JPH0617281Y2 - 半導体物品の縦型熱処理装置におけるボ−ト支持装置 - Google Patents
半導体物品の縦型熱処理装置におけるボ−ト支持装置Info
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19104084U JPH0617281Y2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | 半導体物品の縦型熱処理装置におけるボ−ト支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19104084U JPH0617281Y2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | 半導体物品の縦型熱処理装置におけるボ−ト支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61106025U JPS61106025U (fi) | 1986-07-05 |
JPH0617281Y2 true JPH0617281Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=30748481
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19104084U Expired - Lifetime JPH0617281Y2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | 半導体物品の縦型熱処理装置におけるボ−ト支持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0617281Y2 (fi) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5162899B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-03-13 | 村田機械株式会社 | 被搬送物の保管装置 |
-
1984
- 1984-12-17 JP JP19104084U patent/JPH0617281Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPS61106025U (fi) | 1986-07-05 |
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