JPS6230030Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈技術分野〉 この考案は、ウエハ上に半導体チツプパターン
を露光するときに使用するフオトマスク、特に投
影型露光装置として所謂ステツパを使用する場合
に、そのステツパに装着されるレチクル（フオト
マスクの呼称）を洗浄するときに有用なフオトマ
スク洗浄装置の改良に関する。

〈従来技術〉 近年の半導体集積回路のパターンに対する高密
度化の要求に伴い、原寸パターンの１倍〜10倍の
大きさのパターンを描き込んだレチクルをフオト
マスク原版として装着するステツパと称される投
影型露光装置が使用されるようになつてきた。こ
のようなステツパを使用する上において重要なこ
とは、レチクル上に常に異物が付着していないよ
うにすることである。若しレチクル上に異物が付
着しているとウエハ上に正しいパターンを焼き付
けることができず、放置しておいた場合すべての
チツプが不良という大変な事態に陥るからであ
る。そこで一般には、ステツパを使用するときに
はレチクルを洗浄し、そのパターン面とガラス面
の両方に異物が付着していないことを確認してか
らそのレチクルをステツパに装着している。この
ようなフオトマスク洗浄装置には、その洗浄方法
で分類した場合いくつかの種類があるが、このう
ち最もコンパクトに構成できるのはウエハを高速
回転させた状態でその表面を洗浄するいわゆるス
ピンスクラバー型洗浄装置である。第１図は従来
のスピンスクラバー型洗浄装置の概略構造図であ
る。

図において、１はフオトマスク、２はフオトマ
スク１を支持台３上に真空チヤツクするバキユー
ム装置、４は回転軸５を介してフオトマスク１を
真空吸着する平板３を高速回転する回転駆動部で
あり、また６はフオトマスク１の表面を洗浄する
スポンジブラシ、７はフオトマスク１上に付着し
ている異物を水流によつて吹き飛ばすハイプレツ
シヤーウオータ発生装置、さらに８は以上の装置
を覆うボウルであり、ボウル８の上部突出部９内
には洗浄後のフオトマスクを乾燥するための赤外
線ヒータ（図示せず）が設けられている。以上の
構成のように、従来の洗浄装置ではフオトマスク
１の片側、主にパターン面を上向きにおいて真空
チヤツクし、その状態で高速回転し、スポンジブ
ラシとハイプレツシヤーウオータによつてパター
ン面を洗浄するようにしていた。しかし、この洗
浄装置ではフオトマスクの片側（パターン面を上
向きに置いた場合にはパターン面）は洗浄するこ
とができるが、下側のガラス面側を同時に洗浄す
ることができないために、パターン面の洗浄後ロ
ボツトハンドなどを使用してフオトマスク１を反
転させる必要があり、工程が複雑化するとともに
装置も大型化する不都合があつた。

〈考案の目的〉 この考案の目的は、フオトマスクの支持の仕方
を工夫することによつてパターン面およびガラス
面を同時に洗浄することのできるフオトマスク洗
浄装置を提供することにある。

〈考案の構成〉 この考案は上記目的を達成するために、フオト
マスクを側方から支持固定するフオトマスク支持
体と、モータを含み前記支持体を高速回転する回
転駆動とを設けるとともに、前記フオトマスクの
上下両面に対向してスポンジブラシおよび／また
はハイプレツシヤーウオータ発生装置を配設し、
これらの洗浄手段によつて高速回転するフオトマ
スクのパターン面およびガラス面を同時に洗浄す
るようにしたものである。

〈実施例〉 第２図はこの考案の実施例であるフオトマスク
洗浄装置の概略構造図である。構成において、第
１図に示す従来の洗浄装置と同一部分ないし相当
部分には同一番号を付してある。ボウル８の外側
に設けられているスピンモータ４の駆動軸には駆
動ギア１０が連結され、この駆動ギア１０に係合
するフオトマスク支持体１１がボウル８の内側に
配設されている。このフオトマスク支持体１１は
ボウル８内で回転できるようにボウル８の外周に
設けられているころがり支持ガイド１２によつて
支持されており、スピンモータ４の回転に応じて
ボウル８内で高速回転できるようになつている。
上記フオトマスク支持体１１は第３図に示すよう
に外周部にギア部が形成されているリング状ギア
部１１ａとこのリング状ギア部１１ａの内周壁に
一定間隔で固着されているアーム１２〜１５とで
構成され、各アーム１２〜１５はリング状ギア部
１１ａの半径よりも短い長さを有し、それぞれ
向心している。また各アームの先端部には、第４
図Ａ，Ｂに示すうに段部Ｐが形成され、この段部
Ｐに円筒ころａ，ｂが回動実在に支持されてい
る。正方形状のフオトマスク１は上記４本のアー
ム１２〜１５のそれぞれの先端部で支持される。
すなわち、アーム１２，１４の段部Ｐにそれぞれ
支持されている円筒ころａ，ｂによつてフオトマ
スク１の対向する隅部１ａ，１ｂが挾持され、同
様にアーム１３，１５の段部Ｐに支持されている
円筒ころａ，ｂによつてフオトマスク１の対向す
る他の隅部１ｄ，１ｃがそれぞれ挾持されること
によつてフオトマスク１がフオトマスク支持体１
１に支持固定されている。フオトマスク支持体１
１が以上のように構成されるとともに、フオトマ
スク１の上下両面に対向してスポンジブラシ６，
６′およびハイプレツシヤーウオータ発生装置
７，７′がそれぞれ配設されている。このスポン
ジブラシ６，６′およびハイプレツシヤーウオー
タ発生装置７，７′は、それぞれスピンモータ４
が駆動したときに独立に作動できる構造になつて
いる。したがつて、フオトマスク１をフオトマス
ク支持体１１にセツトした後、スピンモータ４を
駆動した状態でスポンジブラシ６，６′を同時に
作動すれば、あるいはハイプレツシヤーウオータ
発生装置７，７′を同時に作動させれば、フオト
マスク１の上下両面、すなわちパターン面とガラ
ス面とを同時に洗浄することができる。すなわ
ち、フオトマスク１の洗浄においては従来のよう
に片面洗浄後に反転させる工程が不要であり、し
かも短時間に上下両面の洗浄を行うことができ
る。

〈考案の効果〉 以上のようにこの考案によれば、フオトマスク
側方から支持固定するようにして、かつフオトマ
スクの上下両面に対向して洗浄手段を配設するよ
うにしたので、フオトマスクのパターン面とガラ
ス面とを同時に洗浄することができ、スピンスク
ラバー型洗浄装置の利点であるコンパクト性を保
持したまま洗浄のスループツトを大幅に高めるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のフオトマスク洗浄装置の概略構
造図、第２図はこの考案の実施例であるフオトマ
スク洗浄装置の概略構造図、第３図は同実施例に
示すリング状ギアの平面図、第４図Ａ，Ｂはフオ
トマスク支持体１１のアーム先端部の平面図、側
面図である。 １……フオトマスク、４……スピンモータ、
６，６′……スポンジブラシ、７，７′……ハイプ
レツシヤーウオータ発生装置、８……ボウル、１
０……駆動ギア、１１……フオトマスク支持体、
１１ａ……リング状ギア部、１２〜１５……アー
ム。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) フオトマスクを高速回転し、その表面をスポ
   ンジブラシおよび／またはハイプレツシヤーウ
   オータ発生装置からなる洗浄手段によつて洗浄
   するフオトマスク洗浄装置において、前記フオ
   トマスクを側方から支持固定するフオトマスク
   支持体と、モータを含み前記支持体を高速回転
   する回転駆動部とを設けるとともに、前記フオ
   トマスクの上下両面に対向して前記洗浄手段を
   配設したことを特徴とするフオトマスク洗浄装
   置。 (2) 前記フオトマスク支持体を、前記フオトマス
   ク側端部の適所を挾持固定するアームおよびこ
   のアームが固着したリング状ギアで構成し、前
   記回転駆動部を前記リング状ギアに係合する駆
   動ギアおよびこの駆動ギアに連結するモータで
   構成した実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   フオトマスク洗浄装置。