JPH06258825A - 感放射線性樹脂組成物の調製法 - Google Patents
感放射線性樹脂組成物の調製法Info
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- JPH06258825A JPH06258825A JP4117693A JP4117693A JPH06258825A JP H06258825 A JPH06258825 A JP H06258825A JP 4117693 A JP4117693 A JP 4117693A JP 4117693 A JP4117693 A JP 4117693A JP H06258825 A JPH06258825 A JP H06258825A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 比較的大きい非溶解粒子数が調製時及び長期
保存後に少ない、感放射線性樹脂組成物の調製法を提供
する。 【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物、溶
剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化
合物を含む感放射線性樹脂組成物の調製法であって、ア
ルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未
満のアルカリ可溶性化合物を混合して溶液を得ること、
並びに得られた溶液と感放射線性化合物とを混合して溶
解することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製
法。
保存後に少ない、感放射線性樹脂組成物の調製法を提供
する。 【構成】 アルカリ可溶性樹脂、感放射線性化合物、溶
剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化
合物を含む感放射線性樹脂組成物の調製法であって、ア
ルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未
満のアルカリ可溶性化合物を混合して溶液を得ること、
並びに得られた溶液と感放射線性化合物とを混合して溶
解することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の調製
法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は感放射線性化合物、アル
カリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満
のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂組成物の
調製法に関する。
カリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900 未満
のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂組成物の
調製法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、感放射線性樹脂組成物は感放射線
性化合物、アルカリ可溶性樹脂及び必要に応じて分子量
900 未満のアルカリ可溶性化合物を溶剤と混合すること
により調製されていた。しかしながら、この調製法で
は、感放射線性化合物、アルカリ可溶性樹脂及び溶剤の
組合せ等により、上記樹脂組成物の調製時に感放射線性
化合物等の固形分の結晶が析出したり、調製した樹脂組
成物の保存、輸送時に感放射線性化合物等の結晶が析出
する場合がある。又、目視では観察しえない非溶解粒子
が上記樹脂組成物の調製時又は保存時に多数含まれるた
め、このような樹脂組成物を用いると集積回路作製時の
歩留りが悪化する場合が有った。
性化合物、アルカリ可溶性樹脂及び必要に応じて分子量
900 未満のアルカリ可溶性化合物を溶剤と混合すること
により調製されていた。しかしながら、この調製法で
は、感放射線性化合物、アルカリ可溶性樹脂及び溶剤の
組合せ等により、上記樹脂組成物の調製時に感放射線性
化合物等の固形分の結晶が析出したり、調製した樹脂組
成物の保存、輸送時に感放射線性化合物等の結晶が析出
する場合がある。又、目視では観察しえない非溶解粒子
が上記樹脂組成物の調製時又は保存時に多数含まれるた
め、このような樹脂組成物を用いると集積回路作製時の
歩留りが悪化する場合が有った。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の問題点を解決し、比較的大きい非溶解粒子が少なく、
又、感放射線性樹脂組成物の調製時及び保存時に固形分
の結晶が析出しない感放射線性樹脂組成物の調製法を提
供する。
の問題点を解決し、比較的大きい非溶解粒子が少なく、
又、感放射線性樹脂組成物の調製時及び保存時に固形分
の結晶が析出しない感放射線性樹脂組成物の調製法を提
供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は感放射線性化合
物、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量
900 未満のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂
組成物の調製法であって、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及
び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物
を混合して溶液を得ること、並びに得られた溶液と感放
射線性化合物とを混合して溶解することを特徴とする感
放射線性樹脂組成物の調製法である。
物、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量
900 未満のアルカリ可溶性化合物を含む感放射線性樹脂
組成物の調製法であって、アルカリ可溶性樹脂、溶剤及
び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物
を混合して溶液を得ること、並びに得られた溶液と感放
射線性化合物とを混合して溶解することを特徴とする感
放射線性樹脂組成物の調製法である。
【０００５】以下、本発明を詳細に説明する。感放射線
性化合物としては、例えば１，２−ナフトキノンジアジ
ドスルホニルハライドもしくは１，２−ベンゾキノンジ
アジドスルホニルハライドと、フェノール化合物との縮
合生成物等が挙げられる。フェノール化合物としては、
例えば２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、
２，２’，３−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，
２’，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，
５−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３’−ト
リヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４’−トリヒド
ロキシベンゾフェノン、２，３’，４−トリヒドロキシ
ベンゾフェノン、２，３’，５−トリヒドロキシベンゾ
フェノン、２，４，４’−トリヒドロキシベンゾフェノ
ン、２，４’，５−トリヒドロキシベンゾフェノン、
２’，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、３，
３’，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、３，４，
４’−トリヒドロキシベンゾフェノン等のトリヒドロキ
シベンゾフェノン類、２，３，３’，４’−テトラヒド
ロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒド
ロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒ
ドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４−テトラヒ
ドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４’−テトラ
ヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，５，５’−テト
ラヒドロキシベンゾフェノン、２，３’，４’，５−テ
トラヒドロキシベンゾフェノン、２，３’，５，５’−
テトラヒドロキシベンゾフェノン等のテトラヒドロキシ
ベンゾフェノン類、２，２’，３，４，４’−ペンタヒ
ドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４，５’−ペ
ンタヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，３’，
４−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３’，
４，５’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン等のペンタ
ヒドロキシベンゾフェノン類、２，３，３’，４，
４’，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、２，
２’，３，３’，４，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフ
ェノン等のヘキサヒドロキシベンゾフェノン類、下式
性化合物としては、例えば１，２−ナフトキノンジアジ
ドスルホニルハライドもしくは１，２−ベンゾキノンジ
アジドスルホニルハライドと、フェノール化合物との縮
合生成物等が挙げられる。フェノール化合物としては、
例えば２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、
２，２’，３−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，
２’，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，
５−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３’−ト
リヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４’−トリヒド
ロキシベンゾフェノン、２，３’，４−トリヒドロキシ
ベンゾフェノン、２，３’，５−トリヒドロキシベンゾ
フェノン、２，４，４’−トリヒドロキシベンゾフェノ
ン、２，４’，５−トリヒドロキシベンゾフェノン、
２’，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、３，
３’，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、３，４，
４’−トリヒドロキシベンゾフェノン等のトリヒドロキ
シベンゾフェノン類、２，３，３’，４’−テトラヒド
ロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒド
ロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒ
ドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４−テトラヒ
ドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４’−テトラ
ヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，５，５’−テト
ラヒドロキシベンゾフェノン、２，３’，４’，５−テ
トラヒドロキシベンゾフェノン、２，３’，５，５’−
テトラヒドロキシベンゾフェノン等のテトラヒドロキシ
ベンゾフェノン類、２，２’，３，４，４’−ペンタヒ
ドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，４，５’−ペ
ンタヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，３，３’，
４−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，３，３’，
４，５’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン等のペンタ
ヒドロキシベンゾフェノン類、２，３，３’，４，
４’，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、２，
２’，３，３’，４，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフ
ェノン等のヘキサヒドロキシベンゾフェノン類、下式
【０００６】
【化１】
【０００７】（式中、Ｙ1 及びＹ2 は少なくとも一方が
水酸基であるという条件付きで、各々水素原子、水酸基
又は炭素数１〜４のアルキル基を表わし、Ｚ1 、Ｚ2 、
Ｚ3 、Ｚ4 、Ｚ5 、Ｚ6 及びＺ7 はこれらの中、少なく
とも２つが水酸基であるという条件付きで、各々水素原
子、ハロゲン原子、水酸基、炭素数１〜４のアルキル
基、炭素数５〜８のシクロアルキル基又はアリール基を
表わし、Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3、Ｒ4 及びＲ5 は、Ｒ4 及び
Ｒ5 のどちらか一方が炭素数１〜10のアルキル基、炭素
数２〜４のアルケニル基、シクロヘキシル基又はアリー
ル基であるという条件付きで、各々水素原子、炭素数１
〜10のアルキル基、炭素数２〜４のアルケニル基、シク
ロヘキシル基又はアリール基を表わす。）で示されるオ
キシフラバン類、並びに下式
水酸基であるという条件付きで、各々水素原子、水酸基
又は炭素数１〜４のアルキル基を表わし、Ｚ1 、Ｚ2 、
Ｚ3 、Ｚ4 、Ｚ5 、Ｚ6 及びＺ7 はこれらの中、少なく
とも２つが水酸基であるという条件付きで、各々水素原
子、ハロゲン原子、水酸基、炭素数１〜４のアルキル
基、炭素数５〜８のシクロアルキル基又はアリール基を
表わし、Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3、Ｒ4 及びＲ5 は、Ｒ4 及び
Ｒ5 のどちらか一方が炭素数１〜10のアルキル基、炭素
数２〜４のアルケニル基、シクロヘキシル基又はアリー
ル基であるという条件付きで、各々水素原子、炭素数１
〜10のアルキル基、炭素数２〜４のアルケニル基、シク
ロヘキシル基又はアリール基を表わす。）で示されるオ
キシフラバン類、並びに下式
【０００８】
【化２】
【０００９】で示される化合物等が挙げられる。
【００１０】アルカリ可溶性樹脂としては、例えばフェ
ノール類とホルムアルデヒド等のアルデヒド類との縮合
により得られるノボラック樹脂等が挙げられる。フェノ
ール類としては、例えばフェノール、ｏ−クレゾール、
ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、２，５−キシレノー
ル、３，５−キシレノール、３，４−キシレノール、
２，３，５−トリメチルフェノール、４−ｔ−ブチルフ
ェノール、２−ｔ−ブチルフェノール、３−ｔ−ブチル
フェノール、３−エチルフェノール、２−エチルフェノ
ール、４−エチルフェノール、３−メチル−６−ｔ−ブ
チルフェノール、４−メチル−２−ｔ−ブチルフェノー
ル、２−ナフトール、１，３−ジヒドロキシナフタレ
ン、１，７−ジヒドロキシナフタレン、１，５−ジヒド
ロキシナフタレン等が挙げられる。溶剤として好ましく
はエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等
のグリコールエーテルアセテート類、酢酸エチル、酢酸
イソアミル等の酢酸エステル類又は２−ペンタノン、２
−ヘプタノン等のケトン類等が挙げられる。
ノール類とホルムアルデヒド等のアルデヒド類との縮合
により得られるノボラック樹脂等が挙げられる。フェノ
ール類としては、例えばフェノール、ｏ−クレゾール、
ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾール、２，５−キシレノー
ル、３，５−キシレノール、３，４−キシレノール、
２，３，５−トリメチルフェノール、４−ｔ−ブチルフ
ェノール、２−ｔ−ブチルフェノール、３−ｔ−ブチル
フェノール、３−エチルフェノール、２−エチルフェノ
ール、４−エチルフェノール、３−メチル−６−ｔ−ブ
チルフェノール、４−メチル−２−ｔ−ブチルフェノー
ル、２−ナフトール、１，３−ジヒドロキシナフタレ
ン、１，７−ジヒドロキシナフタレン、１，５−ジヒド
ロキシナフタレン等が挙げられる。溶剤として好ましく
はエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等
のグリコールエーテルアセテート類、酢酸エチル、酢酸
イソアミル等の酢酸エステル類又は２−ペンタノン、２
−ヘプタノン等のケトン類等が挙げられる。
【００１１】分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物と
しては、フェノール性水酸基を少なくとも２個以上有す
る化合物が好ましい。より好ましいアルカリ可溶性化合
物としては、例えば特開平２−275955号公報に一般式
（Ｉ）で記載されている化合物、特開平４−50851 号公
報に一般式（Ｉ）で記載されている化合物又は特開平３
−179353号公報に一般式（Ｉ）で記載されている化合物
等が挙げられる。分子量900 未満のアルカリ可溶性化合
物の好ましい使用量は感放射線性樹脂組成物の全固形分
中、３〜40重量％である。アルカリ可溶性樹脂、分子量
900 未満のアルカリ可溶性化合物及び溶剤を混合して溶
液を得る際の好ましい混合方法としては、アルカリ可溶
性樹脂と溶剤とを先に混合して溶液を得、得られた溶液
と分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物とを混合する
方法、或いは分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物と
溶剤とを先に混合して溶液を得、得られた溶液とアルカ
リ可溶性樹脂とを混合する方法が挙げられる。アルカリ
可溶性樹脂及び分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物
を溶剤と混合するときの好ましい温度は０〜40℃であ
り、より好ましい温度は20〜30℃である。好ましい混合
時間は30分〜10時間であり、より好ましい混合時間は１
時間〜５時間である。アルカリ可溶性樹脂、分子量900
未満のアルカリ可溶性化合物及び溶剤を混合して得られ
た溶液と感放射線性化合物とを混合するときの好ましい
温度は０〜40℃であり、より好ましい温度は20〜30℃で
ある。好ましい混合時間は12〜120 時間であり、より好
ましい混合時間は24〜72時間である。
しては、フェノール性水酸基を少なくとも２個以上有す
る化合物が好ましい。より好ましいアルカリ可溶性化合
物としては、例えば特開平２−275955号公報に一般式
（Ｉ）で記載されている化合物、特開平４−50851 号公
報に一般式（Ｉ）で記載されている化合物又は特開平３
−179353号公報に一般式（Ｉ）で記載されている化合物
等が挙げられる。分子量900 未満のアルカリ可溶性化合
物の好ましい使用量は感放射線性樹脂組成物の全固形分
中、３〜40重量％である。アルカリ可溶性樹脂、分子量
900 未満のアルカリ可溶性化合物及び溶剤を混合して溶
液を得る際の好ましい混合方法としては、アルカリ可溶
性樹脂と溶剤とを先に混合して溶液を得、得られた溶液
と分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物とを混合する
方法、或いは分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物と
溶剤とを先に混合して溶液を得、得られた溶液とアルカ
リ可溶性樹脂とを混合する方法が挙げられる。アルカリ
可溶性樹脂及び分子量900 未満のアルカリ可溶性化合物
を溶剤と混合するときの好ましい温度は０〜40℃であ
り、より好ましい温度は20〜30℃である。好ましい混合
時間は30分〜10時間であり、より好ましい混合時間は１
時間〜５時間である。アルカリ可溶性樹脂、分子量900
未満のアルカリ可溶性化合物及び溶剤を混合して得られ
た溶液と感放射線性化合物とを混合するときの好ましい
温度は０〜40℃であり、より好ましい温度は20〜30℃で
ある。好ましい混合時間は12〜120 時間であり、より好
ましい混合時間は24〜72時間である。
【００１２】
【発明の効果】本発明の調製法によれば、調製時及び長
期保存時に、比較的大きい非溶解粒子数の少ない感放射
線性樹脂組成物が得られ、該樹脂組成物を用いると集積
回路作製時の歩留りを良好にすることができる。
期保存時に、比較的大きい非溶解粒子数の少ない感放射
線性樹脂組成物が得られ、該樹脂組成物を用いると集積
回路作製時の歩留りを良好にすることができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。 合成例１ 特開昭55−139375号公報に記載の方法と同様にして得ら
れた下式
る。 合成例１ 特開昭55−139375号公報に記載の方法と同様にして得ら
れた下式
【００１４】
【化３】
【００１５】で示される化合物27.9ｇ、１，２−ナフト
キノンジアジド−(2) −５−スルホニルクロリド及びジ
オキサン490 ｇの混合物に、26〜32℃・約１時間かけて
トリエチルアミンを滴下した。滴下終了後、同温度で約
４時間反応させた。トリエチルアミン塩酸塩を濾過した
後の反応混合物をイオン交換水に注いだ。析出した結晶
を濾過、洗浄及び乾燥して感放射線性化合物Ａ（エステ
ル化率87％）を得た。
キノンジアジド−(2) −５−スルホニルクロリド及びジ
オキサン490 ｇの混合物に、26〜32℃・約１時間かけて
トリエチルアミンを滴下した。滴下終了後、同温度で約
４時間反応させた。トリエチルアミン塩酸塩を濾過した
後の反応混合物をイオン交換水に注いだ。析出した結晶
を濾過、洗浄及び乾燥して感放射線性化合物Ａ（エステ
ル化率87％）を得た。
【００１６】合成例２ ２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン2
5.67 ｇ、１，２−ナフトキノンジアジド−(2) −５−
スルホニルクロリド及びジオキサン574 ｇの混合物に、
15〜25℃・約１時間かけてトリエチルアミンを滴下し
た。滴下終了後、同温度で約２時間反応させた。トリエ
チルアミン塩酸塩を濾過した後の反応混合物を、35〜40
℃のイオン交換水に注いだ。析出した結晶を濾過、洗浄
及び乾燥して感放射線性化合物Ｂ（エステル化率68％）
を得た。
5.67 ｇ、１，２−ナフトキノンジアジド−(2) −５−
スルホニルクロリド及びジオキサン574 ｇの混合物に、
15〜25℃・約１時間かけてトリエチルアミンを滴下し
た。滴下終了後、同温度で約２時間反応させた。トリエ
チルアミン塩酸塩を濾過した後の反応混合物を、35〜40
℃のイオン交換水に注いだ。析出した結晶を濾過、洗浄
及び乾燥して感放射線性化合物Ｂ（エステル化率68％）
を得た。
【００１７】実施例１ ２−ヘプタノン1300重量部及びクレゾールノボラック樹
脂〔ｍ−クレゾール／ｐ−クレゾール＝６／４、クレゾ
ール／ホルマリン１／0.75のモル比で蓚酸を反応触媒と
して用いて得られたポリスチレン換算重量平均分子量72
00の樹脂〕340重量部を20〜30℃で約１時間攪拌、混合
した。次いで、アルカリ可溶性化合物〔４，４’−（２
−ヒドロキシベンジリデン）ジ−２，６−キシレノー
ル；分子量348.4 〕105 重量部を添加後、20〜30℃で約
２時間攪拌して溶液を得た。この溶液に感放射線性化合
物Ａ120 重量部を加えて30℃で48時間攪拌した。得られ
た混合液を孔径0.1 μｍのテフロン製フィルターで濾過
して感放射線性樹脂組成物を調製後、23℃で30日保存し
た。0.25μｍ以上の粒子数を、リオン（株）社製の自動
微粒子計測器（KL-20 型）を用いて測定した。
脂〔ｍ−クレゾール／ｐ−クレゾール＝６／４、クレゾ
ール／ホルマリン１／0.75のモル比で蓚酸を反応触媒と
して用いて得られたポリスチレン換算重量平均分子量72
00の樹脂〕340重量部を20〜30℃で約１時間攪拌、混合
した。次いで、アルカリ可溶性化合物〔４，４’−（２
−ヒドロキシベンジリデン）ジ−２，６−キシレノー
ル；分子量348.4 〕105 重量部を添加後、20〜30℃で約
２時間攪拌して溶液を得た。この溶液に感放射線性化合
物Ａ120 重量部を加えて30℃で48時間攪拌した。得られ
た混合液を孔径0.1 μｍのテフロン製フィルターで濾過
して感放射線性樹脂組成物を調製後、23℃で30日保存し
た。0.25μｍ以上の粒子数を、リオン（株）社製の自動
微粒子計測器（KL-20 型）を用いて測定した。
【００１８】実施例２ エチルセロソルブアセテート1500重量部及び４，４’−
（２−ヒドロキシベンジリデン）ジ−２，５−キシレノ
ール120 重量部を20〜30℃で約１時間攪拌、混合した。
次いで、実施例１で用いたクレゾールノボラック樹脂33
0 重量部を添加後、20〜30℃で約１時間攪拌して溶液を
得た。この溶液に感放射線性化合物Ｂ150 重量部を加え
て30℃で24時間攪拌した。得られた混合液を孔径0.1 μ
ｍのテフロン製フィルターで濾過して感放射線性樹脂組
成物を調製後、23℃で30日保存した。0.25μｍ以上の粒
子数を、リオン（株）社製の自動微粒子計測器（KL-20
型）を用いて測定した。
（２−ヒドロキシベンジリデン）ジ−２，５−キシレノ
ール120 重量部を20〜30℃で約１時間攪拌、混合した。
次いで、実施例１で用いたクレゾールノボラック樹脂33
0 重量部を添加後、20〜30℃で約１時間攪拌して溶液を
得た。この溶液に感放射線性化合物Ｂ150 重量部を加え
て30℃で24時間攪拌した。得られた混合液を孔径0.1 μ
ｍのテフロン製フィルターで濾過して感放射線性樹脂組
成物を調製後、23℃で30日保存した。0.25μｍ以上の粒
子数を、リオン（株）社製の自動微粒子計測器（KL-20
型）を用いて測定した。
【００１９】比較例１ エチルセロソルブアセテート1500重量部、４，４’−
（２−ヒドロキシベンジリデン）ジ−２，５−キシレノ
ール120 重量部、感放射線性化合物Ｂ150 重量部及び実
施例１で用いたクレゾールノボラック樹脂330 重量部を
20〜30℃で24時間攪拌して混合した。得られた混合液を
孔径0.1 μｍのテフロン製フィルターで濾過して感放射
線性樹脂組成物を調製後、23℃で30日保存した。0.25μ
ｍ以上の粒子数を、リオン（株）社製の自動微粒子計測
器（KL-20 型）を用いて測定した。
（２−ヒドロキシベンジリデン）ジ−２，５−キシレノ
ール120 重量部、感放射線性化合物Ｂ150 重量部及び実
施例１で用いたクレゾールノボラック樹脂330 重量部を
20〜30℃で24時間攪拌して混合した。得られた混合液を
孔径0.1 μｍのテフロン製フィルターで濾過して感放射
線性樹脂組成物を調製後、23℃で30日保存した。0.25μ
ｍ以上の粒子数を、リオン（株）社製の自動微粒子計測
器（KL-20 型）を用いて測定した。
【００２０】
【表１】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安藤 信雄 大阪市此花区春日出中３丁目１番98号 住 友化学工業株式会社内 (72)発明者 廣谷 正孝 大阪市此花区春日出中３丁目１番98号 住 友化学工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】感放射線性化合物、アルカリ可溶性樹脂、
溶剤及び必要に応じて分子量900 未満のアルカリ可溶性
化合物を含む感放射線性樹脂組成物の調製法であって、
アルカリ可溶性樹脂、溶剤及び必要に応じて分子量900
未満のアルカリ可溶性化合物を混合して溶液を得るこ
と、並びに、得られた溶液と感放射線性化合物とを混合
して溶解することを特徴とする感放射線性樹脂組成物の
調製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117693A JPH06258825A (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 感放射線性樹脂組成物の調製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117693A JPH06258825A (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 感放射線性樹脂組成物の調製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258825A true JPH06258825A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=12601127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4117693A Pending JPH06258825A (ja) | 1993-03-02 | 1993-03-02 | 感放射線性樹脂組成物の調製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258825A (ja) |
-
1993
- 1993-03-02 JP JP4117693A patent/JPH06258825A/ja active Pending
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