JPH0620633A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0620633A JPH0620633A JP4174245A JP17424592A JPH0620633A JP H0620633 A JPH0620633 A JP H0620633A JP 4174245 A JP4174245 A JP 4174245A JP 17424592 A JP17424592 A JP 17424592A JP H0620633 A JPH0620633 A JP H0620633A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- secondary electron
- detector
- sample
- pattern
- objective lens
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 単一の検出器により、対称性の良い２次電子
検出信号を得ることができる走査電子顕微鏡を実現す
る。 【構成】 試料６の所定パターンを横切って電子ビーム
を走査すると、走査に伴って２次電子が発生する。発生
した２次電子は、アーム１０，１１に印加された１００
Ｖ程度の電圧によって効率よく２次電子検出器に導かれ
て検出される。すなわち、検出器７と対向していない斜
面からの２次電子であっても、アーム１０，１１に印加
された電圧によって検出器７方向に導かれ、シンチレー
タ８に衝突する。その結果、パターンに基づく２次電子
検出信号の内、パターンの側部の信号の対称性が極めて
優れた信号が得られ、このような信号に基づいて高精度
にパターンの測長が行われる。
検出信号を得ることができる走査電子顕微鏡を実現す
る。 【構成】 試料６の所定パターンを横切って電子ビーム
を走査すると、走査に伴って２次電子が発生する。発生
した２次電子は、アーム１０，１１に印加された１００
Ｖ程度の電圧によって効率よく２次電子検出器に導かれ
て検出される。すなわち、検出器７と対向していない斜
面からの２次電子であっても、アーム１０，１１に印加
された電圧によって検出器７方向に導かれ、シンチレー
タ８に衝突する。その結果、パターンに基づく２次電子
検出信号の内、パターンの側部の信号の対称性が極めて
優れた信号が得られ、このような信号に基づいて高精度
にパターンの測長が行われる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡に関
し、特に、２次電子検出信号に基づいて測長を行う場合
に用いて最適な走査電子顕微鏡に関する。
し、特に、２次電子検出信号に基づいて測長を行う場合
に用いて最適な走査電子顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般の走査電子顕微鏡では、試料上で電
子ビームを走査し、走査に基づいて得られた２次電子を
検出し、検出信号を陰極線管上に導いて試料の２次電子
像を得るようにしている。このような走査電子顕微鏡
で、試料上の特定のパターンを横切って電子ビームを直
線状に走査し、この走査によって得られた２次電子信号
に基づきパターンの幅などを測長することが行われてい
る。図１は測長される試料の断面を示しており、試料１
には凸状のパターン２が設けられている。ここで、パタ
ーン２を横切って矢印のように電子ビームが走査され、
この走査に伴って発生した２次電子が検出器３によって
検出される。
子ビームを走査し、走査に基づいて得られた２次電子を
検出し、検出信号を陰極線管上に導いて試料の２次電子
像を得るようにしている。このような走査電子顕微鏡
で、試料上の特定のパターンを横切って電子ビームを直
線状に走査し、この走査によって得られた２次電子信号
に基づきパターンの幅などを測長することが行われてい
る。図１は測長される試料の断面を示しており、試料１
には凸状のパターン２が設けられている。ここで、パタ
ーン２を横切って矢印のように電子ビームが走査され、
この走査に伴って発生した２次電子が検出器３によって
検出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記した電子ビームの
走査に基づいて２次電子を検出すると、パターン２の一
方の側部２ａは、検出器３から見て影となるため、そこ
からの２次電子検出信号は少なく、逆に検出器３に対向
した他方の側部２ｂからの２次電子検出信号は多くな
る。従って、検出信号は、図２の（ａ）や（ｂ）に示す
ように、パターンの２つの側面による信号の対称性が悪
くなる。このような対称性の悪い信号に基づいてパター
ンの幅の測長を行っても、十分良い精度が得られない。
このような問題から、検出器を２つ設けて２つの検出器
の信号を加算することも行われているが、検出器を２つ
設けることからコストアップとなる。また、２次電子の
うち、２つの検出器の間に向かう２次電子は、いずれの
検出器にも検出ず、信号量が少なくなるという新たな問
題も生じる。
走査に基づいて２次電子を検出すると、パターン２の一
方の側部２ａは、検出器３から見て影となるため、そこ
からの２次電子検出信号は少なく、逆に検出器３に対向
した他方の側部２ｂからの２次電子検出信号は多くな
る。従って、検出信号は、図２の（ａ）や（ｂ）に示す
ように、パターンの２つの側面による信号の対称性が悪
くなる。このような対称性の悪い信号に基づいてパター
ンの幅の測長を行っても、十分良い精度が得られない。
このような問題から、検出器を２つ設けて２つの検出器
の信号を加算することも行われているが、検出器を２つ
設けることからコストアップとなる。また、２次電子の
うち、２つの検出器の間に向かう２次電子は、いずれの
検出器にも検出ず、信号量が少なくなるという新たな問
題も生じる。
【０００４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、単一の検出器により、対称性の良
い２次電子検出信号を得ることができる走査電子顕微鏡
を実現するにある。
もので、その目的は、単一の検出器により、対称性の良
い２次電子検出信号を得ることができる走査電子顕微鏡
を実現するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく走査電子
顕微鏡は、円錐状の対物レンズと、円錐状の対物レンズ
の底部に配置される試料を光軸を中心として傾斜させる
ための傾斜試料ステージと、試料が傾斜によって衝突し
ない位置で円錐状の対物レンズの壁部に沿って斜めに配
置された２次電子検出器と、２次電子検出器の前部に設
けられ、２次電子補集電圧が印加される補集電極と、補
集電極と同電位で補集電極から対物レンズ壁の一部を囲
むように伸びる２本のアームとを備えたことを特徴とし
ている。
顕微鏡は、円錐状の対物レンズと、円錐状の対物レンズ
の底部に配置される試料を光軸を中心として傾斜させる
ための傾斜試料ステージと、試料が傾斜によって衝突し
ない位置で円錐状の対物レンズの壁部に沿って斜めに配
置された２次電子検出器と、２次電子検出器の前部に設
けられ、２次電子補集電圧が印加される補集電極と、補
集電極と同電位で補集電極から対物レンズ壁の一部を囲
むように伸びる２本のアームとを備えたことを特徴とし
ている。
【０００６】
【作用】本発明に基づく走査電子顕微鏡は、２次電子補
集電圧が印加される補集電極と同電位で、補集電極から
対物レンズ壁の一部を囲むように伸びる２本のアームに
より、試料から発生した２次電子を効率よく検出する。
集電圧が印加される補集電極と同電位で、補集電極から
対物レンズ壁の一部を囲むように伸びる２本のアームに
より、試料から発生した２次電子を効率よく検出する。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図３は本発明の一実施例の走査電子顕微鏡
の要部を示しており、円錐状の対物レンズ４の下方には
試料ステージ５が配置されている。また、試料ステージ
５の上には、試料６が載せられている。試料ステージ５
は、試料面上のＯを中心として傾斜できるように構成さ
れており、最大傾斜時の状態を図中点線で示してある。
円錐状対物レンズ４の試料６の傾斜方向とは逆の位置に
は、２次電子検出器７が対物レンズ４の円錐状の壁部に
沿って配置されている。この検出器７の中には、シンチ
レータ８が設けられ、このシンチレータ７への２次電子
の衝突によって生じた光に基づき検出信号が得られる。
検出器７の先端部には、メッシュ状の２次電子補集電極
９が取り付けられており、この補集電極９には図示して
いない電源から１００Ｖ程度の電圧が印加される。補集
電極９の一部にはハンダ付けによって２本のアーム１
０，１１が取り付けられているが、この各アームはワイ
ヤーを折り曲げて形成されている。アーム１０，１１は
非磁性体の導電性材料で形成されており、電極９と同電
位とされている。アーム１０，１１は、図４の平面図に
示すように、対物レンズ４の側部にまで伸びている。こ
のような構成の動作を次に説明する。
に説明する。図３は本発明の一実施例の走査電子顕微鏡
の要部を示しており、円錐状の対物レンズ４の下方には
試料ステージ５が配置されている。また、試料ステージ
５の上には、試料６が載せられている。試料ステージ５
は、試料面上のＯを中心として傾斜できるように構成さ
れており、最大傾斜時の状態を図中点線で示してある。
円錐状対物レンズ４の試料６の傾斜方向とは逆の位置に
は、２次電子検出器７が対物レンズ４の円錐状の壁部に
沿って配置されている。この検出器７の中には、シンチ
レータ８が設けられ、このシンチレータ７への２次電子
の衝突によって生じた光に基づき検出信号が得られる。
検出器７の先端部には、メッシュ状の２次電子補集電極
９が取り付けられており、この補集電極９には図示して
いない電源から１００Ｖ程度の電圧が印加される。補集
電極９の一部にはハンダ付けによって２本のアーム１
０，１１が取り付けられているが、この各アームはワイ
ヤーを折り曲げて形成されている。アーム１０，１１は
非磁性体の導電性材料で形成されており、電極９と同電
位とされている。アーム１０，１１は、図４の平面図に
示すように、対物レンズ４の側部にまで伸びている。こ
のような構成の動作を次に説明する。
【０００８】まず、通常の試料観察は、試料６を適宜傾
斜させて行われるが、傾斜された試料面と対向した位置
に２次電子検出器７が配置されているので、試料傾斜時
の信号検出に非常に優れた構造となっている。ここで試
料６の所定パターンを横切って電子ビームを走査する
と、走査に伴って２次電子が発生する。発生した２次電
子は、アーム１０，１１に印加された１００Ｖ程度の電
圧によって効率よく２次電子検出器に導かれて検出され
る。すなわち、検出器７と対向していない斜面からの２
次電子であっても、アーム１０，１１に印加された電圧
によって検出器７方向に導かれ、比較的高い正の電圧が
印加されたシンチレータ８に衝突する。その結果、第２
図（ｃ）に示すように、パターンに基づく２次電子検出
信号の内、パターンの側部の信号の対称性が極めて優れ
た信号が得られ、このような信号に基づいて高精度にパ
ターンの測長が行われる。
斜させて行われるが、傾斜された試料面と対向した位置
に２次電子検出器７が配置されているので、試料傾斜時
の信号検出に非常に優れた構造となっている。ここで試
料６の所定パターンを横切って電子ビームを走査する
と、走査に伴って２次電子が発生する。発生した２次電
子は、アーム１０，１１に印加された１００Ｖ程度の電
圧によって効率よく２次電子検出器に導かれて検出され
る。すなわち、検出器７と対向していない斜面からの２
次電子であっても、アーム１０，１１に印加された電圧
によって検出器７方向に導かれ、比較的高い正の電圧が
印加されたシンチレータ８に衝突する。その結果、第２
図（ｃ）に示すように、パターンに基づく２次電子検出
信号の内、パターンの側部の信号の対称性が極めて優れ
た信号が得られ、このような信号に基づいて高精度にパ
ターンの測長が行われる。
【０００９】以上本発明の実施例を説明したが、本発明
はこの実施例に限定されない。例えば、アームとして製
造が容易であるワイヤー状のものを用いたが、メッシュ
状のものでも、また、板状のものであっても良い。
はこの実施例に限定されない。例えば、アームとして製
造が容易であるワイヤー状のものを用いたが、メッシュ
状のものでも、また、板状のものであっても良い。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく走
査電子顕微鏡は、補集電極と同電位で、補集電極から対
物レンズ壁の一部を囲むように伸びる２本のアームを有
しているので、単一の検出器を用いても、対称性の良い
２次電子検出信号を得ることができる。
査電子顕微鏡は、補集電極と同電位で、補集電極から対
物レンズ壁の一部を囲むように伸びる２本のアームを有
しているので、単一の検出器を用いても、対称性の良い
２次電子検出信号を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】測長される試料の断面を示す図である。
【図２】２次電子検出信号を示す図である。
【図３】本発明の一実施例である走査電子顕微鏡の要部
を示す図である。
を示す図である。
【図４】アーム１０，１１の平面図である。
４ 対物レンズ ５ 試料ステージ ６ 試料 ７ ２次電子検出器 ８ シンチレータ ９ 補集電極 １０，１１ アーム
Claims (1)
- 【請求項１】 円錐状の対物レンズと、円錐状の対物レ
ンズの底部に配置される試料を光軸を中心として傾斜さ
せるための傾斜試料ステージと、試料が傾斜によって衝
突しない位置で円錐状の対物レンズの壁部に沿って斜め
に配置された２次電子検出器と、２次電子検出器の前部
に設けられ、２次電子補集電圧が印加される補集電極
と、補集電極と同電位で補集電極から対物レンズ壁の一
部を囲むように伸びる２本のアームとを備えた走査電子
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04174245A JP3117795B2 (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04174245A JP3117795B2 (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0620633A true JPH0620633A (ja) | 1994-01-28 |
| JP3117795B2 JP3117795B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=15975260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04174245A Expired - Fee Related JP3117795B2 (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3117795B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7019293B1 (en) | 1997-04-09 | 2006-03-28 | Nec Corporation | Position detecting system and method |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0590389U (ja) * | 1992-04-30 | 1993-12-10 | 株式会社ランダック | 時刻表示投影時計 |
| JPH0678895U (ja) * | 1992-04-30 | 1994-11-04 | ミサワホーム株式会社 | 快適起床環境装置 |
| JPH0625795U (ja) * | 1992-05-15 | 1994-04-08 | 清賢 蔡 | 投射装置を具備した目覚し時計 |
-
1992
- 1992-07-01 JP JP04174245A patent/JP3117795B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7019293B1 (en) | 1997-04-09 | 2006-03-28 | Nec Corporation | Position detecting system and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3117795B2 (ja) | 2000-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000919 |
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