JPH06161108A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 アルカリ水溶液で現像でき、かつ解像性、耐
無電解銅めっき性、はんだ耐熱性に優れた、部分アディ
ティブ法に好適な感光性樹脂組成物及びこれを用いた感
光性エレメントを提供する。 【構成】 （ａ）側鎖にカルボキシル基及び光反応性不
飽和基を有し、アルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマ
ー、（ｂ）少なくとも２個のエポキシ基を有する化合
物、（ｃ）２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
（４−モルホリノフェニル）−１−ブタン−１−オン、
（ｄ）グアニジン系化合物及び（ｅ）シランカップリン
グ剤を含有してなる感光性樹脂組成物並びに該組成物の
層と該層を支持する支持フィルムを有する感光性エレメ
ントである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂組成物に関
し、さらに詳しくはプリント板製造、金属加工などに使
用し得る保護膜形成用の感光性樹脂組成物及び感光性エ
レメントに関する。

【０００２】

【従来の技術】印刷配線板の製造、金属の精密加工など
の分野において、レジスト材料として感光性樹脂組成物
を使用することが知られている。印刷配線板の製造は、
例えば、銅張り積層板にドリル等で穴を空けた後、無電
解銅めっきで基板穴壁に導電性を付与し、次いで電気銅
めっきを行い、エッチング法で回路を形成する。回路形
成法には、テンティング法とはんだスルーホール法とが
あり、この製造法はサブトラクティブ法と言われてい
る。さらに、接着剤付き積層板を表裏平面回路とスルー
ホールを同時に無電解銅めっきだけで導体化するフルア
ディティブ法と、銅張り積層板の表裏平面回路部をサブ
トラクティブ法と同様にエッチングで形成し、スルーホ
ール部分のみを無電解銅めっきで導体化する部分アディ
ティブ法も知られている。

【０００３】このアディティブ法は、サブトラクティブ
法に比較して工程が少なく、省資源で低コスト化が可
能である、パンチ穴スルーホールのめっきが良好であ
る、小径やブラインドスルーホールのめっきまわりが
良好である、導体幅精度が良く、高密度微細配線に適
する、配線板表面の平滑性が良く、凹み配線が可能で
ある等の利点を有する。このような利点を有するアディ
ティブ法のうち、部分アディティブ法に用いられるレジ
ストには、従来、エポキシ樹脂、アミノプラスト樹脂等
の熱硬化性樹脂を主成分とするものが用いられている
が、これらは寸法精度に劣るため、写真法で像を形成し
うる感光性樹脂組成物が提案されている。

【０００４】例えば、特開昭５３−５６０１８号公報、
特開昭５４−１０１８号公報等には、アクリル系ポリマ
ー及び光重合性モノマーを主成分とする感光性樹脂組成
物が開示されている。この感光性樹脂組成物は、難燃性
の１，１，１−トリクロロエタンで現像可能であるが、
耐無電解銅めっき液性及びはんだ耐熱性が不充分であ
る。

【０００５】また、特開昭５２−３７９９６号公報、特
開昭５８−６２６３６号公報等には、光反応性が付与さ
れたエポキシ樹脂及びエポキシ樹脂硬化剤を主成分とす
る感光性樹脂組成物が開示されている。この組成物は、
硬化皮膜のはんだ耐熱性には優れているが、１，１，１
−トリクロロエタン等の難燃性有機溶剤に不溶のため、
現像液にシクロヘキサノン等の可燃性有機溶剤を使用す
る必要があり、安全上好ましくない。

【０００６】また、特公平１−５４３９０号公報等に
は、光反応性が付与されたエポキシ樹脂を酸無水物で変
性したエポキシ化合物を主成分とするレジストインキ組
成物が開示されている。この場合には、難燃性１，１，
１−トリクロロエタンより環境破壊の少ないアルカリ水
溶液を現像液に用い、硬化皮膜のはんだ耐熱性に優れて
いるものの、無電解銅めっき液に全く耐性がないという
問題点があった。

【０００７】そこで、写真現像法（イメージ露光に続く
現像により画像を形成する方法）で環境安全性に優れた
アルカリ水溶液により現像でき、解像性、耐無電解銅め
っき液性、はんだ耐熱性及び表面光沢性に優れた部分ア
ディティブ法に適した感光性樹脂組成物の出現が望まれ
てきた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の問題点を解消し、安全性に優れたアルカリ水溶液に
より現像でき、かつ解像性、耐無電解銅めっき液性、は
んだ耐熱性及び表面光沢性などの優れた高信頼性の部分
アディティブ法に好適な感光性樹脂組成物（ソルダーレ
ジスト）及びこれを用いた感光性エレメントを提供する
ものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）側鎖に
カルボキシル基及び光反応性不飽和基を有し、アルカリ
水溶液に可溶性であるオリゴマー、（ｂ）少なくとも２
個のエポキシ基を有する化合物、（ｃ）２−ベンジル−
２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）
−１−ブタン−１−オン、（ｄ）グアニジン系化合物及
び（ｅ）シランカップリング剤を含有してなる感光性樹
脂組成物及び支持体フィルム上に該感光性樹脂組成物の
層を積層してなる感光性エレメントに関する。

【００１０】以下に、本発明の感光性樹脂組成物に含有
される各成分について詳述する。本発明の感光性樹脂組
成物は、必須成分（ａ）として側鎖にカルボキシル基及
び光反応性不飽和基を有し、かつアルカリ水溶液に可溶
性であるオリゴマーを含有する。このようなオリゴマー
は既に公知であり、例えば、特公昭５１−２８６７７号
公報、特公昭５９−１９１３０号公報、特開昭６１−２
４３８６９号公報等に記載されている。

【００１１】好ましいオリゴマーとしては、例えば、オ
ルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノール
ノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくと
も１種のノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸
とを、酸当量／エポキシ当量比が０．５〜１．０５の範
囲で付加反応させて得られる不飽和化合物の二級水酸基
及び残存エポキシ基に飽和又は不飽和の多塩基酸無水物
を反応させて得られるオリゴマーを挙げることができ
る。

【００１２】本発明に用いられるノボラック型エポキシ
樹脂は、例えば、オルソクレゾール、フェノール、ハロ
ゲン化フェノールなどとアルデヒドを酸触媒の存在下に
反応させて得られるノボラック型樹脂のフェノール性水
酸基にアルカリの存在下にエピクロルヒドリンを反応さ
せて得られるもので、商業的に入手可能である。

【００１３】オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹
脂としては、チバ・ガイギー社製のアラルダイトＥＣＮ
１２９９（軟化点９９℃、エポキシ当量２３０）、ＥＣ
Ｎ１２８０（軟化点８０℃、エポキシ当量２３０）、Ｅ
ＣＮ１２７３（軟化点７３℃、エポキシ当量２３０）、
日本化薬株式会社製のＥＯＣＮ１０４（軟化点９０〜１
００℃、エポキシ当量２２５〜２４５）、ＥＯＣＮ１０
３（軟化点８０〜９０℃、エポキシ当量２１５〜２３
５）、ＥＯＣＮ１０２（軟化点７０〜８０℃、エポキシ
当量２１５〜２３５）、ＥＯＣＮ１０１（軟化点６５〜
６９℃、エポキシ当量２０５〜２２５）等が挙げられ
る。

【００１４】フェノールノボラック型エポキシ樹脂とし
ては、例えば、シェル社製のエピコート１５２（エポキ
シ当量１７５）、エピコート１５４（エポキシ当量１７
６〜１８１）、ダウケミカル社製のＤＥＮ４３１（エポ
キシ当量１７２〜１７９）、ＤＥＮ４３８（エポキシ当
量１７５〜１８２）、東都化成株式会社製のＹＤＰＮ−
６３８（エポキシ当量１７０〜１９０）、ＹＤＰＮ−６
０１（エポキシ当量１８０〜２２０）、ＹＤＰＮ−６０
２（エポキシ当量１８０〜２２０）等が挙げられる。

【００１５】ハロゲン化フェノールノボラック型エポキ
シ樹脂としては、例えば、日本化薬株式会社製のＢＲＥ
Ｎ（エポキシ当量２７０〜３００、臭素含有量３５〜３
７％、軟化点８０〜９０℃）等の臭素化フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂等が挙げられる。

【００１６】不飽和カルボン酸としては、アクリル酸、
メタクリル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチリルア
クリル酸、α−シアノケイ皮酸、ケイ皮酸、一般式
（Ｉ）

【化１】 （式中、ｍは１〜６の整数を示す）で示されるアクリル
酸オリゴマー、一般式（II）

【化２】 （式中、ｎは１〜３の整数を示す）で示されるアクリル
酸とカプロラクトンとの反応物等が用いられる。一般式
（Ｉ）及び一般式（II）で示される化合物は公知であ
り、商業的にも入手可能であり、例えば、東亜合成株式
会社から販売されているアロニックスＭ５６００〔一般
式（Ｉ）においてｍが平均１．２〜１．４の化合物〕、
アロニックスＭ５３００〔一般式（II）においてｎが平
均２の化合物〕等が用いられる。これらの不飽和カルボ
ン酸を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることが
できる。

【００１７】本発明において、これらのノボラック型エ
ポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との付加反応は常法によ
り行われるが、酸当量／エポキシ当量比を０．５〜１．
０５の範囲とすることが好ましい。酸当量／エポキシ当
量比が０．５未満では、イメージ露光後の現像処理によ
り光硬化被膜が膨潤しやすく、酸当量／エポキシ当量比
が１．０５を超える場合には、遊離の不飽和カルボン酸
量が多くなるため、皮膚刺激など、安全上好ましくない
傾向がある。

【００１８】ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボ
ン酸との付加反応物は、例えば、前記ノボラック型エポ
キシ樹脂をメチルエチルケトン、メチルセロソルブアセ
テート、カルビトールアセテート、エチルセロソルブア
セテート、シクロヘキサノン等の不活性有機溶剤に溶解
し、触媒として例えば、トリエチルアミン、トリ−ｎブ
チルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミン等の三級ア
ミン、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、塩化ベン
ジルトリエチルアンモニウム等の四級アンモニウム塩な
どを、また、重合禁止剤として、例えば、ハイドロキノ
ン、ｐ−メトキシフェノール等を用い、７０〜１１０℃
で前記不飽和カルボン酸と上記の当量比の範囲で撹拌反
応させることにより得ることができる。

【００１９】本発明において用いられる飽和又は不飽和
の多塩基酸無水物としては、例えば、無水フタル酸、無
水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、
無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水メチル２置換ブ
テニルテトラヒドロフタル酸、無水イタコン酸、無水コ
ハク酸、無水シトラコン酸、無水アルケニル酸、無水ド
デセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイ
ン酸、無水マレイン酸のリノレイン酸付加物、無水クロ
レンド酸、メチルシクロペンタジエンの無水マレイン酸
付加物、無水アルキル化エンドアルキレンテトラヒドロ
フタル酸等を挙げることができる。

【００２０】本発明において、これらの多塩基酸無水物
と前記不飽和化合物との付加反応は、アルカリ水溶液に
より現像性及び光硬化膜の膨潤性の点から酸当量／水酸
基当量比を０．６〜２．０の範囲として常法により行う
ことが好ましい。前記不飽和化合物はエポキシ基を有し
ているので、多塩基酸無水物の二級水酸基への付加反応
により生成するカルボキシル基とエポキシ基との付加反
応が起こり、得られるオリゴマーのカルボキシル基濃度
が低下する。このため、予め、多塩基酸無水物の使用量
を、その低下分に見合うだけ多くすることが望ましい。

【００２１】特に好ましいオリゴマーとしては、フェノ
ールノボラック型エポキシ樹脂／アクリル酸／無水テト
ラヒドロフタル酸（酸当量／エポキシ基当量比＝０．５
〜１．０５、酸当量／水酸基当量比＝０．６〜２．０）
系オリゴマー、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂／
アクリル酸／無水テトラヒドロフタル酸（酸当量／エポ
キシ基当量比＝０．５〜１．０５、酸当量／水酸基当量
比＝０．６〜２．０）系オリゴマー等を挙げることがで
きる。

【００２２】本発明になる感光性樹脂組成物は、必須成
分（ｂ）として、少なくとも２個のエポキシ基を有する
化合物を含有する。適当な化合物はいわゆるエポキシ樹
脂であり、例えば、トリグリシジルイソシアヌレート
（日産化学工業株式会社製のＴＥＰＩＣ−Ｓ、ＴＥＰＩ
Ｃ−Ｇ、ＴＥＰＩＣ−Ｐ等）、ビスフェノールＡ型エポ
キシ樹脂（シェル社製のエピコート８２８等）などを挙
げることができる。

【００２３】本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分
（ｃ）として、式（III）

【化３】 で表される２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
（４−モルホリノフェニル）−１−ブタン−１−オンを
光重合開始剤として含有する。２−ベンジル−２−ジメ
チルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブ
タン−１−オンは、例えば、チバ・ガイギー社からＩＲ
ＧＡＣＵＲＥ３６９の商品名で市販されている。

【００２４】本発明の感光性樹脂組成物においては、光
重合開始剤として上記（ｃ）成分を単独で用いてもよい
が、他の増感剤を併用することができる。他の増感剤と
しては、例えば、２−エチルアントラキノン、２−ｔ−
ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ジフェニルア
ントラキノン等の置換又は非置換の多核キノン類、ジア
セチルベンジル等のケトアルドニル化合物、ベンゾイ
ン、ピロン等のα−ケトアルドニルアルコール類及びエ
ーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α，α−ジエト
キシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族アシロ
イン類、ベンゾフェノン、４，４′−ビスジアルキルア
ミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、２−メチルチ
オキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２−
クロルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサント
ン、２−エチルチオキサントン等のチオキサントン類な
どが挙げられ、これらのうち１種又は２種以上を用いる
ことができる。

【００２５】また、それ自体では光開始性はないが、前
記物質と組み合わせて用いることにより、全体として光
開始性能のより良好な増感剤系となるような添加剤、例
えば、ベンゾフェノンに対するトリエタノールアミン等
の三級アミン、チオキサントン類に対するジメチルアミ
ノ安息香酸イソアミル、Ｎ−メチルジエタノールアミ
ン、ビスエチルアミノベンゾフェノンなどを用いること
もできる。

【００２６】本発明の感光性樹脂組成物に必須成分
（ｄ）として含有されるグアニジン系化合物としては、
例えば、ジシアンジアミド、グアニジン、アミノグアニ
ジン、１，１，３，３−テトラメチルグアニジン、ｎ−
ドデシルグアニジン、１，６−ジグアニジノヘキサン、
メチロールグアニジン、ビグアニド、１−フェニルグア
ニジン、１，３−ジフェニルグアニジン、１，３−ジ−
ｏ−トリルグアニジン、１−ｏ−トリルビグアニド、１
−ベンジル−２，３−ジメチルグアニジン等が用いら
れ、これらは単独で又は２種以上を組み合わせて使用す
ることができる。これらのうちジシアンジアミド、１−
ｏ−トリルビグアニド、ビグアニドグアニジンが好まし
く、微粒子（平均粒径１０μｍ以下、特に７μｍ以下）
のジシアンジアミドが特に好ましい。

【００２７】本発明の感光性樹脂組成物に必須成分
（ｅ）として含有されるシランカップリング剤として
は、例えば、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメト
キシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス
（２−メトキシエチル）シラン、γ−クロルプロピルト
リメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキ
シシラン、γ−グリシドオキシプロピルトリメトキシシ
ラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチル
トリメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルト
リメトキシシラン、δ−グリシドキシメチルジメトキシ
シラン、δ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、
δ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−
アミノプロピルトリエトキシシラン、β−アミノエチル
−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等を挙げるこ
とができる。

【００２８】本発明の感光性樹脂組成物は、前記のオリ
ゴマー（ａ）１００重量部に対して、少なくとも２個の
エポキシ基を有する化合物（ｂ）を０．５〜３０重量
部、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モ
ルホリノフェニル）−１−ブタン−１−オン（ｃ）を２
〜１５重量部、グアニジン系化合物（ｄ）を０．１〜１
０重量部、シランカップリング剤（ｅ）を０．００５〜
５重量部の範囲で用いることが好ましい。

【００２９】本発明において、（ａ）、（ｂ）、
（ｃ）、（ｄ）及び（ｅ）成分は各々２種以上併用して
もよい。（ａ）成分１００重量部に対して、（ｂ）成分
が０．５重量部未満であると、はんだ耐熱性が劣る傾向
があり、３０重量部を超えると現像しにくくなる。ま
た、（ｃ）成分が２重量部未満であると、光硬化性が劣
る傾向にあり、１５重量部を超えると、表面の硬化が速
すぎて内部が硬化しにくくなる。また（ｄ）成分が０．
１重量部未満であると、耐無電解銅めっき液性が劣る傾
向があり、１０重量部を超えても同様になりやすい。ま
た、（ｅ）成分が０．００５重量部未満であると、無電
解銅めっき液性が劣る傾向があり、５重量部を超えると
現像しにくくなる。

【００３０】本発明の感光性樹脂組成物には、副次的成
分として微粒状無機又は有機充填剤を含有することがで
きる。微粒状無機充填剤としては、例えば、タルク、焼
成タルク、シリカ、酸化チタン、クレイ、炭酸カルシウ
ム、含水珪酸、水酸化アルミニウム、アルミナ、硫酸バ
リウム、三酸化アンチモン、炭酸マグネシウム、マイカ
粉、焼成カオリン、珪酸アルミニウム、珪酸マグネシウ
ム等が用いられる。また、有機充填剤としては、例え
ば、ポリエチレンビーズ、架橋ポリエチレンビーズ、硬
化エポキシ樹脂ビーズ等が用いられる。

【００３１】微粒状充填剤の粒径は、解像度、硬化被膜
の密着性等の性能の低下防止の点から０．０１〜１０μ
ｍであることが好ましく、０．０１〜１．５μｍである
ことがより好ましい。また、微粒状充填剤は、感光性樹
脂組成物中に均一に分散されていることが好ましい。

【００３２】さらに、本発明になる感光性樹脂組成物に
は、他の副次的成分を含有していてもよい。副次的成分
としては、ｐ−メトキシフェノール等の熱重合防止剤、
フタロシアニングリーン等の顔料、三酸化アンチモン等
の難燃剤、エポキシ樹脂の潜在性硬化剤などが挙げられ
る。

【００３３】本発明の感光性樹脂組成物は、さらに他の
光重合性化合物を含有してもよい。該光重合性化合物と
しては、例えば、トリメチロールプロパン、トリメチロ
ールエタン、ペンタエリスリット、ジペンタエリスリッ
ト、１，３−ブチレングリコール、１，４−ブチレング
リコール、１，５−ペンタンジオール、ポリカプロラク
トンジオール、ポリプロピレングリコール、デカメチレ
ングリコール、グリセリン、ネオペンチルグリコール、
トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌル酸等の多
価アルコールとアクリル酸又はメタクリル酸とのエステ
ル、無水フタル酸／ジエチレングリコール／アクリル酸
（１／２／２のモル比）縮合物、トリメチロールプロパ
ン／テトラヒドロ無水フタル酸／アクリル酸（２／１／
４のモル比）縮合物等の末端にアクリロイルオキシ基及
び／又はメタクリロイルオキシ基を有する低分子ポリエ
ステル樹脂などが挙げられる。特公昭５２−４３０９２
号公報等に記載されているジオールモノアクリレート又
はジオールモノメタクリレートとジイソシアネートとの
反応生成物、特開昭５７−５５９１４号公報等に記載さ
れているジオールモノアクリレート／２価アルコール／
トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート反応物、イ
ソシアナートエチルメタクリレート／水（２／１のモル
比）反応物、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート
／モノエタノールアミン（３／２のモル比）反応物など
を用いることもできる。

【００３４】本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、デ
ィップコート法、ロールコート法、フローコート法、静
電スプレー法、スクリーン印刷法等の常法により加工保
護すべき基板上に直接塗工し、厚さ１０〜１５０μｍの
感光層を容易に形成することができる。塗工にあたり必
要ならば組成物を溶剤に溶解させて塗工を行うこともで
きる。溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、メ
チルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテー
ト、カルビトールアセテート、シクロヘキサノン、メチ
ルセロソルブ、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ルアセテート、塩化メチレン、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテル等を挙げることができる。

【００３５】感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメン
トにラミネーター等を適用して加工保護すべき基板上に
感光層を容易に形成することもできる。感光性エレメン
トは、ポリエステル等の支持体フィルム上に必要に応じ
て溶剤を加えた感光性樹脂組成物を塗布、乾燥して積層
し、さらに、必要に応じてポリオレフィン等の保護フィ
ルムを積層することにより得ることができる。

【００３６】こうして形成された感光層の露光及び現像
は、常法により行われる。即ち、光源として超高圧水銀
灯、高圧水銀灯などを用い、感光性樹脂組成物の層上に
直接又はポリエチレンテレフタレートフィルム等の透明
フィルムを介して、ネガマスクを通して像状に露光す
る。露光後、６０℃〜８０℃で１〜１０分間加熱するこ
とが好ましい。透明フィルムが残っている場合には、こ
れを剥離した後、現像する。

【００３７】現像処理に用いられる現像液としては、ア
ルカリ水溶液が用いられ、その塩基としては、リン酸ナ
トリウム、リン酸カリウム等のアルカリ金属リン酸塩、
炭酸ナトリウム等のアルカリ金属炭酸塩などを例示する
ことができ、特に炭酸ナトリウムの水溶液が好ましい。

【００３８】上記の方法で得られた像的な保護被膜は、
通常のエッチング、めっき等のための耐食膜として好適
な特性を持っているが、現像後に８０〜２００℃で加熱
処理を行うことにより、無電解銅めっき液に優れた耐性
を示す保護膜が得られる。

【００３９】

【実施例】次に、実施例により本発明を詳述するが、本
発明はこれに限定されるものではない。なお、例中の
「部」は、特に断らない限り「重量部」を意味する。

【００４０】実施例１ （イ）オリゴマー溶液の合成

【表１】

【００４１】温度計、撹拌装置、冷却管及び滴下器の付
いた加熱及び冷却可能な５００mlの反応容器に前記Ａを
加え、１１０℃に昇温し、反応温度を１１０℃に保ちな
がら、１時間かけて均一にＢを滴下した。Ｂの滴下後、
１１０℃で約１０時間撹拌を続け、反応系の酸価を１以
下にした後、６０℃に冷却し、Ｃを添加した。Ｃの滴下
後、約２時間かけて１１０℃に昇温し、１１０℃で約１
０時間撹拌を続け、反応系の酸価を６１にし、不揮発分
６９重量％のオリゴマー溶液を得た。このオリゴマーの
不飽和カルボン酸の酸当量／エポキシ当量の比は０．７
５、酸当量／水酸基当量の比は１．２２であった。

【００４２】（ロ）感光性樹脂組成物の調整

【表２】 を配合し、三本ロールを用いて混練し、本発明の感光性
樹脂組成物の溶液を調整した。

【００４３】（ハ）硬化被膜の形成 上記（ロ）で得られた感光性樹脂組成物の溶液をＩＰＣ
基板（銅厚３５μｍ）前面にスクリーン塗工した。これ
を室温で２０分ついで８０℃で２０分間乾燥し、厚さ６
０μｍの感光層を形成した。

【００４４】次いで、ネガマスクを通してオーク製作所
株式会社製ＨＭＷ−２０１Ｂ型露光機を用い、４００mJ
/cm²で露光した。露光後、８０℃で５分間加熱し、常温
で３０分間放置した後、１％炭酸ナトリウム水溶液を用
いて、３０℃で６０秒間スプレー現像し、直ちに６０秒
間スプレー水洗した。次いで、１５０℃で３０分間加熱
処理してネガマスクに相応する寸法精度の優れた硬化被
膜（ソルダマスク）を得た。

【００４５】得られた硬化被膜を下記の組成を有し、７
２℃に加熱した無電解めっき浴に浸漬し、１０時間後め
っき浴から取り出し、水洗、乾燥後、評価した。

【表３】 ＩＰＣ銅上に１０μｍの銅が析出し、硬化被膜をセロフ
ァンテープで剥離試験したところ、被膜にはがれが全く
認められなかった。また、めっき後、ロジン系フラック
スＡ−２２６（タムラ化研社製）を用いて２６０℃で１
０秒間を３サイクル実施した結果、クラックの発生、被
膜のはがれが認められなかった。

【００４６】実施例２ （イ）オリゴマー溶液の合成

【表４】

【００４７】上記Ａ〜Ｃを用いた以外は実施例１（イ）
と同様にして、反応系の酸価３８、不揮発分５９重量％
のオリゴマー溶液を得た。このオリゴマーの不飽和カル
ボン酸の酸当量／エポキシ当量の比は１．０、酸当量／
水酸基当量の比は０．６６であった。

【００４８】（ロ）感光性樹脂組成物の調整

【表５】 を配合し、三本ロールを用いて混練し、本発明の感光性
樹脂組成物の溶液を調整した。以下、実施例１（ハ）と
同様にして、寸法精度、耐無電解銅めっき性、はんだ耐
熱性に優れた硬化被膜が得られた。

【００４９】実施例３

【表６】 を配合し、三本ロールで混練し、本発明の感光性樹脂組
成物を調整した。以下、実施例１（ハ）と同様にして、
寸法精度、耐無電解銅めっき性、はんだ耐熱性に優れた
硬化被膜が得られた。

【００５０】比較例１ 実施例１（ロ）の感光性樹脂組成物からＤのジシアンジ
アミドを除いて配合し、三本ロールを用いて混練した。
得られた感光性樹脂組成物の溶液を実施例１（ハ）と同
様にして得られた硬化被膜は、寸法精度、はんだ耐熱性
には優れるが、耐無電解銅めっき性に全く耐性がなく、
硬化被膜がはくりした。

【００５１】比較例２ 実施例２（ロ）の感光性樹脂組成物からＦのγ−アミノ
プロピルトリエトキシシランを除いて配合し、三本ロー
ルを用いて混練した。得られた感光性樹脂組成物の溶液
を実施例１（ハ）と同様にして得られた硬化被膜は、比
較例１と同様に、寸法精度、はんだ耐熱性には優れる
が、耐無電解銅めっき性に全く耐性がなく、硬化被膜が
はくりした。

【００５２】比較例３ 実施例２（ロ）の感光性樹脂組成物中、Ｃのイルガキュ
ア３６９をベンゾフェノンにして配合し、三本ロールを
用いて混練した。得られた感光性樹脂組成物の溶液を実
施例１（ハ）と同様にして得られた硬化被膜は、寸法精
度、はんだ耐熱性、耐無電解銅めっき性が劣った硬化被
膜しか得られなかった。

【００５３】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エ
レメントを用いることにより、安全性に優れたアルカリ
水溶液により現像でき、解像性、無電解銅めっき性に優
れ、さらにはんだ耐熱性にも優れた硬化被膜が得られ、
高信頼性のソルダマスクを形成することができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 服部 健治 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 鈴木 博之 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 吉田 哲也 茨城県日立市東町四丁目13番１号 日立化 成工業株式会社山崎工場内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）側鎖にカルボキシル基及び光反応
   性不飽和基を有し、アルカリ水溶液に可溶性であるオリ
   ゴマー、（ｂ）少なくとも２個のエポキシ基を有する化
   合物、（ｃ）２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−
   （４−モルホリノフェニル）−１−ブタン−１−オン、
   （ｄ）グアニジン系化合物及び（ｅ）シランカップリン
   グ剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
2. 【請求項２】 支持体フィルム上に請求項１記載の感光
   性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレメント。