JPH06221467A - 空間の気密分離弁装置及びその分離弁の駆動機構、方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 気密分離装置における弁本体を駆動する際に
働く弁本体を回転させようとする力等、円滑な動作に障
害となる力を抑制し安定した円滑な弁の開閉を得る。 【構成】 筺体１に２ヶ所の回転導入部を設け、それぞ
れに通した軸５にレバー４を取り付ける。そのレバー４
先端にローラー６を取り付け、弁本体２の端面の溝３に
ローラー６をはめる。２本の軸５はローラーチェーン９
及びギヤ１０により互いに反対回転するよう連結されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空装置等の気密空間
を必要とする装置においてその気密空間の一部を開・閉
する気密分離弁装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の方式を図４から図１０に示し、以
下その説明をする。図５は図４に示す従来技術のＢ−Ｂ
断面図であるが、弁座３０を筺体２１に密着させる方法
はリンク機構３１により行なう方法が一般的であり、図
７及び図１０に示す従来技術においても同様である為、
図７及び図１０における断面図は省略する。

【０００３】図４に示す従来技術は、１本のレバー２４
先端にローラー２６が取り付けてあり弁本体２２の端部
にある溝部２３にそのローラー２６がはまっている。回
転軸２５によりレバー２４を回すことにより、ローラー
２６が溝２３の中を移動しながら弁本体２２を左・右に
移動させる。

【０００４】図７に示す従来技術は、回転可能な継手４
３ｂにより連結されたレバー４４ａ，４４ｂの一端がや
はり回転可能な継手４３ａにより弁本体に取り付けられ
ている。回転軸４５によりレバー４４ａを回すことによ
り、弁本体を左・右に移動させる。

【０００５】図１０に示す従来技術は、例えばエアシリ
ンダー等の直線運動をする駆動源５５により、ベローズ
等のシール材５６を介して弁本体５２を左・右に移動さ
せる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】図６は従来の技術説明
図、図４の概略ベクトル説明図である。ローラー２６に
与えられる力Ｍ′，Ｍは弁本体の移動力としてＭ′又は
Ｆとして作用するが、その移動力Ｍ′，Ｆは弁本体２２
の中心から上・下にずれる場合が多いから、弁本体を左
右に移動させる力の他に弁本体を回転させようとする分
力が作用することになり、弁本体の移動動作が不円滑又
は不可能になる。

【０００７】図８，図９は従来の技術説明図、図７のそ
れぞれ弁本体が右端及び左端に有る場合の概略ベクトル
説明図である。弁本体を移動させる力はそれぞれＦ，
Ｆ′として作用するが、右端以外の中間では弁本体を回
転させようとする偶力が作用し弁本体の移動動作が不円
滑又は不可能になる。又弁本体が左端に有る場合のレバ
ー４４ｂのセット角度はその偶力の為限度が有り、最小
限のＬ寸法が必要となりその分筺体が大きくなる。

【０００８】図１０の従来技術では、例えばエアシリン
ダー等の直線運動をする駆動源の突出による設置スペー
スの拡大及びベローズ等のシール材のコスト上昇と耐久
力に問題があった。

【０００９】本発明は、弁本体の円滑な移動が保証でき
る構造を得ることを目的としており、さらに筺体の大き
さを弁本体の移動範囲の最小限にすることにより設置面
積の効率を良くし、ベローズ等の高価なシール材を使用
しないことにより製作及びメンテナンスのコストを最小
限度に押さえることを目的としている。

【００１０】

【問題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の気密分離弁装置においては、回転導入部を
２ヶ所設けそれぞれの回転軸に各々レバーを取り付け、
互いに逆方向に回転できるようにして、その先端に取り
付けたローラーが弁本体の溝の中を上・下に移動できる
ようにしたものである。

【００１１】上記回転導入部，回転軸及びレバーの取付
位置は筺体の適当な箇所とすることが可能であるが、後
記する理由により、特に弁本体の移動方向に平行な中心
線に対し対称位置に取り付けることが効果的である。

【００１２】また、２本の軸の回転は後記する理由によ
り、同期回転することが望ましくそれぞれ独立した駆動
源によって駆動し、その駆動源を制御することにより回
転を同期させることも可能であるが、２本の軸をローラ
ーチェーンやタイミングベルト及びギヤ等の回転を伝達
する部材又はリンク機構等により同期回転をより容易に
得ることができ、そうすることにより駆動源を２本の軸
のどちらか一方の軸のみとすることができる。

【００１３】

【作用】上記のように構成された気密分離弁装置は弁本
体を移動方向に平行な中心線に対し、常にバランスの良
い駆動力が働き安定した円滑な動作を得ることができ
る。また、移動方向に対し平行に働く力以外の弁本体を
回転させようとする力等、円滑な動作の障害となる分力
は、２本のレバーが逆方向に回転することにより互いに
相殺される。

【００１４】そして、上記した理由から、回転導入部，
回転軸及びレバーの取付位置は、弁本体の移動方向に平
行な中心線に対し対称位置が望ましく、レバーの動作を
同期させることにより、常に安定したバランスの良い駆
動力を得ることができる。

【００１５】また、弁の開放時２本のレバーは弁本体の
移動方向に対し直角方向に収納される形となり、弁本体
の移動面積に対し最小限の面積とすることができる。

【００１６】

【実施例】実施例について図面を参照して説明すると、
図１において、気密分離弁装置の筺体１に回転導入部を
２ヶ所設けそれぞれに軸５を通す。その軸５にレバー４
がそれぞれ取り付けられており、レバー４の先端にはロ
ーラー６が取り付けられている。弁本体２の端面に両面
溝３が有り２本のレバー４のローラー６がはまってお
り、上・下に移動できるようになっている。２本の軸５
は、筺体１の外側でローラーチェーン９及びギヤ１０に
より互いに反対回転するよう連結されている。

【００１７】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果が有る。

【００１８】弁本体の駆動レバーを２本とし互いに反対
方向に回転させることにより、弁本体の移動方向に平行
な駆動力以外の円滑な動作に障害となる力を抑制でき、
弁本体の安定した円滑な動作が得られる。

【００１９】そして、２本の軸を弁本体の移動方向に平
行な中心線に対し対称位置に設け、同期回転するよう連
結することにより円滑な動作をより安定させることがで
きる。

【００２０】さらに、このような構造とすることによ
り、２本のレバーはより効率よく収納することができる
ため装置全体を最小限の大きさにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】気密分離弁装置の実施例を示す縦断面図であ
る。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】図１における実施例の概略ベクトル図である。

【図４】気密分離弁装置の従来の技術を示す縦断面図で
ある。

【図５】図４のＢ−Ｂ断面図である。

【図６】図４における従来の技術の概略ベクトル図であ
る。

【図７】気密分離弁装置の従来の技術を示す縦断面図で
ある。

【図８】図７における従来の技術の概略ベクトル図であ
る。

【図９】図７における従来の技術の概略ベクトル図であ
る。

【図１０】気密分離弁装置の従来の技術を示す縦断面図
である。

【符号の説明】

１、21 筺体 ２、22、42、52 弁本体 ３、23 溝部 ４、24、44a、44b レバー ５、25、45 軸 ６、26 ローラー ９ ローラーチェーン 10 ギヤ 11、30 弁座 31 リンク機構 43a、43b 継手 55 駆動源 56 シール材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 弁座（11）を有する弁本体（２）を複数
   の回転可能なレバー（４）で移動させ、その弁座（11）
   と筺体（１）の密閉と開放を繰り返し行なう気密分離弁
   装置。
2. 【請求項２】 複数の回転可能なレバー（４）に同期回
   転させる機構を備えた請求項１記載の気密分離弁装置。