JPH0626020B2 - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0626020B2 JPH0626020B2 JP9413985A JP9413985A JPH0626020B2 JP H0626020 B2 JPH0626020 B2 JP H0626020B2 JP 9413985 A JP9413985 A JP 9413985A JP 9413985 A JP9413985 A JP 9413985A JP H0626020 B2 JPH0626020 B2 JP H0626020B2
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- Japan
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- recording
- manufacturing
- perpendicular magnetic
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 Co-Cr記録層と高透磁率裏打ち層との間にTi層を設けた
垂直磁気記録媒体の製造法において、成膜後一旦大気に
露出されたTi層の上にCo-Cr 記録層を形成することによ
り、高密度記録を可能とする。
垂直磁気記録媒体の製造法において、成膜後一旦大気に
露出されたTi層の上にCo-Cr 記録層を形成することによ
り、高密度記録を可能とする。
〔産業上の利用分野〕 この発明は、垂直磁気記録媒体の製造方法に係り、さら
に詳細には Co-Cr記録層と高透磁率裏打ち層との垂直二
層膜記録媒体を高密度記録化するための新しい製造方法
に関するものである。
に詳細には Co-Cr記録層と高透磁率裏打ち層との垂直二
層膜記録媒体を高密度記録化するための新しい製造方法
に関するものである。
この種の垂直二層膜記録媒体においては、パーマロイ(N
i-Fe) などの裏打ち層が Co-Cr記録層の垂直異方性を劣
化させる問題があるとともに、その対策案が既に種々提
案されている。
i-Fe) などの裏打ち層が Co-Cr記録層の垂直異方性を劣
化させる問題があるとともに、その対策案が既に種々提
案されている。
上記 Co-Cr記録層の垂直配向性を向上させた垂直二層膜
記録媒体として、 Co-Cr記録層と Ni-Fe裏打ち層との間
に50〜 500ÅのTi層を設けたものが特開昭58-14318号に
開示されている。かかるTi層を介在した垂直二層膜記録
媒体は、同一真空槽内において非磁性基板上に Ni-Fe裏
打ち層、Ti槽、 Co-Cr記録層を連続にスパッタ成膜する
ことで得られるものであった。
記録媒体として、 Co-Cr記録層と Ni-Fe裏打ち層との間
に50〜 500ÅのTi層を設けたものが特開昭58-14318号に
開示されている。かかるTi層を介在した垂直二層膜記録
媒体は、同一真空槽内において非磁性基板上に Ni-Fe裏
打ち層、Ti槽、 Co-Cr記録層を連続にスパッタ成膜する
ことで得られるものであった。
しかし、上記した従来の垂直二層膜記録媒体の製造方法
では、十分な高密度記録が実現できないという問題があ
った。
では、十分な高密度記録が実現できないという問題があ
った。
この発明は、以上のような従来の状況からTi層を介在し
た垂直二層膜記録媒体を対象にして高密度記録を実現す
る製造方法の提供を目的とするものである。
た垂直二層膜記録媒体を対象にして高密度記録を実現す
る製造方法の提供を目的とするものである。
この発明の垂直二層膜記録媒体の製造方法では、高透磁
率裏打ち層上にTi層を成膜後、一旦大気に露出してから
そのTi層上に Co-Cr記録層を成膜する工程が採られる。
率裏打ち層上にTi層を成膜後、一旦大気に露出してから
そのTi層上に Co-Cr記録層を成膜する工程が採られる。
大気に露出されたTi層は表面が酸化し、それによってそ
の上に被着される Co-Cr記録層の初期生成膜において六
方晶形のＣ軸の垂直性が向上し、記録層全体の垂直異方
性を向上する。
の上に被着される Co-Cr記録層の初期生成膜において六
方晶形のＣ軸の垂直性が向上し、記録層全体の垂直異方
性を向上する。
第１図はこの発明に製造方法によって得られた垂直二層
膜記録媒体の要部断面図を示し、11は表面をアルマイト
処理したアルミニウム板、12は膜厚0.02μｍのTi層、13
は膜厚 0.5μｍの Ni-Fe裏打ち層、14は表面が酸化され
た膜厚0.02μｍのTi層、そして15は膜厚0.17μｍの Co-
Cr記録層である。
膜記録媒体の要部断面図を示し、11は表面をアルマイト
処理したアルミニウム板、12は膜厚0.02μｍのTi層、13
は膜厚 0.5μｍの Ni-Fe裏打ち層、14は表面が酸化され
た膜厚0.02μｍのTi層、そして15は膜厚0.17μｍの Co-
Cr記録層である。
上記した各層の成膜にはマグネトロンスパッタ装置を用
い、スパッタ条件は下表のとおりである。
い、スパッタ条件は下表のとおりである。
なお、このスパッタリング法による成膜において重要な
ことは、 Ni-Fe層13と Co-Cr層15の中間のTi層14を、上
の表で示す条件でスパッタ成膜した後、チャンバーの真
空を破り10分間大気に露出して酸化させることである。
そして、表面が酸化されたTi層14の上に Co-Cr記録層を
上記表に示す条件にて成膜する。
ことは、 Ni-Fe層13と Co-Cr層15の中間のTi層14を、上
の表で示す条件でスパッタ成膜した後、チャンバーの真
空を破り10分間大気に露出して酸化させることである。
そして、表面が酸化されたTi層14の上に Co-Cr記録層を
上記表に示す条件にて成膜する。
このようにして製造された垂直二層膜記録媒体の記録再
生特性を、磁極厚 0.3μｍの主磁極型ヘッドを用いて測
定した結果、第２図に示すような記録密度の向上が得ら
れた。すなわち、この図において曲線Ａは本発明による
記録媒体の特性曲線、曲線Ｂは全ての層を本発明と同一
スパッタ条件で連続成膜して作成した記録媒体（前記し
た従来の記録媒体に相当）の特性曲線を示し、両曲線よ
り明らかなように本発明の記録媒体の方が記録密度特性
は優れている。なお、同図の縦軸の相対出力はそれぞれ
の媒体の記録密度１kFCIにおける値で規格した再生出力
を意味する。
生特性を、磁極厚 0.3μｍの主磁極型ヘッドを用いて測
定した結果、第２図に示すような記録密度の向上が得ら
れた。すなわち、この図において曲線Ａは本発明による
記録媒体の特性曲線、曲線Ｂは全ての層を本発明と同一
スパッタ条件で連続成膜して作成した記録媒体（前記し
た従来の記録媒体に相当）の特性曲線を示し、両曲線よ
り明らかなように本発明の記録媒体の方が記録密度特性
は優れている。なお、同図の縦軸の相対出力はそれぞれ
の媒体の記録密度１kFCIにおける値で規格した再生出力
を意味する。
以上、この発明の一実施例について説明したが、本発明
はこれに限らず種々の変形が可能である。また各層の成
膜には真空蒸着法も適用できる。
はこれに限らず種々の変形が可能である。また各層の成
膜には真空蒸着法も適用できる。
以上の説明から明らかなように、この発明に係る垂直磁
気記録媒体の製造方法によれば、二層膜垂直記録媒体の
記録密度を高くすることができ、実用性に富んだ磁気記
録媒体を提供できる効果がある。
気記録媒体の製造方法によれば、二層膜垂直記録媒体の
記録密度を高くすることができ、実用性に富んだ磁気記
録媒体を提供できる効果がある。
第１図は、この発明の製造方法によって作成された二層
膜垂直記録媒体の一例構造を示す要部断面図、 第２図は、その二層膜垂直記録媒体の記録再生特性の向
上を説明するための図である。 図において、 11は非磁性基板、12はTi層、 13は Ni-Fe裏打ち層、 14は表面が酸化されたTi層、 15は Co-Cr記録層、 Ａは本発明記録媒体の記録再生特性曲線、 Ｂは従来記録媒体の記録再生特性曲線、 をそれぞれ示す。
膜垂直記録媒体の一例構造を示す要部断面図、 第２図は、その二層膜垂直記録媒体の記録再生特性の向
上を説明するための図である。 図において、 11は非磁性基板、12はTi層、 13は Ni-Fe裏打ち層、 14は表面が酸化されたTi層、 15は Co-Cr記録層、 Ａは本発明記録媒体の記録再生特性曲線、 Ｂは従来記録媒体の記録再生特性曲線、 をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】 Co-Cr記録層と高透磁率裏打ち層との間に
50〜 500ÅのTi層を設けた垂直磁気記録媒体の製造方法
であって、 非磁性基板(11)上に前記高透磁率裏打ち層(12)、Ti層(1
4)を順次成膜後、該Ti層(14)を一旦大気に露出してから
その上に前記 Co-Cr記録層(15)を成膜することを特徴と
する垂直磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413985A JPH0626020B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413985A JPH0626020B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61253640A JPS61253640A (ja) | 1986-11-11 |
| JPH0626020B2 true JPH0626020B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=14102051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9413985A Expired - Lifetime JPH0626020B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626020B2 (ja) |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP9413985A patent/JPH0626020B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61253640A (ja) | 1986-11-11 |
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