JPS63106870A - Ｌｓｉマスクパタ−ン設計装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ｉ、、　Ｓ　Ｉマスクパターン設計の迅速化
のための装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第３図に従来のＬＳＩマスクパターン設計装置を示す。

第３図において、１は中央処理装置、２はマスクパター
ンデータを表示するグラフィックディスプレイ、３はマ
スクパターンデータの作成・修正の命令を入力するキー
ボード装置、４はマスクパターンデータの座標値を入力
するタブレット、５はタブレット４に接続されているタ
ブレフトベン、６はマスクパターンデータを収納するデ
ィスク装置であり、グラフィックディスプレイ２、キー
ボード装置３．タブレット４．ディスク装置６は中央処
理装置１と接続されている。

次に動作について第３図、第４図を用いて説明する。ま
ず、グラフィックディスプレイ２を見ながら、マスクパ
ターンデータの作成・修正命令をキーボード装置３から
入力し、タブレット４．タブレットペン５から座標値を
入力することにより、ディスク装置６にマスクパターン
データを収納する（ステップ１１）。この場合、データ
の入力と作成と収納は並行して行なわれる。

セル単位、機能ブロック単位又は１チップ単位のマスク
パターンデータ作成後、マスクバターンデ・−夕とデバ
イス定義データを使用して中央処理装置１により電気的
接続チェックを行な・う（ステツブ１２）。

ステップ１３でエラーが無ければステップ１４へ移行す
る。ステップ１４において、デバイス定義データを使っ
て、ディスク装置６内のマスクパターンデータよりトラ
ンジスタ回路図を抽出する。

次に、他の装置により作成された正しいＩ−ランジスタ
回路図と上記抽出されたトランジスタ回路図とを比較チ
ェックする（ステップ１５）。

次にステップ１６において、抽出されたトランジスタ回
路図と正しいトランジスタ回路図との差異があるか否か
を判断し、差異がなければ、このマスクパターンデータ
作成・修正の処理を終了する。

ステップ１３で短絡・未結線等のエラーが発生した場合
、ステップ１７へ移行する。この場合、グラフィックデ
ィスプレイ２．キーボード装置３、タブレット４．タブ
レットベン５を使ってディスク装置６内のマスクパター
ンデータを修正し、エラーがなくなるまでステップ１２
．ステップ１３、ステップ１６の手順を繰り返す。

ステップ１６において差異がある場合、同様にステップ
１７へ移行する。この場合も差異がなくなるまでステッ
プ１２〜ステツプ１７の手順を繰り返す。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のＬＳＩマスクパターン設計装置は以上のように構
成されているので、セル、機能ブロック、チップ単位で
作成後、電気的接続チェックおよびトランジスタ回路図
の比較を行なう。このため、マスクパターンでトランジ
スタ欠落等のエラーがある場合、マスクパターンデータ
の修正に大幅な時間がかかるなどの問題があった。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、マスクパターンデータ修正を迅
速に行なうことのできるＬＳＩマスクパターン設計装置
を得ることにある。

〔問題点を解決するための手段〕

このような目的を達成するために本発明は、ＬＳＩマス
クパターンデータ作成・修正時にリアルタイムにマスク
パターンデータによりトランジスタ回路図の抽出と電気
的接続チェックと前記抽出されたトランジスタ回路図と
正しいトランジスタ回路図との比較とを行なう検証手段
と、前記抽出と接続チェックと比較の結果を表示するグ
ラフィックディスプレイとを装置に設けるようにしたも
のである。

〔作用〕

本発明においては、マスクパターンデータ作成・修正時
にリアルタイムに電気的接続チェック。

トランジスタ回路図の抽出、この抽出されたトランジス
タ回路図と正Ｌ７いトランジスタ回路図との比較を行な
う。

〔実施例〕

本発明に係わるＬＳＩマスクパターン設計装置の一実施
例を第１図に示す。第１図において、７は検証手段とし
てのリアルタイムマスクパターン検証装置、８はリアル
タイムマスクパターン検証装置７により電気的接続チェ
ックの結果、トランジスタ回路図の抽出結果、比較結果
を表示するグラフィックディスプレイ、９は他の装置等
により作成されて入力された正しいトランジスタ回路図
を収納しておくディスク装置であり、ディスク装置６，
９とグラフィックディスプレイ８とはリアルタイムマス
クパターン検証装置７に接続されている。第１図におい
て第３図と同一部分又は相当部分には同一符号が付しで
ある。

次に動作について第１図、第２図を用いて説明する。ま
ず、グラフィックディスプレイ２を見ながら、マスクパ
ターンデータの作成・修正命令をキーボード装置３から
の入力とタブレット４．タブレットベン５からの座標値
入力とにより、ディスク装置６にマスクパターンデータ
を収納する。

この収納と同時に、リアルタイムマスクパターン検証装
置７により、電気的接続チェックを行ない、デバイス定
義データを使用してマスクパターンデータよりトランジ
スタ回路図を抽出し、正しいトランジスタ回路図と比較
する（ステップ２１）。

これらの結果をグラフィックディスプレイ８に即座に表
示し、エラー判定を行なう（ステップ２２）。エラーが
無ければ、このセル、機能プロソり、チップ単位のマス
クパターンデータの作成・修正の処理を終了する。

エラーが有る場合はステップ２３へ移行し、マスクパタ
ーンデータを修正すると同時に、電気的接続チェックを
行ない、ｌ・ランジスタ回路図を抽出し、このトランジ
スタ回路図と正しいトランジスタ回路図とを比較し、ス
テップ２２へ移行してエラーの判定を行なう。エラーが
有る限り、ステップ２２．ステップ２３の処理を繰り返
す。エラーが無くなれば、このセル、機能ブロック、チ
ップ単位のマスクパターンデータの作成・修正の処理を
終了する。

上記実施例では、電気的接続チェック、マスクパターン
データからのトランジスタ回路図の抽出、正しいトラン
ジスタ回路図との比較を行なう専用のリアルタイムマス
クパターン検証装置７と結果を表示するグラフィックデ
ィスプレイ８を設けたものを示したが、リアルタイムマ
スクパターン検証装置７の機能を中央処理装置１に、グ
ラフィックディスプレイ８の機能をグラフィックディス
プレイ２に持たせてもよい。ただし、この場合、グラフ
ィックディスプレイ２はマルチウィンドウ機能を持たな
ければならない。

〔発明の効果〕

以」−説明したように本発明は、マスクパターンデータ
作成・修正時にリアルタイムに電気的接続チェック、ト
ランジスタ回路図の抽出、トランジスタ回路図の比較を
行なうことにより、従来のようにマスクパターンデータ
作成後の修正に大幅な時間を要するということが無くな
り、マスクパターン設計期間を大幅に短縮できるという
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わるＬ　Ｓ　Ｉマスクパターン設計
装置の一実施例を示す系統図、第２図はその動作を説明
するだめのフローチャート、第３図は従来のり、　Ｓ　
Ｉマスクパターン設計装置を示す系統図、第４図はその
動作を説明するためのフローチャートである。 １・・・中央処理装置、２，８・・・グラフィックディ
スプレイ、３・・・キーボード装置、４・・・タブレッ
ト、５・・・タブレットベン、６．９・・・ディスク装
置、７・・・リアルタイムマスクパターン検証装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ＬＳＩマスクパターンデータ作成・修正時にリアルタイ
   ムにマスクパターンデータによりトランジスタ回路図の
   抽出と電気的接続チェックと前記抽出されたトランジス
   タ回路図と正しいトランジスタ回路図との比較とを行な
   う検証手段と、前記抽出と接続チェックと比較の結果を
   表示するグラフィックディスプレイとを備えたことを特
   徴とするＬＳＩマスクパターン設計装置。