JPH06203094A - 回路シミュレーション装置 - Google Patents

回路シミュレーション装置

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JPH06203094A
JPH06203094A JP5017103A JP1710393A JPH06203094A JP H06203094 A JPH06203094 A JP H06203094A JP 5017103 A JP5017103 A JP 5017103A JP 1710393 A JP1710393 A JP 1710393A JP H06203094 A JPH06203094 A JP H06203094A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transistor
circuit
information
voltage value
gate oxide
Prior art date
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Pending
Application number
JP5017103A
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English (en)
Inventor
Koji Nishida
康二 西田
Muneo Nakamura
旨生 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPH06203094A publication Critical patent/JPH06203094A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 集積回路のジャンクション破壊及びゲート酸
化膜破壊を起こす可能性の高いトランジスタを検出する
ことのできる回路シミュレーション装置を提供する。 【構成】 集積回路の接続情報とシミュレーションに必
要な設定情報とを記憶する情報記憶部1,2と、これら
の記憶された情報を用いてシミュレーションを実行する
回路シミュレーション実行部3,10,11と、シミュ
レーション結果からトランジスタのバックゲートに対す
るソースおよびドレインの電位を求め、ジャンクション
破壊電圧以上の電位になるトランジスタを検出するジャ
ンクション破壊トランジスタ検出部6,7またはゲート
酸化膜破壊トランジスタ検出部8とを備えたものであ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路のト
ランジスタのジャンクション破壊およびゲート酸化膜破
壊を検出する回路シミュレーション装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体集積回路のトランジスタの
バックゲート(以下、バルクと称す。)に対するソース
およびドレインの電位差値がトランジスタのジャンクシ
ョン破壊電圧値を超えると発生するジャンクション破壊
や、トランジスタのゲートに対するソースおよびドレイ
ンの電位差値がトランジスタのゲート酸化膜破壊電圧値
を超えると発生するゲート酸化膜破壊の検出方法は、設
計者の経験に頼られているものである。即ち、現状で
は、設計者が経験により半導体集積回路の回路設計を行
った後に、実際に半導体集積回路を作製し試験を行い、
該半導体集積回路のトランジスタに上記のような破壊が
起きないか検証するものである
【0003】
【発明が解決しようとする課題】近年、半導体集積回路
は高集積化や回路機能の複雑化が図られ、該集積回路を
用いた回路設計も大規模化や複雑化している。このこと
により、設計者が回路設計の段階においてトランジスタ
の夫々の端子に印加される電圧値を正確に把握すること
ができず、ジャンクション破壊やゲート酸化膜破壊を起
こす可能性があるトランジスタを特定することは極めて
困難になっている。従って、従来の技術では、設計者が
回路設計の段階において、上記破壊を起こす可能性があ
るトランジスタを検出することができずに、製品不良を
起こし易いという問題点があった。
【0004】請求項1の発明は、上記のような問題点を
解消するためになされたもので、集積回路の接続情報
と、ジャンクション破壊電圧値と、回路シミュレーショ
ンの実行結果のデータとを用いてジャンクション破壊を
起こす可能性があるトランジスタを検出することができ
る回路シミュレーション装置を提供することを目的とす
る。
【0005】請求項2の発明は、集積回路の接続情報
と、ゲート酸化膜破壊電圧値と、回路シミュレーション
の実行結果のデータとを用いてゲート酸化膜破壊を起こ
す可能性があるトランジスタを検出することができる回
路シミュレーション装置を提供することを目的とする。
【0006】請求項3の発明は、さらに表示部に集積回
路の論理・回路図および該回路図上に上記破壊を起こす
可能性があるトランジスタを表示する操作性の向上する
回路シミュレーション装置を提供することを目的とす
る。
【0007】請求項4の発明は、表示部に集積回路の電
気回路接続図および該回路図上に上記破壊を起こす可能
性があるトランジスタを表示する操作性の向上する回路
シミュレーション装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る回
路シミュレーション装置は、集積回路の接続情報により
トランジスタのバルクに対するソースおよびドレインと
の電位差値を算出するとともに、該電位差値とジャンク
ション破壊電圧値とを比較し、ジャンクション破壊電圧
値を超える電位差値のトランジスタを検出するジャンク
ション破壊トランジスタ検出部を備えたものである。
【0009】請求項2の発明に係る回路シミュレーショ
ン装置は、集積回路の接続情報によりトランジスタのゲ
ートに対するソースおよびドレインとの電位差値を算出
するとともに、該電位差値とゲート酸化膜破壊電圧値と
を比較し、ゲート酸化膜破壊電圧値を超える電位差値の
トランジスタを検出するゲート酸化膜破壊トランジスタ
検出部を備えたものである。
【0010】請求項3の発明に係る回路シミュレーショ
ン装置は、さらに集積回路の論理・回路図と該論理・回
路図上にジャンクション又はゲート酸化膜破壊の可能性
の高いトランジスタとを表示する表示部を備えたもので
ある。
【0011】請求項4の発明に係る回路シミュレーショ
ン装置は、集積回路の電気回路接続図と該電気回路接続
図上にジャンクション又はゲート酸化膜破壊の可能性の
高いトランジスタとを表示する表示部を備えたものであ
る。
【0012】
【作用】請求項1の発明における回路シミュレーション
装置は、集積回路のトランジスタのバルクに対するソー
スおよびドレインの電位差値がジャンクション破壊電圧
値を超えるトランジスタを検出できるので、ジャンクシ
ョン破壊の低減を図ることができる。
【0013】請求項2の発明における回路シミュレーシ
ョン装置は、集積回路のトランジスタのゲートに対する
ソースおよびドレインの電位差値がゲート酸化膜破壊電
圧値を超えるトランジスタを検出できるので、ゲート酸
化膜破壊の低減を図ることができる。
【0014】請求項3の発明における回路シミュレーシ
ョン装置は、更に表示部に集積回路の論理・回路図と該
論理・回路図上にジャンクション又はゲート酸化膜破壊
の可能性の高いトランジスタを表示できるので、作業性
の向上を図ることができる。
【0015】請求項4の発明における回路シミュレーシ
ョン装置は、表示部に集積回路の電気回路接続図と該電
気回路接続図上にジャンクション又はゲート酸化膜破壊
の可能性の高いトランジスタを表示できるので、作業性
の向上を図ることができる。
【0016】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1は請求項1の発明の一実施例を示す回路シミ
ュレーション装置のブロック図である。図1において、
1は集積回路のトランジスタの端子番号や接続情報を登
録・記憶する接続情報部、2は回路シミュレーションを
実行するために必要な解析時間などの設定値を設定・記
憶する設定情報部、10は接続情報部1および設定情報
部2に記憶された情報によって夫々のトランジスタのソ
ースとドレインとバルク端子番号を抽出し、夫々の端子
の電圧値を算出する回路シミュレーションを実行させる
ための実行情報を生成する実行情報生成部、11は実行
情報を記憶する実行情報記憶部、3は上記回路シミュレ
ーションを実行する回路シミュレーション実行部、4は
回路シミュレーション実行部3において実行されたシミ
ュレーション結果を記憶する回路シミュレーション結果
記憶部、5はトランジスタのジャンクション破壊電圧値
を記憶するパラメータ記憶部,6はトランジスタのジャ
ンクション破壊の判定を行うジャンクション破壊トラン
ジスタ検出部、7はジャンクション破壊を起こす可能性
のあるトランジスタの情報を記憶するジャンクション破
壊トランジスタ記憶部、14はジャンクション破壊トラ
ンジスタ記憶部7に記憶された情報を上記集積回路の電
気回路図および論理・回路図上に表示するグラフィック
表示部(表示部)である。
【0017】また、回路シミュレーション装置は、接続
情報部1と設定情報部2とパラメータ記憶部5とから情
報記憶部を形成し、回路シミュレーション実行部3と回
路シミュレーション結果記憶部4と実行情報生成部10
と実行情報記憶部11とからシミュレーション実行部を
構成する。
【0018】また、接続情報部1には図3に示す集積回
路の接続情報が記憶されている。図3において、20は
電源、21はグランド、22から25まではトランジス
タ、26および27はゲート端子、28はドレイン端
子、29はトランジスタ24のソース端子で且つトラン
ジスタ25のドレイン端子、30から33はバルク端子
であり、NAND回路を形成している。さらに、設定情
報部2には予め設定値が入力され記憶されているととも
に、パラメータ記憶部5にも予めジャンクション破壊電
圧値が記憶されている。
【0019】次に動作について説明する。図1の回路シ
ミュレーション装置は、実行情報生成部10において接
続情報部1に記憶された情報からトランジスタ22のソ
ース端子20、ドレイン端子28およびバルク端子30
を抽出し、これらの抽出した端子20,28,30の電
圧値を算出するように接続情報部1および設定情報部2
に記憶された情報を用いて回路シミュレーションを実行
するための実行情報を生成し、該実行情報を実行情報記
憶部11に記憶する。回路シミュレーション装置は、こ
のトランジスタ22の上記処理をトランジスタ23,2
4および25についても同様に実行する。
【0020】次に、回路シミュレーション装置は、回路
シミュレーション実行部3において実行情報記憶部11
に記憶された実行情報を用いて回路シミュレーションを
実行し、トランジスタ22の夫々の端子20,28,3
0の電圧値を算出し、該算出された電圧値を回路シミュ
レーション結果記憶部4に記憶する。
【0021】さらに、回路シミュレーション装置は、パ
ラメータ記憶部5に記憶されたジャンクション破壊電圧
値をジャンクション破壊トランジスタ検出部6に入力す
るとともに、該ジャンクション破壊トランジスタ検出部
6においてトランジスタ22のバルク端子30に対する
ソース端子22およびドレイン端子28との間の電位を
算出し、該算出された電位がジャンクション破壊電圧値
を超えるか否かの判定を行う。回路シミュレーション装
置は、この判定結果において算出した電位がジャンクシ
ョン破壊電圧値を超える場合には当該トランジスタの情
報をジャンクション破壊トランジスタ記憶部7に記憶す
る。上記シミュレーション実行処理は、トランジスタ2
3,24および25についても同様に実行される。
【0022】そして、回路シミュレーション装置は、ジ
ャンクション破壊トランジスタ記憶部7に記憶された情
報をグラフィック表示部14の画面に表示された集積回
路の回路図および論理・回路図上にハイライト表示す
る。
【0023】実施例2.図2は請求項2の発明の一実施
例を示す回路シミュレーション装置のブロック図であ
り、図において、5aはトランジスタのゲート酸化膜破
壊電圧値を記憶するパラメータ記憶部、12は接続情報
部1および設定情報部2に記憶された情報によって夫々
のトランジスタのソースとドレインとゲート端子番号を
抽出するとともに、夫々の端子の電圧値を算出する回路
シミュレーションを実行させるための実行情報を生成す
る実行情報生成部、8はトランジスタのゲート酸化膜破
壊の判定を行うゲート酸化膜破壊トランジスタ検出部、
13はゲート酸化膜破壊を起こす可能性あるトランジス
タの情報を記憶するゲート酸化膜破壊トランジスタ記憶
部であり、シミュレーション実行部は、回路シミュレー
ション実行部3と、回路シミュレーション結果記憶部4
と実行情報生成部12と実行情報記憶部11とから構成
され、その他実施例1と同一符号は実施例と同一の構成
であり、詳細な説明については省略する。
【0024】次に動作について説明する。ここでは、実
施例1と同様に図3に示すNAND回路について回路シ
ミュレーションを実行した場合について説明する。図2
に回路シミュレーション装置は、実行情報生成部12に
おいて接続情報部1に記憶された情報からトランジスタ
22のソース端子20、ドレイン端子28およびゲート
端子26を抽出し、抽出した端子の電圧値を算出するよ
うに接続情報部1および設定情報部2に記憶された情報
によって回路シミュレーションを実行するための実行情
報を生成し、実行情報記憶部11に生成した実行情報を
記憶する。このトランジスタ22の上記処理をトランジ
スタ23,24および25についても実行する。
【0025】次に、回路シミュレーション装置は、回路
シミュレーション実行部3において実行情報記憶部11
に記憶した実行情報を用いて回路シミュレーションを実
行し、トランジスタ22の夫々の端子20,26,28
の電圧値を算出し、該算出した端子電圧値をシミュレー
ション結果記憶部4に記憶する。
【0026】さらに、回路シミュレーション装置はゲー
ト酸化膜破壊トランジスタ検出部8にパラメータ記憶部
5aに記憶されたゲート酸化膜破壊電圧値を入力すると
ともに、トランジスタ22のゲート端子26に対するソ
ース端子22およびドレイン端子28との間の電位を算
出し、入力されたゲート酸化膜破壊電圧値と比較を行な
い算出した電位がゲート酸化膜破壊電圧値を超えるか否
かの判定を行う。
【0027】回路シミュレーション装置は、上記判定結
果においてゲート酸化膜破壊電圧値を超える場合には当
該トランジスタの情報をゲート酸化膜破壊トランジスタ
記憶部13に記憶する。回路シミュレーション装置は上
記処理をトランジスタ23,24および25についても
トランジスタ22の場合と同様に実行する。
【0028】そして、回路シミュレーション装置は、ゲ
ート酸化膜破壊トランジスタ記憶部13に記憶されたト
ランジスタの情報をグラフィック表示部(表示部)14
の画面の集積回路の回路図および論理・回路図上にハイ
ライト表示する。
【0029】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、集積回路の接続情報と回路シミュレーションを実行
するための設定情報とを用いて回路シミュレーションを
実行する実行情報を生成するとともに、回路シミュレー
ションを実行し、該回路シミュレーションの実行結果と
接続情報とジャンクション破壊電圧値を用いて夫々のト
ランジスタについてのバルクに対するソースおよびドレ
インの電位差値を求め、ジャンクション破壊電圧値を超
える電位差値のトランジスタを検出するように構成した
ので、トランジスタのジャンクション破壊の低減を図る
ことができるとともに、高精度な集積回路の回路設計お
よび作製ができる回路シミュレーション装置を得られる
効果がある。
【0030】請求項2の発明によれば、集積回路の接続
情報と回路シミュレーションを実行するための設定情報
とを用いて回路シミュレーションを実行する実行情報を
生成するとともに、回路シミュレーションを実行し、該
回路シミュレーションの実行結果と接続情報とゲート酸
化膜破壊電圧値を用いて夫々のトランジスタについての
ゲートに対するソースおよびドレインの電位差値を求
め、ゲート酸化膜破壊電圧値を超える電位差値のトラン
ジスタを検出するように構成したので、トランジスタの
ゲート酸化膜破壊の低減を図ることができるとともに、
高精度な集積回路の回路設計および作製ができる回路シ
ミュレーション装置を得られる効果がある。
【0031】請求項3の発明によれば、さらに表示部に
集積回路の論理・回路図と該論理・回路図上にジャンク
ション又はゲート酸化膜破壊の可能性の高いトランジス
タを表示できるように構成したので、さらに作業性の向
上する回路シミュレーション装置を得られる効果があ
る。
【0032】請求項4の発明によれば、表示部に集積回
路の電気回路接続図と該電気回路接続図上にジャンクシ
ョン又はゲート酸化膜破壊の可能性の高いトランジスタ
を表示できるように構成したので、作業性の向上する回
路シミュレーション装置を得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の発明の一実施例を示す回路シミュレ
ーション装置のブロック図である。
【図2】請求項2の発明の一実施例を示す回路シミュレ
ーション装置のブロック図である。
【図3】この発明の回路シミュレーション装置により解
析される集積回路の接続関係の一例を示すNAND回路
の回路図である。
【符号の説明】
1 接続情報部(情報記憶部) 2 設定情報部(情報記憶部) 3 回路シミュレーション実行部 4 回路シミュレーション結果記憶部(シミュレーショ
ン実行部) 5,5a パラメータ記憶部(情報記憶部) 6 ジャンクション破壊トランジスタ検出部 7 ジャンクション破壊トランジスタ記憶部(ジャンク
ション破壊トランジスタ検出部) 8 ゲート酸化膜破壊トランジスタ検出部 10 実行情報生成部(シミュレーション実行部) 11 実行情報記憶部(シミュレーション実行部) 12 実行情報生成部(シミュレーション実行部) 13 ゲート酸化膜破壊トランジスタ記憶部(ゲート酸
化膜破壊トランジスタ検出部) 14 グラフィック表示部(表示部)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のトランジスタから形成される集積
    回路の接続情報と回路シミュレーションに必要な設定値
    情報とトランジスタのジャンクション破壊電圧値とを記
    憶する情報記憶部と、該情報記憶部の情報を用いて前記
    トランジスタの夫々の端子に印加される電圧値を算出す
    るシミュレーション実行部と、該シミュレーション実行
    部によって算出された前記電圧値を用いて前記トランジ
    スタのバックゲートに対するソースおよびドレインとの
    電位差値を算出するとともに、該電位差値と前記ジャン
    クション破壊電圧値とを比較し、前記ジャンクション破
    壊電圧値以上になる電位差値のトランジスタを検出する
    ジャンクション破壊トランジスタ検出部とを備えた回路
    シミュレーション装置。
  2. 【請求項2】 複数のトランジスタから形成される集積
    回路の接続情報と回路シミュレーションに必要な設定値
    情報とトランジスタのゲート酸化膜破壊電圧値とを記憶
    する情報記憶部と、該情報記憶部の情報を用いて前記ト
    ランジスタの夫々の端子に印加される電圧値を算出する
    シミュレーション実行部と、該シミュレーション実行部
    によって算出された前記電圧値を用いて前記トランジス
    タのゲートに対するソースおよびドレインの電位差値を
    算出するとともに、該電位差値と前記ゲート酸化膜破壊
    電圧値とを比較し、前記ゲート酸化膜破壊電圧値以上に
    なる電位差値のトランジスタを検出するゲート酸化膜破
    壊トランジスタ検出部とを備えた回路シミュレーション
    装置。
  3. 【請求項3】 前記集積回路の論理・回路図を画面上に
    表示するとともに、前記ジャンクション破壊トランジス
    タ検出部またはゲート酸化膜破壊トランジスタ検出部か
    らの情報を前記論理回路上に表示するグラフィック表示
    部を備えた請求項1または2の回路シミュレーション装
    置。
  4. 【請求項4】 前記集積回路の電気回路接続図を画面上
    に表示するとともに、前記ジャンクション破壊トランジ
    スタ検出部またはゲート酸化膜破壊トランジスタ検出部
    からの情報を前記電気回路接続図上に表示するグラフィ
    ック表示部を備えた請求項1または2の回路シミュレー
    ション装置。
JP5017103A 1993-01-07 1993-01-07 回路シミュレーション装置 Pending JPH06203094A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009211356A (ja) * 2008-03-04 2009-09-17 Oki Semiconductor Co Ltd シミュレータ、及び当該シミュレータを用いた素子耐圧検証方法

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