JPH06221950A - 気密検査方法及びその装置 - Google Patents
気密検査方法及びその装置Info
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- JPH06221950A JPH06221950A JP2500093A JP2500093A JPH06221950A JP H06221950 A JPH06221950 A JP H06221950A JP 2500093 A JP2500093 A JP 2500093A JP 2500093 A JP2500093 A JP 2500093A JP H06221950 A JPH06221950 A JP H06221950A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 環境問題等において安全で、効率的な検査を
実現し得る気密検査方法及び装置を提供する。 【構成】 被検体３をシーリング状態でチャンバ２内に
セットし、チャンバ内をクリーニングした後、被検体内
に気体を封入して差圧漏れ検査を行い、この封入気体を
再び排気する工程と、被検体内にヘリウムガス及び空気
を所定圧力で封入・混合する工程と、チャンバ内の試料
ガスを一定時間、拡散・攪拌する工程と、その試料ガス
をチャンバから採取して、Ｈｅ−リークディテクタ１９
によって被検体からのヘリウム漏れを検出する工程で成
り、先ず被検体に対して気体を用いて差圧漏れ検査を行
い、被検体に比較的大きな穴等が存在するかを判断し、
次に大気圧状態にてヘリウムガスによる気密検査を行う
ようにした。
実現し得る気密検査方法及び装置を提供する。 【構成】 被検体３をシーリング状態でチャンバ２内に
セットし、チャンバ内をクリーニングした後、被検体内
に気体を封入して差圧漏れ検査を行い、この封入気体を
再び排気する工程と、被検体内にヘリウムガス及び空気
を所定圧力で封入・混合する工程と、チャンバ内の試料
ガスを一定時間、拡散・攪拌する工程と、その試料ガス
をチャンバから採取して、Ｈｅ−リークディテクタ１９
によって被検体からのヘリウム漏れを検出する工程で成
り、先ず被検体に対して気体を用いて差圧漏れ検査を行
い、被検体に比較的大きな穴等が存在するかを判断し、
次に大気圧状態にてヘリウムガスによる気密検査を行う
ようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、特にヘリウムガス等
の漏洩検査媒体を用いて、各種テストワークの気密検査
を行うための方法及び装置に関する。
の漏洩検査媒体を用いて、各種テストワークの気密検査
を行うための方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】種々の工業製品など、その一例としてダ
イキャスト製品に対してこの種の気密検査が行われる。
従来、例えばガス式気密検査装置では、漏洩検査媒体と
してフロンガスを用い、又チャージタンク方式のリーク
ディテクタが使用されている。この気密検査装置によれ
ば、真空工程もしくは真空ポンプ等を必要としないで済
むなどの特徴を有している。
イキャスト製品に対してこの種の気密検査が行われる。
従来、例えばガス式気密検査装置では、漏洩検査媒体と
してフロンガスを用い、又チャージタンク方式のリーク
ディテクタが使用されている。この気密検査装置によれ
ば、真空工程もしくは真空ポンプ等を必要としないで済
むなどの特徴を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】漏洩検査媒体としてフ
ロンガスを用いる場合、人体等への影響から環境問題が
生じ、装置の使用が実際上、困難になる。ところで、検
査媒体としてフロンガスの代わりにヘリウムガスを使用
することが可能である。このヘリウムガスを使用すれ
ば、環境問題を解消することができる。しかしながら、
フロンガス代替のヘリウムガスを使用する場合、装置の
チャンバ内でのヘリウムガスの拡散が困難であり、この
ため検査時間が長くかかってしまう等の問題がある。
ロンガスを用いる場合、人体等への影響から環境問題が
生じ、装置の使用が実際上、困難になる。ところで、検
査媒体としてフロンガスの代わりにヘリウムガスを使用
することが可能である。このヘリウムガスを使用すれ
ば、環境問題を解消することができる。しかしながら、
フロンガス代替のヘリウムガスを使用する場合、装置の
チャンバ内でのヘリウムガスの拡散が困難であり、この
ため検査時間が長くかかってしまう等の問題がある。
【０００４】本発明は上記の点に鑑み、環境問題等にお
いて安全で、且つ効率的な検査を実現し得る気密検査方
法及び装置を提供することを目的とする。
いて安全で、且つ効率的な検査を実現し得る気密検査方
法及び装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の気密検査方法
は、被検体をシーリング状態でチャンバ内の所定位置に
セットすると共に、上記チャンバ内をクリーニングした
後、上記被検体内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行
い、この封入気体を再び排気する工程と、上記被検体内
にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合する工
程と、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間拡散・攪拌
する工程と、その試料ガスを上記チャンバから採取し
て、Ｈｅ−リークディテクタによって上記被検体からの
ヘリウム漏れを検出する工程と、を有している。
は、被検体をシーリング状態でチャンバ内の所定位置に
セットすると共に、上記チャンバ内をクリーニングした
後、上記被検体内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行
い、この封入気体を再び排気する工程と、上記被検体内
にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合する工
程と、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間拡散・攪拌
する工程と、その試料ガスを上記チャンバから採取し
て、Ｈｅ−リークディテクタによって上記被検体からの
ヘリウム漏れを検出する工程と、を有している。
【０００６】また本発明の気密検査装置は、被検体を収
容するチャンバと、収容された被検体の内部をチャンバ
室内からシールするシール手段と、上記チャンバ室内に
気体を封入して差圧漏れ検査を行う手段と、上記チャン
バ室内に空気を給・排気する手段と、上記被検体の内部
にヘリウムガスを給・排気する手段と、上記チャンバ内
の試料ガスを拡散・攪拌する手段と、上記チャンバ内の
試料ガスを採取するための手段と、採取した試料ガスを
検査してヘリウム漏れを検出するＨｅ−リークディテク
タと、を備えている。
容するチャンバと、収容された被検体の内部をチャンバ
室内からシールするシール手段と、上記チャンバ室内に
気体を封入して差圧漏れ検査を行う手段と、上記チャン
バ室内に空気を給・排気する手段と、上記被検体の内部
にヘリウムガスを給・排気する手段と、上記チャンバ内
の試料ガスを拡散・攪拌する手段と、上記チャンバ内の
試料ガスを採取するための手段と、採取した試料ガスを
検査してヘリウム漏れを検出するＨｅ−リークディテク
タと、を備えている。
【０００７】特に上記チャンバ内の上記試料ガスを、チ
ャージタンク方式又はポンプ吸引式で採取するようにし
たものである。
ャージタンク方式又はポンプ吸引式で採取するようにし
たものである。
【０００８】
【作用】この発明によれば、先ず被検体に対して予備検
査、即ち空気などの気体を用いて差圧漏れ検査を行い、
これにより予め、被検体に比較的大きな穴等が存在する
か否かを判断することができる。次にヘリウムガスによ
る気密検査が行われる。検査媒体としてヘリウムガスを
使用することにより、環境問題等の心配を払拭すること
ができる。このようなヘリウムガスによる気密検査に際
しては、チャンバ内を大気圧状態にして行うことがで
き、真空工程等の必要がなくなる。また検査試料を採取
するにあたり、該チャンバ内の試料ガス等を拡散・攪拌
手段によって効率よく拡散させ、拡散速度を高めること
ができる。そして拡散・攪拌された試料は、チャージタ
ンク又は吸引ポンプにより、迅速且つ確実に採取するこ
とができる。
査、即ち空気などの気体を用いて差圧漏れ検査を行い、
これにより予め、被検体に比較的大きな穴等が存在する
か否かを判断することができる。次にヘリウムガスによ
る気密検査が行われる。検査媒体としてヘリウムガスを
使用することにより、環境問題等の心配を払拭すること
ができる。このようなヘリウムガスによる気密検査に際
しては、チャンバ内を大気圧状態にして行うことがで
き、真空工程等の必要がなくなる。また検査試料を採取
するにあたり、該チャンバ内の試料ガス等を拡散・攪拌
手段によって効率よく拡散させ、拡散速度を高めること
ができる。そして拡散・攪拌された試料は、チャージタ
ンク又は吸引ポンプにより、迅速且つ確実に採取するこ
とができる。
【０００９】
【実施例】以下、図１及び図２に基づき、本発明による
気密検査方法及び装置の一実施例を説明する。図１は、
この発明の気密検査を実施するための装置の全体構成を
示している。図において、１は装置本体、２は後述する
被検体３を収容するチャンバである。チャンバ２には掃
気用のパイプ２ａが接続されている。４はＯリング等の
シール部材、５はチャンバ２を装置本体１に対して進退
させる空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装置であ
る。
気密検査方法及び装置の一実施例を説明する。図１は、
この発明の気密検査を実施するための装置の全体構成を
示している。図において、１は装置本体、２は後述する
被検体３を収容するチャンバである。チャンバ２には掃
気用のパイプ２ａが接続されている。４はＯリング等の
シール部材、５はチャンバ２を装置本体１に対して進退
させる空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装置であ
る。
【００１０】この実施例では、上記被検体３として、例
えば車両用のアルミホイール又はロードホイールとす
る。なお、これらの場合の他に種々の被検体３に対して
適用可能であることは勿論である。被検体３は、図示の
ようにチャンバ２内の所定位置に収納・セットされる
が、その際、クランプシール６を介して、シール圧プレ
ート７によりその両側から弾圧される。このシール圧プ
レート７は、空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装
置８によって進退する。
えば車両用のアルミホイール又はロードホイールとす
る。なお、これらの場合の他に種々の被検体３に対して
適用可能であることは勿論である。被検体３は、図示の
ようにチャンバ２内の所定位置に収納・セットされる
が、その際、クランプシール６を介して、シール圧プレ
ート７によりその両側から弾圧される。このシール圧プ
レート７は、空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装
置８によって進退する。
【００１１】また９，１０及び１１はそれぞれ空気圧源
であり、このうち空気圧源９はチャンバ２内に空気を供
給し、また空気圧源１０，１１は被検体３の内部に空気
を供給する。空気圧源１１には、差圧ゲージ１２が付設
されている。１３は被検体３の内部にヘリウムガスを供
給するヘリウムガス圧源である。１４は被検体３の内部
に通じる排出用管路である。
であり、このうち空気圧源９はチャンバ２内に空気を供
給し、また空気圧源１０，１１は被検体３の内部に空気
を供給する。空気圧源１１には、差圧ゲージ１２が付設
されている。１３は被検体３の内部にヘリウムガスを供
給するヘリウムガス圧源である。１４は被検体３の内部
に通じる排出用管路である。
【００１２】さらに、１５はチャンバ２内に設置された
攪拌用のファンであり、駆動モータ１６により回転駆動
される。１７は検査に供する試料ガスを採取するための
チャージタンク、１８はこのチャージタンク１７を作動
させる駆動装置であり、１９はチャージタンク１７から
試料ガスを導入されるＨｅ−リークディテクタ、２０は
空気又は窒素ガス圧源、２１はチャージタンク１７の内
部に通じる排出用管路である。
攪拌用のファンであり、駆動モータ１６により回転駆動
される。１７は検査に供する試料ガスを採取するための
チャージタンク、１８はこのチャージタンク１７を作動
させる駆動装置であり、１９はチャージタンク１７から
試料ガスを導入されるＨｅ−リークディテクタ、２０は
空気又は窒素ガス圧源、２１はチャージタンク１７の内
部に通じる排出用管路である。
【００１３】次に、上記気密検査装置による気密検査方
法を、図２に示したフローチャートを参照して説明す
る。被検体３は、チャンバ２内の所定位置にセットされ
るように、該チャンバ２内でセンタリングされ、駆動装
置８を前進させることにより、クランプシール６によっ
て両側からシールされる。そして駆動装置５を前進させ
ることにより、チャンバ２全体を装置本体１に押圧さ
せ、これによりチャンバ２は外気から大気圧で遮断さ
れ、密閉される。
法を、図２に示したフローチャートを参照して説明す
る。被検体３は、チャンバ２内の所定位置にセットされ
るように、該チャンバ２内でセンタリングされ、駆動装
置８を前進させることにより、クランプシール６によっ
て両側からシールされる。そして駆動装置５を前進させ
ることにより、チャンバ２全体を装置本体１に押圧さ
せ、これによりチャンバ２は外気から大気圧で遮断さ
れ、密閉される。
【００１４】次に、空気圧源９からチャンバ２内に空気
を供給すると共に、その空気をパイプ２ａから排出し、
チャンバ２内をクリーニングする。なおこのチャンバ２
内のクリーニングを行うための空気は、可能な限り乾燥
しているものを使用する。
を供給すると共に、その空気をパイプ２ａから排出し、
チャンバ２内をクリーニングする。なおこのチャンバ２
内のクリーニングを行うための空気は、可能な限り乾燥
しているものを使用する。
【００１５】チャンバ２内のクリーニング後、空気圧源
１１から上記被検体３内に気体、本実施例では空気（４
ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ程度）を封入して、差圧漏れ検査（グロ
スリース）を行う。この差圧漏れ検査は、被検体３に比
較的大きな穴等が存在するか否かを予め検査する予備検
査であり、このような予備検査結果が可もしくは良であ
れば、その後の検査が続行される。この差圧漏れ検査の
終了後、封入された空気は排出用管路１４を介して再び
排気される。気体として、空気の他、例えば窒素ガスと
空気の混合ガスを用いてもよい。
１１から上記被検体３内に気体、本実施例では空気（４
ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ程度）を封入して、差圧漏れ検査（グロ
スリース）を行う。この差圧漏れ検査は、被検体３に比
較的大きな穴等が存在するか否かを予め検査する予備検
査であり、このような予備検査結果が可もしくは良であ
れば、その後の検査が続行される。この差圧漏れ検査の
終了後、封入された空気は排出用管路１４を介して再び
排気される。気体として、空気の他、例えば窒素ガスと
空気の混合ガスを用いてもよい。
【００１６】予備検査終了後、ヘリウムガス圧源１３か
ら被検体３内にヘリウムガスが封入される。更に空気圧
源１０から被検体３内に空気が供給され、一定圧力まで
加圧し、被検体３内でヘリウムガス及び空気が混合され
る。なおこの場合、ヘリウムガス及び空気を予め適量で
混合させて成る混合ガスを例えば４．５ｋｇ／ｃｍ2Ｇ
程度、被検体３内に直接封入するようにしてもよい。上
記のように被検体３内にヘリウムガス及び空気を所定圧
力で封入・混合した後、駆動モータ１６によりファン１
５を回転駆動させ、チャンバ３内の試料ガスを一定時
間、拡散・攪拌する。
ら被検体３内にヘリウムガスが封入される。更に空気圧
源１０から被検体３内に空気が供給され、一定圧力まで
加圧し、被検体３内でヘリウムガス及び空気が混合され
る。なおこの場合、ヘリウムガス及び空気を予め適量で
混合させて成る混合ガスを例えば４．５ｋｇ／ｃｍ2Ｇ
程度、被検体３内に直接封入するようにしてもよい。上
記のように被検体３内にヘリウムガス及び空気を所定圧
力で封入・混合した後、駆動モータ１６によりファン１
５を回転駆動させ、チャンバ３内の試料ガスを一定時
間、拡散・攪拌する。
【００１７】次に、駆動装置１８によりチャージタンク
１７を駆動し、このチャージタンク１７に試料ガスをチ
ャージして、大気圧に保持する。そしてＨｅ検査を開始
するが、チャージタンク１７内の攪拌試料ガスは、Ｈｅ
−リークディテクタ１９に導入・採取される。Ｈｅ−リ
ークディテクタ１９は、採取した試料ガスに対して、Ｈ
ｅ漏れ検査を行う。Ｈｅ漏れ検査完了後、空気又は窒素
ガス圧源２０からチャージタンク１７に空気もしくは窒
素を供給してクリーニングが行われる。
１７を駆動し、このチャージタンク１７に試料ガスをチ
ャージして、大気圧に保持する。そしてＨｅ検査を開始
するが、チャージタンク１７内の攪拌試料ガスは、Ｈｅ
−リークディテクタ１９に導入・採取される。Ｈｅ−リ
ークディテクタ１９は、採取した試料ガスに対して、Ｈ
ｅ漏れ検査を行う。Ｈｅ漏れ検査完了後、空気又は窒素
ガス圧源２０からチャージタンク１７に空気もしくは窒
素を供給してクリーニングが行われる。
【００１８】Ｈｅ漏れ検査終了後、被検体３内の混合ガ
スは、排出用管路１４を介して外部へ排出又は回収さ
れ、被検体３の内部は大気圧に戻される。またＨｅ漏れ
検査結果が不可（ＮＧ）の場合には、チャンバ２内に残
存している攪拌試料ガスを排気するために、空気圧源９
からチャンバ２内に空気を供給して前記と同様に、チャ
ンバ２内をクリーニングする。最後に、駆動装置５及び
駆動装置８にてチャンバ２及びシール圧プレート７をそ
れぞれ後退させて、被検体３をアンクランプし、こうし
て検査が終了する。
スは、排出用管路１４を介して外部へ排出又は回収さ
れ、被検体３の内部は大気圧に戻される。またＨｅ漏れ
検査結果が不可（ＮＧ）の場合には、チャンバ２内に残
存している攪拌試料ガスを排気するために、空気圧源９
からチャンバ２内に空気を供給して前記と同様に、チャ
ンバ２内をクリーニングする。最後に、駆動装置５及び
駆動装置８にてチャンバ２及びシール圧プレート７をそ
れぞれ後退させて、被検体３をアンクランプし、こうし
て検査が終了する。
【００１９】上記のように、被検体３に対して予備検査
を行い、これにより予め被検体３のグロスリークの検査
・判断を行うことができる。Ｈｅ漏れ検査では、検査媒
体として使用するヘリウムガスは環境問題等の心配がな
く、またその気密検査に際して、チャンバ２内を大気圧
状態にして行うため、真空工程等の必要がなくなり、検
査工程を簡素化することができる。そして、検査試料ガ
スを採取する際、ファン１５を作動させてチャンバ２内
の試料ガス等を効率よく拡散させ、試料ガスの均一化を
図ると共に拡散速度を高めることができる。
を行い、これにより予め被検体３のグロスリークの検査
・判断を行うことができる。Ｈｅ漏れ検査では、検査媒
体として使用するヘリウムガスは環境問題等の心配がな
く、またその気密検査に際して、チャンバ２内を大気圧
状態にして行うため、真空工程等の必要がなくなり、検
査工程を簡素化することができる。そして、検査試料ガ
スを採取する際、ファン１５を作動させてチャンバ２内
の試料ガス等を効率よく拡散させ、試料ガスの均一化を
図ると共に拡散速度を高めることができる。
【００２０】上記実施例において、検査試料ガスを採取
するために、拡散・攪拌された試料ガスをチャージタン
ク１７によって採取する例を説明したが、この例の他
に、例えば吸引ポンプ等を用いて検査試料ガスを採取す
るようにしてもよく、いずれの場合も迅速且つ確実に試
料ガスを採取することができる。
するために、拡散・攪拌された試料ガスをチャージタン
ク１７によって採取する例を説明したが、この例の他
に、例えば吸引ポンプ等を用いて検査試料ガスを採取す
るようにしてもよく、いずれの場合も迅速且つ確実に試
料ガスを採取することができる。
【００２１】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、この種の
気密検査において、環境問題を生じさせる危険が全くな
く、安全に実施することが可能である。さらに、チャン
バ内を大気圧状態にして検査を行うため、真空工程或い
は真空ポンプなどを用いる必要がなくなると共に、チャ
ンバ内の試料ガスをファンにより拡散・攪拌して、効率
的な検査を実現することができる。
気密検査において、環境問題を生じさせる危険が全くな
く、安全に実施することが可能である。さらに、チャン
バ内を大気圧状態にして検査を行うため、真空工程或い
は真空ポンプなどを用いる必要がなくなると共に、チャ
ンバ内の試料ガスをファンにより拡散・攪拌して、効率
的な検査を実現することができる。
【図１】本発明の気密検査装置の一実施例による全体構
成を示す概略断面図である。
成を示す概略断面図である。
【図２】本発明の気密検査方法に係る気密検査手順を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
１ 装置本体 ２ チャンバ ２ａ パイプ ３ 被検体 ５ 駆動装置 ６ クランプシール ７ シール圧プレート ８ 駆動装置 ９ 空気圧源 １０ 空気圧源 １１ 空気圧源 １３ ヘリウムガス圧源 １５ ファン １７ チャージタンク １８ 駆動装置 １９ Ｈｅ−リークディテクタ ２０ 空気又は窒素ガス圧源
Claims (3)
- 【請求項１】 被検体をシーリング状態でチャンバ内の
所定位置にセットして、上記チャンバ内をクリーニング
した後、 上記被検体内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行い、
この封入気体を再び排気し、 次いで、上記被検体内にヘリウムガス及び空気を所定圧
力で封入・混合し、 上記チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌し、 その試料ガスを上記チャンバから採取して、Ｈｅ−リー
クディテクタによって上記被検体からのヘリウム漏れを
検出するようにしたことを特徴とする気密検査方法。 - 【請求項２】 被検体を収容するチャンバと、収容され
た被検体の内部をチャンバ室内からシールするシール手
段と、上記チャンバ室内に気体を封入して差圧漏れ検査
を行うための手段と、上記チャンバ室内に空気を給・排
気するための手段と、上記被検体の内部にヘリウムガス
を給・排気するための手段と、上記チャンバ内の試料ガ
スを拡散・攪拌するための手段と、上記チャンバ内の試
料ガスを採取するための手段と、採取した試料ガスを検
査してヘリウム漏れを検出するリークディテクタと、を
備えていることを特徴とする気密検査装置。 - 【請求項３】 前記チャンバ内の前記試料ガスを、チャ
ージタンク方式又はポンプ吸引式で採取するようにした
ことを特徴とする、請求項２に記載の気密検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02500093A JP3203526B2 (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 気密検査方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02500093A JP3203526B2 (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 気密検査方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06221950A true JPH06221950A (ja) | 1994-08-12 |
| JP3203526B2 JP3203526B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=12153705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02500093A Expired - Fee Related JP3203526B2 (ja) | 1993-01-21 | 1993-01-21 | 気密検査方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3203526B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218745A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Denso Corp | 気密漏れ検査方法及び装置 |
| JP2014044064A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Honda Motor Co Ltd | 貫通孔閉塞ユニット及びそれを備えるガス式漏洩検査装置 |
| JP2016118528A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-30 | 株式会社エイムテック | 弾性体の漏れ計測方法及び漏れ計測装置 |
-
1993
- 1993-01-21 JP JP02500093A patent/JP3203526B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218745A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Denso Corp | 気密漏れ検査方法及び装置 |
| JP2014044064A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Honda Motor Co Ltd | 貫通孔閉塞ユニット及びそれを備えるガス式漏洩検査装置 |
| JP2016118528A (ja) * | 2014-12-17 | 2016-06-30 | 株式会社エイムテック | 弾性体の漏れ計測方法及び漏れ計測装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3203526B2 (ja) | 2001-08-27 |
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