JPS61253640A - 垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS61253640A JPS61253640A JP9413985A JP9413985A JPS61253640A JP S61253640 A JPS61253640 A JP S61253640A JP 9413985 A JP9413985 A JP 9413985A JP 9413985 A JP9413985 A JP 9413985A JP S61253640 A JPS61253640 A JP S61253640A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
Ｃｏ−Ｃｒ記録層と高透磁率裏打ち層との間にＴｉ層を
設けた垂直磁気記録媒体の製造法において、成膜後一旦
大気に露出されたＴｉ層の上にＣｏ−Ｃｒ記録層を形成
することにより、高密度記録を可能とする。
設けた垂直磁気記録媒体の製造法において、成膜後一旦
大気に露出されたＴｉ層の上にＣｏ−Ｃｒ記録層を形成
することにより、高密度記録を可能とする。
この発明は、垂直磁気記録媒体の製造方法に係り、さら
に詳細にはＣｏ−Ｃｒ記録層と高透磁率裏打ち層との垂
直二層膜記録媒体を高密度記録化するための新しい製造
方法に関するものである。
に詳細にはＣｏ−Ｃｒ記録層と高透磁率裏打ち層との垂
直二層膜記録媒体を高密度記録化するための新しい製造
方法に関するものである。
この種の垂直二層膜記録媒体においては、パーマロイ（
Ｎｉ−Ｆｅ）などの裏打ち層がＣｏ−Ｃｒ記録層の垂直
異方性を劣化させる問題があるとともに、その対策案が
既に種々提案されている。
Ｎｉ−Ｆｅ）などの裏打ち層がＣｏ−Ｃｒ記録層の垂直
異方性を劣化させる問題があるとともに、その対策案が
既に種々提案されている。
上記Ｃｏ−Ｃｒ記録層の垂直配向性を向上させた垂直二
層膜記録媒体として、Ｃｏ−Ｃｒ記録層とＮｉ−Ｆｅ裏
打ち層との間に５０〜５００人のＴｉ層を設けたものが
特開昭５８−１４３１８号に開示されている。かかるＴ
ｉ層を介在した垂直二層膜記録媒体は、同一真空槽内に
おいて非磁性基板上にＮｉ−Ｆｅ裏打ち層、Ｔｉ層、Ｃ
ｏ−Ｃｒ記録層を連続にスパッタ成膜することで得られ
るものであった。
層膜記録媒体として、Ｃｏ−Ｃｒ記録層とＮｉ−Ｆｅ裏
打ち層との間に５０〜５００人のＴｉ層を設けたものが
特開昭５８−１４３１８号に開示されている。かかるＴ
ｉ層を介在した垂直二層膜記録媒体は、同一真空槽内に
おいて非磁性基板上にＮｉ−Ｆｅ裏打ち層、Ｔｉ層、Ｃ
ｏ−Ｃｒ記録層を連続にスパッタ成膜することで得られ
るものであった。
しかし、上記した従来の垂直二層膜記録媒体の製造方法
では、十分な高密度記録が実現できないという問題があ
った。
では、十分な高密度記録が実現できないという問題があ
った。
この発明は、以上のような従来の状況からＴｉ層を介在
した垂直二層膜記録媒体を対象にして高密度記録を実現
する製造方法の提供を目的とするものである。
した垂直二層膜記録媒体を対象にして高密度記録を実現
する製造方法の提供を目的とするものである。
この発明の垂直二層膜記録媒体の製造方法では、高透磁
率裏打ち層上にＴｉ層を成膜後、一旦大気に露出してか
らそのＴｉ層上にＣｏ−Ｃｒ記録層を成膜する工程が採
られる。
率裏打ち層上にＴｉ層を成膜後、一旦大気に露出してか
らそのＴｉ層上にＣｏ−Ｃｒ記録層を成膜する工程が採
られる。
大気に露出されたＴｉ層は表面が酸化し、それによって
その上に被着されるＣｏ−Ｃｒ記録層の初期生成膜にお
いて大方晶形のＣ軸の垂直性が向上し、記録層全体の垂
直異方性を向上する。
その上に被着されるＣｏ−Ｃｒ記録層の初期生成膜にお
いて大方晶形のＣ軸の垂直性が向上し、記録層全体の垂
直異方性を向上する。
第１図はこの発明に製造方法によって得られた垂直二層
膜記録媒体の要部断面図を示し、１１は表面をアルマイ
ト処理したアルミニウム基板、１２は膜厚０．０２μｎ
のＴｉ層、１３は膜厚０．５μｍのＮｉ−Ｆｅ裏打ち層
、１４は表面が酸化された膜厚０．０２μｍのＴｉ層、
そして１５は膜厚０．１７μｍのＣｏ−Ｃｒ記録層であ
る。
膜記録媒体の要部断面図を示し、１１は表面をアルマイ
ト処理したアルミニウム基板、１２は膜厚０．０２μｎ
のＴｉ層、１３は膜厚０．５μｍのＮｉ−Ｆｅ裏打ち層
、１４は表面が酸化された膜厚０．０２μｍのＴｉ層、
そして１５は膜厚０．１７μｍのＣｏ−Ｃｒ記録層であ
る。
上記した各層の成膜にはマグネトロンスパッタ装置を用
い、スパッタ条件は下表のとおりである。
い、スパッタ条件は下表のとおりである。
なお、このスパッタリング法による成膜において重要な
ことは、Ｎｉ−Ｆｅ層１３とＣｏ−Ｃｒ層１５の中間の
Ｔｉ層１４を、上の表で示す条件でスパッタ成膜した後
、チャンバーの真空を破り１０分間大気に露出して酸化
させることである。そして、表面が酸化されたＴｉ層１
４の上にＣｏ−Ｃｒ記録層を上記表に示す条件にて成膜
する。
ことは、Ｎｉ−Ｆｅ層１３とＣｏ−Ｃｒ層１５の中間の
Ｔｉ層１４を、上の表で示す条件でスパッタ成膜した後
、チャンバーの真空を破り１０分間大気に露出して酸化
させることである。そして、表面が酸化されたＴｉ層１
４の上にＣｏ−Ｃｒ記録層を上記表に示す条件にて成膜
する。
このようにして製造された垂直二層膜記録媒体の記録再
生特性を、磁極厚０．３μｍの主磁極型ヘッドを用いて
測定した結果、第２図に示すような記録密度の向上が得
られた。すなわち、この図において曲線Ａは本発明によ
る記録媒体の特性曲線、曲線Ｂは全ての層を本発明と同
一スパッタ条件で連続成膜して作成した記録媒体（前記
した従来の記録媒体に相当）の特性曲線を示し、両画線
より明らかなように本発明の記録媒体の方が記録密度特
性は優れている。なお、同図の縦軸の相対出力はそれぞ
れの媒体の記録密度１ ｋＦｃＩにおける値で規格した
再生出力を意味する。
生特性を、磁極厚０．３μｍの主磁極型ヘッドを用いて
測定した結果、第２図に示すような記録密度の向上が得
られた。すなわち、この図において曲線Ａは本発明によ
る記録媒体の特性曲線、曲線Ｂは全ての層を本発明と同
一スパッタ条件で連続成膜して作成した記録媒体（前記
した従来の記録媒体に相当）の特性曲線を示し、両画線
より明らかなように本発明の記録媒体の方が記録密度特
性は優れている。なお、同図の縦軸の相対出力はそれぞ
れの媒体の記録密度１ ｋＦｃＩにおける値で規格した
再生出力を意味する。
以上、この発明の一実施例について説明したが、本発明
はこれに限らず種々の変形が可能である。
はこれに限らず種々の変形が可能である。
また各層の成膜には真空蒸着法も適用できる。
以上の説明から明らかなように、この発明に係る垂直磁
気記録媒体の製造方法によれば、二層膜垂直記録媒体の
記録密度を高くすることができ、実用性に冨んだ磁気記
録媒体を提供できる効果がある。
気記録媒体の製造方法によれば、二層膜垂直記録媒体の
記録密度を高くすることができ、実用性に冨んだ磁気記
録媒体を提供できる効果がある。
第１図は、この発明の製造方法によって作成された二層
膜垂直記録媒体の一例構造を示す要部断面図、 第２図は、その二層膜垂直記録媒体の記録再生特性の向
上を説明するための図である。 図において、 １１は非磁性基板、 １２はＴｉ層、１３はＮｉ−
Ｆｅ裏打ち層、 １４は表面が酸化されたＴｉ層、 １５はＣｏ−Ｃｒ記録層、
膜垂直記録媒体の一例構造を示す要部断面図、 第２図は、その二層膜垂直記録媒体の記録再生特性の向
上を説明するための図である。 図において、 １１は非磁性基板、 １２はＴｉ層、１３はＮｉ−
Ｆｅ裏打ち層、 １４は表面が酸化されたＴｉ層、 １５はＣｏ−Ｃｒ記録層、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｃｏ−Ｃｒ記録層と高透磁率裏打ち層との間に５０〜５
００ÅのＴｉ層を設けた垂直磁気記録媒体の製造方法で
あって、 非磁性基板（１１）上に前記高透磁率裏打ち層（１２）
、Ｔｉ層（１４）を順次成膜後、該Ｔｉ層（１４）を一
旦大気に露出してからその上に前記Ｃｏ−Ｃｒ記録層（
１５）を成膜することを特徴とする垂直磁気記録媒体の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413985A JPH0626020B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9413985A JPH0626020B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61253640A true JPS61253640A (ja) | 1986-11-11 |
| JPH0626020B2 JPH0626020B2 (ja) | 1994-04-06 |
Family
ID=14102051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9413985A Expired - Lifetime JPH0626020B2 (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0626020B2 (ja) |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP9413985A patent/JPH0626020B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0626020B2 (ja) | 1994-04-06 |
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