JPH06218821A - フィルム張付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 供給ローラの左右の位置関係を、簡単な構成
で、且つ簡易に合せることができる。 【構成】 フィルム供給ローラ２の軸２Ａ方向の一方側
から、該軸２Ａをブレーキ部９４のエアシリンダ９４Ｅ
の押圧力により軸押え９４Ａを介して押圧し、又、前記
軸方向の他方側から、位置決め機構９６の供給ローラ軸
押え９６Ｂで、前記押圧された軸２Ａを受け止め、ター
ンノブ９６Ａを回転させることにより、前記軸２Ａの当
該軸方向位置を調節する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フィルム供給ローラに
連続フィルムが装填されており、搬送手段で搬送されて
くる基板に連続フィルムを圧着して所定長さに切断する
フィルム張付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板は、銅等からなる所定パターンの配線が
絶縁基板の片面又は両面に形成されたものである。

【０００３】この種のプリント配線板の製造工程におい
ては、先ず、絶縁性基板上に設けられた導電層（銅薄
膜）上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保
護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体
フィルムを熱圧着（熱圧着ラミネートとも称される）す
る。この熱圧着は、フィルム張付装置（薄膜張付装置と
も称される）、いわゆるラミネータによる量産工程にお
いて行われる。

【０００４】前記のフィルム張付装置に関して、従来か
ら種々の技術が提案されている（例えば、出願人が既に
特開昭６３−２０８０３７号公報、特開平３−７３４４
号公報で提案したものがある）。

【０００５】図１４は、前記のような従来のフィルム張
付装置の構成例を示すものである。なお、図１４には、
絶縁性基板（以下単に基板という）の搬送経路を中心に
上・下の構成機器が略同様なため、当該経路から上部側
の構成のみを示している。

【０００６】フィルム張付装置においては、透光性樹脂
フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの３層
構造からなる積層体フィルム（以下、３層積層体フィル
ムという）が、供給ローラ２に連続的に巻き回されてい
る。該３層積層体フィルム１は、前記供給ローラ２から
巻き出され、その後、薄膜分離ローラ３で、透光性樹脂
フィルム１Ａと、１面（接着面となる）が露出された感
光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィ
ルム１Ｂとに分離される。分離された積層体フィルム１
Ｂは、テンションローラ９を経由してメインバキューム
プレート（フィルム供給部材）５の表面上に供給され
る。その後、積層体フィルム１Ｂの供給経路にはサブバ
キュームプレート１３とカッタ１４とが設けられ、その
先にバキュームバー１５及び圧着ロール１６が設けられ
ている。

【０００７】前記圧着ロール１６は、一般に、金属ロー
ルの表面をゴムシートで被覆した構造とされている。

【０００８】前記メインバキュームプレート５は、前記
積層体フィルム１Ｂを吸着して保持しながら、前記供給
ローラ２から基板６の導電層上に仮付けするためのもの
である。前記メインバキュームプレート５は、図１４に
示されるように、前記基板６に近接し且つ離反する（矢
印Ｂ方向に移動する）支持部材７に進退動可能に設けら
れている。

【０００９】前記この支持部材７は、ガイド部材８に摺
動して矢印Ｂ方向に移動可能なように装置本体（フィル
ム張付装置のフレーム部材）９に設けられる。又、支持
部材７は、前記基板６の搬送経路を中心に、上下、一対
に設けられており、上部の支持部材７と下部の支持部材
７とは、ラックアンドピニオン機構により連動的に動作
する。つまり、上下、一対の支持部材７には、各々にラ
ック７Ａが設けられており、この各々のラック７Ａと噛
合うピニオン７Ｂ（このピニオン７Ｂは前記装置本体９
に固定されている）が設けられて、図示しない駆動源の
駆動力が与えらることにより、連動的に動作する。

【００１０】又、前記メインバキュームプレート５は、
前記支持部材７の移動とは独立的に基板６に近接し且つ
離反する（矢印Ｃ方向に移動する）動作をするように、
支持部材７に設けられている。即ち、メインバキューム
プレート５は、支持部材７に設けられたシリンダ等から
なるラックアンドピニオン機構により前記のような動作
をする。このラックアンドピニオン機構は、支持部材７
に固着された第１のラック１２Ａと、第２の駆動源１１
により前記ラック１２Ａに沿い前後動し、且つ当該ラッ
ク１２Ａと噛合うピニオン１２Ｂと、前記ラック１２Ａ
と平行に移動し、且つ、前記ピニオン１２Ｂと噛合う第
２のラック１２Ｃとからなる。

【００１１】なお、前記メインバキュームプレート５の
先端には仮付部５Ａが設けられている。この仮付け部５
Ａはその内部に発熱体５Ｂが設けられている。メインバ
キュームプレート５で積層体フィルム１Ｂを基板に仮付
けするときには、前記仮付け部５Ａが積層体フィルム１
Ｂを巻き付けた状態で基板６に近接（あるいは当接）す
る。この際、前記仮付部５Ａは、前記発熱体５Ｂの発熱
により加熱されており、これにより積層体フィルム１Ｂ
の先端部を熱圧着により仮付けする。

【００１２】前記サブバキュームプレートは、前記積層
体１Ｂの供給方向の先端部を吸着し、前記仮付け部５Ａ
に当該先端部を吸着（保持）させるように動作する。こ
のサブバキュームプレート１３の動作は、支持部材７に
取付けられた、例えばエアシリンダからなる駆動源１３
Ａで、積層体１Ｂの供給経路に対して近接及び離反（矢
印Ｄ方向に移動）することにより行われる。又、この動
作は、メインバキュームプレート５が積層体フィルム１
３を基板６に仮付けする際も行われる。

【００１３】前記カッタ１４は、積層体フィルム１Ｂを
基板６の寸法に応じた長さ分に切断するものである。前
記カッタ１４は、前記サブバキュームプレート１３に前
記供給経路を挟んで、対向して設けられる。

【００１４】前記圧着ローラ１６は、基板搬送経路の上
・下に設けられており、上・下の圧着ロール１６は、積
層体フィルム１Ｂが仮付された基板６を所定圧力で挟
み、且つ、熱を加えることにより、該積層体フィルム１
Ｂを基板６に熱圧着する。

【００１５】前記のようなフィルム張付装置により、積
層体フィルム１Ｂを基板１６に熱圧着するに際しては、
基板６の寸法に応じた長さ分の積層体フィルム１Ｂを、
当該基板６の中心軸と該フィルム１Ｂの中心軸が合うよ
うにして張付ける必要がある。そのため、積層体フィル
ム１Ｂの左右方向、即ち供給ローラ２の軸方向の位置決
めを、フィルム張付前において行い、あるいは、連続操
業の途中において、適宜に位置修正をする必要が生じる
場合がある。又、基板６の種類によって、フィルムの幅
寸法が変わった場合、適切な寸法のフィルムに、フィル
ム供給ローラ４を交換して、改めて供給ローラ４の軸方
向位置を設定する必要が生じる場合がある。

【００１６】この積層体フィルム１Ｂの位置合せは、該
フィルム１Ｂをメインバキュームプレート（フィルム供
給部材）５の中央に位置合せすると共に、上下の積層体
フィルム１Ｂを該中央に位置合せする必要があるため、
位置合せ作業に時間がかかり、且つ、正確な位置合せが
非常に困難である。又、その位置合せ作業は、作業者に
とって不具合な姿勢で行わなければならないものであっ
た。

【００１７】これに対して、出願人は、既に特開平４−
２７５４５号公報で積層体フィルムを中央に位置合せす
ることに関する技術を提案している。この技術において
は、位置合せ作業に時間がかからず、又、正確な位置合
せが容易に行うことができ、更に、その位置合せ作業
を、作業者が不具合な姿勢で行う必要がないものであ
る。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】前記公報に開示した技
術は、前記のように種々の利点があるものである。しか
しながら、今日、フィルム張付装置のコストダウンや作
業性の更なる向上が要請されており、前記技術では、こ
の要請に対して対処し得ない場合があるという問題点が
ある。

【００１９】即ち、前記公報のフィルム張付装置におい
ては、供給ローラの左右の支持部材取付用アーム及びそ
の連結用のアーム連結部材等を移動させることにより、
供給ローラ引いては積層体フィルム１Ｂの左右位置の調
節を行う必要がある。しかるに、このような調節のため
の機構は、供給ローラの他、その支持部材取付用アーム
等を移動させねばならないので、構成が複雑、且つ、大
型化し易く、又、調節が困難となり易い。従ってコスト
ダウンを図るため、又、位置調節の容易化を図るために
は、この機構を簡易且つ小型化する必要があるものであ
る。

【００２０】又、供給ローラ軸の芯出しは、従来、互い
に芯出ししたテーパー状の凹部に凸部を挿入する等して
行っていたが、そのテーパー面の接合が悪かったり、テ
ーパー面が減ったりした場合、芯が出し難いという問題
点があった。

【００２１】又、前記積層体フィルム１Ｂの送出しに制
動が必要な場合、前記フィルタによる軸受では、制動力
をある程度以上供給ローラに付加し得ない恐れがあると
いう問題点がある。

【００２２】本発明は、前記従来の問題点を解消するべ
くなされたもので、積層体フィルムの左右位置合せを簡
単な構成で、且つ、簡易に行うことができるフィルム張
付装置を提供することを第１の課題とする。

【００２３】又、本発明は、前記第１の課題に加えて、
供給ローラ軸の芯出しを容易に行うことができるフィル
ム張付装置を提供することを第２の課題とする。

【００２４】又、本発明は、前記第１の課題又は第２の
課題に加えて、供給するフィルムへの制動力を確実に加
えることができるフィルム張付装置を提供することを第
３の課題とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明は、フィルム供給
ローラに連続フィルムが装填されており、搬送手段で搬
送されてくる基板に連続フィルムを圧着して所定長さに
切断するフィルム張付装置において、フィルム供給ロー
ラの軸方向の一方側に、該軸を押圧するシリンダ部材を
設け、前記軸方向の他方側に、押圧された軸を軸受け部
材で受け止め、且つ、該軸受け部材を軸方向に前後動さ
せる機構により、フィルム供給ローラの軸方向位置を調
節するための位置調節機構を設けたことにより、前記第
１の課題を解決するものである。

【００２６】又、本発明おいては、更に、供給ローラ軸
に接して、該軸の芯出しをするための軸芯決定手段を設
けて、前記第２の課題を解決するものである。

【００２７】又、本発明においては、更に、前記シリン
ダ部材の軸を押圧するロッド先端側と該軸の被押圧端と
を、互いに滑ることなく係合する凹凸形状とし、シリン
ダ部材のロッドに前記軸の回転を制止するためのブレー
キ部材を設けることにより、前記第３の課題を解決する
ものである。

【００２８】

【作用】本発明においては、フィルム供給ローラの軸方
向の一方側には、該軸を押圧するシリンダ部材を設け、
前記軸方向の他方側に、押圧された軸を軸受け部材で受
け止め、且つ、軸受け部材を軸方向に前後動させる機構
により、フィルム供給ローラの軸方向位置を調節するた
めの位置調整機構を設けているので、シリンダ部材によ
りフィルム供給ローラ軸を押付けながら、位置調整機構
の調節によりフィルム供給ローラの軸方向位置を調節す
ることができる。

【００２９】よって、フィルム供給ローラの位置調整
を、従来のようにフィルム供給ローラ取付部材等を動作
させることなく行い得るため、簡単な構成で、且つ、簡
易にフィルムの左右方向位置を調節して所望に位置決め
することができる。

【００３０】又、本発明において、軸芯決定手段で供給
ローラ軸に接して該軸の芯出しをすることができる。こ
のようにすれば、軸方向からテーパーの凹凸面により芯
出しをすることに比べて、芯ずれが生じ難い。

【００３１】又、本発明において、シリンダ部材の軸を
押圧するロッド先端側と該軸の被押圧端とを互いに滑る
ことなく係合する凹凸形状とし、シリンダ部材のロッド
に前記軸の回転を制止するためのブレーキ部材を設ける
ことができる。これにより、フィルム供給に制動が必要
な場合に確実な制動作用を及ぼすことができる。

【００３２】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００３３】この実施例は、基板（絶縁性基板）６のフ
ィルム張付面に基板の長さに応じた積層体フィルム１Ｂ
を張付けるためのフィルム張付装置に本発明を実施した
ものである。

【００３４】図１は、実施例に係るフィルム張付装置の
全体的な構成を示すものである。

【００３５】又、図２は、前記張付装置の基板搬送路か
ら上方向の構成を中心に示したものである。

【００３６】図１及び図２に示されるように、前記フィ
ルム張付装置は、主に、基板６を仮付け及び圧着位置に
前進させて搬入するための搬入部２０と、前記積層体フ
ィルム１Ｂが圧着された基板６を搬出するための搬出部
２２と、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性
樹脂フィルムの３層構造からなる３層積層体フィルム１
を蓄積し、一面（接着面）が露出された感光性樹脂層及
び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム１Ｂを供
給するための積層体フィルム蓄積部２４と、供給された
積層体フィルム１Ｂを吸着し、基板６のフィルム張付面
に積層体フィルム１の先端側を仮止めするための仮止め
部２６と、前記フィルム１Ｂが仮止めされた基板６に当
該フィルム１Ｂを圧着ローラ２８で熱圧着（熱圧着ラミ
ネート）させるための圧着部３０とを有する。

【００３７】即ち、図１及び図２に示されるように、前
記積層体フィルム蓄積部２４においては、前記３層積層
体フィルム１が、供給ローラ２に連続的に巻き回されて
蓄積されている。巻き回された積層体フィルム１は、巻
き出されて、ガイドローラ３２を介してフィルム分離ロ
ーラ（フィルムの分離部材）３に至る。このフィルム分
離ローラ３は、前記積層体フィルムを、透光性樹脂フィ
ルム（保護膜）１Ａと、前記一面（接着面）が露出され
た感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体
フィルム１Ｂとに分離するものである。分離された透光
性樹脂フィルム１Ａは、ガイドローラ３４を介して前記
巻き回されて積層体フィルム１上を移動し、巻取ローラ
４に巻取られるようになっている。なお、巻き回されて
積層体フィルム１の側面側には、フィルムの蓄積されて
いる量を、フィルム巻径から検出する巻径検出センサ、
即ち、フィルム巻径用が所定に大きいことを検出する大
径用フィルム巻径検出センサ３６Ａと、フィルム巻径が
所定に小さいことを検出する小径用フィルム巻径検出セ
ンサ３６Ｂが設けられる。

【００３８】前記搬入部２０には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための駆動ローラ３８が、搬入経路に沿っ
て、適宜の間隔で複数設けられている。この駆動ローラ
３８は、図示されないモータ等の駆動手段から駆動力が
与えられて駆動する。又、この駆動ローラ３８の１つお
き（又は、適宜の駆動ローラ３８）のものの搬送経路を
挟んで対向する位置には、回動自在な従動ローラ４０が
設けられている。この従動ローラ４０は、駆動ローラ３
８と共に基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与
するものである。

【００３９】又、前記搬送経路に沿い、且つ、駆動ロー
ラ３８間の適宜の箇所には、前記基板６の幅方向位置を
所定位置に合せるための幅寄せ器４２が設けられてい
る。

【００４０】又、前記駆動ローラ３８のうち、圧着部３
０側終端のものの搬送経路を挟んで対向する側には、回
動自在な基板押えローラ４６が設けられている。例えば
この基板押えローラ４６はエアシリンダからなる基板押
え部材４４により上昇及び下降する。この基板押えロー
ラ４６は、基板押え部材４４により下降したときに、当
該駆動ローラ３８と共に基板６を挟持して、積層体フィ
ルム１Ｂが仮付け又は熱圧着される際の基板６の上下方
向の揺動を制止するものである。

【００４１】又、前記終端の駆動ローラ３８の搬送方向
下流側には、熱圧着される積層体フィルム１Ｂと基板６
との間に気泡（空泡）が生じるのを防止するため、水等
の空泡防止液を基板６に塗布するためのウェットローラ
４８が設けられている。

【００４２】なお、前記基板６の搬送経路の近傍には、
基板６を検出する各センサＳ１〜Ｓ３が設けられる。搬
送経路の上流側に設けられたセンサＳ１は、前記搬入部
２０中に送られてきた基板６の例えば先端位置を検出し
て、その検出信号により、前記幅寄せ器４２を作動させ
るための幅寄せ開始センサＳ１である。又、この幅寄せ
開始センサＳ１の下流側に設けられたセンサＳ２は、基
板６の後端部を検出するための基板後端検出センサＳ２
である。又、前記圧着部３０入側に設けられたセンサＳ
３は、基板６の先端部を検出するための基板先端検出セ
ンサＳ３である。

【００４３】前記搬出部２２には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための、図示されない駆動モータで駆動さ
せる出側駆動ローラ５０が複数設けられる。その駆動ロ
ーラ５０の適宜のものには、搬送経路を挟んでに対向す
る位置に、回動自在な従動ローラ５２が設けられてい
る。この従動ローラ５２は、前記駆動ローラ５０と共に
基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与するため
のものである。又、この搬出部２２の圧着部３０出側近
傍には、基板６の通過したことを検出するための基板通
過検出センサＳ４が設けられる。

【００４４】前記仮付部２６には、前記積層体フィルム
蓄積部２４から供給された積層体フィルム１Ｂが、テン
ションローラ５４を介して搬送されるようになってい
る。なお、このテンションローラ５４は、前記供給ロー
ラ２とメインバキュームプレート（フィルム供給部材に
相当）５６との間の積層体フィルム１Ｂに適度な張力を
与えるものである。この適度な張力により前記メインバ
キュームプレート５６に供給する積層体フィルム１Ｂに
はしわ等が生じない。

【００４５】又、前記テンションローラ５４出側からメ
インバキュームプレート５６迄の積層体フィルム１Ｂ供
給経路上には、当該積層体フィルム１Ｂの静電気を除去
する静電気除去器５８が設けられている。

【００４６】又、メインバキュームプレート５６と前記
圧着部３０間の積層体フィルム搬送路上には、先端巻き
付けフィルム保持部材６０と、カッタ６２と、サポート
ローラ６４が設けられている。

【００４７】前記メインバキュームプレート５６は、前
記供給ローラ２から送られてきた積層体フィルム１Ｂの
先端側を吸着し、且つ、搬送された基板６の搬送方向先
端部に近接して、当該基板６先端部表面（上・下の両表
面）に積層体フィルム１Ｂの先端側を仮付けするよう作
動するものである。なお、このメインバキュームプレー
ト５６は取付け部材６６に固着されて当該取付部材６６
と一体的に作動し、且つ、上・下のメインバキュームプ
レート５６が同調して動作し、基板６に同時に接近して
仮付けするようになっている。

【００４８】前記先端巻き付けフィルム保持部材６０
は、前記積層体フィルム１Ｂの先端側を負圧により吸引
し、基板搬送方向（図１中に、矢印Ａの方向）に後退す
ることによりメインバキュームプレート５６の先端側フ
ィルム仮付け部５６Ａに当該積層体フィルム１Ｂを吸着
させるものである。

【００４９】前記カッタ６２は、円筒部材の外周面にや
や螺旋を描くように切断刃が設けられた回転刃６２Ａと
直線状の切断刃からなる固定刃６２Ｂを有するものであ
る。固定刃６２Ｂ上を搬送される積層体フィルム１Ｂ
を、前記回転刃６２Ａの回転によりフィルム１Ｂをその
搬送方向に直角に切断するものである。カッタ６２は回
転刃６２Ａが回転することにより、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂ同士を接近させて積層体フィルム１Ｂを基板
６の寸法に応じた所定の長さに切断するものである。こ
のカッタ６２は積層体フィルム１Ｂを供給する方向に直
角に切断するため、積層体フィルム１Ｂ供給中に回転刃
６２Ａ及び固定刃６２Ｂの長手方向片側を供給方向に移
動させ、カッタ６２の切断点が供給方向に移動する速度
を前記フィルム１Ｂの供給速度と同調するようになって
いる。

【００５０】前記サポートローラ６４は、カッタ６２及
び圧着ローラ２８間のフィルム供給経路上に前記メイン
バキュームプレート５６の吸着面上のフィルム供給経路
と同一平面に接するように設けられたローラからなるも
のである。

【００５１】前記サポートローラ６４は、圧着ローラ２
８に送られる積層体フィルム１Ｂが、前記カッタ６２で
切断された後の、しわ等が寄らないように当該ロール２
８に円滑に送るように導くものである。

【００５２】前記メインバキュームプレート５６が固着
される取付部材６６は、図１に示すように、上と下で同
様の構成を有し、これら取付部材６６を、同調して基板
方向に移動させるため、各取付部材６６にはラックギヤ
６８が設けられると共に、当該ラックギヤ６８の双方に
噛合うピニオンギヤ７０が設けられる。

【００５３】又、前記取付部材６６は、ガイドレール７
２上を摺動して移動し、このガイドレール７２に従った
取付け部材６６の移動方向がメインバキュームプレート
５６の移動方向となるようになってる。

【００５４】前記ピニオンギヤ７０は、フィルム張付装
置の本体フレームの一定位置で回動するため、ラックギ
ヤ６８と共に上・下のメインバキュームプレート５６を
同調動作させる。又、前記ピニオンギヤ７０は、図示さ
れないサーボモータ（メインバキュームプレート駆動用
サーボモータ）で電磁クラッチを介して駆動される。上
・下の取付部材６６にはバキュームプレート５６幅方向
に一対設けられたシリンダ（図示省略）のシリンダ管
体、ピストンロッドがそれぞれ連結され、上・下の取付
部材６６が連動するようになっている。なお、実施例で
は、基板６から所定距離となるまでは前記サーボモータ
で前進させる。その後、電磁クラッチを切り、シリンダ
で駆動して仮付けし、仮付け後、基板からの離反はシリ
ンダで行うようになっている。

【００５５】前記圧着部３０には、前記積層体フィルム
１Ｂを基板上に熱圧着するための圧着ローラ２８と共
に、当該圧着ローラ２８が軸支され、当該圧着ローラ２
８を前後動させるように保持する圧着ローラ保持部材７
４と、当該圧着ローラ２８の周囲を、前記積層体フィル
ム１Ｂを吸着しながら回動するバキュームバー７６と、
前記圧着ローラ２８に付着した水等の空泡防止液を拭き
取るための圧着ローラ拭き取りローラ７８と、圧着後の
基板６の表面の空泡防止液を拭き取るための基板拭き取
りローラ８０と、上・下に対称となる圧着ローラ保持部
材７８を揺動させて、圧着ローラ２８で積層体フィルム
１Ｂを基板６上に圧着させるための圧着ローラ上下移動
用エアシリンダ８２を有する。

【００５６】圧着ローラ保持部材７４の基板６搬出側に
は、前記基板６に付着した残余の空泡防止液を拭き取る
ための基板拭き取りローラ８０が回動自在に設けられて
いる。

【００５７】なお、前記圧着ローラ上下移動用エアシリ
ンダ８２は、左右で上下に対になっている圧着ローラ保
持部材７４に対して一つずつ設けられている。

【００５８】ここで、図３乃至図６は、前記供給ローラ
２の周辺構成を詳細に示すものである。図３は、供給ロ
ーラを中心とした正面図、図４は同平面図、図５は同右
側面図、図６は同左側面図である。又、供給ローラ２の
軸方向左側の詳細な構成は図７に示すようになり、同右
側の詳細な構成は図８に示すようになる。

【００５９】図３及び図４に示すように、供給ローラ２
の軸２Ａの周辺には、当該ローラ２の基板６入側から見
て左側及び右側にアーム９０Ｌ、９０Ｒが設けられてお
り、図７及び図８に示すように、このアーム９０Ｌ、９
０Ｒから供給ローラ軸２Ａの端部にかかる位置に当該軸
２Ａを転接しながら支持する供給ローラ軸受カムフォロ
ア９２Ｌ、９２Ｒが設けられる。

【００６０】又、前記アーム９０Ｌ、９０Ｒには、前記
アーム９０Ｌ、９０Ｒを挾んで供給ローラ軸２Ａの外側
に、図７に示すように、左側に供給ローラ２の回転に制
動を加えるためのブレーキ部９４が設けられ、又、図８
に示すように、右側に、前記供給ローラ軸２Ａの左右方
向への位置を調整するための位置決め機構９６が設けて
いる。

【００６１】図７に示すように、前記供給ローラ軸２Ａ
の両端部には、図７中に破線で示すように、該軸２Ａに
垂直に形成された平面から軸２Ａ方向に凹み、且つ、該
軸２Ａの直径方向にわたる切れ込み２Ｃが形成されてい
る。又、前記ブレーキ部９４についての、供給ローラ軸
２Ａ側から見た構成、及び該軸２Ａに沿う要部断面図
を、図９、図１０に示す。

【００６２】図７、図９及び図１０に示すように、前記
ブレーキ部９４は、供給ローラ軸２Ａの軸方向左側端部
に当接して、該軸２Ａを押さえるための供給ローラ軸押
え９４Ａを有しており、該軸押え９４Ａの前記軸２Ａの
当接側端部には、前記切れ込み２Ｃに嵌合する凸部が形
成されている。

【００６３】又、前記ブレーキ部の軸押え９４Ａの延び
た側には、ブレーキ部軸９４Ｂ、ブレーキ取付部材９４
Ｃ、及び、ブレーキアーム９４Ｄが設けられ、該軸９４
Ｂは該取付部材９４Ｃに回動自在に軸支される。又、前
記ブレーキ部軸９４Ｂに平行にエアシリンダ９４Ｅが配
設され、このエアシリンダ９４Ｅにより取付部材９４Ｃ
が前記供給ローラ軸２Ａ方向に前後動し、これにより軸
押え９４Ａが前後動するようになっている。なお、前記
ブレーキアーム９４Ｄはブレーキ部軸９４Ｂを挾んで２
つ設けられ、この設けられたブレーキアーム９４Ｄ間に
は、ブレーキを駆動させるためのブレーキシリンダ９４
Ｆが設けられる。又、図９又は図１０において、符号９
４Ｈはブレーキシュー、９４Ｇは遮光板、９４Ｊは軸回
転センサ、９４Ｉは戻しスプリングである。

【００６４】又図８に示すように、前記位置決め機構９
６は、ターンノブ９６Ａを回転させることにより、供給
ローラ軸押え９６Ｂを前後動させ、供給ローラ２の左右
の位置決めを行うものである。

【００６５】即ち、供給ローラ軸押え９６Ｂは押え側端
部の閉鎖された筒状に構成され、その筒状内部にベアリ
ング９６Ｃを内挿し、該ベアリング９６Ｃを介してねじ
治具９６Ｄに連結される。このねじ治具９６Ｄはアーム
９０Ｒに固着されるフランジ９６Ｅに螺合される。前記
ねじ治具９６Ｄは、前記ターンノブ９６Ａと、シャフト
９６Ｆ及びカップリング９６Ｇを介して連結される。

【００６６】従って、作業者がターンノブ９６Ａを回転
させた場合、ねじ治具９６Ｄも同時に回転して、該ねじ
治具９６Ｄとフランジ９６Ｅの螺合により、ねじ治具９
６Ｄはターンノブ９６Ａの回転方向に応じて供給ローラ
軸２Ａ方向に前後動し、これにより、供給ローラ軸押え
９６Ｂも該軸２Ａ方向に前後動するため、該軸押え９６
Ｂが当接している供給ローラ軸２Ａが該軸２Ａ方向に前
後動する。よって、ターンノブ９６Ａを回転させること
により、供給ローラ軸２Ａ、更には供給ローラ２の左右
位置の調節をすることができる。なお、前記左右の位置
調節において、供給ローラ軸２Ａは、前記ブレーキ部９
４の軸押え９４Ａで押圧されているため、位置決め機構
９６の軸押え９６Ｂが前後動しても、供給ローラ軸２Ａ
は該軸押え９６Ｂとの間に空隙が生じることなく追従し
て前後動する。

【００６７】前記供給ローラ軸受カムフォロア９２Ｌ、
９２Ｒは、図７及び図８に示すように、左右に各２個設
けられ、供給ローラ軸２Ａ端部をその上に載せて、載せ
た状態で該軸２Ａの芯を出すものである。このカムフォ
ロア９２Ｌ、９２Ｒの供給ローラ挿入側には、供給ロー
ラ２を一旦仮置きして前記カムフォロア９２Ｌ、９２Ｒ
まで導くための供給ローラ受けブロック９８Ｌ、９８Ｒ
が設けられる。このブロック９８Ｌ、９８Ｒの上面は、
ややカムフォロア９２Ｌ、９２Ｒの上端面より下がって
水平に形成されており、この上面途中に供給ローラ軸２
Ａを仮置きするための凹み９８Ａが形成される。又、前
記ブロック９８Ｌ、９８Ｒから前記カムフォロア９２
Ｌ、９２Ｒの延長上には、供給ローラ２がカムフォロア
９２Ｌ、９２Ｒの向こう側へ落下するのを防止するため
のストッパ１００Ｌ、１００Ｒが設けられる。

【００６８】従って、前記のような供給ローラ受けブロ
ック９８Ｌ、９８Ｒが設けられるため、供給ローラ２の
装着において、まず、仮置き用の凹み９８Ａに供給ロー
ラ軸２Ａの軸端を載せ、その後、供給ローラ２を押して
いけば、供給ローラ受けブロック９８Ｌ、９８Ｒ上を前
記供給ローラ軸２Ａは転接し、ついには、供給ローラ軸
受けカムフォロア９２Ｌ、９２Ｒの各２個間上に載置す
る。この場合、ストッパ１００Ｌ、１００Ｒが設けられ
ているため、供給ローラ２は、転がった勢いで落下する
ことなく、供給ローラ軸２Ａは、前記カムフォロア９２
Ｌ、９２Ｒ上に確実に載置される。なお、前記カムフォ
ロア９２Ｌ、９２Ｒを挟んで供給ローラ受けブロック９
８Ｌ、９８Ｒの反対側には、各フィルム巻き径センサ３
６Ａ、３６Ｂが取付ブラケット２００により設けられて
いる。

【００６９】前記供給ローラ軸２Ａには、コアチャック
１０２により三層積層体フィルム１の巻かれたロール
（フィルムロール）が取付られる。このコアチャック１
０２は、前記供給ローラ軸２Ａの左右端部側に固定さ
れ、三層積層体フィルム１のロール周囲を左右方向から
押して、該積層体フィルム１を前記ローラ軸２Ａに固定
するものである。前記コアチャック１０２は、詳細な組
立構成は図７中に示すようになっており、分解した構成
は図１１に示すようになっている。

【００７０】即ち、図７及び図１１に示すように、前記
コアチャック１０２は、供給ローラ軸２Ａに軸方向に形
成されたキー溝２Ｄに嵌合するキー１０２Ａと、フィル
ムサポート１０２Ｂと、テーパーリング１０２Ｃと、セ
ットナット１０２Ｄと、止めリング１０２Ｅとから構成
される。セットナット１０２Ｄ内周面及びフィルムサポ
ート１０２Ｂの外周面には、互いに噛み合うねじが切ら
れており、セットナット１０２Ｄを回転させることによ
り、フィルムサポート１０２Ｂ外周面に切られたねじに
よりセットナット１０２Ｄは軸２Ａ方向に前後動する。
フィルムサポート１０２Ｂの外周面のセットナット１０
２Ｄの入る先は、先拡がりのテーパー状に形成される。
又、テーパーリング１０２Ｃは、その内周面が該ナット
１０２Ｄのテーパー状と同様のテーパー状に形成され、
又、リングの一部が割られている。

【００７１】従って、前記セットナット１０２Ｄがフィ
ルムサポート１０２Ｂ方向に前後動することによりテー
パーリング１０２Ｃが広げられたり縮められたりして、
三層積層体フィルム１のフィルムロールの芯を確実に保
持することができるようになっている。なお、図１１中
符号１０２Ｅは供給ローラ軸１０２Ａ外部に遊嵌する止
めリング、１０２Ｆは、前記キー１０２Ａを止めリング
１０２Ｅと共に供給ローラ軸２Ａに押付けて、コアチャ
ック１０２を当該軸２Ａに固着するためのセットボル
ト、１０２Ｇは止めリング１０２Ｅの固定を確実に行う
ためのフォローセットである。

【００７２】なお、図３乃至図６に示されるように、前
記アーム９０Ｌ、９０Ｒの下部には、前記ガイドローラ
３２、３４、テンションローラ５４、静電除去器５８を
支持するための、左、右のガイドローラ取付プレート１
０４Ｌ、１０４Ｒが設けられている。なお、前記テンシ
ョンローラ５４は、前記ガイドローラ取付プレート１０
４Ｌ、１０４Ｒに軸支されて揺動する、左、右のテンシ
ョンローラアーム１０６Ｌ、１０６Ｒに回動可能に軸支
されている。又、このテンションローラアーム１０６
Ｌ、１０６Ｒの軸を中心としてテンションローラ５４の
反対側には、該テンションローラ５４に所定方向の旋回
力を付勢するための、左、右のテンション用スプリング
１０８Ｌ、１０８Ｒが設けられており、このテンション
用スプリング１０８Ｌ、１０８Ｒの先端側には、テンシ
ョンローラ５４の張力を決めるための、左、右のテンシ
ョン調整用ねじ１１０Ｌ、１１０Ｒが設けられている。
又、テンションローラ５４の積層体フィルム１Ｂ反対側
には、該テンションローラ５４の位置決めをする左、右
のテンションローラ位置決めねじ１１２Ｌ、１１２Ｒ、
及び当該ねじの保持部材１１４Ｌ、１１４Ｒが設けられ
ている。又、右側のテンションローラアーム１００Ｒの
テンションローラ５４の反対側端部には、該ローラ５４
の位置検出センサ１１６が取付けられている。

【００７３】一方、前記左、右のアーム９０Ｌ、９０Ｒ
の上方には、巻取ローラ４の軸を支持し、且つ誘導する
ための、左、右の巻取ローラガイド部材１１８Ｌ、１１
８Ｒが設けられている。このガイド部材１１８Ｌ、１１
８Ｒは、巻取ローラ４が積層体フィルム１Ａを巻き取っ
て、当該ローラ４の軸の位置が変化することに対応する
ため、供給ローラ軸２Ａ方向に向けて長孔に形成されて
いる。又、このガイド部材１１８Ｌ、１１８Ｒには、供
給ローラ２のセットの際に、巻取ローラ４を一旦仮置き
するための切り欠け部１１９が、その上方に形成されて
いる。

【００７４】前記実施例のフィルム張付け装置の制御系
の信号経路を図１１に示す。

【００７５】図１１に示すように、この制御系において
は、各センサＳ１〜Ｓ４と共に、各シリンダ前・後端の
検出センサ（図示省略）やフィルム巻径の各センサ３６
Ａと３６Ｂの検出信号に従って、中央制御ユニット１２
０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの制御信号を
出力するようになっている。又、カウンタやタイマの機
能も有している。この中央制御ユニット１２０は、図６
に示す手順に従って前記フィルム張付装置を制御するよ
うに構成されている。この中央制御ユニット１２０は、
例えばプログラマブルコントローラやリレーシーケンス
回路により構成することができる。

【００７６】次に、実施例の作用を説明する。

【００７７】実施例に係るフィルム張付装置は、主に図
６の手順に従って作動する。

【００７８】先ず、積層体フィルム１Ｂの張付け開始準
備状態に手動により設定する（ステップ１）。即ち、十
分な三層積層体フィルム１が巻き回された供給ローラ２
をこのフィルム張付装置に設置する。この供給ローラ２
の設置に際して、まず供給ローラを各軸受けカムフォロ
ア９２Ｌ、９２Ｒ上に乗せ、ブレーキ部の軸押え９４Ａ
を前進させて、軸２Ａの凹部と軸押え９４Ａの凸部とを
嵌合させる。

【００７９】次いで、前記三層積層体フィルム１をガイ
ドローラ３２からフィルム分離部材３に通過させて、透
光性樹脂フィルム１Ａ、積層体フィルム１Ｂに分離す
る。フィルム分離部材３で分離された積層体フィルム１
Ｂをメインバキュームプレート５６からカッタ６２の先
まで送る。この場合、カッタ６２の回転刃６２Ａは、手
動により固定刃６２Ｂと離すことができ、その間に前記
積層体フィルム１Ｂを通す。

【００８０】次いで、積層体フィルム１Ｂをカッタ６２
で切断する（ステップ２）。即ち、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂを傾斜させない状態で手動により回転刃６２
Ａを回転させてフィルム１Ｂを切断する。この場合、位
置決め機構９６のターンノブ９６Ａを回して、供給ロー
ル２の左右方向位置を調節して、積層仲フィルム１Ｂの
中心軸を基板６の中心軸に合せる。なお、切断前に合せ
ることができる。

【００８１】次いで、メインバキュームプレート５６、
圧着ローラ２８等を原位置とする（ステップ３）。この
場合、メインバキュームプレート５６は、上昇端からあ
る程度下がると共に、メインバキュームプレート５６と
先端巻き付けフィルム保持部材６０のフィルム搬送面側
は一致する状態とする。

【００８２】次いで、自動運転を開始する（ステップ
４）。

【００８３】即ち、自動運転が開始すると、前記フィル
ム保持部材６０が積層体フィルム１Ｂを吸着しながら基
板搬送方向に移動する。これにより、積層体フィルム１
Ｂは、メインバキュームプレート５６の先端の仮付け部
５６Ａに巻き付けられる。

【００８４】一方、基板の搬入部２０においては、基板
６が搬送されてきて、幅寄せ開始位置センサＳ１で当該
基板６が検出されると、該基板６は、幅寄せ装置４２で
幅寄せされ、所定の幅方向位置になる。

【００８５】次いで、幅寄せされた基板６を搬送方向に
進行させ、当該基板の先端を基板先端検出センサＳ３で
検出すると、その検出信号に従って、中央制御ユニット
１２０がカウンタのカウントを始める。このカウント
は、予め設定された所定時間をカウントして、基板６の
搬送方向先端部を仮付け位置に停止させる。又、前記基
板先端検出センサＳ３の信号により、前記中央制御ユニ
ット１２０の他のカウンタがカウントを開始する。該カ
ウンタが所定時間カウントすると、前記先端巻き付けフ
ィルム保持部材６０が基板搬送方向出側に後退して、メ
インバキュームプレート５６の仮付部５６Ａに積層体フ
ィルム１Ｂを巻付ける。

【００８６】なお、前記メインバキュームプレート５６
が前進して仮付けするまでに、基板押えローラ４６は、
基板押え部材４４の駆動により基板６方向に下降し、駆
動ローラ３８と共に基板６を挟み付ける。又、前進する
基板６には、ウェットローラ４８で空泡防止液が塗布さ
れる。

【００８７】次いで、メインバキュームプレート５６の
前進により、積層体フィルム１Ｂを基板６に仮付けする
（ステップ７）。

【００８８】即ち、前記他のカウンタが作動しながら、
上・下のメインバキュームプレート５６は、ラックギヤ
６８及びピニオンギヤ７０により同調しながらメインバ
キュームプレート駆動用サーボモータ（図示省略）の駆
動により、基板６の上・下面に向かって前進してくる。
この場合、基板６の上・下面表面上の例えば２cm手前の
位置で、メインバキュームプレート駆動用サーボモータ
の駆動を停止する。その後、メインバキュームプレート
駆動用エアシリンダ（図示省略）の駆動力で上下のメイ
ンバキュームプレート５６を前進させ、仮付部５６Ａを
基板６上・下表面に接近させる。この際、メインバキュ
ームプレート幅方向（積層体フィルム１Ｂ幅方向に沿
う）両端に設けられた一対のエアシリンダで仮付けの押
圧力を与える。このため、基板６の両面には、同じ力で
積層体フィルム１Ｂを仮付けすることができる。なお、
この際、前記サーボモータの駆動力は、前記サーボモー
タの電磁クラッチが解放されるため、ピニオンギヤ７０
へは伝達されないようになっている。

【００８９】次いで、メインバキュームプレート５６を
基板６から離す方向へ後退させ、圧着ローラ２８は、前
記メインバキュームプレート５６の仮止め部５６Ａと干
渉し合わないように前進させて、当該圧着ローラ２８で
前記仮止めされた積層体フィルム１Ｂの圧着を開始する
（ステップ８）。

【００９０】次いで、積層体フィルム１Ｂの圧着ローラ
２８による圧着が進行していき、基板６に張付けるべき
積層体フィルム１Ｂの後端がカッタの位置まできたと
き、メインバキュームプレート５６による積層体フィル
ム１Ｂの吸着、及びカッタ６２による当該フィルム１Ｂ
の切断を行う（ステップ９）。

【００９１】即ち、カッタ６２の切断点が積層体フィル
ム１Ｂの供給速度と応じた積層体フィルムを供給方向に
直接に切断可能な傾斜をカッタ６２に与えて、カッタ６
２で切断を開始させる。この切断により、積層体フィル
ム１Ｂは搬送方向に直角に切断される。

【００９２】なお、切断中及び切断後、積層体フィルム
１Ｂはサポートローラ６４で誘導される。このため、圧
着ローラ２８の径が小さいものであっても、積層体フィ
ルム１Ｂは固定刃６２Ｂに摺動することなく送られる。
又、圧着中及び切断後にバキュームバー７６の吸引が開
始されており、このバキュームバー７６は、積層体フィ
ルム１Ｂを吸着しながらその外周面上を滑らせて、熱圧
着させる。熱圧着するべき積層体フィルム１Ｂの後端部
に近くなったならば、バキュームバー７６は、基板６に
接近するように圧着ローラ２８の周囲を旋回動し、熱圧
着が終了する直前まで吸着動作を行う。これにより、積
層体フィルム１Ｂに適度な張力を与え、積層体フィルム
１Ｂにしわ等が発生することを防止している（ステップ
９）。なお、前記積層体フィルム１Ｂをカッタ６２で切
断した後は、メインバキュームプレート５６及び先端巻
き付けフィルム保持部材６０は吸着動作を行い、積層体
フィルム１Ｂを吸着して保持する。

【００９３】次いで、積層体フィルム１Ｂの熱圧着動作
を続行するか否かを判断する。続行するならば、ステッ
プ５から再び圧着作業を続行する。又、続行しないなら
ば、この作業を終了する。

【００９４】なお、前記実施例では、図１又は図２に示
すような構成のフィルム張付装置で本発明と実施してい
たが、本発明の実施例範囲はこれに限定されない。

【００９５】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、供
給ローラの左右位置を簡単な構成で、且つ簡易に所望位
置に合せることができる。従って、フィルムの中心位置
を、基板中心位置に容易に合せることができる。

【００９６】又、供給ローラ軸の芯出しを容易且つ正確
に行うことができる。

【００９７】又、供給ローラ軸に制動が所望される場合
に滑りを生じさせることなく、確実に制動力を加えるこ
とができる等の優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るフィルム張付装置の全体
的な構成を示す側面図

【図２】前記フィルム供給装置の供給経路を含む上部構
成を詳細に示す側面図

【図３】前記フィルム張付装置の供給ローラ及びその軸
受構造とを詳細に示す正面図

【図４】前記供給ローラ軸及び軸受構造を詳細に示す正
面図

【図５】前記供給ローラ軸の右側軸受周辺を詳細に示す
側面図

【図６】前記供給ローラ軸の左側軸受構造を詳細に示す
側面図

【図７】前記供給ローラ軸の左側軸部構造を詳細に示す
要部斜視図

【図８】前記供給ローラ軸の右側軸受構造を詳細に示
す、一部切断図を含む要部断面図

【図９】前記供給ローラ軸のブレーキ部材構造を詳細に
示す側面図

【図１０】前記供給ローラ軸のブレーキ部材構造を詳細
に示す断面図

【図１１】前記供給ローラ軸のコアチャック構造を詳細
に示す分解斜視図

【図１２】前記装置の電気的な信号入出力の構成を示す
ブロック図

【図１３】前記実施例の作用を説明するための前記装置
におけるフィルム圧着手順を示す流れ図

【図１４】従来のフィルム張付装置の構成を示す側面図

【符号の説明】

２Ａ…供給ローラ軸、 ２Ｃ…切れ込み、 ２Ｄ…キー溝、 ９０Ｌ、９０Ｒ…アーム、 ９２Ｌ、９２Ｒ…供給ローラ軸受カムフォロア、 ９４…ブレーキ部、 ９４Ａ…軸押え、 ９４Ｂ…ブレーキ部軸、 ９４Ｃ…ブレーキ取付部材、 ９４Ｄ…ブレーキアーム、 ９４Ｅ…エアシリンダ、 ９４Ｆ…ブレーキシリンダ、 ９６…位置決め機構、 ９６Ａ…ターンノブ、 ９６Ｂ…供給ローラ軸押え、 ９６Ｃ…ベアリング、 ９６Ｄ…ねじ治具、 ９６Ｅ…フランジ、 ９６Ｆ…シャフト、 ９６Ｇ…カップリング、 ９８Ｌ、９８Ｒ…供給ローラ受けブロック、 ９８Ａ…仮置き用凹み、 １００Ｌ、１００Ｒ…ストッパ、 １０２…コアチャック、 １０２Ａ…キー、 １０２Ｂ…フィルムサポート、 １０２Ｃ…テーパーリング、 １０２Ｄ…セットナット、 １０２Ｅ…止めリング、 １０２Ｆ…セットボルト、 １０２Ｇ…フォローセット、 １０４Ｌ、１０４Ｒ…左右のガイドローラ取付プレー
ト、 １０６Ｌ、１０６Ｒ…テンションローラアーム、 １０８Ｌ、１０８Ｒ…テンション用スプリング、 １１０Ｌ、１１０Ｒ…テンション調整用ねじ、 １１２Ｌ、１１２Ｒ…テンションローラ位置ねじ、 １１４Ｌ、１１４Ｒ…テンションローラ位置決めねじ保
持部材、 １１６…テンションローラ位置検出センサ、 １１８Ｌ、１１８Ｒ…左、右の巻取ローラガイド部材。

【手続補正書】

【提出日】平成５年６月１４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】フィルム張付装置においては、透光性樹脂
フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの３層
構造からなる積層体フィルム（以下、３層積層体フィル
ムという）が、供給ローラ２に連続的に巻き回されてい
る。該３層積層体フィルム１は、前記供給ローラ２から
巻き出され、その後、フィルム分離部材３で、透光性樹
脂フィルム１Ａと、１面（接着面となる）が露出された
感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体フ
ィルム１Ｂとに分離される。分離された積層体フィルム
１Ｂは、テンションローラ９を経由してメインバキュー
ムプレート（フィルム供給部材）５の表面上に供給され
る。その後、積層体フィルム１Ｂの供給経路にはサブバ
キュームプレート１３とカッタ１４とが設けられ、その
先にバキュームバー１５及び圧着ロール１６が設けられ
ている。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１２】前記サブバキュームプレートは、前記積層
体フィルム１Ｂの供給方向の先端部を吸着し、前記仮付
け部５Ａに当該先端部を吸着（保持）させるように動作
する。このサブバキュームプレート１３の動作は、支持
部材７に取付けられた、例えばエアシリンダからなる駆
動源１３Ａで、積層体フィルム１Ｂの供給経路に対して
近接及び離反（矢印Ｄ方向に移動）することにより行わ
れる。又、この動作は、メインバキュームプレート５が
積層体フィルム１Ｂを基板６に仮付けする際も行われ
る。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３７】即ち、図１及び図２に示されるように、前
記積層体フィルム蓄積部２４においては、前記３層積層
体フィルム１が、供給ローラ２に連続的に巻き回されて
蓄積されている。巻き回された積層体フィルム１は、巻
き出されて、ガイドローラ３２を介してフィルム分離部
材３に至る。このフィルム分離部材３は、前記積層体フ
ィルムを、透光性樹脂フィルム（保護膜）１Ａと、前記
一面（接着面）が露出された感光性樹脂層及び透光性樹
脂フィルムからなる積層体フィルム１Ｂとに分離するも
のである。分離された透光性樹脂フィルム１Ａは、ガイ
ドローラ３４を介して前記巻き回されて積層体フィルム
１上を移動し、巻取ローラ４に巻取られるようになって
いる。なお、巻き回された積層体フィルム１の側面側に
は、フィルムの蓄積されている量を、フィルム巻径から
検出する巻径検出センサ、即ち、フィルム巻径が所定の
大きい値より大きいことを検出する大径用フィルム巻径
検出センサ３６Ａと、フィルム巻径が所定の小さい値よ
り大きいことを検出する小径用フィルム巻径検出センサ
３６Ｂが設けられる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５４】前記ピニオンギヤ７０は、フィルム張付装
置の本体フレームの一定位置で回動するため、ラックギ
ヤ６８と共に上・下のメインバキュームプレート５６を
同調動作させる。又、前記ピニオンギヤ７０は、図示さ
れないサーボモータ（メインバキュームプレート駆動用
サーボモータ）で駆動される。上・下の取付部材６６に
はバキュームプレート５６幅方向に一対設けられたシリ
ンダ（図示省略）のシリンダ管体、ピストンロッドがそ
れぞれ連結され、上・下の取付部材６６が連動するよう
になっている。なお、実施例では、基板６から所定距離
となるまでは前記サーボモータで前進させる。その後、
サーボモータによる前記ピニオンギア７０の駆動を断ち
シリンダで駆動して仮付けし、仮付け後、基板からの離
反はシリンダで行うようになっている。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５５】前記圧着部３０には、前記積層体フィルム
１Ｂを基板上に熱圧着するための圧着ローラ２８と共
に、当該圧着ローラ２８が軸支され、当該圧着ローラ２
８を前後動させるように保持する圧着ローラ保持部材７
４と、当該圧着ローラ２８の周囲を、前記積層体フィル
ム１Ｂを吸着しながら回動するバキュームバー７６と、
前記圧着ローラ２８に付着した水等の空泡防止液を拭き
取るための圧着ローラ拭き取りローラ７８と、圧着後の
基板６の表面の空泡防止液を拭き取るための基板拭き取
りローラ８０と、上・下に対称となる圧着ローラ保持部
材７４を揺動させて、圧着ローラ２８で積層体フィルム
１Ｂを基板６上に圧着させるための圧着ローラ上下移動
用エアシリンダ８２を有する。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７１】従って、前記セットナット１０２Ｄがフィ
ルムサポート１０２Ｂ方向に前後動することによりテー
パーリング１０２Ｃが広げられたり縮められたりして、
三層積層体フィルム１のフィルムロールの芯を確実に保
持することができるようになっている。なお、図１１中
符号１０２Ｅは供給ローラ軸２Ａ外部に遊嵌する止めリ
ング、１０２Ｆは、前記キー１０２Ａを止めリング１０
２Ｅと共に供給ローラ軸２Ａに押付けて、コアチャック
１０２を当該軸２Ａに固着するためのセットボルト、１
０２Ｇは止めリング１０２Ｅの固定を確実に行うための
フォローセットである。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７２】なお、図３乃至図６に示されるように、前
記アーム９０Ｌ、９０Ｒの下部には、前記ガイドローラ
３２、３４、テンションローラ５４、静電除去器５８を
支持するための、左、右のガイドローラ取付プレート１
０４Ｌ、１０４Ｒが設けられている。なお、前記テンシ
ョンローラ５４は、前記ガイドローラ取付プレート１０
４Ｌ、１０４Ｒに軸支されて揺動する、左、右のテンシ
ョンローラアーム１０６Ｌ、１０６Ｒに回動可能に軸支
されている。又、このテンションローラアーム１０６
Ｌ、１０６Ｒの軸を中心としてテンションローラ５４の
反対側には、該テンションローラ５４に所定方向の旋回
力を付勢するための、左、右のテンション用スプリング
１０８Ｌ、１０８Ｒが設けられており、このテンション
用スプリング１０８Ｌ、１０８Ｒの先端側には、テンシ
ョンローラ５４の張力を決めるための、左、右のテンシ
ョン調整用ねじ１１０Ｌ、１１０Ｒが設けられている。
又、テンションローラ５４の積層体フィルム１Ｂ反対側
には、該テンションローラ５４の位置決めをする左、右
のテンションローラ位置決めねじ１１２Ｌ、１１２Ｒ、
及び当該ねじの保持部材１１４Ｌ、１１４Ｒが設けられ
ている。又、右側のテンションローラアーム１０６Ｒの
テンションローラ５４の反対側端部には、該ローラ５４
の位置検出センサ１１６が取付けられている。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７４】前記実施例のフィルム張付け装置の制御系
の信号経路を図１２に示す。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７５】図１１に示すように、この制御系において
は、各センサＳ１〜Ｓ４と共に、各シリンダ前・後端の
検出センサ（図示省略）やフィルム巻径の各センサ３６
Ａと３６Ｂの検出信号に従って、中央制御ユニット１２
０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの制御信号を
出力するようになっている。又、カウンタやタイマの機
能も有している。この中央制御ユニット１２０は、図１
３に示す手順に従って前記フィルム張付装置を制御する
ように構成されている。この中央制御ユニット１２０
は、例えばプログラマブルコントローラやリレーシーケ
ンス回路により構成することができる。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００７７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００７７】実施例に係るフィルム張付装置は、主に図
１３の手順に従って作動する。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８３

【補正方法】削除

【手続補正１２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８５】幅寄せされた基板６を搬送方向に進行さ
せ、当該基板の先端を基板後端検出センサＳ２で検出す
る（ステップ５）と、前記フィルム保持部材６０が基板
搬送方向に移動する。これにより、メインバキュームプ
レート５６の先端の仮付部５６Ａに積層体フィルム１Ｂ
を巻付ける（ステップ６）。次いで、当該基板の先端を
基板先端検出センサＳ３で検出すると、その検出信号に
従って中央制御ユニット１２０のカウンタのカウントを
始める。このカウントは、予め設定された所定時間をカ
ウントして、基板６の搬送方向先端部を仮付位置に停止
させる。

【手続補正１３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００８８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００８８】即ち、前記他のカウンタが作動しながら、
上・下のメインバキュームプレート５６は、ラックギヤ
６８及びピニオンギヤ７０により同調しながらメインバ
キュームプレート駆動用サーボモータ（図示省略）の駆
動により、基板６の上・下面に向かって前進してくる。
この場合、基板６の上・下面表面上の例えば２ｃｍ手前
の位置で、メインバキュームプレート駆動用サーボモー
タの駆動を停止する。その後、メインバキュームプレー
ト駆動用エアシリンダ（図示省略）の駆動力で上下のメ
インバキュームプレート５６を前進させ、仮付部５６Ａ
を基板６上・下表面に接近させる。この際、メインバキ
ュームプレート幅方向（積層体フィルム１Ｂ幅方向に沿
う）両端に設けられた一対のエアシリンダで仮付けの押
圧力を与える。このため、基板６の両面には、同じ力で
積層体フィルム１Ｂを仮付けすることができる。なお、
この際、前記サーボモータの駆動力は、ピニオンギヤ７
０へは伝達されないようになっている。

【手続補正１４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００９１】即ち、積層体フィルム１Ｂが、供給方向に
対し直角に切断されるような傾斜をカッタ６２に与え
る。又、積層体フィルム１Ｂの供給速度に応じて、その
供給方向に回転刃６２Ａを回転させる。この切断により
積層体フィルム１Ｂは、搬送方向に直角に切断される。

【手続補正１５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４】前記供給ローラ軸及び軸受構造を詳細に示す平
面図

【手続補正１６】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正１７】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正１８】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

【手続補正１９】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１０】

【手続補正２０】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１１】

【手続補正２１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１２】

【手続補正２２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１３】

【手続補正２３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１４】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｌ 31:34 4Ｆ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルム供給ローラに連続フィルムが装填
   されており、搬送手段で搬送されてくる基板に連続フィ
   ルムを圧着して所定長さに切断するフィルム張付装置に
   おいて、 フィルム供給ローラの軸方向の一方側に、該軸を押圧す
   るシリンダ部材を設け、 前記軸方向の他方側に、押圧
   された軸を軸受け部材で受け止め、且つ、該軸受け部材
   を軸方向に前後動させる機構により、フィルム供給ロー
   ラの軸方向位置を調節するための位置調節機構を設けた
   ことを特徴とするフィルム張付装置。
2. 【請求項２】請求項１において、更に、 供給ローラ軸に接して、該軸の芯出しをするための軸芯
   決定手段を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
3. 【請求項３】請求項１又は２において、更に、 シリンダ部材の軸を押圧するロッド先端側と該軸の被押
   圧端とが、互いに滑ることなく係合する凹凸形状とさ
   れ、 シリンダ部材のロッドに前記軸の回転を制止するための
   ブレーキ部材が設けられたことを特徴とするフィルム張
   付装置。