JP2008034776A - ワークのエッジの加工方法及び装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ピットと呼ばれる微細な加工ひずみが加工面に生ずるのを防止でき、ワークのエッジの断面形状が砥石形状で決定されることなく、断面形状精度が砥石の精度により左右されず、断面形状違いのワークの品種ごとに砥石交換をする必要がなく、また砥石がワークの下側にも自由に入り込め、砥石幅を広く保つことができ、加工時間が短く、砥石の寿命を長くすることができるワークの加工方法及び装置を提供する。
【解決手段】カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを研削加工することを最大の特徴とし、半導体ウェーハ等のワークのオリエンテーションフラットやノッチ等の加工を施すに際して溝のない砥石面てワークのエッジの各種の断面形状を作成することができるようにする構成を特徴とする。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体ウェーハ等のワークの加工方法及び装置に係り、特にカップ型砥石を用い、その軸直角端面でワークのエッジを加工することにより、外周円弧部、オリエンテーションフラット(OF)、ノッチ等の加工を施すに際して、溝のない砥石面でワークのエッジの各種の断面形状を研削で作成することができるようにし、またカップ型砥石の回転軸をワークの平面方向若しくは該平面に対する直角方向(ワークの回転軸方向)又はその両方向にオフセットさせるだけでワークのエッジを斜め方向に加工できるようにして該エッジをむらなく均一にかつ極めて面粗度の小さい鏡面に加工できるようにし、ピットと呼ばれる微細な加工ひずみが加工面に生ずるのを防止でき、更にはワークのエッジの断面形状が砥石形状で決定されることなく、断面形状精度が砥石の精度により左右されず、断面形状違いのワークの品種ごとに砥石交換をする必要性がなく、また砥石が下側、即ちワーク取付け台側にも自由に入り込め、またこの入込み量を従来より小さくして砥石幅を広く保つことができ、加工時間が短く、結果として砥石の寿命を長くすることができる画期的なワークの加工方法及び装置に関する。
従来、ワークの一例たる半導体ウェーハの外周エッジ、外周円弧部、オリエンテーションフラット及びノッチ等の面取り研削及び研摩は、特許文献1から特許文献4に示されているように、総形に成形されたメタルボンド砥石を用いた粗研削を行った後、仕上げ用の砥石(例えばレジンボンド砥石)を用いてエッジ等が鏡面になるように仕上げ研摩を行っている。
しかし総形の砥石を用いた場合、砥石の溝の最深部にはクーラントが入りにくいため、砥石が傷み易く、またエッジの端部の円周方向に条痕が残って面粗度が大きくなり易いという問題があった。
本願出願人は、特許文献3に示されているように、砥石を弾性的にワークに押圧するための砥石の浮動機構を提案すると共に、特許文献4から特許文献6に示されているように、研摩剤を含んだゴムホイールを砥石として用いたワークのエッジ、ノッチ等の研摩方法及び装置を提案しており、特に大きな直径のゴムホイールを使用することにより、更なる条痕の微細化を行うことができ、これは総形の砥石においてトラバースの速度を高めたと同等の現象であると考えられる。
しかしながら、従来のようにゴムホイールが固定された回転軸の軸心がワークの回転方向と平行となるようにして研摩を行っても、エッジの全周には2乃至3個程度のピットが残存してしまっていた。業界ではこのようなわずかなピットの存在も許容されなくなって来ており、ピットを全周で0にするために何らかの方法が必要とされていた。
このために本願出願人は、特許文献7に示されているように、エッジにおける研摩方向が面方向から略45°方向となるようにゴムホイールの周速度とワークの周速度とからゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度αを算出し、回転軸を該必要傾斜角度に傾けて研摩するようにしたワークのエッジの研摩方法及び装置を提案している。
しかし、この方法によると、エッジの断面形状をプログラム変更により任意に作成可能である利点がある反面、ワークの下側、即ちワーク取付け台側に砥石が入るため砥石が大きくできない、砥石幅が狭くなる上に加工時間が長く、砥石の寿命が短い等の欠点があった。
また図29に示すように、ワークの一例たる半導体ウェーハ11のエッジ11aを、上平面11fuに対して角度α1(約22°)だけ傾斜した上斜面11guと、下平面11fdに対して角度α2(約22°)だけ傾斜した下斜面11gdと、これらの斜面11gを単一の半径Rの円弧11hとが結ぶような断面形状に加工する場合、上斜面11guの水平長さが「面幅X1」と、下斜面11gdの水平長さが「面幅X2」と夫々呼ばれ、これらの各寸法により定まるエッジ11aの断面が「断面形状」、これらの各寸法の精度が「断面形状精度」と呼ばれている。
また図30に示すように、ワークの一例たる半導体ウェーハ11のエッジ11aを、上平面11fuに対して角度α1だけ傾斜した上斜面11guと、下平面11fdに対して角度α2だけ傾斜した下斜面11gdと、これらの斜面11gを2つの円弧R、即ち半径R1の上円弧11huと半径R2の下円弧11hdと、これらの円弧11Rに接する垂直方向の直線11iとが結ぶような断面形状に加工する場合、上斜面11guの水平長さが「面幅X1」と、下斜面11gdの水平長さが「面幅X2」と、直線11iの長さが「面幅X3」と夫々呼ばれ、これらの各寸法により定まるエッジ11aの断面が「断面形状」、これらの各寸法の精度が「断面形状精度」と呼ばれている。
これらの半導体ウェーハ11の断面形状を、溝付総形砥石、台形形砥石の仕上げワークと同一断面形状の溝でワークを砥石の回転速度に比較して低速で1回転以上回転させてエッジの加工を行う方法では、加工時間が比較的短いという利点がある反面、エッジ11aの断面形状が砥石の形状で決定されてしまい、断面形状精度が砥石の精度により左右されてしまうと共に、断面形状違いの品種で砥石交換をしなければならず、また上記のようにクーラントが加工部位に入りにくいため、溝の寿命が短く、先端部の形状くずれや、条痕が入ると砥石の寿命が尽きてしまうという欠点があった。
特開平6−104228号公報 特開平6−262505号公報 特開平11−207584号公報 特開2000−52210号公報 特開2000−317787号公報 特開2001−300837号公報 特開2005−40877号公報 特開2004−136416号公報 特開2000−317789号公報 特許第2611826号公報 特許第3197253号公報 特開2000−288886号公報 特許第3515917号公報 特開2001−328050号公報 特開2003−11042号公報
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、ワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、ワークを回転させながら該ワークの外周エッジを加工することによって、回転する砥石の円柱又は円筒の外周面でワークのエッジを加工する場合に比べて加工上非常に多くの利点が得られるようにすることであり、またワークの断面形状が砥石の形状で決定される欠点をなくすと共に、ワークの断面形状精度が砥石の精度に左右されず、ワークの断面形状違いの品種で砥石交換を不要とすることである。
また他の目的は、ワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、ワークをカップ型砥石に対して相対往復移動させながら該ワークの外周円弧部、オリエンテーションフラット又はノッチのエッジを加工することによって、従来に比べてワークの外周円弧部、オリエンテーションフラット又はノッチの加工を大幅に容易化すると共に、ノッチ加工において加工部位へのクーラントの入り込みを円滑にして砥石の寿命を延ばすことである。
また他の目的は、上記ワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸をワークの回転軸から該ワークの平面方向にオフセットさせ、カップ型砥石とワークが1箇所で直角に接触して加工することによって、カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを簡単に加工できるようにすることであり、またこれによってワークの平面に対して直交する方向の加工線をエッジに残しながらワークの外周エッジ、オリエンテーションフラット及びノッチの精度の高い加工ができるようにすることである。
また他の目的は、上記ワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸をワークの回転軸方向にオフセットさせ、カップ型砥石とワークが斜めに接触して加工することによって、複雑な機構や該機構による砥石の傾斜調節を不要としながら、極めて容易にワークのエッジに対して斜め方向に、特に45°方向に加工線が生ずる加工を可能とすることであり、またこれによって加工による条痕を微細化してエッジをむらなく均一にかつ極めて面粗度の小さい鏡面に加工できるようにし、かつエッジにおけるピットのような加工ひずみを防止できるようにすることであり、更にワークの下側へのカップ型砥石及びスピンドルの入込み量を少くすることであり、またこれによってカップ型砥石の大きさ(直径)を従来より大きくできるようにし、カップ型砥石の幅も広くできるようにして加工時間の短縮を図り、結果としてカップ型砥石の寿命を長くすることである。
また他の目的は、上記ワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸をワークの回転軸から該ワークの平面方向にオフセットさせ、更にワークの回転軸方向にオフセットさせてカップ型砥石とワークが1箇所で斜めに接触して加工することによって、カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを簡単に加工できるようにすると共に、ワークの平面に対して最も理想的な45°等の斜め方向の加工線をエッジに残しながらワークの外周エッジ及びオリエンテーションフラット等を加工できるようにすることであり、またこれによって極めて高い精度で、ピットのような加工ひずみが生ぜず、面粗度の極めて小さい精密加工ができるようにすることであり、更にワークの下側へのカップ型砥石及びスピンドルの入込み量を少くすることであり、またこれによってカップ型砥石の大きさ(直径)を従来より大きくできるようにし、カップ型砥石の幅も広くできるようにして加工時間の短縮を図り、結果としてカップ型砥石の寿命を長くすることである。
更に他の目的は、上記ワークのエッジの加工方法において、ワークの平面に対して直交する平面内をカップ型砥石の回転軸が移動して、任意のエッジ断面形状に加工することによって、所望の断面形状のエッジが複雑な制御機構や方法を駆使することなく極めて容易に得られるようにすることである。
また他の目的は、ワークの吸着ステージと反対側のエッジの面はスピンドルと反対側の軸直角端面を、ワークの吸着ステージ側のエッジの面はスピンドル側の軸直角端面を夫々使用して加工することによって、エッジの断面形状をプログラム変更により任意に作成可能としながら、ワークの下側に入る砥石の直径を大きく、砥石の幅を広くできるようにし、加工時間の短縮を図り、砥石の寿命も延ばすことができるようにすることである。
また他の目的は、粗研削及び精密研削共カップ型砥石を使用して加工することによって、粗研削と精密研削とで砥石の種類を変更する手数を省き、その交換に要する工数を削減し、生産能率の向上を図ることである。
また他の目的は、上記加工方法を1個のカップ型砥石で実現させるようにしたカップ型砥石を採用することによって、砥石自体の交換も不要として、作業能率の飛躍的な向上を図り、単なる砥石の使用部分の変更のみによって、粗研削と精密研削とが単一の砥石により実行できるようにすることである。
また他の目的は、カップ型砥石を、同心で半径の異なるカップ型砥石を複数個取り付けたものとすることによって、砥石の粒度、形状又は板厚の異なる砥石が単一の砥石にまとめられ、異なる種類の加工が砥石の交換なく実行できるようにすることであり、またこれによって従来例に比べて格段に優れた生産性の高いワークのエッジの加工を可能とすることである。
また他の目的は、カップ型砥石を、同心で半径の異なる同一種類のカップ型砥石を複数個取り付けたものとすることによって、使用中の砥石が摩耗した際には砥石の回転軸をずらすのみで、直ちに同一種類の他のカップ型砥石に事実上交換できるようにし、砥石の着脱に要する工数を不要として、作業能率の飛躍的な向上を図ることである。
また他の目的は、薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、ワーク取付け台をカップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも2軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、カップ型砥石が取り付けられたスピンドルをワークの平面に対して相対的にカップ型砥石がエッジへの接触角度を変えながらワークの板厚方向に公転するように駆動する砥石のコンタリング駆動機構とを備えることによって、カップ型砥石によりワークのエッジの外周研削、オリエンテーションフラット及びノッチの研削加工等を極めて容易に、かつ高い生産性を以て実行可能とすることであり、またカップ型砥石をコンタリング駆動機構によりワークの平面に対して公転駆動して任意の形状に加工でき、しかも極めて精度よく、かつ微細な面粗度が得られて、ピットや切削面の条痕がない良好な研削面を得ることができるようにすることである。
また他の目的は、薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、ワークの平面と平行にワーク取付け台をカップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも1軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルをワークに対して夫々独立して垂直方向に往復駆動する複数の砥石の直線駆動機構と、カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルをワークの平面に対してカップ型砥石が夫々エッジへの接触角度を変えながらワークの板厚方向に公転するように駆動する複数の砥石のコンタリング駆動機構とを備えることによって、上記の目的に加えて、複数の同一のカップ型砥石によってワークの異なる部分を同時加工できるようにすることであり、またこれによってワークのエッジの加工能率を少なくとも2倍に増大させ、作業能率の飛躍的な向上を図ることである。
要するに本発明方法(請求項1)は、ワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、ワークを回転させながら該ワークの外周エッジを加工することを特徴とするものである。
また本発明方法(請求項2)は、ワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、前記ワークを前記カップ型砥石に対して相対往復移動させながら該ワークのオリエンテーションフラット又はノッチのエッジを加工することを特徴とするものである。
また本発明方法(請求項3)は、請求項1又は請求項2に記載のワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸を前記ワークの回転軸から該ワークの平面方向にオフセットさせ、前記カップ型砥石と前記ワークが1箇所で直角に接触して加工することを特徴とするものである。
また本発明方法(請求項4)は、請求項1又は請求項2に記載のワークのエッジの加工方法において、前記カップ型砥石の回転軸を前記ワークの回転軸方向にオフセットさせ、前記カップ型砥石と前記ワークが斜めに接触して加工することを特徴とするものである。
また本発明方法(請求項5)は、請求項3に記載のワークのエッジの加工方法において、前記カップ型砥石の回転軸を更に前記ワークの回転軸方向にオフセットさせ、前記カップ型砥石と前記ワークが1箇所で斜めに接触して加工することを特徴とするものである。
また本発明方法(請求項6)は、請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のワークのエッジの加工方法において、前記ワークの平面に対して直交する平面内をカップ型砥石の回転軸が移動して、任意のエッジ断面形状に加工することを特徴とするものである。
また本発明方法(請求項7)は、請求項5に記載のワークのエッジの加工方法において、ワークの吸着ステージと反対側のエッジの面はスピンドルと反対側の軸直角端面を、ワークの吸着ステージ側のエッジの面はスピンドル側の軸直角端面を夫々使用して加工することを特徴とするものである。
また本発明方法(請求項8)は、請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のワークのエッジの加工方法において、粗研削及び精密研削共カップ型砥石を使用して加工することを特徴とするものである。
また本発明に係る砥石(請求項9)は、請求項6に記載のワークのエッジの加工方法を1個のカップ型砥石で実現させるようにしたことを特徴とするものである。
また本発明に係る砥石(請求項10)は、請求項7に記載のワークのエッジの加工方法に用いられ、同心で半径の異なるカップ型砥石を複数個取り付けたことを特徴とするものである。
また本発明に係る砥石(請求項11)は、同心で半径の異なる同一種類のカップ型砥石を複数個取り付けたことを特徴とするものである。
また本発明装置(請求項12)は、薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、前記ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、前記ワーク取付け台を前記カップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも2軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、前記ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、前記カップ型砥石が取り付けられたスピンドルを前記ワークの平面に対して相対的に前記カップ型砥石が前記エッジへの接触角度を変えながら前記ワークの板厚方向に公転するように駆動する砥石のコンタリング駆動機構とを備えたことを特徴とするものである。
また本発明装置(請求項13)は、薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、前記ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、前記ワークの平面と平行に前記ワーク取付け台を前記カップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも1軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、前記ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、前記カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルを前記ワークに対して夫々独立して垂直方向に往復駆動する複数の砥石の直線駆動機構と、前記カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルを前記ワークの平面に対して前記カップ型砥石が夫々前記エッジへの接触角度を変えながら前記ワークの板厚方向に公転するように駆動する複数の砥石のコンタリング駆動機構とを備えたことを特徴とするものである。
本発明は、上記のようにワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、ワークを回転させながら該ワークの外周エッジを加工するようにしたので、回転する砥石の円柱又は円筒の外周面でワークのエッジを加工する場合に比べて加工上非常に多くの利点が得られる効果があり、またワークの断面形状が砥石の形状で決定される欠点をなくすことができると共に、ワークの断面形状精度が砥石の精度に左右されず、ワークの断面形状違いの品種で砥石交換を不要とし得る効果がある。
またワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、ワークをカップ型砥石に対して相対往復移動させながら該ワークの外周円弧部、オリエンテーションフラット又はノッチのエッジを加工するようにしたので、従来に比べてワークのオリエンテーションフラット又はノッチの加工を大幅に容易化し得ると共に、ノッチ加工において加工部位へのクーラントの入り込みを円滑にして砥石の寿命を延ばすことができる効果がある。
また上記ワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸をワークの回転軸から該ワークの平面方向にオフセットさせ、カップ型砥石とワークが1箇所で直角に接触して加工するようにしたので、カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを簡単に加工できるという効果があり、またこの結果ワークの平面に対して直交する方向の加工線をエッジに残しながらワークの外周エッジ、オリエンテーションフラット及びノッチの精度の高い加工ができるという効果が得られる。
また上記ワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸をワークの回転軸方向にオフセットさせ、カップ型砥石と前記ワークが斜めに接触して加工するようにしたので、複雑な機構や該機構による砥石の傾斜調節を不要としながら、極めて容易にワークのエッジに対して斜め方向に、特に45°方向に加工線が生ずる加工を可能とし得る効果があり、またこの結果加工による条痕を微細化してエッジをむらなく均一にかつ極めて面粗度の小さい鏡面に加工でき、かつエッジにおけるピットのような加工ひずみを防止できるという効果があり、更にはワークの下側へのカップ型砥石及びスピンドルの入込み量を少くすることができ、またこの結果カップ型砥石の大きさ(直径)を従来より大きくでき、カップ型砥石の幅も広くできるようになるため加工時間の短縮を図ることができ、結果としてカップ型砥石の寿命を長くすることができるという効果がある。
また上記ワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸をワークの回転軸から該ワークの平面方向にオフセットさせ、更にワークの回転軸方向にオフセットさせてカップ型砥石とワークが1箇所で斜めに接触して加工するようにしたので、カップ型砥石の軸直角端面でワークのエッジを簡単に加工できる効果があると共に、ワークの平面に対して最も理想的な45°等の斜め方向の加工線をエッジに残しながらワークの外周エッジ及びオリエンテーションフラット等を加工できるという効果があり、またこの結果極めて高い精度で、ピットのような加工ひずみが生ぜず、面粗度の極めて小さい精密加工ができるという効果があり、更にはワークの下側へのカップ型砥石及びスピンドルの入込み量を少くすることができ、またこの結果カップ型砥石の大きさ(直径)を従来より大きくでき、カップ型砥石の幅も広くできるようになるため加工時間の短縮を図ることができ、結果としてカップ型砥石の寿命を長くすることができるという効果がある。
更には、上記ワークのエッジの加工方法において、ワークの平面に対して直交する平面内をカップ型砥石の回転軸が移動して、任意のエッジ断面形状に加工するようにしたので、所望の断面形状のエッジが複雑な制御機構や方法を駆使することなく極めて容易に得られるという効果がある。
またワークの吸着ステージと反対側のエッジの面はスピンドルと反対側の軸直角端面を、ワークの吸着ステージ側のエッジの面はスピンドル側の軸直角端面を夫々使用して加工するようにしたので、エッジの断面形状をプログラム変更により任意に作成可能としながら、ワークの下側に入る砥石の直径を大きく、砥石の幅を広くできるため、加工時間の短縮を図り、砥石の寿命も延ばすことができるという効果がある。
また粗研削及び精密研削共カップ型砥石を使用して加工するようにしたので、粗研削と精密研削とで砥石の種類を変更する手数を省き、その交換に要する工数を削減し、生産能率の向上を図ることができる効果がある。
また上記加工方法を1個の砥石で実現させるようにした砥石を採用したので、砥石自体の交換も不要となり、作業能率の飛躍的な向上を図ることができ、単なる砥石の使用部分の変更のみによって、粗研削と精密研削とが単一の砥石により実行できるという効果がある。
またカップ型砥石を、同心で半径の異なるカップ型砥石を複数個取り付けたものとしたので、砥石の粒度、形状又は板厚の異なる砥石が単一の砥石にまとめられ、異なる種類の加工が砥石の交換なく実行できるという効果があり、またこの結果従来例に比べて格段に優れた生産性の高いワークのエッジの加工を可能とし得る効果がある。
またカップ型砥石を、同心で半径の異なる同一種類のカップ型砥石を複数個取り付けたものとしたので、使用中の砥石が摩耗した際には砥石の回転軸をずらすのみで、直ちに同一種類の他のカップ型砥石に事実上交換でき、砥石の着脱に要する工数が不要となり、作業能率の飛躍的な向上を図ることができる効果がある。
また薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、ワーク取付け台をカップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも2軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、カップ型砥石が取り付けられたスピンドルをワークの平面に対して相対的にカップ型砥石がエッジへの接触角度を変えながらワークの板厚方向に公転するように駆動する砥石のコンタリング駆動機構とを備えたので、カップ型砥石によりワークのエッジの外周研削、オリエンテーションフラット及びノッチの研削加工等を極めて容易に、かつ高い生産性を以て実行可能となる効果があり、またカップ型砥石をコンタリング駆動機構によりワークの平面に対して公転駆動して任意の形状に加工でき、しかも極めて精度よく、かつ微細な面粗度が得られて、ピットや切削面の条痕がほんどない良好な研削面を得ることができるという効果がある。
また薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、ワークの平面と平行にワーク取付け台をカップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも1軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルをワークに対して夫々独立して垂直方向に往復駆動する複数の砥石の直線駆動機構と、カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルをワークの平面に対してカップ型砥石が夫々エッジへの接触角度を変えながらワークの板厚方向に公転するように駆動する複数の砥石のコンタリング駆動機構とを備えたので、上記の効果に加えて、複数の同一の砥石によってワークの異なる部分を同時加工でき、またこの結果ワークのエッジの加工能率を少なくとも2倍に増大させ、作業能率の飛躍的な向上を図ることができる効果がある。
以下本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。図1から図4において、本発明に係るワークのエッジの加工装置1は、ワーク取付け台2と、カップ型砥石3(3A,3B)と、ワーク取付け台の直線駆動機構4(4X,4Y)と、ワーク取付け台の回転駆動機構8と、複数の砥石の直線駆動機構9(9A,9B)と、複数の砥石のコンタリング駆動機構10(10A,10B)とを備えている。
本発明でいうワークとは、シリコン等の半導体ウェーハ、セラミックス、ガラス等を指し、以下ワークの一例たる薄板状の半導体ウェーハ11の加工方法及び装置として説明する。
ワーク取付け台2は、図1及び図2に示すように、薄板状の半導体ウェーハ11を着脱可能に構成されており、真空源(図示せず)に連通する複数の吸着穴(図示せず)により空気を吸引して半導体ウェーハ11を吸着して固定できるような吸着ステージ2aを備えている。またワーク取付け台2は、ワーク取付け台の直線駆動機構4によって矢印Y−Yの如く砥石3に対してY軸方向(接近、離脱又はトラバース方向)に往復移動可能に、また矢印X−Xの如く砥石3に対してX軸方向(接近、離脱方向)に往復移動可能に、更にワーク取付け台の回転駆動機構8によって矢印θ−θの如く往復回転可能に構成されている。
カップ型砥石3(3A,3B)は、半導体ウェーハ11のエッジ11aをその軸直角端面3aで加工するようにしたもので、砥石のコンタリング駆動機構10の揺動腕12に固定された砥石駆動用のダイレクトドライブモータ13の回転軸13aに固定されたフランジ14に固着され、図示は省略するが、スピンドル13に内蔵された砥石の直線駆動機構により矢印X−Xの如く半導体ウェーハ11に対してサーボ機構(図示せず)により数値制御された形で小さなストロークで往復動可能に構成され、かつ砥石のコンタリング駆動機構10により半導体ウェーハ11の板厚方向に往復公転可能に構成されている。
カップ型砥石3は、図5から図7も参照して、所定の板厚を有する単一の円筒として形成され、円筒部3bの内部3cは中空であり、底部3dがフランジ14に接着等の手段で固着されている。そして軸直角端面3aは、例えば半導体ウェーハ11のノッチ11bを加工するためには、わずかな面取り3eがなされ、ノッチ11bの谷部11cの研削仕上がり予定の形状に合わせて形成されている。ノッチ11bの加工以外では、この面取り3eは必ずしも必要ではなく、直角に形成してもよい。
いずれにしても、このカップ型砥石3の外周3fではなく、軸直角端面3aを使って半導体ウェーハ11のエッジ11aを加工するのが本発明の最大の特徴である。
またカップ型砥石3の他の実施例としては、図26に示すように、同心で半径の異なるカップ型砥石3(3A,3B,3C)を複数個(図示の実施例では3個)フランジ14に取り付けものとしている。
またこの各カップ型砥石3A,3B,3Cを砥粒の粒度(番手)、砥粒の種類、バインダの種類等を同一のものとしてもよく、異なる種類のものとしてもよい。また各カップ型砥石3A,3B,3Cの円筒部3bの厚さも同一としてもよく、異ならせてもよい。
なお、このカップ型砥石3の使用に当たっては、半導体ウェーハ11の回転軸O11に対してカップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の平面方向(水平方向)に適量オフセットさせて用いるのが前提である。
このように種類の異なる複数のカップ型砥石3A,3B,3Cを取り付けたカップ型砥石3により、半導体ウェーハ11のエッジ11aの加工において、粗研削を例えばカップ型砥石3Aで行い、精密研削をカップ型砥石3Bで行うようにすれば、1個のカップ型砥石3で粗研削と精密研削の両方を砥石の交換なく行うことができるように構成されている。
なお、このカップ型砥石3の使用に当たっては、上記と同様に半導体ウェーハ11の回転軸O11に対してカップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の平面方向(水平方向)に適量オフセットさせて用いるのが前提である。
また同一種類の複数のカップ型砥石3A,3B,3Cを取り付けたカップ型砥石3によれば、半導体ウェーハ11の回転軸O11に対してカップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の平面方向(水平方向)に適量オフセットさせることで別のカップ型砥石3A,3B又は3Cを使用でき、またカップ型砥石3の回転速度を変化させることにより、研削速度を同一に保つことができるから、例えばカップ型砥石3の対摩耗対策として、砥石を交換することなく、同一の研削条件で長時間の研削を行うことができるように構成されている。
またカップ型砥石3は、図27及び図28にに示すように、フランジ14を中心として、その両側に同一径の複数のカップ型砥石3A,3Dを接着等の手段で固着したものとしてもよく、また図29に示すように、共通の底部3dから軸方向両側に同一径、同一厚さのカップ型砥石3A,3Dを成形又は削り出しにより形成したものとし、その底部3dをスピンドル13の回転軸13aにナット7により締め付け固定してもよい。
そしてこのようなカップ型砥石3により、半導体ウェーハ11の吸着ステージ2aと反対側のエッジ11aの面11dはスピンドル13と反対側のカップ型砥石3Aの軸直角端面3aを、半導体ウェーハ11の吸着ステージ2a側のエッジ11aの面11eはスピンドル13側のカップ型砥石3Dの軸直角端面3aを夫々使用して加工することができるように構成されている。
ワーク取付け台の直線駆動機構4(4X,4Y)は、図1に示すように、ワーク取付け台2をカップ型砥石3に対して矢印Y−Y、X−Xの如く接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動するようになっており、ワーク取付け台の直線駆動機構4Yは、半導体ウェーハ11の砥石3による非加工位置と加工位置との間をワーク取付け台2が移動するときには、ワーク取付け台2を砥石3に対して接近、離脱させ、加工位置においては、ワーク取付け台2を砥石3に対してトラバースさせるようになっており、土台(図示せず)と一体の基台15に取り付けられたY軸駆動サーボモータ16と、該Y軸駆動サーボモータ16の回転軸(図示せず)に固定されたボールねじ17と、該ボールねじを回動自在に支持する一対の軸受18,19と、ワーク取付け台2と一体のベース20に固着されボールねじ17に螺合するナット21と、一対のY軸駆動用LMガイド22(22A,22B)と、上下可動台15に固定され一対のLMガイド22と嵌合する一対のレール23(23A,23B)とから成り、Y軸駆動サーボモータ16の回転によりボールねじ17及びナット21を介してベース20及びワーク取付け台2が、矢印Y−Yの如く砥石3に対して数値制御されてワーク取付け台の直線駆動機構4X全体を搭載した状態で往復移動するように構成されている。
ワーク取付け台の直線駆動機構4Xは、図1及び図2に示すように、ワーク取付け台2を砥石3に対して接近、離脱させる方向、即ちY軸と直交する矢印X−X方向に駆動するように構成されており、ワーク取付け台の回転駆動機構8の下部に固定された台板25と、該台板に固定された一対のLMガイド26と、該LMガイドに摺動自在に嵌合する一対のレール28と、ベース20に固定され該レール28と一体の支持部材29と、支持部材29に固着されたステー30と、該ステーに取り付けられたX軸駆動サーボモータ31と、該X軸駆動サーボモータの回転軸(図示せず)に固定されたボールねじ32と、支持部材29に固定され該ボールねじを回動自在に支持する一対の軸受33,34と、台板25に固定されたナットハウジング37と、該ナットハウジング37に固定されボールねじ32に螺合するナット35とから成り、X軸駆動サーボモータ31の回転によりボールねじ32及びナット35を介して台板25と一対のLMガイド26が一対のレール28に対してX−X方向に、ワーク取付け台の回転駆動機構8及びワーク取付け台2が直線駆動機構4Yに搭載された状態で、ベース20内の限られた範囲内、即ちベース20の広い角穴20aの範囲内で矢印X−Xの如く砥石3に対して接近、離脱する方向に数値制御されて往復移動するように構成されている。
ワーク取付け台の回転駆動機構8は、図1から図3に示すように、ワーク取付け台の直線駆動機構4Xの台板25にその全体が固定されており、ワーク取付け台の直線駆動機構4Xに搭載された状態でワーク取付け台2を回転させるように構成されており、θ軸駆動サーボモータ(図示せず)の回転軸(図示せず)にワーク取付け台2が固定され、数値制御されてワーク取付け台2が矢印θ−θの如くカップ型砥石3の回転速度と比較して低速度で往復回転するように構成されている。
砥石の直線駆動機構9(9A,9B)は、図1、図2及び図4に示すように、カップ型砥石3が取り付けられたスピンドル13を半導体ウェーハ11の平面に対して直角方向に往復駆動するように構成されており、一方のスピンドル13A及びカップ型砥石3Aのみを往復動させる第1の直線駆動機構9Aと、他方のスピンドル13B及びカップ型砥石3Bのみを往復動させる第2の砥石の直線駆動機構9Bとから構成されている。
第1の直線駆動機構9Aは、基台15に固着された砥石のZ軸駆動サーボモータ50と、該砥石のZ軸駆動サーボモータの回転軸(図示せず)に固着されたボールねじ51と、基台15に固定され該ボールねじを回動自在に支持する一対の軸受52,53と、上下可動台54Aと、該上下可動台に固着されボールねじ51に螺合するナット55と、基台15と一体の一対のレール56,58に夫々摺動自在に嵌合し上下可動台54Aに固定された一対ずつ、合計4つのLMガイド59Aと、スピンドル13Aが取り付けられたステー60とから構成されている。
第2の直線駆動機構9Bは、基台15に固着された砥石のZ軸駆動サーボモータ61と、該砥石のZ軸駆動サーボモータの回転軸61aに固着されたボールねじ62と、基台15に固定され該ボールねじを回動自在に支持する一対の軸受63,64と、上下可動台54Bに固着されボールねじ62に螺合するナット66と、上下可動台54Bと一体の一対のレール68,69に夫々摺動自在に嵌合する一対ずつ、合計4つのLMガイド59Bと、スピンドル13Bが取り付けられたステー71とから構成されている。
砥石のコンタリング駆動機構10は、カップ型砥石3が取り付けられたスピンドル13を半導体ウェーハ11の平面に対してカップ型砥石3が接触角度を変えながらその板厚方向に公転するように駆動するように構成されており、ステー60にはダイレクトドライブモータ72(72A)が取り付けられており、該スピンドルの回転軸72aには、揺動腕12(12A)が割り型によりボルト73を介して締め付け固定されており、揺動腕12Aには更にスピンドル13Aが割り型によりボルト74を介して締め付け固定されている。
同様に、ステー70にはダイレクトドライブモータ72(72B)が取り付けられており、該スピンドルの回転軸72aには、揺動腕12(12B)が割り型によりボルト75を介して締め付け固定されており、揺動腕12Bには更にスピンドル13Bが割り型によりボルト76を介して締め付け固定されている。
またスピンドル13には、図示は省略するが、数値制御されて往復動するリニアサーボモータが内蔵されており、スピンドル13の回転軸13aが数値制御されて矢印X−Xの如く往復動するように構成されており、小さなストロークの範囲でカップ型砥石3を半導体ウェーハ11に対して矢印X−Xの如く接近、離脱させることができるように構成されている。
そして本発明方法(請求項1)は、半導体ウェーハ11の平面11fに対して直交する平面内に回転軸Oを持つカップ型砥石3の軸直角端面3aで、半導体ウェーハ11を回転させながら該半導体ウェーハの外周エッジ11aを加工する方法である。
また本発明方法(請求項2)は、半導体ウェーハ11の平面11fに対して直交する平面内に回転軸Oを持つカップ型砥石3の軸直角端面3aで、半導体ウェーハ11をカップ型砥石3に対して相対往復移動させながら該半導体ウェーハ11のオリエンテーションフラットOF又はノッチ11bのエッジを加工する方法である。
また本発明方法(請求項3)は、請求項1又は請求項2に記載の半導体ウェーハ11のエッジの加工方法において、カップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11から該半導体ウェーハ11の平面11f方向にオフセットさせ、カップ型砥石3と半導体ウェーハ11が1箇所で直角に接触して加工する方法である。
また本発明方法(請求項4)は、請求項1又は請求項2に記載の半導体ウェーハ11のエッジの加工方法において、カップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11方向にオフセットさせ、カップ型砥石3と半導体ウェーハ11が斜めに接触して加工する方法である。
また本発明(請求項5)は、請求項3に記載のワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石3の回転軸Oを更に半導体ウェーハ11の回転軸方向にオフセットさせ、カップ型砥石3と半導体ウェーハ11が1箇所で斜めに接触して加工する方法である。
また本発明方法(請求項6)は、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の半導体ウェーハ11の加工方法において、半導体ウェーハ11の平面11fに対して直交する平面内をカップ型砥石3の回転軸Oが移動して、任意のエッジ断面形状に加工する方法である。
また本発明方法(請求項7)は、請求項6に記載の半導体ウェーハ11のエッジの加工方法において、半導体ウェーハ11の吸着ステージ2aと反対側のエッジの面11dはスピンドル13と反対側の軸直角端面3aを、半導体ウェーハ11の吸着ステー側のエッジの面11eはスピンドル13側の軸直角端面3aを夫々使用して加工する方法である。
また本発明方法(請求項8)は、請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の半導体ウェーハ11のエッジの加工方法において、粗研削及び精密研削共カップ型砥石3を使用して加工する方法である。
本発明は、上記のように構成されており、以下その作用について説明する。まず本発明のワークのエッジの加工装置1全体の作用について図1から図4により説明すると、ワーク取付け台2の吸着ステージ2aに半導体ウェーハ11が吸着されて作業が開始されるが、このときはまだワーク取付け台2は、図1に示すように、カップ型砥石3から図中手前側に離脱した非加工位置に位置にある。
そこで、図1において、ワーク取付け台の直線駆動機構4YのY軸駆動サーボモータ16が該サーボモータから見て反時計方向に回転すると、ボールねじ17も同方向に回転するので、ナット21を介してワーク取付け台2及び半導体ウェーハ11がカップ型砥石3に接近する方向に矢印Yの如く移動し、カップ型砥石3の回転軸Oと半導体ウェーハ11の回転軸O11とが略一致する加工位置に到達し、加工可能な配置となる。
またY軸駆動サーボモータ4が時計方向に回転すると、ワーク取付け台2はカップ型砥石3から離脱する方向に矢印Yの如く移動する。
このようにしてワーク取付け台2は、非加工位置においては、ワーク取付け台の直線駆動機構4Yによりカップ型砥石3に対して接近、離脱する方向に矢印Y−Yの如く往復移動する。
次に、図1において、ワーク取付け台の直線駆動機構4XのX軸駆動サーボモータ31が該サーボモータから見て反時計方向に回転すると、ボールねじ32も同方向に回転するので、ナット35及びナットハウジング37を介して台板25、一対のLMガイド26が一対のレール28に対して摺動し、ワーク取付け台の回転駆動機構8及びワーク取付け台2がベース20に対して広い角穴20aの限られた範囲内で図1中右方向に矢印Xの如く移動し、X軸駆動サーボモータ31が時計方向に回転すると、ワーク取付け台2は図1中左方向に矢印Xの如く移動する。
このようにしてワーク取付け台2は、加工位置においては、ワーク取付け台の直線駆動機構4Xによりカップ型砥石3に対して接近、離脱する方向に矢印X−Xの如く移動する。
なお上記のように、本発明では、カップ型砥石3の軸直角端面3aを使用して加工を行うので、加工位置においては、矢印X方向がカップ型砥石3に対する半導体ウェーハ11の接近、離脱方向となり、矢印Y方向がトラバース方向となる。
このため、加工位置においては、スピンドル13の回転軸13aが矢印X−Xの如く往復動するようになっており、2つのカップ型砥石3を同時に使用して倍速の加工を行うときには、ワーク取付け台2はX方向に移動させることはできないので、矢印X方向には固定しておき、一対のカップ型砥石3A,3Bの位置は数値制御によりスピンドル13A,13Bの回転軸13aの矢印X−X方向の往復動により定められ、半導体ウェーハ11のエッジ11aへの加工の切込み量が夫々(ただし通常は同一に)定められる。
なお、一方のカップ型砥石3のみを使用して加工するときには、上記と同様スピンドル13の回転軸13aの往復動によってもよく、またワーク取付け台の直線駆動機構4Xを使用してワーク取付け台2を矢印X−Xの如く移動させてカップ型砥石3の半導体ウェーハ11のエッジ11aへの加工の切込み量を定めることもできる。
ワーク取付け台の回転駆動機構8においては、図1に示すように、内蔵されたθ軸駆動サーボモータ(図示せず)の回転によりワーク取付け台2が矢印θ−θの如く数値制御されて往復回転する。これによって半導体ウェーハ11のオリエンテーションフラットOFの両端の円弧部やノッチ11bの加工の際にカップ型砥石3のX方向及びY方向の位置と半導体ウェーハ11の回転方向、即ち矢印θ方向位置(回転角度θ)との相互関数関係で定まる時々刻々の各部の位置を設定して加工を進めることができる。
次に、砥石の第1の直線駆動機構9Aの砥石のZ軸駆動サーボモータ50が該サーボモータから見て反時計方向に回転すると、ボールねじ51も同方向に回転するので、ナット55を介して上下可動台54A、ステー60、スピンドル13A及びカップ型砥石3Aが矢印ZAの如く下降し、Z軸駆動サーボモータ50が時計方向に回転すると、スピンドル13A及びカップ型砥石3Aは矢印ZAの如く上昇する。
このようにして、スピンドル13B及びカップ型砥石3Bとは無関係に、スピンドル13A及びカップ型砥石3Aのみが独立して上下同できる。
また砥石の第2の直線駆動機構9Bの砥石のZ軸駆動サーボモータ61が該サーボモータから見て反時計方向に回転すると、ボールねじ62も同方向に回転するので、ナット66を介して上下可動台54B、ステー71、スピンドル13B及びカップ型砥石3Bが矢印ZBの如く下降し、Z軸駆動サーボモータ61が時計方向に回転すると、スピンドル13B及びカップ型砥石3Bは矢印ZBの如く上昇する。
このようにして、スピンドル13A及びカップ型砥石3Aとは無関係に、スピンドル13B及びカップ型砥石3Bのみが独立して上下同できる。
次に、砥石のコンタリング駆動機構10の作用について説明すると、図1及び図4において、上下可動台54Aに固着されたステー60に取り付けられたスピンドル72Aが作動すると、その回転軸72aが往復回転し、ステー12Aが矢印C−C(図5参照)の如く往復回転し、スピンドル13A及びカップ型砥石3Aも同様に往復回転する。これによってカップ型砥石3Aは半導体ウェーハ11の板厚方向に公転し、その軸直角端面3aで半導体ウェーハ11のエッジ11aをコンタリング(contouring)加工して、エッジ11aを、上平面11fu,上斜面11gu,下斜面11gd,下平面11fd(図29参照)との連続として任意断面形状に加工することができる。
なお、以上の説明はスピンドル72B、ステー12B、スピンドル13B及びカップ型砥石3Bについても全く同様であるので、これらについての説明は省略する。
以上の各駆動機構の作用により、一対のカップ型砥石3A,3Bを用いて半導体ウェーハ11のエッジ11aに対し、コンタリングの研削加工、オリエンテーションフラットOFの加工、ノッチ11bの加工等すべての加工を実施することができる。
次に、図5から図29により、カップ型砥石3による具体的な加工方法について説明する。まず図5及び図7において、半導体ウェーハ11のエッジ11aにノッチ加工を行う場合について説明すると、カップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11から距離e(図7の状態ではカップ型砥石3の直径の約1/2)だけ水平方向のみにオフセットさせた状態で、カップ型砥石3の軸直角端面3aで半導体ウェーハ11のエッジ11aを加工する場合、軸直角端面3aを半導体ウェーハ11のエッジ11aに接触させると、図7に示すように、カップ型砥石3の軸直角端面3aの1箇所(一部のみ)がエッジ11aに直角に接触し、他の部分は決して接触しない。これがカップ型砥石3の軸直角端面3aを使用してエッジ11aを加工するメリットである。
スピンドル13Aの回転軸13aが矢印Aの如く回転すると、カップ型砥石3の軸直角端面3aにより半導体ウェーハ11のエッジ11aにノッチ11bの加工を施すことができる。ノッチ11bの所望の形状を得るには、カップ型砥石3の矢印X方向位置を、矢印Y−Y方向位置の関数として定め、スピンドル13Aの回転軸13aの矢印X方向の数値制御された往復動又はワーク取付け台2の矢印X方向の数値制御された往復動により、半導体ウェーハ11を矢印Y方向に移動(トラバース)させながら加工すればよい。この場合、図6から明らかなように、ノッチ11bの加工部位にクーラント(図示せず)が入り易く、従ってカップ型砥石3の耐久性を増大させることができる。
次に、図6により半導体ウェーハ11のエッジ11aに直線部を形成する場合又は全周について均一な研削をする場合について説明する。カップ型砥石3の軸直角端面3aの一部を半導体ウェーハ11のエッジ11aに接触させて、該カップ型砥石を矢印Aの如く回転させ、単に半導体ウェーハ11を回転させれば、エッジ11aの全周を均一に研削することができる。
また図6の状態で、半導体ウェーハ11を回転させず、単に矢印Y方向に移動(トラバース)させれば、オリエンテーションフラットOFの直線部を研削でき、また半導体ウェーハ11の矢印θ方向の回転と、矢印X方向の移動(又はスピンドル13Aの回転軸13aによるカップ型砥石3の矢印X方向の移動)の位置制御によりオリエンテーションフラットOFの円弧部分も自在に研削して成形することができる。
なお、図6の状態で、カップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11に対して水平方向にも回転軸O11方向にも全くオフセットさせなければ、カップ型砥石3はその軸直角端面3aの2箇所で半導体ウェーハ11のエッジ11aに接触して該2箇所を同時に研削することができる。これが図6に示す加工状態である。
またカップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11から適宜の距離eだけ水平方向にオフセットさせると、カップ型砥石3の軸直角端面3aの1箇所のみが半導体ウェーハ11のエッジ11aに直角に接触し、該1箇所のみにより該エッジの研削を行うことができる。
このように、カップ型砥石3の回転軸Oの半導体ウェーハ11の回転軸O11に対する水平方向のオフセットの有無によりカップ型砥石3の軸直角端面3aの1箇所又は2箇所を接触させて研削加工をすることができる。
更にこれを図8から図12により詳しく説明する。カップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11から水平方向にのみオフセットさせてカップ型砥石3の軸直角端面3aで半導体ウェーハ11のエッジ11aを直角に研削する場合について説明すると、図10に示すように、半導体ウェーハ11の回転軸O11からカップ型砥石3の円筒部3bの板厚の中心と回転軸Oとの距離eだけ水平方向にオフセットさせることにより、円筒部3bの板厚の中心が半導体ウェーハ11の回転軸O11に一致し、カップ型砥石3のこの1箇所のみで半導体ウェーハ11のエッジ11aを直角に研削することができる。
即ち、図12に示すように、カップ型砥石3の円筒部3bの板厚の中心の接線78と半導体ウェーハ11の板厚の中心線79とのなす角が直角、即ち90°となり、わずかに円筒部3bの曲率半径で定まる円弧状になるものの、ほとんど直角の加工線11jがエッジ11aに現れるような研削を行うことができる。
なお、上記加工線11jの中心線79に対する角度90°は、カップ型砥石3の非常に高い研削速度に対して半導体ウェーハ11の低速回転に伴う低い周速度が無視できる程度に小さいとして、無視した場合のことであり、半導体ウェーハ11の周速度を考慮に入れて厳密に計算すると、実際の加工線11jの角度は、90°からわずかにずれて斜めになることになる。
次に、図13から図15により、カップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11から水平方向及び垂直方向にオフセットさせてカップ型砥石3の軸直角端面3aで半導体ウェーハ11のエッジ11aを斜めにに研削する場合について説明すると、図14に示すように、半導体ウェーハ11の回転軸O11とその板厚の中心線79との交点Pから回転軸O11に対して45°方向に距離eだけカップ型砥石3の回転軸Oをオフセットさせる。
これによって、図15に示すように、カップ型砥石3の円筒部3bの板厚の中心の接線78と半導体ウェーハ11の板厚の中心線79とのなす角がちょうど45°となり、エッジ11aに45°の斜めの加工線11jが現れるような研削を行うことができる。なお、この場合水平方向のオフセットは、e・cos45°であり、回転軸O11方向(垂直方向)のオフセットはe・sin45°あるから、共に0.707eである。
そしてカップ型砥石3の回転軸Oを半導体ウェーハ11の回転軸O11に対して30°の方向に距離eだけオフセットさせれば上記接線78の角度が30°となり、同様に15°の方向にオフセットさせれば接線78の上記角度は15°となるから、距離eのオフセットの方向を変えるだけで任意の斜めの加工線11jでエッジ11aを加工することができる。
この加工線11jの傾斜角度は45°の場合に最良の面粗度が得られ、ピット等の防止の上からも最良の傾斜角度であることが判明している。
なお、上記加工線11jの中心線79に対する角度45°、30°、15°等は、カップ型砥石3の非常に高い研削速度に対して半導体ウェーハ11の低速回転に伴う低い周速度が無視できる程度に低いとして、無視した場合のことであり、半導体ウェーハ11の周速度を考慮に入れて厳密に計算すると、加工線11jの実際の傾斜角度は、これらの角度からわずかにずれた角度となる。
以上のように、カップ型砥石3の軸直角端面3aを用いて半導体ウェーハ11のエッジ11aを研削加工することにより、非常に簡単に該エッジに対して斜め方向の研削が可能となったのである。なお、図16から図18に加工終了後の半導体ウェーハ11のエッジ11aの状態を示してあるように、加工線11jが上斜面11gu,下斜面11gdでは半径方向に入った非常にきれいな研削面を得ることができる。
次に、図19から図24により、半導体ウェーハ11の平面11fに対して直交する平面内をカップ型砥石3の回転軸Oが移動して、半導体ウェーハ11の任意のエッジ断面形状に加工する方法について説明する。
なお、ここでいう「半導体ウェーハ11の平面11fに対して直交する平面内をカップ型砥石3の回転軸Oが移動する」とは、砥石のコンタリング駆動機構10により、「カップ型砥石3が取り付けられたスピンドル13を、半導体ウェーハ11の平面11fに対してカップ型砥石3がエッジ3aへの接触角度を変えながら半導体ウェーハ11の板厚方向に公転するように駆動すること」を含む意味である。
従って、「直交する平面内」を文言通り厳密に又は狭義に解釈すべきではない。
図19及び図22において、ワーク取付け台2が矢印X−Xの如く移動し、同時にワーク取付け台の回転駆動機構8によりカップ型砥石3の回転速度に比較して低速で矢印θの如く回転しており、カップ型砥石3がスピンドル13により回転しながらその軸直角端面3aが半導体ウェーハ11のエッジ1aに接触して該エッジの平面11fに対して直角方向の研削加工が開始される。図示の状態では、カップ型砥石3の回転軸Oは半導体ウェーハ11の回転中心O11に対して半導体ウェーハ11の面方向(水平方向)及び該半導体ウェーハの回転軸方向(垂直方向)の両方にオフセットされており、図14に示すと同様の研削条件である。
なお、カップ型砥石3の回転軸Oが半導体ウェーハ11の回転軸O11に対して水平方向にオフセットしていなければ、カップ型砥石3の2箇所が半導体ウェーハ11のエッジ11aに接触して2箇所を同時に加工することができ、また水平方向にのみカップ型砥石3の回転軸Oをオフセットさせると、カップ型砥石3の1箇所のみを半導体ウェーハ11のエッジ11aに直角に接触させて加工することができる。
このように、カップ型砥石3の回転軸Oのオフセットの仕方により、カップ型砥石3の半導体ウェーハ11に対する接触点が変化する。
そこで、図20及び図23に示すように、砥石のコンタリング駆動機構10が作動して、スピンドル72の回転軸72aが矢印C方向に回転すると、揺動腕12及びスピンドル13、従ってカップ型砥石3の回転軸Oが同方向に同一角度回転し、カップ型砥石3の半導体ウェーハ11のエッジ11aへの接触角度が変化し、半導体ウェーハ11の吸着ステージ2aと反対側の面、即ち上斜面11guの研削加工が行われる。
次に、図21及び図24に示すように、砥石のコンタリング駆動機構10が逆方向に作動して、スピンドル13が矢印Cの如く時計方向に回転すると、カップ型砥石3は半導体ウェーハ11の吸着ステージ2a側(下側)に回り込み、その軸直角端面3aで吸着ステージ2a側のエッジ11aの面、即ち下斜面11gdの研削加工が行われる。
この場合、カップ型砥石3の上下方向の移動は、矢印ZAの如く砥石の第1の直線駆動機構9Aの作動によるステー60の上下動により達成され、ワーク取付け台2のX軸方向の移動は、矢印Xの如くワーク取付け台の直線駆動機構4X(図1参照)の作動により達成される。
以上のようにして、砥石のコンタリング駆動機構10を作動させることにより、カップ型砥石3は、半導体ウェーハ11のエッジ11aへの接触角度を変えながら半導体ウェーハ11の板厚方向に公転しながらその軸直角端面3aで研削加工を行うので、任意断面のエッジ11aの研削加工を行うことができる。
次に、図25及び図26により、同心で半径の異なるカップ型砥石3を複数個取り付けたカップ型砥石3の作用について説明する。これらの複数のカップ型砥石3A,3B,3Cは同一種類のものでもよく、異なる種類のものでもよい。
同一種類のものであれば、一つのカップ型砥石3が摩耗したら、次のものを順次使用して研削加工を行うことができるから、カップ型砥石3の寿命が延びたと同じ効果が得られ、カップ型砥石3の交換を要することなく、長時間同一のカップ型砥石3で研削加工を続行することができる。
またカップ型砥石3A,3B,3Cが異なる種類のものであれば、例えば粒度の違うカップ型砥石3A,3B,3Cで夫々研削加工を行えば、粗研削、中間研削、及び精密研削等のように、異なる種類の研削加工を単一のカップ型砥石3で行うことができ、カップ型砥石3の交換は不要である。
次に、図27により、同一径、同一種類のカップ型砥石3A,3Dをフランジ14を中心にして背中合せに取り付け、カップ型砥石3の回転軸O方向の両側に軸直角端面3aが形成されたカップ型砥石3の作用について説明する。
このカップ型砥石3によれば、スピンドル13と反対側のカップ型砥石3Aにより半導体ウェーハ11のエッジ11aの全部を研削加工することもでき、また半導体ウェーハ11の吸着ステージ2aと反対側のエッジの面11dは、スピンドル13と反対側のカップ型砥石3Aの軸直角端面3aで研削加工し、吸着ステージ2a側のエッジの面11eは、スピンドル13側のカップ型砥石3Bの軸直角端面3aで研削加工することができる。
図28に示すカップ型砥石3では、同一径、同一種類のカップ型砥石3A,3Bが回転軸O方向の両側に一体的に背中合せに形成されており、半導体ウェーハ11の吸着ステージ2a側のエッジの面11eは、図示のように、スピンドル13を半導体ウェーハ11の上側に配置した状態で、スピンドル13側のカップ型砥石3Bの軸直角端面3aを用いて研削加工することができる。
要するに、スピンドル13を半導体ウェーハ11の上側に置いたまま、カップ型砥石3Bが半導体ウェーハ11の下側に入り込むことが可能となるため、カップ型砥石3の大きさ(直径)を従来よりも大きくでき、カップ型砥石3の幅(円筒部3bの板厚)も広くでき、この結果加工時間が短くなり、更にはカップ型砥石3の寿命も長くなる効果が得られる。
図面は本発明の実施例に係り、図1はワークのエッジの加工装置の平面図である。 ワークのエッジの加工装置の側面図である。 ワーク取付け台と、半導体ウェーハと一対のカップ型砥石との相互関係を示す部分拡大側面図である。 ワークのエッジの加工装置の正面図である。 カップ型砥石の軸直角端面で半導体ウェーハのエッジにノッチ加工をしている状態を示す斜視図である。 カップ型砥石の軸直角端面で半導体ウェーハのエッジにオリエンテーションフラットの加工をしている状態を示す斜視図である。 カップ型砥石の軸直角端面で半導体ウェーハのエッジにノッチ加工をしている状態を示す部分拡大平面図である。 半導体ウェーハの回転軸に対してカップ型砥石の回転軸を水平方向にオフセットさせて半導体ウェーハのエッジに対して直角に研削加工している状態を示す斜視図である。 図8に示すものの部分縦断面正面図である。 図8に示すものの平面図である。 図10に示すものを半導体ウェーハ側から見た概略正面図である。 カップ型砥石の軸直角端面と半導体ウェーハのエッジとの接触部における相互関係、即ちエッジに直角の加工線が生ずる原理を示す部分拡大概略図である。 半導体ウェーハの回転軸に対してカップ型砥石の回転軸を水平方向及び半導体ウェーハの回転軸方向の双方にオフセットさせて半導体ウェーハのエッジに対して斜めに研削加工している状態を示す平面図である。 図13に示すものを半導体ウェーハ側から見た概略正面図である。 カップ型砥石の軸直角端面と半導体ウェーハのエッジとの接触部における相互関係、即ちエッジに斜め(45°)の加工線が生ずる原理を示す部分拡大概略図である。 図6と同様の斜視図である。 研削加工が終了した半導体ウェーハのエッジに斜めの加工線が生じた状態を示す部分拡大斜視図である。 図17に示すものの部分拡大正面図である。 図19から図24はカップ型砥石の軸直角端面を用いて半導体ウェーハのエッジにコンタリング研削加工を施してエッジの断面の成形加工をしている状態を示し、図19はカップ型砥石のスピンドルが水平の状態を示す部分縦断面正面図である。 スピンドルが半導体ウェーハの上側に位置して吸着ステージと反対側のエッジの面を研削加工している状態を示す部分縦断面正面図である。 スピンドルが半導体ウェーハの下側に位置して吸着ステージ側のエッジの面を研削加工している状態を示す拡大部分縦断面正面図である。 図19の研削加工状態の部分拡大正面図である。 図20の研削加工状態の部分拡大正面図である。 図21の研削加工状態の部分拡大正面図である。 同心で直径の異なる複数のカップ型砥石を有するカップ型砥石で半導体ウェーハのエッジを研削加工している状態を示す斜視図である。 同心で直径の異なる複数のカップ型砥石を有するカップ型砥石の斜視図である。 回転軸方向に同一のカップ型砥石を背中合せに取り付けたカップ型砥石の一方の軸直角端面で半導体ウェーハのエッジを研削加工している状態を示す正面図である。 回転軸方向に同一のカップ型砥石を背中合せに一体成形により形成したカップ型砥石のスピンドル側の軸直角端面で、スピンドルを半導体ウェーハの上側に配置したまま半導体ウェーハの吸着ステージ側(下側)のエッジの面を研削加工している状態を示す正面図である。
符号の説明
1 ワークのエッジの加工装置
2 ワーク取付け台
3 カップ型砥石
3A カップ型砥石
3B カップ型砥石
3C カップ型砥石
3a 軸直角端面
3b 円筒部
3c 内部
3d 底部
3e 面取り
3f 外周
4 ワーク取付け台の直線駆動機構
4X ワーク取付け台の直線駆動機構
4Y ワーク取付け台の直線駆動機構
7 ナット
8 ワーク取付け台の回転駆動機構
9 砥石の直線駆動機構
9A 第1の砥石の直線駆動機構
9B 第2の砥石の直線駆動機構
10 砥石のコンタリング駆動機構
10A 第1の砥石のコンタリング駆動機構
10B 第2の砥石のコンタリング駆動機構
11 ワークの一例たる半導体ウェーハ
11a エッジ
11b ノッチ
11c 谷部
11d 吸着ステージと反対側のエッジの面
11e 吸着ステージ側のエッジの面
11f 平面
11fd 下平面
11fu 上平面
11g 斜面
11gd 下斜面
11gu 上斜面
11h 円弧
11hd 下円弧
11hu 上円弧
11i 直線
11j 加工線
12 揺動腕
13 スピンドル
13A スピンドル
13B スピンドル
14 フランジ
15 基台
16 Y軸駆動サーボモータ
17 ボールねじ
18 軸受
19 軸受
20 ベース
21 ナット
22 LMガイド
22A LMガイド
22B LMガイド
23 レール
23A レール
23B レール
25 台板
26 LMガイド
28 レール
29 支持部材
30 ステー
31 X軸駆動サーボモータ
32 ボールねじ
33 軸受
34 軸受
35 ナット
37 ナットハウジング
38 Z軸駆動サーボモータ
39 ボールねじ
40 軸受
41 軸受
42 ナット
50 砥石のZ軸駆動サーボモータ
51 ナット
52 軸受
53 軸受
54 上下可動台
54A 上下可動台
54B 上下可動台
55 ナット
56 レール
58 レール
59 LMガイド
59A LMガイド
59B LMガイド
60 ステー
61 砥石のZ軸駆動サーボモータ
62 ボールねじ
63 軸受
64 軸受
66 ナット
68 レール
69 レール
71 ステー
72 スピンドル
72A スピンドル
72B スピンドル
72a 回転軸
73 ボルト
74 ボルト
75 ボルト
76 ボルト
78 接線
79 半導体ウェーハの板厚の中心線
A 矢印
B 矢印
C 矢印
e 距離
P 交点
R 半径
R1 半径
R2 半径
X 矢印
X1 面幅
X2 面幅
X3 面幅
Y 矢印
Z 矢印
ZA 矢印
ZB 矢印
α1 角度
α2 角度
θ 矢印

Claims (14)

  1. ワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、ワークを回転させながら該ワークの外周エッジを加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  2. ワークの平面に対して直交する平面内に回転軸を持つカップ型砥石の軸直角端面で、前記ワークを前記カップ型砥石に対して相対往復移動させながら該ワークのオリエンテーションフラット又はノッチのエッジを加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  3. 請求項1又は請求項2に記載のワークのエッジの加工方法において、カップ型砥石の回転軸を前記ワークの回転軸から該ワークの平面方向にオフセットさせ、前記カップ型砥石と前記ワークが1箇所で直角に接触して加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  4. 請求項1又は請求項2に記載のワークのエッジの加工方法において、前記カップ型砥石の回転軸を前記ワークの回転軸方向にオフセットさせ、前記カップ型砥石と前記ワークが斜めに接触して加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  5. 請求項3に記載のワークのエッジの加工方法において、前記カップ型砥石の回転軸を更に前記ワークの回転軸方向にオフセットさせ、前記カップ型砥石と前記ワークが1箇所で斜めに接触して加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のワークのエッジの加工方法において、前記ワークの平面に対して直交する平面内をカップ型砥石の回転軸が移動して、任意のエッジ断面形状に加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  7. 請求項6に記載のワークのエッジの加工方法において、ワークの吸着ステージと反対側のエッジの面はスピンドルと反対側の軸直角端面を、ワークの吸着ステージ側のエッジの面はスピンドル側の軸直角端面を夫々使用して加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  8. 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のワークのエッジの加工方法において、粗研削及び精密研削共カップ型砥石を使用して加工することを特徴とするワークのエッジの加工方法。
  9. 請求項8に記載のワークのエッジの加工方法を1個のカップ型砥石で実現させるようにしたことを特徴とする砥石。
  10. 請求項7に記載のワークのエッジの加工方法に用いられ、同心で半径の異なるカップ型砥石を複数個取り付けたことを特徴とする一体型のカップ型砥石。
  11. 同心で半径の異なる同一種類のカップ型砥石を複数個取り付けたことを特徴とする一体型のカップ型砥石。
  12. 薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、前記ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、前記ワーク取付け台を前記カップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも2軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、前記ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、前記カップ型砥石が取り付けられたスピンドルを前記ワークの平面に対して相対的に前記カップ型砥石が前記エッジへの接触角度を変えながら前記ワークの板厚方向に公転するように駆動する砥石のコンタリング駆動機構とを備えたことを特徴とするワークのエッジの加工装置。
  13. 薄板状のワークを着脱可能に構成されたワーク取付け台と、前記ワークのエッジを軸直角端面で加工するカップ型砥石と、前記ワークの平面と平行に前記ワーク取付け台を前記カップ型砥石に対して相対的に接近、離脱又はトラバースさせる方向に駆動する少なくとも1軸以上のワーク取付け台の直線駆動機構と、前記ワーク取付け台を回転させるワーク取付け台の回転駆動機構と、前記カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルを前記ワークに対して夫々独立して垂直方向に往復駆動する複数の砥石の直線駆動機構と、前記カップ型砥石が夫々取り付けられた複数のスピンドルを前記ワークの平面に対して前記カップ型砥石が夫々前記エッジへの接触角度を変えながら前記ワークの板厚方向に公転するように駆動する複数の砥石のコンタリング駆動機構とを備えたことを特徴とするワークのエッジの加工装置。
  14. 前記ワークは、半導体ウェーハであることを特徴とする請求項12又は請求項13に記載のワークのエッジの加工装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012183592A (ja) * 2011-03-03 2012-09-27 Bbs Kinmei Co Ltd 研磨装置
JP2014046450A (ja) * 2012-09-04 2014-03-17 Thk Co Ltd 螺旋溝加工方法、この方法によって形成されるねじ軸、このねじ軸を備える転動体ねじ装置
CN108857793A (zh) * 2018-07-25 2018-11-23 潘晓青 一种用于杯状工件的打磨装置
JP2019204940A (ja) * 2018-05-25 2019-11-28 力成科技股▲分▼有限公司 フルエッジトリミングを用いたウェハ処理方法
US11705329B2 (en) 2017-06-28 2023-07-18 Showa Denko K.K. SiC epitaxial wafer and method for manufacturing same
KR20240006007A (ko) 2021-06-24 2024-01-12 이치로 가타야마 워크 가공 장치, 지석, 및 워크 가공 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11207584A (ja) * 1998-01-27 1999-08-03 M Tec Kk ワーク外周面の研削方法及び装置
JP2001129750A (ja) * 1999-11-05 2001-05-15 Systemseiko Co Ltd ワークエッジの研磨方法および研磨装置
JP2004050345A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Hitachi Zosen Corp 薄板状ワーク外周部加工装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11207584A (ja) * 1998-01-27 1999-08-03 M Tec Kk ワーク外周面の研削方法及び装置
JP2001129750A (ja) * 1999-11-05 2001-05-15 Systemseiko Co Ltd ワークエッジの研磨方法および研磨装置
JP2004050345A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Hitachi Zosen Corp 薄板状ワーク外周部加工装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012183592A (ja) * 2011-03-03 2012-09-27 Bbs Kinmei Co Ltd 研磨装置
JP2014046450A (ja) * 2012-09-04 2014-03-17 Thk Co Ltd 螺旋溝加工方法、この方法によって形成されるねじ軸、このねじ軸を備える転動体ねじ装置
US11705329B2 (en) 2017-06-28 2023-07-18 Showa Denko K.K. SiC epitaxial wafer and method for manufacturing same
JP2019204940A (ja) * 2018-05-25 2019-11-28 力成科技股▲分▼有限公司 フルエッジトリミングを用いたウェハ処理方法
CN108857793A (zh) * 2018-07-25 2018-11-23 潘晓青 一种用于杯状工件的打磨装置
KR20240006007A (ko) 2021-06-24 2024-01-12 이치로 가타야마 워크 가공 장치, 지석, 및 워크 가공 방법

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