JPH06219816A - 圧電性磁器組成物の製造方法 - Google Patents

圧電性磁器組成物の製造方法

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JPH06219816A
JPH06219816A JP1153093A JP1153093A JPH06219816A JP H06219816 A JPH06219816 A JP H06219816A JP 1153093 A JP1153093 A JP 1153093A JP 1153093 A JP1153093 A JP 1153093A JP H06219816 A JPH06219816 A JP H06219816A
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JP1153093A
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Yoshio Yokoe
宣雄 横江
Junji Furue
純司 古江
Kenji Hiratsuka
健二 平塚
Yutaka Umetsu
豊 梅津
Shigeo Fukuyasu
繁夫 福安
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Kyocera Corp
Dai Nippon Toryo KK
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Kyocera Corp
Dai Nippon Toryo KK
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Abstract

(57)【要約】 【構成】Nb源およびBa源を含有するアルカリ分散液
と、TiおよびZrを含有する懸濁液とを調製し、その
懸濁液を先の分散液に滴下して共沈物を得、その共沈物
を仮焼した後、その仮焼物にPb源、Sn源およびSb
源を添加混合した後、これを仮焼するか、または、Nb
源を含有するアルカリ分散液と、Ti源およびZr源を
含有する懸濁液とを調製し、その懸濁液を先の分散液に
滴下して共沈物を得、その共沈物を仮焼した後、仮焼物
にPb源、Sn源、Sb源およびBa源を添加混合し、
これを仮焼し、金属元素として、少なくともPb、B
a,Zr,Ti,Sn,SbおよびNbを含む複合金属
酸化物からなる圧電性磁器組成物を得る。 【効果】圧電磁器としての電気機械結合係数および比誘
電率をさらに向上させることができる組成物を提供する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の利用分野】本発明は、圧電フィルター素子や圧
電受話器などの圧電発音体などに好適な圧電性磁器組成
物の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来技術】圧電磁器材料は、フィルター素子や発音体
として多用されているが、例えば、圧電磁器を発音体に
利用した受話器においては、発音体磁器を薄くし素子の
静電容量を大きくして音圧−周波数特性を改善する一
方、磁器材料の比誘電率を高めることにより更に特性の
改善が図られている。
【0003】この要求に対して、本発明者らは、電気機
械結合係数(Kp)が大きくかつ比誘電率が大きく、圧
電定数の大きい圧電材料としてPb、Zr、Ti、S
n、Nb、Sbを金属元素として含む複合酸化物からな
る圧電性磁器組成物を提案した(特願平1−17060
0号)。この提案では、出発原料として、Pb3 4
ZrO3 、TiO2 、SnO2 、Sb2 5 およびNb
2 5 などの酸化物を所定モル比率になるように秤量混
合して、湿式混合にて混合した後、仮焼、粉砕するとい
う乾式方法によって圧電性磁器組成物の粉体を形成して
いた。
【0004】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
乾式方法によれば、仮焼工程の温度管理を厳密に行わな
わないとペロブスカイト相以外の結晶相、例えばパイロ
クロア相が生成されることがある。このようなペロブス
カイト相以外の結晶相が生成されると、圧電磁器を形成
した時にある程度の特性は得られるものの、嵩密度が低
下したり、比誘電率ε(磁器の分極方向を考慮した比誘
電率ε33 T /ε)を充分に高くすることが困難となるな
どの問題があった。
【0005】この乾式方法において、ペロブスカイト相
以外の結晶相が生成されるのは、熱合成において出発原
料であるPb3 4 、ZrO3 、TiO2 、SnO2
Nb2 5 が同時に反応が起こり、ペロブスカイト相結
晶が合成されるのではなく、まず比較的低温で合成され
るPbNb2 6 などのパイロクロア相が合成され、こ
れにNb2 5 以外の酸化物が反応しペロブスカイト相
が生成されるという過程を経るために、パイロクロア相
が完全に反応しきれず、最終物中に残存してしまうため
である。
【0006】また、上述の乾式方法に対して一部共沈に
より磁器組成物を製造する湿式方法がすでに知られてい
る。この湿式方法は、乾式方法に比較して合成相の純度
が高いことが知られている。この湿式方法によれば、一
般に、Bサイト成分(上述の組成では、Zr、Ti、S
n、Nb、Sbに相当)を共沈により合成し、仮焼・粉
砕後、Aサイト成分(上述の組成では、Pbに相当)を
仮焼合成する方法である。
【0007】しかし、上記湿式方法では実験レベルでは
ある程度の特性が得られるものの、実用化レベルにおい
て、共沈物を得るための共沈溶液中の塩素が気化する際
にアンチモンと化合して昇華したり、共沈物中に残留し
仮焼工程で昇華するために、上記圧電性磁器組成物中の
アンチモン量が配合量よりも少なくなり、電気的特性の
劣化を招くことがあった。
【0008】これに対して、本発明者らは、共沈法によ
り組成物粉体を製造するとともに、アンチモン源を共沈
物の仮焼後に添加することによって、アンチモン源の昇
華を抑制し、嵩密度、電気機械結合係数(Kp)、比誘
電率εが向上することを提案した。
【0009】しかしながら、上記提案において得られる
磁器組成物の粉体を用いて得られる圧電磁器の特性は、
前述した要求に対しては未だ充分に応えることができ
ず、さらなる特性の改善が望まれている。
【0010】本発明は、上記問題点を解決することを目
的とするもので、具体的には、共沈法による粉体の製造
方法において、さらに嵩密度、電気機械結合係数(K
p)、比誘電率εを向上することのできる圧電性磁器組
成物の製造方法を提供するにある。
【0011】
【問題点を解決するための手段】本発明者らは、上記圧
電性磁器組成物の粉体の製造方法について、鋭意研究を
重ねた結果、Pb、Zr、Ti、Sn、Nb、Sbを含
む複合酸化物からなる圧電性磁器組成物に対して、さら
にAサイト成分としてBa源を添加し、このBa源を共
沈物中に配合するか、または共沈物の仮焼後に添加する
ことにより特性の改善ができることを見出したものであ
る。
【0012】即ち、本発明の圧電性磁器組成物の製造方
法は、金属元素として、少なくともPb、Ba,Zr,
Ti,Sn,SbおよびNbを含む複合金属酸化物から
なる圧電性磁器組成物の製造方法において、Nb源およ
びBa源を含有するアルカリ分散液と、Ti源およびZ
r源を含有する懸濁液とを調製する工程と、該懸濁液を
該分散液に滴下して共沈物を得る工程と、該共沈物を仮
焼する工程と、該仮焼物にPb源、Sn源およびSb源
を添加混合した後、これを仮焼する工程とを含むことを
特徴とするもので、他の製造方法として、金属元素とし
て、少なくともPb、Ba,Zr,Ti,Sn,Sbお
よびNbを含む複合金属酸化物からなる圧電性磁器組成
物の製造方法において、Nb源を含有するアルカリ分散
液と、Ti源およびZr源を含有する懸濁液とを調製す
る工程と、該懸濁液を該分散液に滴下して共沈物を得る
工程と、該共沈物を仮焼する工程と、該仮焼物にPb
源、Sn源、Sb源およびBa源を添加混合した後、こ
れを仮焼する工程とを含むことを特徴とするものであ
る。
【0013】以下、本発明を詳述する。本発明の製造方
法における圧電性磁器組成物は、金属元素として少なく
ともPb、Ba,Zr,Ti,Sn,SbおよびNbを
含む複合金属酸化物からなるもので、複合酸化物自体は
ペロブスカイト型結晶構造を呈するものである。また、
各金属元素の好ましい組成は、例えば、特願昭4−17
3072号に示されているように下記化1
【0014】
【化1】
【0015】と表した時、x+y+z=1、0.47≦
x≦0.52、0.43≦y≦0.48、0.02≦z
≦0.08、0.20≦α≦0.60、0.98≦β≦
1.00、0<γ≦0.06を満足するものであること
が望ましい。
【0016】本発明の圧電性磁器組成物の製造方法は、
共沈法に基づくものである。本発明における第1の製造
方法によれば、第1の工程として、共沈物を生成させる
ための調製液として、Ba源とNb源を含有するアルカ
リ分散液(母液A)と、Ti源およびZr源を含有する
懸濁液(母液B)を調製する。母液Aは、BaCO3
どのBa源と、Nb2 5 などのNb源とを所定の割合
で、水とアンモニア水の混合液などからなるアルカリ溶
媒中に分散混合する。一方、母液Bは、TiCl4 など
のTi源と、ZrO(NO3 2 などのZr源とを所定
の割合で水に懸濁させることにより得られる。
【0017】次に、第2の工程として、上記のようにし
て調製した母液Aを充分に攪拌しながら母液Bを滴下
し、共沈が生じ溶液中に沈澱する。そして沈澱物を濾別
し、アルカリ液にて洗浄、乾燥する。
【0018】次に、第3の工程として、第2の工程で得
られた沈澱物を880乃至920℃の大気などの気流中
で2乃至4時間仮焼処理する。この仮焼処理により、B
a−Ti−Zr−Nb−Oの複合酸化物を得られる。
【0019】その後、第4の工程として、上記のBa−
Ti−Zr−Nb−O系複合酸化物粉末にSnO2 など
のSn源、Pb3 4 などのPb源およびSb2 3
どのSb源を所定の割合で添加し、これをボールミルな
どの混合手段により充分に混合後、これを乾燥し、70
0乃至740℃の大気などの酸化性雰囲気中で5乃至2
0時間程度仮焼することにより、PbBaZrTi(S
nNbSb)O系のペロブスカイト型結晶構造を呈する
圧電性磁器組成物からなる粉体を得ることができる。
【0020】また、本発明の製造方法における他の方法
としては、前述の第1の方法の一連の工程中において、
Ba源を第1の工程の母液A中に混合しない以外は、上
記と同様な方法にて、Ti−Zr−Nb−O系の共沈仮
焼物の複合酸化物粉末を得、第4の工程にて、Pb源、
Sb源およびSn源とともにBa源を添加混合し、上記
と同様な条件にて仮焼することによっても、同様なPb
BaZrTi(SnNbSb)O系のペロブスカイト型
結晶構造を呈する圧電性磁器組成物の粉体を得ることが
できる。
【0021】このような圧電性磁器組成物を用いて圧電
磁器を作製する場合には、これらの圧電性磁器組成物粉
末を周知の方法にてバルク体やシート状に成形した後、
これを1150乃至1300℃の鉛飽和雰囲気中で2乃
至6時間程度焼成することにより得ることができる。
【0022】
【作用】本発明によれば、PbBaZrTi(SnNb
Sb)O系のペロブスカイト型結晶構造を呈する圧電性
磁器組成物の粉体を作製するために、共沈法を採用する
ことにより、単なる粉末混合法よりも各元素間の混合が
均一であり、ペロブスカイト型結晶以外の結晶相の生成
を抑制し、結晶相の純度を高めることができる。
【0023】また、Aサイト成分としてBaを添加する
ことにより、電気機械結合係数Kpおよび比誘電率εを
向上せしめることができる。
【0024】さらに、本発明によれば、Sbを共沈物中
に含めず、共沈物を仮焼した後に添加混合するために、
Sb源が昇華することがないために組成変動することが
なく、圧電性磁器組成物として安定した特性を得ること
ができる。
【0025】
【実施例】
実施例1 (圧電性磁器組成物粉体の製造)純水約1.5リットル
に28.00重量%アンモニア含有水溶液175.0g
を混合した液と、純水約100ミリリットルにNb2
5 2.13gとBaCO3 11.84gを混合した液と
を、超音波分散機で混合して全溶液量が2リットルの母
液Aを調製した。
【0026】Ti含有率16.80重量%のTiCl4
水溶液129.16g、Zr含有率18.70重量%の
ZrO(NO3 2 237.56gを秤り取り、純水約
1リットルに懸濁させた。これに31.00重量%のH
2 2 水50ミリリットルと純水とを加え、全溶液量が
1.5リットルの母液Bを調製した。
【0027】この母液Aを攪拌しながら、母液Bを滴下
し、滴下終了後充分に攪拌し、共沈させた。そして、こ
の沈澱物を濾過し、pH9に調整された洗浄液で数回洗
浄し、エチルアルコールで脱水し、温風で乾燥し、さら
に150℃で5時間乾燥した。そして、この沈澱物を9
00℃で2時間大気中で仮焼した。
【0028】次に、上記仮焼物を粉砕処理した後、仮焼
粉体50.00gとSnO2 粉末1.40g、Sb2
3 粉末1.63gおよびPbO粉末95.48gとを純
水に加え、ボールミルで一昼夜混合した。この混合泥漿
を脱水し、150℃で3時間乾燥した後、約710℃で
10時間仮焼し、粉砕した。
【0029】これにより前述した化1において、x=
0.487,y=0.453,z=0.06,α=0.
4,β=0.98、γ=0.06の圧電性磁器組成物の
仮焼粉体が得られた。また、かかる粉体をX線回折測定
をおこなったところ、ペロブスカイト型結晶の単一相か
らなるものであった。
【0030】(磁器の作製)得られた仮焼粉体に10%
ポリビニルアルコール水溶液を粉体に対して7重量%添
加し、直径12mmの金型で円板状に加圧成形した。こ
の成形体をまず大気中で800℃で脱脂処理し、次に鉛
含有雰囲気中で1150〜1300℃で3時間焼成し
た。
【0031】さらに、この焼結体を厚さ1.5mmに研
磨加工し、両表面に銀ペーストによる電極を焼き付け、
80℃の絶縁油中に浸漬して電極間に約3KV/mmの
直流電圧を印加して分極処理し、さらに150℃、1時
間熱処理を行い評価試料とした。
【0032】この試料を絶縁抵抗計、デジタルLCRメ
ーター及びインピーダンスアナライザーを用いて、共振
周波数(fr)、反共振周波数(fa)、電気機械結合
係数(Kp)、機械的品質係数(Qm)、静電容量、誘
電損失(tanδ)、絶縁抵抗をそれぞれ測定した。測
定結果は表1に示した。
【0033】比較例1 実施例1において、Ba源を全く添加せずに、前述した
化1において、x=0.485、y=0.455、z=
0.06、α=0.4,β=0.98、γ=0の圧電性
磁器組成物の仮焼粉体を得、これを用いて実施例1と同
様にして圧電磁器を作製し、同様に特性の評価をおこな
った。結果は表1に示した。
【0034】比較例2 純度99.0%以上の市販のPb3 4 、BaCO3
ZrO3 、TiO2 、SnO2 、Nb2 5 およびSn
2 3 の各粉末を用意して、前述した化1において、x
=0.487,y=0.453,z=0.06,α=
0.4,β=0.98、γ=0.06となるように各粉
末を秤量し、ジルコニアボールにて湿式混合し、乾燥
後、800〜1000℃で3時間仮焼した。
【0035】その仮焼物を比表面積が2m2 /g以上と
なるようにボールミルにて湿式粉砕し、乾燥後、有機系
粘結剤を添加して加圧成形して直径が12mm、厚さ
1.5mmのディスク状の成形体を作製した。そして、
その成形体を大気中にて1150〜1250℃で3時間
焼成した。
【0036】得られた焼結体に対して実施例1と同様な
方法にて、測定用試料を作製し、同様な圧電特性を測定
した。
【0037】比較例3 比較例2において、組成を前述した化1においてx=
0.485、y=0.455、z=0.06、α=0.
4,β=0.98、γ=0に変更する以外は、全く同様
な方法により組成物を作製した。
【0038】得られた組成物を実施例1と同様な方法に
て、圧電特性を測定した。結果は表1に示した。
【0039】実施例2 (圧電性磁器組成物粉体の製造)純水約1.5リットル
に28.00重量%アンモニア含有水溶液175.0g
を混合した液と、純水約100ミリリットルにNb2
5 2.13gを混合した液とを、超音波分散機で混合し
て全溶液量が2リットルの母液Aを調製した。
【0040】Ti含有率16.80重量%のTiCl4
水溶液129.16g、Zr含有率18.70重量%の
ZrO(NO3 2 237.56gを秤り取り、純水約
1リットルに懸濁させた。これに31.00重量%のH
2 2 水50ミリリットルと純水とを加え、全溶液量が
1.5リットルの母液Bを調製した。
【0041】この母液Aを攪拌しながら、母液Bを滴下
し、滴下終了後充分に攪拌し、共沈させた。そして、こ
の沈澱物を濾過し、pH9に調整された洗浄液で数回洗
浄し、エチルアルコールで脱水し、温風で乾燥し、さら
に150℃で5時間乾燥した。そして、この沈澱物を9
00℃で2時間大気中で仮焼した。
【0042】次に、上記仮焼物を粉砕処理した後、仮焼
粉体50.00gとSnO2 粉末1.53g、Sb2
3 粉末1.78g、PbO粉末104.41gおよびB
aCO3 6.02gとを純水に加え、ボールミルで一昼
夜混合した。この混合泥漿を脱水し、150℃で3時間
乾燥した後、約710℃で10時間仮焼し、粉砕した。
【0043】これにより前述した化1において、x=
0.487,y=0.453,z=0.06,α=0.
4,β=0.98、γ=0.06の圧電性磁器組成物の
仮焼粉体が得られた。また、かかる粉体をX線回折測定
をおこなったところ、ペロブスカイト型結晶の単一相か
らなるものであった。
【0044】(磁器の作製)得られた仮焼粉体を用いて
実施例1と全く同様な方法により磁器を作製し、その各
種特性を実施例1と全く同様にして測定した。測定結果
は表1に示した。
【0045】
【表1】
【0046】表1によれば、比較例2と比較例3との比
較において乾式方法の場合、Pbの一部をBaで置換す
ることにより、比誘電率を高めることができるが、本発
明の共沈法による実施例1および実施例2によれば、Q
mを小さくするとともに比誘電率をさらに高めることが
できた。しかし、同じ、共沈法であってもBaの置換を
おこなわない比較例1では、乾式方法よりQmが大きく
なり、比誘電率の向上は認められなかった。
【0047】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
PbZrTi(SnNbSb)O系圧電性磁器組成物を
共沈法に基づき作製するにあたり、Ba源を添加するこ
とにより、圧電磁器としての電気機械結合係数および比
誘電率をさらに向上させることができる組成物を提供す
ることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H04R 17/00 9181−5H (72)発明者 古江 純司 鹿児島県国分市山下町1番1号 京セラ株 式会社鹿児島国分工場内 (72)発明者 平塚 健二 大阪府堺市赤坂台1−54−3 (72)発明者 梅津 豊 京都府長岡京市今里彦林8−4 (72)発明者 福安 繁夫 大阪府大阪市大正区泉尾3−22−3

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】金属元素として、少なくともPb、Ba,
    Zr,Ti,Sn,SbおよびNbを含む複合金属酸化
    物からなる圧電性磁器組成物の製造方法において、Nb
    源およびBa源を含有するアルカリ分散液と、Ti源お
    よびZr源を含有する懸濁液とを調製する工程と、該懸
    濁液を該分散液に滴下して共沈物を得る工程と、該共沈
    物を仮焼する工程と、該仮焼物にPb源、Sn源および
    Sb源を添加混合した後、これを仮焼する工程と、を含
    むことを特徴とする圧電性磁器組成物の製造方法。
  2. 【請求項2】金属元素として、少なくともPb、Ba,
    Zr,Ti,Sn,SbおよびNbを含む複合金属酸化
    物からなる圧電性磁器組成物の製造方法において、Nb
    源を含有するアルカリ分散液と、Ti源およびZr源を
    含有する懸濁液とを調製する工程と、該懸濁液を該分散
    液に滴下して共沈物を得る工程と、該共沈物を仮焼する
    工程と、該仮焼物にPb源、Sn源、Sb源およびBa
    源を添加混合した後、これを仮焼する工程と、を含むこ
    とを特徴とする圧電性磁器組成物の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002520248A (ja) * 1998-07-16 2002-07-09 ユニバルシテ ラバル 金属酸化物およびペロブスカイトまたはペロブスカイト様結晶構造を有する金属酸化物を合成するための方法
US8040024B2 (en) * 2008-03-05 2011-10-18 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Piezoceramic material, piezoelectric element and non-resonance knock sensor

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