JPH06208705A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH06208705A JPH06208705A JP230693A JP230693A JPH06208705A JP H06208705 A JPH06208705 A JP H06208705A JP 230693 A JP230693 A JP 230693A JP 230693 A JP230693 A JP 230693A JP H06208705 A JPH06208705 A JP H06208705A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 コア半体の接合一体化でコアの配列ピッチが
ずれないで、適正なトラック幅に規制することにある。 【構成】 高飽和磁束密度を有するセンダスト等の金属
磁性膜（3）とＳｉＯ2等の絶縁薄膜（4）とを交互に積
層したラミネート層からなるコア（5a）〜（5c）をスパ
ッタリングにより非磁性体（6a）〜（6c）に被着形成
し、そのコア（5a）〜（5c）を非磁性体（6a）〜（6c）
で両側から挟み込んだ一対のコア半体（1a）〜（1c）を
接合一体化したコアチップ（2）の媒体摺接面（9）に磁
気ギャップｇ 1、ｇ2を形成した磁気ヘッドにおいて、上
記磁気ギャップｇ2のトラック幅方向での両側縁部に、
両コア（5b）、（5c）の金属磁性膜（3）に切り込ま
れ、且つ、ガラス（13）が充填されてその切り込み量で
トラック幅Ｔ2を規制するトラック幅規制溝(14）を刻設
する。
ずれないで、適正なトラック幅に規制することにある。 【構成】 高飽和磁束密度を有するセンダスト等の金属
磁性膜（3）とＳｉＯ2等の絶縁薄膜（4）とを交互に積
層したラミネート層からなるコア（5a）〜（5c）をスパ
ッタリングにより非磁性体（6a）〜（6c）に被着形成
し、そのコア（5a）〜（5c）を非磁性体（6a）〜（6c）
で両側から挟み込んだ一対のコア半体（1a）〜（1c）を
接合一体化したコアチップ（2）の媒体摺接面（9）に磁
気ギャップｇ 1、ｇ2を形成した磁気ヘッドにおいて、上
記磁気ギャップｇ2のトラック幅方向での両側縁部に、
両コア（5b）、（5c）の金属磁性膜（3）に切り込ま
れ、且つ、ガラス（13）が充填されてその切り込み量で
トラック幅Ｔ2を規制するトラック幅規制溝(14）を刻設
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッド及びその製造
方法に関し、詳しくは、トラック幅の異なる二つの磁気
ギャップを有する磁気ヘッド及びその製造方法に関す
る。
方法に関し、詳しくは、トラック幅の異なる二つの磁気
ギャップを有する磁気ヘッド及びその製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ＶＴＲ装置に搭載される磁気ヘ
ッドには、トラック幅が狭い記録用磁気ギャップとトラ
ック幅が広い消去用磁気ギャップを有するものがある。
ッドには、トラック幅が狭い記録用磁気ギャップとトラ
ック幅が広い消去用磁気ギャップを有するものがある。
【０００３】具体的に、この種の磁気ヘッドを、図７
（ａ）（ｂ）に示す積層型のもので説明する。
（ａ）（ｂ）に示す積層型のもので説明する。
【０００４】上記磁気ヘッドは、同図に示すように三つ
のコア半体（1a）（1b'）（1c'）からなるコアチップ
（2）で構成され、各コア半体（1a）（1b'）（1c'）
は、高飽和磁束密度を有するセンダスト等の金属磁性膜
（3）とＳｉＯ2等の絶縁薄膜（4）とを交互に積層した
ラミネート層からなるコア（5a）（5b）（5c'）を、そ
の両側からセラミック等の非磁性体（6a）〜（6c）で挟
み込んだ構造を有する。
のコア半体（1a）（1b'）（1c'）からなるコアチップ
（2）で構成され、各コア半体（1a）（1b'）（1c'）
は、高飽和磁束密度を有するセンダスト等の金属磁性膜
（3）とＳｉＯ2等の絶縁薄膜（4）とを交互に積層した
ラミネート層からなるコア（5a）（5b）（5c'）を、そ
の両側からセラミック等の非磁性体（6a）〜（6c）で挟
み込んだ構造を有する。
【０００５】中央に位置するコア半体（1b'）と、両側
に位置するコア半体（1a）（1c'）のうち、一方のコア
半体（1a）とは、両コア（5a）（5b）の幅Ｔ1が同一に
設定されており、その両コア半体（1a）（1b'）の接合
面を、ギャップスペーサとなるＳｉＯ2等の非磁性体薄
膜〔図示せず〕を介して突き合わせる。両コア半体（1
a）（1b'）は、その接合面に刻設された溝（7）に充填
されたガラス（8）でもって接合一体化される。この接
合一体化により、コア（5a）（5b）の幅Ｔ1、即ち、そ
のコア（5a）（5b）を構成する金属磁性膜（3）の膜厚
と一致したトラック幅Ｔ1を有する磁気ギャップｇ1が形
成される。
に位置するコア半体（1a）（1c'）のうち、一方のコア
半体（1a）とは、両コア（5a）（5b）の幅Ｔ1が同一に
設定されており、その両コア半体（1a）（1b'）の接合
面を、ギャップスペーサとなるＳｉＯ2等の非磁性体薄
膜〔図示せず〕を介して突き合わせる。両コア半体（1
a）（1b'）は、その接合面に刻設された溝（7）に充填
されたガラス（8）でもって接合一体化される。この接
合一体化により、コア（5a）（5b）の幅Ｔ1、即ち、そ
のコア（5a）（5b）を構成する金属磁性膜（3）の膜厚
と一致したトラック幅Ｔ1を有する磁気ギャップｇ1が形
成される。
【０００６】一方、他方のコア半体（1c'）は、コア（5
c'）の幅Ｔ2が、中央に位置するコア半体（1b'）よりも
狭く設定されており、その両コア半体（1b'）（1c'）の
接合面を、ギャップスペーサとなるＳｉＯ2等の非磁性
体薄膜〔図示せず〕を介して突き合わせる。両コア半体
（1b'）（1c'）は、その接合面に刻設された溝（7）に
充填されたガラス（8）でもって接合一体化される。こ
の接合一体化により、一方のコア半体（1c'）のコア（5
c'）の狭い幅と一致したトラック幅Ｔ2を有 する磁気ギ
ャップｇ2が形成される。
c'）の幅Ｔ2が、中央に位置するコア半体（1b'）よりも
狭く設定されており、その両コア半体（1b'）（1c'）の
接合面を、ギャップスペーサとなるＳｉＯ2等の非磁性
体薄膜〔図示せず〕を介して突き合わせる。両コア半体
（1b'）（1c'）は、その接合面に刻設された溝（7）に
充填されたガラス（8）でもって接合一体化される。こ
の接合一体化により、一方のコア半体（1c'）のコア（5
c'）の狭い幅と一致したトラック幅Ｔ2を有 する磁気ギ
ャップｇ2が形成される。
【０００７】このようにして、コアチップ（2）の媒体
摺接面（9）では、コア半体（1c'）によるトラック幅Ｔ
2が狭い記録用磁気ギャップｇ2と、コア半体（1a）（1
b'）によるトラック幅Ｔ1が広い消去用磁気ギャップｇ1
とを有する。
摺接面（9）では、コア半体（1c'）によるトラック幅Ｔ
2が狭い記録用磁気ギャップｇ2と、コア半体（1a）（1
b'）によるトラック幅Ｔ1が広い消去用磁気ギャップｇ1
とを有する。
【０００８】次に、上記構成からなる磁気ヘッドの製造
方法を図８及び図９に示して説明する。
方法を図８及び図９に示して説明する。
【０００９】まず、図８（ａ）に示すようにラミネート
層からなるコア（5a）（5b）と非磁性体（6a）（6b）と
を交互に配置して接合一体化した長尺なコアブロック
（11a）（11b'）を一対用意する。ここで、両コアブロ
ック（11a）（11b'）は、図示しないが、非磁性体基板
上にラミネート層をスパッタリングにより被着させてコ
ア（5a）（5b）を形成したものをその成膜方向に沿って
複数個積層して接合一体化し、この母材をコア積層方向
に沿って切断分離することによりコアブロック（11a）
（11b'）を得る。従って、この対をなすコアブロック
（11a）（11b'）は、同一母材から切り出されたもので
あるため、コア（5a）（5b）の膜厚及び配列ピッチは相
互に完全同一となっている。
層からなるコア（5a）（5b）と非磁性体（6a）（6b）と
を交互に配置して接合一体化した長尺なコアブロック
（11a）（11b'）を一対用意する。ここで、両コアブロ
ック（11a）（11b'）は、図示しないが、非磁性体基板
上にラミネート層をスパッタリングにより被着させてコ
ア（5a）（5b）を形成したものをその成膜方向に沿って
複数個積層して接合一体化し、この母材をコア積層方向
に沿って切断分離することによりコアブロック（11a）
（11b'）を得る。従って、この対をなすコアブロック
（11a）（11b'）は、同一母材から切り出されたもので
あるため、コア（5a）（5b）の膜厚及び配列ピッチは相
互に完全同一となっている。
【００１０】一方、図８（ｂ）に示すように上述と同様
な要領に基づいて製作された別のコアブロック（11c'）
を用意する。相違点として、このコアブロック（11c'）
は、前記コアブロック（11a）（11b'）とは別の母材か
ら切り出されたもので、そのコア（5c'）の配列ピッチ
をコア（5a）（5b）と同一とするが、その膜厚がコア
（5a）（5b）よりも小さく設定されている。
な要領に基づいて製作された別のコアブロック（11c'）
を用意する。相違点として、このコアブロック（11c'）
は、前記コアブロック（11a）（11b'）とは別の母材か
ら切り出されたもので、そのコア（5c'）の配列ピッチ
をコア（5a）（5b）と同一とするが、その膜厚がコア
（5a）（5b）よりも小さく設定されている。
【００１１】このようにして得られた三つのコアブロッ
ク（11a）（11b'）（11c'）の接合面を、図９に示すよ
うに非磁性体薄膜〔図示せず〕を介して突き合わせて接
合一体化する。この接合一体化は、各接合面に刻設され
た接合溝（7）にガラス（8）を充填することにより、そ
のガラス溶着でもって行なわれる。その後、接合一体化
されたコアブロック（11a）（11b'）（11c'）を所定ピ
ッチでスライスすることによって、図７（ａ）（ｂ）に
示すコアチップ（2）を得る。
ク（11a）（11b'）（11c'）の接合面を、図９に示すよ
うに非磁性体薄膜〔図示せず〕を介して突き合わせて接
合一体化する。この接合一体化は、各接合面に刻設され
た接合溝（7）にガラス（8）を充填することにより、そ
のガラス溶着でもって行なわれる。その後、接合一体化
されたコアブロック（11a）（11b'）（11c'）を所定ピ
ッチでスライスすることによって、図７（ａ）（ｂ）に
示すコアチップ（2）を得る。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】ところで、消去用磁気
ギャップｇ1が形成されたコア半体（1a）（1b'）は、同
一母材から切り出されたコアブロック（11a）（11b'）
に基づいて製作されているため、そのコアブロック（11
a）（11b'）を突き合わせて接合一体化した際、コア（5
a）（5b）の配列ピッチが完全に一致するので問題はな
い。
ギャップｇ1が形成されたコア半体（1a）（1b'）は、同
一母材から切り出されたコアブロック（11a）（11b'）
に基づいて製作されているため、そのコアブロック（11
a）（11b'）を突き合わせて接合一体化した際、コア（5
a）（5b）の配列ピッチが完全に一致するので問題はな
い。
【００１３】しかしながら、記録用磁気ギャップｇ2が
形成されたコア半体（1c'）は、異なる母材から切り出
されたコアブロック（11c'）に基づいて製作されている
ため、そのコアブロック（11a）（11c'）を突き合わせ
て接合一体化した際、コア（5a）（5c'）の配列ピッチ
が一致せずにずれが生じ、その結果、適正なトラック幅
Ｔ2を有する磁気ギャップｇ2を形成することができず、
良好な特性を得ることが困難となる。
形成されたコア半体（1c'）は、異なる母材から切り出
されたコアブロック（11c'）に基づいて製作されている
ため、そのコアブロック（11a）（11c'）を突き合わせ
て接合一体化した際、コア（5a）（5c'）の配列ピッチ
が一致せずにずれが生じ、その結果、適正なトラック幅
Ｔ2を有する磁気ギャップｇ2を形成することができず、
良好な特性を得ることが困難となる。
【００１４】また、記録用磁気ギャップｇ2では、コア
幅の異なる二つのコア半体（1a'）（1c'）を接合一体化
することにより、コア（5c'）の幅が狭いコア半体（1
c'）でもってトラック幅Ｔ2を規制するようにしている
ので、その磁気ギャップｇ2の両側でコア幅が異なるこ
とになり、実効トラック幅が広がってフリンジングと称
される現象が発生し、適正な記録を行なうことが困難と
なる。
幅の異なる二つのコア半体（1a'）（1c'）を接合一体化
することにより、コア（5c'）の幅が狭いコア半体（1
c'）でもってトラック幅Ｔ2を規制するようにしている
ので、その磁気ギャップｇ2の両側でコア幅が異なるこ
とになり、実効トラック幅が広がってフリンジングと称
される現象が発生し、適正な記録を行なうことが困難と
なる。
【００１５】そこで、本発明は上記問題点に鑑みて提案
されたもので、その目的とするところは、コア半体の接
合一体化でコアの配列ピッチがずれないで、適正なトラ
ック幅に規制し得る磁気ヘッド及びその製造方法を提供
することにある。
されたもので、その目的とするところは、コア半体の接
合一体化でコアの配列ピッチがずれないで、適正なトラ
ック幅に規制し得る磁気ヘッド及びその製造方法を提供
することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の技術的手段として、本発明の磁気ヘッドは、高飽和磁
束密度を有する金属磁性膜からなるコアをスパッタリン
グにより非磁性体に被着形成し、そのコアを非磁性体で
両側から挟み込んだ一対のコア半体を接合一体化したコ
アチップの媒体摺接面に磁気ギャップを形成した磁気ヘ
ッドにおいて、上記磁気ギャップのトラック幅方向での
両側縁部に、両コアの金属磁性膜に切り込まれ、且つ、
ガラスが充填されてその切り込み量でトラック幅を規制
するトラック幅規制溝を刻設したことを特徴とする。
の技術的手段として、本発明の磁気ヘッドは、高飽和磁
束密度を有する金属磁性膜からなるコアをスパッタリン
グにより非磁性体に被着形成し、そのコアを非磁性体で
両側から挟み込んだ一対のコア半体を接合一体化したコ
アチップの媒体摺接面に磁気ギャップを形成した磁気ヘ
ッドにおいて、上記磁気ギャップのトラック幅方向での
両側縁部に、両コアの金属磁性膜に切り込まれ、且つ、
ガラスが充填されてその切り込み量でトラック幅を規制
するトラック幅規制溝を刻設したことを特徴とする。
【００１７】また、一方のコア半体の接合反対面に他の
コア半体を接合一体化してこれをコアチップとし、その
媒体摺接面に、前記磁気ギャップとは別にそのトラック
幅より大きく、金属磁性膜の膜厚で規制されるトラック
幅の磁気ギャップを形成した磁気ヘッドとすることも可
能である。
コア半体を接合一体化してこれをコアチップとし、その
媒体摺接面に、前記磁気ギャップとは別にそのトラック
幅より大きく、金属磁性膜の膜厚で規制されるトラック
幅の磁気ギャップを形成した磁気ヘッドとすることも可
能である。
【００１８】尚、上記コア半体のコアが、金属磁性膜の
単層或いはその金属磁性膜と絶縁薄膜とを交互に積層し
たラミネート層で構成されていることが望ましい。
単層或いはその金属磁性膜と絶縁薄膜とを交互に積層し
たラミネート層で構成されていることが望ましい。
【００１９】また、金属磁性膜に切り込まれるトラック
幅規制溝を、強磁性体からなる一対のコアの接合面に高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜を被着形成したコア半
体を接合一体化したＭＩＧ形コアチップに形成したＭＩ
Ｇ型磁気ヘッドとすることも可能である。
幅規制溝を、強磁性体からなる一対のコアの接合面に高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜を被着形成したコア半
体を接合一体化したＭＩＧ形コアチップに形成したＭＩ
Ｇ型磁気ヘッドとすることも可能である。
【００２０】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、高飽和
磁束密度を有する金属磁性膜からなるコアをスパッタに
より非磁性体に被着形成し、そのコアを非磁性体で両側
から挟み込んだ一対のコアブロックを接合一体化するに
先立って、両コアブロックの接合面に、コアの金属磁性
膜の両側縁部に沿って切り込まれるトラック幅規制溝を
刻設した上で、その溝にガラスを充填した後、両コアブ
ロックの接合面を突き合わせるようにしたことを特徴と
する。
磁束密度を有する金属磁性膜からなるコアをスパッタに
より非磁性体に被着形成し、そのコアを非磁性体で両側
から挟み込んだ一対のコアブロックを接合一体化するに
先立って、両コアブロックの接合面に、コアの金属磁性
膜の両側縁部に沿って切り込まれるトラック幅規制溝を
刻設した上で、その溝にガラスを充填した後、両コアブ
ロックの接合面を突き合わせるようにしたことを特徴と
する。
【００２１】また、一方のコアブロックの接合反対面に
他のコアブロックを突き合わせて接合一体化することも
可能である。
他のコアブロックを突き合わせて接合一体化することも
可能である。
【００２２】尚、コアを金属磁性膜と非磁性体薄膜との
ラミネート層で構成し、そのコアに切り込まれるトラッ
ク幅規制溝をラミネート層の金属磁性膜と絶縁薄膜との
界面まで刻設することが望ましい。
ラミネート層で構成し、そのコアに切り込まれるトラッ
ク幅規制溝をラミネート層の金属磁性膜と絶縁薄膜との
界面まで刻設することが望ましい。
【００２３】
【作用】本発明では、磁気ギャップのトラック幅を、コ
アを構成する金属磁性膜の膜厚で規制することなく、そ
の磁気ギャップの両側に形成された溝で規制するように
したから、磁気ギャップの近傍で接合されたコアの幅が
異なることなく同一となるため、製造上、コア幅が同一
のコアブロックを使用でき、その結果、そのコアブロッ
クでのコアの配列ピッチが完全に一致する。また、コア
チップについては、磁気ギャップでのコア幅が同一であ
るため、フリンジング現象が生じることもない。
アを構成する金属磁性膜の膜厚で規制することなく、そ
の磁気ギャップの両側に形成された溝で規制するように
したから、磁気ギャップの近傍で接合されたコアの幅が
異なることなく同一となるため、製造上、コア幅が同一
のコアブロックを使用でき、その結果、そのコアブロッ
クでのコアの配列ピッチが完全に一致する。また、コア
チップについては、磁気ギャップでのコア幅が同一であ
るため、フリンジング現象が生じることもない。
【００２４】
【実施例】本発明を、図７（ａ）（ｂ）に示す磁気ヘッ
ドに適用した実施例を図１乃至図６に基づいて以下に説
明する。尚、図７乃至図９と同一又は相当部分には同一
参照符号を付して重複説明は省略する。
ドに適用した実施例を図１乃至図６に基づいて以下に説
明する。尚、図７乃至図９と同一又は相当部分には同一
参照符号を付して重複説明は省略する。
【００２５】本発明の特徴は、コアチップ（12）を構成
するコア半体（1a）（1b）（1c）のうち、記録用磁気ギ
ャップｇ2を形成したコア半体（1b）（1c）にある。
するコア半体（1a）（1b）（1c）のうち、記録用磁気ギ
ャップｇ2を形成したコア半体（1b）（1c）にある。
【００２６】具体的に、図１（ａ）（ｂ）に示すよう
に、コア半体（1a）は、従来と同様、高飽和磁束密度を
有するセンダスト等の金属磁性膜（3）とＳｉＯ2等の絶
縁薄膜（4）とを交互に積層したラミネート層からなる
コア（5a）を、その両側からセラミック等の非磁性体
（6a）で挟み込んだ構造を有し、その異なる点は、記録
用磁気ギャップｇ2のトラック幅方向での両側縁部に、
両コア（1b）（1c）の金属磁性膜（3）に切り込まれ、
且つ、ガラス（13）が充填されてその切り込み量でトラ
ック幅Ｔ2を規制するトラック幅規制溝（14）を刻設す
る。これにより、コアチップ（12）の媒体摺接面（9）
では、コア半体（1a）（1b）によるトラック幅Ｔ1が広
い消去用磁気ギャップｇ1に対して、コア半体（1c）に
よるトラック幅Ｔ2が狭い記録用磁気ギャップｇ2が形成
される。ここで、この磁気ギャップｇ2では、媒体摺接
面（9）での媒体走行方向に沿う前後に位置するコア（1
b）（1c）の幅が同一となる。その結果、磁気ギャップ
ｇ2でのフリンジング現象を未然に防止でき、また、後
述するように磁気ヘッドの製造において、コア半体（1
b）（1c）を製作する上で、三つのコア半体（1a）〜（1
c）のすべてを同一母材から切り出して使用でき、コア
（5a）〜（5c）の配列ピッチが完全に一致する。
に、コア半体（1a）は、従来と同様、高飽和磁束密度を
有するセンダスト等の金属磁性膜（3）とＳｉＯ2等の絶
縁薄膜（4）とを交互に積層したラミネート層からなる
コア（5a）を、その両側からセラミック等の非磁性体
（6a）で挟み込んだ構造を有し、その異なる点は、記録
用磁気ギャップｇ2のトラック幅方向での両側縁部に、
両コア（1b）（1c）の金属磁性膜（3）に切り込まれ、
且つ、ガラス（13）が充填されてその切り込み量でトラ
ック幅Ｔ2を規制するトラック幅規制溝（14）を刻設す
る。これにより、コアチップ（12）の媒体摺接面（9）
では、コア半体（1a）（1b）によるトラック幅Ｔ1が広
い消去用磁気ギャップｇ1に対して、コア半体（1c）に
よるトラック幅Ｔ2が狭い記録用磁気ギャップｇ2が形成
される。ここで、この磁気ギャップｇ2では、媒体摺接
面（9）での媒体走行方向に沿う前後に位置するコア（1
b）（1c）の幅が同一となる。その結果、磁気ギャップ
ｇ2でのフリンジング現象を未然に防止でき、また、後
述するように磁気ヘッドの製造において、コア半体（1
b）（1c）を製作する上で、三つのコア半体（1a）〜（1
c）のすべてを同一母材から切り出して使用でき、コア
（5a）〜（5c）の配列ピッチが完全に一致する。
【００２７】尚、図２に示すように、トラック幅規制溝
（14）の切り込み量を、コア（5b）（5c）を構成するラ
ミネート層の金属磁性膜（3）と絶縁薄膜（4）との界面
までとすることが望ましい。このようにすれば、磁気ヘ
ッドの製造上、トラック幅規制溝（14）の切削加工が容
易となり、金属磁性膜（3）のチッピングを抑制でき、
而も、その両端に位置する金属磁性膜（3）が所定膜厚
であるために特性上も良好となる。
（14）の切り込み量を、コア（5b）（5c）を構成するラ
ミネート層の金属磁性膜（3）と絶縁薄膜（4）との界面
までとすることが望ましい。このようにすれば、磁気ヘ
ッドの製造上、トラック幅規制溝（14）の切削加工が容
易となり、金属磁性膜（3）のチッピングを抑制でき、
而も、その両端に位置する金属磁性膜（3）が所定膜厚
であるために特性上も良好となる。
【００２８】次に、上記磁気ヘッドの製造方法を図３乃
至図５に示して説明する。
至図５に示して説明する。
【００２９】まず、図３に示すようにラミネート層から
なるコア（5a）〜（5c）と非磁性体（6a）〜（6c）とを
交互に配置して接合一体化した長尺なコアブロック（11
a）〜（11c）を三つ用意する。ここで、これらコアブロ
ック（11a）〜（11c）は、図示しないが、非磁性体基板
上にラミネート層をスパッタリングにより被着させてコ
ア（5a）〜（5c）を形成したものをその成膜方向に沿っ
て複数個積層して接合一体化し、この母材をコア積層方
向に沿って切断分離することによりコアブロック（11
a）〜（11c）を得る。従って、この対をなすコアブロッ
ク（11a）〜（11c）は、同一母材から切り出されたもの
であるため、コア（5a）〜（5c）の膜厚及び配列ピッチ
は相互に完全同一となっている。
なるコア（5a）〜（5c）と非磁性体（6a）〜（6c）とを
交互に配置して接合一体化した長尺なコアブロック（11
a）〜（11c）を三つ用意する。ここで、これらコアブロ
ック（11a）〜（11c）は、図示しないが、非磁性体基板
上にラミネート層をスパッタリングにより被着させてコ
ア（5a）〜（5c）を形成したものをその成膜方向に沿っ
て複数個積層して接合一体化し、この母材をコア積層方
向に沿って切断分離することによりコアブロック（11
a）〜（11c）を得る。従って、この対をなすコアブロッ
ク（11a）〜（11c）は、同一母材から切り出されたもの
であるため、コア（5a）〜（5c）の膜厚及び配列ピッチ
は相互に完全同一となっている。
【００３０】この三つのコアブロック（11a）〜（11c）
のうち、二つのコアブロック（11b）（11c）について、
図４に示すようにそれらコアブロック（11b）（11c）を
並置した状態で、その接合面にコア（5b）（5c）の両側
を切り込むようにしてトラック規制溝（14）を刻設し、
その溝（14）にガラス（13）をモールド等により充填す
る。残りのコアブロック（11a）については、従来と同
様、その接合面に非磁性体のみに切り込まれる接合溝
（7）を刻設し、その溝（7）にガラス（8）を充填して
おく。
のうち、二つのコアブロック（11b）（11c）について、
図４に示すようにそれらコアブロック（11b）（11c）を
並置した状態で、その接合面にコア（5b）（5c）の両側
を切り込むようにしてトラック規制溝（14）を刻設し、
その溝（14）にガラス（13）をモールド等により充填す
る。残りのコアブロック（11a）については、従来と同
様、その接合面に非磁性体のみに切り込まれる接合溝
（7）を刻設し、その溝（7）にガラス（8）を充填して
おく。
【００３１】このようにして得られた三つのコアブロッ
ク（11a）〜（11c）の接合面を、図５に示すように非磁
性体薄膜〔図示せず〕を介して突き合わせて接合一体化
する。この接合一体化は、各接合面に刻設されたトラッ
ク幅規制溝（14）及び接合溝（7）に充填されたガラス
（13）（8）による溶着でもって行なわれる。その後、
接合一体化されたコアブロック（11a）〜（11c）を所定
ピッチでスライスすることによって、図１（ａ）（ｂ）
に示すコアチップ（2）を得る。
ク（11a）〜（11c）の接合面を、図５に示すように非磁
性体薄膜〔図示せず〕を介して突き合わせて接合一体化
する。この接合一体化は、各接合面に刻設されたトラッ
ク幅規制溝（14）及び接合溝（7）に充填されたガラス
（13）（8）による溶着でもって行なわれる。その後、
接合一体化されたコアブロック（11a）〜（11c）を所定
ピッチでスライスすることによって、図１（ａ）（ｂ）
に示すコアチップ（2）を得る。
【００３２】尚、上記実施例では、積層型磁気ヘッドに
ついて説明したが、本発明はこれに限定されることな
く、図６に示すように金属磁性膜（3）に切り込まれる
トラック幅規制溝（14）を、強磁性体からなる一対のコ
ア（5b）（5c）の接合面に高飽和磁束密度を有する金属
磁性膜（3）を被着形成したコア半体（1b）（1c）を接
合一体化したＭＩＧ形コアチップ（2）に形成したＭＩ
Ｇ型磁気ヘッドについても適用可能である。
ついて説明したが、本発明はこれに限定されることな
く、図６に示すように金属磁性膜（3）に切り込まれる
トラック幅規制溝（14）を、強磁性体からなる一対のコ
ア（5b）（5c）の接合面に高飽和磁束密度を有する金属
磁性膜（3）を被着形成したコア半体（1b）（1c）を接
合一体化したＭＩＧ形コアチップ（2）に形成したＭＩ
Ｇ型磁気ヘッドについても適用可能である。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、磁気ギャップのトラッ
ク幅を、コアを構成する金属磁性膜の膜厚で規制するこ
となく、その磁気ギャップの両側に形成された溝で規制
するようにしたから、磁気ギャップの近傍で接合された
コアの幅が異なることなく同一となるため、製造上、コ
ア幅が同一のコアブロックを使用でき、その結果、その
コアブロックでのコアの配列ピッチが完全に一致する。
また、コアチップについては、磁気ギャップでのコア幅
が同一であるため、フリンジング現象が生じることもな
い。更に、金属磁性膜をスパッタリングで形成する場
合、その膜厚のばらつきにかかわりなく、トラック幅を
規制できるので、製品の歩留まりを向上させることがで
きる。尚、上記コアを金属磁性膜と絶縁薄膜とのラミネ
ート層で構成した場合、その金属磁性膜と絶縁薄膜との
界面までトラック幅規制溝を刻設すれば、トラック幅規
制溝の切削加工が容易で、金属磁性膜のチッピングがな
く、特性の向上が図れる。
ク幅を、コアを構成する金属磁性膜の膜厚で規制するこ
となく、その磁気ギャップの両側に形成された溝で規制
するようにしたから、磁気ギャップの近傍で接合された
コアの幅が異なることなく同一となるため、製造上、コ
ア幅が同一のコアブロックを使用でき、その結果、その
コアブロックでのコアの配列ピッチが完全に一致する。
また、コアチップについては、磁気ギャップでのコア幅
が同一であるため、フリンジング現象が生じることもな
い。更に、金属磁性膜をスパッタリングで形成する場
合、その膜厚のばらつきにかかわりなく、トラック幅を
規制できるので、製品の歩留まりを向上させることがで
きる。尚、上記コアを金属磁性膜と絶縁薄膜とのラミネ
ート層で構成した場合、その金属磁性膜と絶縁薄膜との
界面までトラック幅規制溝を刻設すれば、トラック幅規
制溝の切削加工が容易で、金属磁性膜のチッピングがな
く、特性の向上が図れる。
【図１】（ａ）は本発明の磁気ヘッドの実施例を示す平
面図、（ｂ）は（ａ）の磁気ヘッドの正面図
面図、（ｂ）は（ａ）の磁気ヘッドの正面図
【図２】コアがラミネート層の場合、トラック幅規制溝
を金属磁性膜と絶縁薄膜との界面まで刻設した磁気ヘッ
ドを示す要部拡大平面図
を金属磁性膜と絶縁薄膜との界面まで刻設した磁気ヘッ
ドを示す要部拡大平面図
【図３】本発明方法を説明するためのもので、同一母材
から切り出された三つのコアブロックを示す斜視図
から切り出された三つのコアブロックを示す斜視図
【図４】図３に示す三つのコアブロックのうち、トラッ
ク幅規制溝を刻設してガラスを充填した二つのコアブロ
ックを示す斜視図
ク幅規制溝を刻設してガラスを充填した二つのコアブロ
ックを示す斜視図
【図５】図４に示す二つのコアブロックと残りのコアブ
ロックとを突き合わせて接合一体化する状態を示す斜視
図
ロックとを突き合わせて接合一体化する状態を示す斜視
図
【図６】本発明をＭＩＧ型磁気ヘッドに適用した場合を
説明するための要部拡大平面図
説明するための要部拡大平面図
【図７】（ａ）は磁気ヘッドの従来例を示す平面図、
（ｂ）は（ａ）の磁気ヘッドの正面図
（ｂ）は（ａ）の磁気ヘッドの正面図
【図８】（ａ）は同一母材から切り出された二つのコア
ブロックを示す斜視図、（ｂ）は（ａ）のコアブロック
とは別の母材から切り出されたコアブロックを示す斜視
図
ブロックを示す斜視図、（ｂ）は（ａ）のコアブロック
とは別の母材から切り出されたコアブロックを示す斜視
図
【図９】図８に示す三つのコアブロックを突き合わせて
接合一体化する状態を示す斜視図
接合一体化する状態を示す斜視図
1a〜1c コア半体 3 金属磁性膜 4 絶縁薄膜 5a〜5c コア 6a〜6c 非磁性体 9 媒体摺接面 11a〜11c コアブロック 13 ガラス 14 トラック幅規制溝 ｇ2 磁気ギャップ Ｔ2 トラック幅
Claims (5)
- 【請求項１】 高飽和磁束密度を有する金属磁性膜から
なるコアをスパッタリングにより非磁性体に被着形成
し、そのコアを非磁性体で両側から挟み込んだ一対のコ
ア半体を接合一体化したコアチップの媒体摺接面に磁気
ギャップを形成した磁気ヘッドにおいて、 上記磁気ギャップのトラック幅方向での両側縁部に、両
コアの金属磁性膜に切り込まれ、且つ、ガラスが充填さ
れてその切り込み量でトラック幅を規制するトラック幅
規制溝を刻設したことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載の一方のコア半体の接合反
対面に他のコア半体を接合一体化してこれをコアチップ
とし、その媒体摺接面に、前記磁気ギャップとは別にそ
のトラック幅より大きく、金属磁性膜の膜厚で規制され
るトラック幅の磁気ギャップを形成したことを特徴とす
る磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のコア半体のコア
が、金属磁性膜の単層或いはその金属磁性膜と絶縁薄膜
とを交互に積層したラミネート層で構成されていること
を特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項４】 請求項１又は２記載の金属磁性膜に切り
込まれるトラック幅規制溝を、強磁性体からなる一対の
コアの接合面に高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を被
着形成したコア半体を接合一体化したＭＩＧ形コアチッ
プに形成したことを特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項５】 高飽和磁束密度を有する金属磁性膜から
なるコアをスパッタにより非磁性体に被着形成し、その
コアを非磁性体で両側から挟み込んだ一対のコアブロッ
クを接合一体化するに先立って、両コアブロックの接合
面に、コアの金属磁性膜の両側縁部に沿って切り込まれ
るトラック幅規制溝を刻設した上で、その溝にガラスを
充填した後、両コアブロックの接合面を突き合わせるよ
うにしたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP230693A JPH06208705A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP230693A JPH06208705A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06208705A true JPH06208705A (ja) | 1994-07-26 |
Family
ID=11525678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP230693A Withdrawn JPH06208705A (ja) | 1993-01-11 | 1993-01-11 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06208705A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220218A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
-
1993
- 1993-01-11 JP JP230693A patent/JPH06208705A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07220218A (ja) * | 1993-10-04 | 1995-08-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッドおよびその製造方法ならびに磁気記録再生装置 |
| US5905612A (en) * | 1993-10-04 | 1999-05-18 | Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. | Magnetic head and producing method of the same |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |