宜逃がしながら該カッタにより前記粗研削で生じた加
工歪みを除去するように構成したことを特徴とするワー
クノッチ部の研削装置。
【請求項８】前記ワークは、シリコンウェーハであるこ
とを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に
記載のワーク外周面又はワークノッチ部の研削装置。
【請求項９】前記弾性体は、ガススプリングであること
を特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に記
載のワーク外周面又はワークノッチ部の研削装置。
【請求項１０】前記弾性体は、コイルスプリングである
ことを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項
に記載のワーク外周面又はワークノッチ部の研削装置。
【請求項１１】前記ストッパ機構は、マイクロメータで
あることを特徴とする請求項６に記載のワーク外周面の
研削装置。
【請求項１２】前記ストッパ機構は、マイクロメータで
あることを特徴とする請求項７に記載のワークノッチ部
の研削装置。
【請求項１３】前記分割機構には、前記スピンドル側部
と前記ＮＣ駆動側部との位置決めを正確に行うためのテ
ーパピンと該テーパピンと係合するテーパ穴とからなる
位置決め機構が配設されていることを特徴とする請求項
６に記載のワーク外周面の研削装置。
【請求項１４】前記分割機構には、前記スピンドル側部
と前記固定側部との位置決めを正確に行うためのテーパ
ピンと該テーパピンと係合するテーパ穴とからなる位置
決め機構が配設されていることを特徴とする請求項７に
記載のワークノッチ部の研削装置。