JPH06243502A - ホログラム光ヘッド - Google Patents
ホログラム光ヘッドInfo
- Publication number
- JPH06243502A JPH06243502A JP5029338A JP2933893A JPH06243502A JP H06243502 A JPH06243502 A JP H06243502A JP 5029338 A JP5029338 A JP 5029338A JP 2933893 A JP2933893 A JP 2933893A JP H06243502 A JPH06243502 A JP H06243502A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- limiting member
- hologram
- optical head
- aperture limiting
- hologram element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 往路の不要な回折光の迷光化を防ぎ、安価で
製造容易ながら高品質な信号が得られるホログラム光ヘ
ッドを提供する。 【構成】 ホログラム素子２上に迷光を防止する開口制
限部材６を設ける場合において、開口制限部材６をレジ
スト材で形成する。また、開口制限部材６の外周をホロ
グラム素子２の外周より内側に設け、外側に透明部を設
ける。 【効果】 大気圧中での塗布・露光・現像という平易な
一連の工程によって、一度に大量に、必要なところだけ
に正確に開口制限部材６を設けることができ、開口制限
部材６がヘッドの組立調整の妨げにならない。
製造容易ながら高品質な信号が得られるホログラム光ヘ
ッドを提供する。 【構成】 ホログラム素子２上に迷光を防止する開口制
限部材６を設ける場合において、開口制限部材６をレジ
スト材で形成する。また、開口制限部材６の外周をホロ
グラム素子２の外周より内側に設け、外側に透明部を設
ける。 【効果】 大気圧中での塗布・露光・現像という平易な
一連の工程によって、一度に大量に、必要なところだけ
に正確に開口制限部材６を設けることができ、開口制限
部材６がヘッドの組立調整の妨げにならない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、情報記録再生装置など
に使用される光ヘッド、特に光学系にホログラム素子を
使用したホログラム光ヘッドに関するものである。
に使用される光ヘッド、特に光学系にホログラム素子を
使用したホログラム光ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ホログラム素子は、小型化の進む光ヘッ
ド分野で注目を集めており、試料からの戻り光に適切な
波面変換を与えて回折させ、離れた検出器に導くために
よく使用されている。しかしながら、小型を好んでよく
用いられる往復光路共通型の光ヘッドでは、通常のホロ
グラム素子を使用すると、戻り光のみならず往路光から
も回折光を発生し、この往路回折光が検出器に戻って復
路回折光の検出を妨げるという問題を生じる。
ド分野で注目を集めており、試料からの戻り光に適切な
波面変換を与えて回折させ、離れた検出器に導くために
よく使用されている。しかしながら、小型を好んでよく
用いられる往復光路共通型の光ヘッドでは、通常のホロ
グラム素子を使用すると、戻り光のみならず往路光から
も回折光を発生し、この往路回折光が検出器に戻って復
路回折光の検出を妨げるという問題を生じる。
【０００３】これを防止するために、ホログラム素子の
有効領域の外側部分を遮光することが効果的であり、こ
の目的で、ホログラム素子の周囲に開口制限部材を設け
るための方法が特開平３−２０９６３９号公報などに開
示されている。
有効領域の外側部分を遮光することが効果的であり、こ
の目的で、ホログラム素子の周囲に開口制限部材を設け
るための方法が特開平３−２０９６３９号公報などに開
示されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
はシール状のマスクを貼着したり、あるいは支持部材に
設けた開口に合わせてホログラム素子を取り付けるもの
で、素子の一つひとつについて、煩わしい精密な位置合
わせが必要であった。また、ホログラム素子のほとんど
を不透明にマスクしてしまうのでは、組立て調整が困難
であった。このほか、金属膜の蒸着によってマスクを設
ける方法が開示されているが、このためには高真空の雰
囲気が必要であり、高価な製造設備と製造工程が不可欠
で、製造コストの大幅な増加が避けられない。
はシール状のマスクを貼着したり、あるいは支持部材に
設けた開口に合わせてホログラム素子を取り付けるもの
で、素子の一つひとつについて、煩わしい精密な位置合
わせが必要であった。また、ホログラム素子のほとんど
を不透明にマスクしてしまうのでは、組立て調整が困難
であった。このほか、金属膜の蒸着によってマスクを設
ける方法が開示されているが、このためには高真空の雰
囲気が必要であり、高価な製造設備と製造工程が不可欠
で、製造コストの大幅な増加が避けられない。
【０００５】本発明の目的は、安価で製造容易ながら、
精密な開口制限部材を備えることにより、迷光を的確に
遮断して高品質な信号の得られるホログラム光ヘッドを
提供することにあり、また必要な領域にだけ正確に開口
制限部材を設けることにより、製造時の組立調整をし易
くすることにある。
精密な開口制限部材を備えることにより、迷光を的確に
遮断して高品質な信号の得られるホログラム光ヘッドを
提供することにあり、また必要な領域にだけ正確に開口
制限部材を設けることにより、製造時の組立調整をし易
くすることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係わるホログラム光ヘッドは、ホログラ
ム面の近傍に迷光を防止するための開口制限部材を設け
たホログラム光ヘッドにおいて、前記開口制限部材はレ
ジスト材からなることを特徴とするものであり、また、
ホログラム面の近傍に迷光を防止するための開口制限部
材を設けたホログラム光ヘッドにおいて、前記開口制限
部材の外周は、前記ホログラム面が形成された基盤の外
周より内側に設けられていることを特徴とするものであ
る。
めに、本発明に係わるホログラム光ヘッドは、ホログラ
ム面の近傍に迷光を防止するための開口制限部材を設け
たホログラム光ヘッドにおいて、前記開口制限部材はレ
ジスト材からなることを特徴とするものであり、また、
ホログラム面の近傍に迷光を防止するための開口制限部
材を設けたホログラム光ヘッドにおいて、前記開口制限
部材の外周は、前記ホログラム面が形成された基盤の外
周より内側に設けられていることを特徴とするものであ
る。
【０００７】
【実施例】図１ないし図４に図示の実施例に基づいて本
発明を詳細に説明する。
発明を詳細に説明する。
【０００８】図１は、本発明に係るホログラム光ヘッド
の光路図を示し、半導体レーザー光源１から発した発散
光は、往路ではホログラム素子２を透過して対物レンズ
３で収束され、記録媒体４に達する。記録媒体４からの
戻り光は、光路を逆進してホログラム素子２で回折さ
れ、光検出器５ａ、５ｂに入射している。ホログラム素
子２上には開口制限部材６が設けられており、本発明に
よれば、開口制限部材６はレジスト材からなっている。
の光路図を示し、半導体レーザー光源１から発した発散
光は、往路ではホログラム素子２を透過して対物レンズ
３で収束され、記録媒体４に達する。記録媒体４からの
戻り光は、光路を逆進してホログラム素子２で回折さ
れ、光検出器５ａ、５ｂに入射している。ホログラム素
子２上には開口制限部材６が設けられており、本発明に
よれば、開口制限部材６はレジスト材からなっている。
【０００９】この種の光ヘッドでは、光検出器５ａ、５
ｂの出力から、記録媒体４への合焦状態およびトラッキ
ング状態、さらには記録媒体４に記録された情報ピット
などを読取することができるが、正確な読取をするため
にはホログラム素子２上に開口制限部材６を設けること
が重要である。すなわち、ホログラム素子２は往路にお
いて直進光のみならず回折光をも発生するが、この光が
対物レンズ３を介して記録媒体４で反射すると、復路で
はホログラム素子２を回折のみならず直進し、光検出器
５ａ、５ｂに入射して所定の光検出を妨げる結果とな
る。開口制限部材６は、このような迷光の発生を防止す
るために往路および復路の光透過を制限している。すな
わち、開口制限部材６は、往路では有効領域外の光線７
ａを遮断し、有効領域内を通って戻る回折光を発生させ
ないようにするとともに、復路では有効領域内から回折
した光線の戻り光７ｂを遮断している。
ｂの出力から、記録媒体４への合焦状態およびトラッキ
ング状態、さらには記録媒体４に記録された情報ピット
などを読取することができるが、正確な読取をするため
にはホログラム素子２上に開口制限部材６を設けること
が重要である。すなわち、ホログラム素子２は往路にお
いて直進光のみならず回折光をも発生するが、この光が
対物レンズ３を介して記録媒体４で反射すると、復路で
はホログラム素子２を回折のみならず直進し、光検出器
５ａ、５ｂに入射して所定の光検出を妨げる結果とな
る。開口制限部材６は、このような迷光の発生を防止す
るために往路および復路の光透過を制限している。すな
わち、開口制限部材６は、往路では有効領域外の光線７
ａを遮断し、有効領域内を通って戻る回折光を発生させ
ないようにするとともに、復路では有効領域内から回折
した光線の戻り光７ｂを遮断している。
【００１０】本発明のホログラム光ヘッドでは、開口制
限部材６がレジスト材からなっており、例えば、レジス
ト材がそれ自体として迷光の波長に対して十分な吸収特
性を有するか、または、迷光の波長に対して十分な吸収
特性を有する色素などを含有している、もしくは、レジ
スト材が微細な気泡や不純物質などの散乱物質を含んで
いわゆる不透明状態となっていることなどによって、光
線の透過を遮断することができる。
限部材６がレジスト材からなっており、例えば、レジス
ト材がそれ自体として迷光の波長に対して十分な吸収特
性を有するか、または、迷光の波長に対して十分な吸収
特性を有する色素などを含有している、もしくは、レジ
スト材が微細な気泡や不純物質などの散乱物質を含んで
いわゆる不透明状態となっていることなどによって、光
線の透過を遮断することができる。
【００１１】この開口制限部材６は、光源からの光束利
用範囲（光源側の開口数）、ホログラム素子４による回
折角、対物レンズの焦点距離などによって、必要な開口
径が解析的に求められ、ホログラム素子２の回折角をあ
まり大きくとれないような条件下では、径や位置に厳し
い精度が要求されることになるが、本発明のレジスト材
からなる開口制限部材６は、塗布・露光・現像という一
連の工程によって、きわめて正確に設けることができ
る。
用範囲（光源側の開口数）、ホログラム素子４による回
折角、対物レンズの焦点距離などによって、必要な開口
径が解析的に求められ、ホログラム素子２の回折角をあ
まり大きくとれないような条件下では、径や位置に厳し
い精度が要求されることになるが、本発明のレジスト材
からなる開口制限部材６は、塗布・露光・現像という一
連の工程によって、きわめて正確に設けることができ
る。
【００１２】図２は、ホログラム素子２の斜視図を例示
し、レジスト材からなる開口制限部材６は、ホログラム
領域２１の周囲に例えば円環状に形成され、開口制限部
材６のさらに外側の表面にはアラインメントマーク８が
設けられている。アラインメントマーク８は、図３のよ
うに、ホログラム素子２を支持部材９の正確な位置に取
り付ける目印として、支持部材９上のターゲットマーク
９ａに合わせるように設けられている。本発明では開口
制限部材６の外周がホログラム素子２の外周より内側に
設けられているので、この間の透明な領域によってホロ
グラム素子２の位置調整も正確に行うことができる。ま
た、このような開口制限部材６はホログラム素子２はで
きるだけ透明な領域が多いことが望まれるが、本発明の
開口制限部材６は、塗布・露光・現像という一連の工程
によって、必要な領域だけに自由な形状で設けることが
できる。例えば、必要に応じてはアラインメントマーク
そのものを、開口制限部材６と同じレジスト材で同時に
設けることもできる。
し、レジスト材からなる開口制限部材６は、ホログラム
領域２１の周囲に例えば円環状に形成され、開口制限部
材６のさらに外側の表面にはアラインメントマーク８が
設けられている。アラインメントマーク８は、図３のよ
うに、ホログラム素子２を支持部材９の正確な位置に取
り付ける目印として、支持部材９上のターゲットマーク
９ａに合わせるように設けられている。本発明では開口
制限部材６の外周がホログラム素子２の外周より内側に
設けられているので、この間の透明な領域によってホロ
グラム素子２の位置調整も正確に行うことができる。ま
た、このような開口制限部材６はホログラム素子２はで
きるだけ透明な領域が多いことが望まれるが、本発明の
開口制限部材６は、塗布・露光・現像という一連の工程
によって、必要な領域だけに自由な形状で設けることが
できる。例えば、必要に応じてはアラインメントマーク
そのものを、開口制限部材６と同じレジスト材で同時に
設けることもできる。
【００１３】図４は、ホログラム素子２の主な製造プロ
セスを示し、ウェハー１０には、ガラス基板上に公知の
リソグラフィー技術によって微小な凹凸パターンが設け
られ、適宜、マスクターゲットマーク１０ａが設けられ
ている。開口制限部材６を設けるためには、まず、ホロ
グラムウェハー１０上にレジスト材１１を塗布する。塗
布は大気圧中で、例えばスピナーによって均一に行うこ
とができる。ついで、露光マスク１２を介してレジスト
材１１を感光させる。このとき露光マスク１２上に設け
たマスクアラインメントマーク１２ａを、マスクターゲ
ットマーク１０ａと合わせる。最後に、これを現像して
開口制限部材６以外の部分のレジスト材１１を溶解さ
せ、ホログラム素子２に切断する前のホログラムウェハ
ー１３ができ上がる。
セスを示し、ウェハー１０には、ガラス基板上に公知の
リソグラフィー技術によって微小な凹凸パターンが設け
られ、適宜、マスクターゲットマーク１０ａが設けられ
ている。開口制限部材６を設けるためには、まず、ホロ
グラムウェハー１０上にレジスト材１１を塗布する。塗
布は大気圧中で、例えばスピナーによって均一に行うこ
とができる。ついで、露光マスク１２を介してレジスト
材１１を感光させる。このとき露光マスク１２上に設け
たマスクアラインメントマーク１２ａを、マスクターゲ
ットマーク１０ａと合わせる。最後に、これを現像して
開口制限部材６以外の部分のレジスト材１１を溶解さ
せ、ホログラム素子２に切断する前のホログラムウェハ
ー１３ができ上がる。
【００１４】このようにすれば、開口制限部材６は、マ
スクアラインメントマーク１２ａとマスクターゲットマ
ーク１０ａとの位置合わせによる精度で、一度に大量に
設けることができる。
スクアラインメントマーク１２ａとマスクターゲットマ
ーク１０ａとの位置合わせによる精度で、一度に大量に
設けることができる。
【００１５】なお、ホログラム素子２上に、反射防止用
の無機膜などをコーティングする場合には、レジスト材
１１を塗布する前に行っても良いし、あるいは開口制限
部材６を設けてからコーティングしても良い。特に後者
では、コーティング膜にレジスト材の吸湿や風化を防止
する作用を持たせることができ、望ましい。
の無機膜などをコーティングする場合には、レジスト材
１１を塗布する前に行っても良いし、あるいは開口制限
部材６を設けてからコーティングしても良い。特に後者
では、コーティング膜にレジスト材の吸湿や風化を防止
する作用を持たせることができ、望ましい。
【００１６】以上のように、本発明によれば、開口制限
部材６がレジスト材からなっているので、大気圧中での
塗布・露光・現像という平易な一連の工程によって、一
度に大量に、必要なところだけ正確に開口制限部材６を
設けることができる。また、制限開口部材６の外周が、
ホログラム素子２の外周より内側にあるので、透明部に
より製造時の組立調整を行ないやすい。
部材６がレジスト材からなっているので、大気圧中での
塗布・露光・現像という平易な一連の工程によって、一
度に大量に、必要なところだけ正確に開口制限部材６を
設けることができる。また、制限開口部材６の外周が、
ホログラム素子２の外周より内側にあるので、透明部に
より製造時の組立調整を行ないやすい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るホロ
グラム光ヘッドは、安価で製造容易ながら精密な開口制
限部材を設けることができるので、迷光を的確に遮断し
て高品質な各種信号を得ることができる。また、製造時
の組立調整が行ないやすいので、効率の良い生産が可能
である。
グラム光ヘッドは、安価で製造容易ながら精密な開口制
限部材を設けることができるので、迷光を的確に遮断し
て高品質な各種信号を得ることができる。また、製造時
の組立調整が行ないやすいので、効率の良い生産が可能
である。
【図１】 本発明のホログラム光ヘッドの光路図。
【図２】 本発明に係るホログラム素子の斜視図。
【図３】 本発明に係るホログラム素子の組立図。
【図４】 本発明に係るホログラム素子の主な製造プロ
セスの説明図。
セスの説明図。
２ ホログラム素子 ６ 開口制限部材 １０ ウェハー １１ レジスト材 １２ 露光マスク
フロントページの続き (72)発明者 米窪 政敏 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 武田 高司 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 ホログラム面の近傍に迷光を防止するた
めの開口制限部材を設けたホログラム光ヘッドにおい
て、前記開口制限部材はレジスト材からなることを特徴
とするホログラム光ヘッド。 - 【請求項２】 前記レジスト材は、主に吸収により特定
波長の光を遮断する請求項１に記載のホログラム光ヘッ
ド。 - 【請求項３】 前記レジスト材は、主に散乱により光線
の直進を妨げる請求項１に記載のホログラム光ヘッド。 - 【請求項４】 ホログラム面の近傍に迷光を防止するた
めの開口制限部材を設けたホログラム光ヘッドにおい
て、前記開口制限部材の外周は、前記ホログラム面が形
成された基盤の外周より内側に設けられていることを特
徴とするホログラム光ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5029338A JPH06243502A (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | ホログラム光ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5029338A JPH06243502A (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | ホログラム光ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06243502A true JPH06243502A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12273456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5029338A Pending JPH06243502A (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | ホログラム光ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06243502A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001035400A1 (fr) * | 1999-11-09 | 2001-05-17 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Dispositif photoelectronique |
-
1993
- 1993-02-18 JP JP5029338A patent/JPH06243502A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001035400A1 (fr) * | 1999-11-09 | 2001-05-17 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Dispositif photoelectronique |
| EP1231603A1 (en) * | 1999-11-09 | 2002-08-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Photoelectronic device |
| US7064898B1 (en) | 1999-11-09 | 2006-06-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optoelectronic device |
| EP1231603A4 (en) * | 1999-11-09 | 2007-07-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | PHOTOELECTRONIC DEVICE |
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