JPH0617283Y2 - スクラバー洗浄機 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 半導体集積回路ＩＣ，ＬＳＩ製造又はコンパクト・ディ
スク，レーザ・ディスクのマスタリング等に使用するシ
リコン又はガラス基板の研磨後に使用するスクラバー洗
浄機に関するものである。

〔従来の技術〕

半導体集積回路ＬＳＩを製造するためのホトマスク基
板，シリコン基板や、コンパクト・ディスク，レーザ・
ディスク等の光ディスク製造のマスタリングに使用する
ガラス原盤は研磨機を使いシリコン・カーバイド，アル
ミナ，酸化セリウム等を研磨剤としてラッピング，ポリ
ッシングを行って基板表面を鏡面研磨した後、第３図
（Ａ）に示す円筒状のスポンジ又はブラッシあるいは第
３図（Ｂ）に示す様にスポンジ又はブラッシを植立せし
めた円板を使ったスクラバー洗浄機を使って研磨剤を除
去洗浄して、超音波洗浄機により精密洗浄を行い、基板
表面を超清浄にした後、ホトマスク基板の場合は、酸化
クロム又は金属クロムをスパッタリングし、シリコン基
板，ガラス原盤の場合はシランカップリング剤処理を施
した後ホトレジスト塗布を行って、パターン又は信号を
露光記録した後、現像・エッチングしてパターン又は信
号ピットを基板又は原盤上に形成していた。

〔考案が解決しようとする課題〕

従来の単なるスポンジ又はナイロンブラッシを使ったス
クラバー洗浄機では数ミクロンメータ以下の微小な研磨
剤等の異物を完全に除去することが困難であり、また超
音波洗浄を使っても完全には除去できない。そのため、
その除去されずに基板表面に付着した異物が欠陥とな
り、品質を悪くしたり製品の歩留を悪くする。そこで微
小な異物を完全に除去し欠陥のない基板表面の得られる
ブラッシ材料を種々検討した結果優れた効果を持つ材料
を見出した。

〔課題を解決するための手段〕

即ち本考案は従来のスポンジ又はナイロンブラッシ等で
は除去できなかった数ミクロンメータの研磨剤等の異物
を除去するために成すもので、スポンジ又はナイロンブ
ラッシ等の弾性部材の表面を１〜２μmの超微細繊維で
包む構成に成し、超極細繊維で基板表面をこすり洗いす
ることにより清浄な基板表面が得られる様に成すもので
ある。

弾性部材の表面を超極細繊維で包む構成は超極細繊維で
織られた布で包むか、表面に植毛するか、繊維の束をブ
ラッシの表面に突出せしめる等の構成によって成され
る。

〔作用〕

基板表面の異物をこすり洗いする時の作用機構を模型図
を使って説明する。従来方法のスポンジの場合は第４図
（Ｂ）の如く又ナイロンブラッシでは（Ｃ）の如く除去
しようとする異物４が小さ過ぎてこすり取ることができ
ずかえって押し付けて基板５の表面に付着させてしまう
結果になる。本考案では第４図（Ａ）のように基板５の
表面の異物４を引掛けて取り除く作用をして除去するこ
とができるものである。

〔実施例〕

以下図面により本考案を説明する。

第１図（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本考案の一実施例を示
す図である。第２図（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本考案を
用いたスクラバー洗浄機の略図である。

実施例１ 第１図（Ａ）及び第２図（Ａ）により説明する。

着脱自在のターンテーブル上に基板５を取付けモーター
８により回転させる。次にノズル９より純水７を滴下さ
せながらアーム１０をモーター１１でスイングさせ基板
５の表面を純水７で洗い流しながら、スポンジ２のロー
ラ６がエアーシリンダー１２により基板５の表面上を矢
印ＡＢ方向に移動しながらこすり洗いを行う。ここでこ
のローラ６は第１図（Ａ）の如き構造でスポンジ２のロ
ーラ６表面部に超極細繊維１の織布１ａで覆われた構成
となっていて、軸１２ａで回転自在にエアーシリンダー
１２と連結されて基板５の回転とローラ６の表面に設け
た超極細繊維１の相対移動によって第４図（Ａ）に示す
様に数ミクロンの異物４を超極細繊維１によってこすり
洗いすることが可能となる。

実施例２ 第１図（Ｂ）及び第２図（Ｂ）により説明する。

基板５は、こすり洗いユニット１４が多数取付けられた
円板１３に挟まれて基板駆動ローラ１７上にセットされ
る。駆動ローラ１７は駆動モーター１８，こすり洗いユ
ニット１４のついた円板１３はモーター１５により回転
され、シャワー１６から純水７が流下し基板５を洗いな
がらこすり洗いを行い、研磨剤等の数ミクロンの微小異
物を洗い落とし清浄な基板表面が得られる。こすり洗い
ユニットは第１図（Ｂ）の如くブラッシ３を覆うように
超極細繊維１の不織布で包んである。ブラッシ３は弾性
を有し基板５を両面から押圧し１〜２μmの超極細繊維
によって数ミクロンの異物をこすり洗いすることができ
る。

〔考案の効果〕

上記のように本考案は基板の表面に当接しその表面をこ
する当接面が弾性部材を基部としてその表面に繊維の太
さが１〜２μmの超極細繊維を具備したので上記超極細
繊維が上記基板の表面をこすり洗浄するように成すこと
で数ミクロン以下の微小異物も除去し洗浄することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）及び（Ｂ）は本考案の実施例を説明するた
めの説明図、第２図（Ａ）及び（Ｂ）は装置を説明する
ための図、第３図は従来例を説明するための図、第４図
（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）はそれぞれ洗浄動作を説明する
ための図で（Ａ）は本考案（Ｂ），（Ｃ）は従来例であ
る。 １……超極細繊維 ２……スポンジ ３……ブラッシ ４……異物 ５……基板 ６，１７……ローラ ７……純水 ８，１１，１５，１８……モーター ９……ノズル １０……アーム １２……エアーシリンダー １３……円板 １４……ユニット １５……シャワーである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】鏡面研磨した基板の表面等をこすり洗浄す
   るスクラバー洗浄機に於いて、上記基板の表面に当接し
   その表面をこする当接面が弾性部材を基部としてその表
   面に繊維の太さが１〜２μmの超極細繊維を具備し上記
   超極細繊維が上記基板の表面をこすり洗浄するように成
   すことを特徴とするスクラバー洗浄機。