JPH06160667A - 微小レンズの取付装置と取付方法 - Google Patents

微小レンズの取付装置と取付方法

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JPH06160667A JP31380292A JP31380292A JPH06160667A JP H06160667 A JPH06160667 A JP H06160667A JP 31380292 A JP31380292 A JP 31380292A JP 31380292 A JP31380292 A JP 31380292A JP H06160667 A JPH06160667 A JP H06160667A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 光ファイバ1の端面tに微小レンズ2を取り
付けるに際して、手作業によらず、迅速かつ正確な光軸
合わせを可能とする微小レンズ2の取付装置及び取付方
法を得る。 【構成】 微小レンズの取付装置が、吸引によって微小
レンズ2を保持する保持具7と、この保持具を搭載して
微小レンズ2を移動し得る三軸駆動装置8と、光ファイ
バ1と微小レンズ2との光軸ずれを検出する光軸ずれ検
出装置3,4,5と、検出された光軸のずれ量がゼロと
なるまで三軸駆動装置を駆動する制御装置9,10とを
有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバ、またはバン
ドルファイバ、イメージファイバなどの端面に微小レン
ズを取り付ける装置と方法に関するものであり、特に微
小レンズの光軸を、人手に頼らず正確かつ迅速に光ファ
イバの光軸と合致させることができる微小レンズの取付
装置と取付方法に関する。
【0002】
【従来の技術】照明、イメージ伝送、通信などの分野
で、光ファイバ、または光ファイバを複数本束ねて得ら
れるバンドルファイバ、またはバンドルファイバの入出
力端における各光ファイバの配列順序を規定したイメー
ジファイバなど(以下、これらを「光ファイバ」と総称
する)が広く用いられている。これらの光ファイバには
しばしば、集光、発散、コリメーションなどの結像機
能、または光分岐や光結合などの回路機能を実現する目
的で、光ファイバの端面に光学レンズ系が取り付けられ
る。従来の光学レンズ系の取り付けは、図3に示すよう
に、光ファイバ1の端末部の被覆15を除去し、除去し
た部分にレンズ固定用のスリーブ12を装着し、このス
リーブ内に光学レンズ系2を組み込む方法が一般的であ
った。
【0003】しかし光ファイバは、人体内や細孔などに
挿入して内部を観察する目的に使用されることも多く、
この場合には可能な限り細い挿入部が求められる。例え
ば、光ファイバの挿入部の外径がlmmを下回ることが
要求される場合もある。この場合には当然、端面の光学
レンズ系にも同程度の外径寸法が要求されるので、光フ
ァイバの外径より直径が大きいスリーブ12の使用は望
ましくない。そこでこの場合は、光ファイバの端面に直
接、光ファイバの外径を上回らない微小レンズを接着す
る方法がとられる。微小レンズとしては、例えば、直径
が1mmより小さいロッドレンズや球レンズなどが知ら
れている。光ファイバの端面に微小レンズを接着する場
合、光ファイバと微小レンズとのそれぞれの光軸がずれ
ると、集光の場合は焦点が出なくなり、イメージ伝送の
場合は視野内の収差が大きくなって画質が劣化するな
ど、不都合が生じるので、光軸合わせの作業は不可欠で
ある。
【0004】従来、光ファイバの端面に微小レンズを接
着するには、図4に示すように、端面tを上に向けて光
ファイバ1を支持台14に固定し、微小レンズ2をピン
セット13などで挟んで保持し、手作業で、これを光学
用接着剤が塗布された端面tに載せる方法が用いられて
いた。このとき、光ファイバ1と微小レンズ2との光軸
合わせは、この双方をテレビカメラ11によつて側方か
ら看視し、光ファイバ1と微小レンズ2との双方の位置
を目視によって確認しながら行われていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】手作業によって光ファ
イバの端面に微小レンズを接着する従来の方法には、さ
まざまな難点がある。特に、手作業で目視によって行う
上記の光軸合わせは、細心の注意を払ってもなお取付誤
差が大きく、製品の光軸精度のバラツキが大きかった。
また、この作業は、微小なレンズをピンセットによつて
作業者が直接保持し、テレビ画像を注視しながら行うの
で、熟練と集中力が要求されるばかりでなく、疲労度も
大きく、このことが作業効率を著しく低下させていた。
【0006】本発明は上記の問題を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、光ファイバの端面に微
小レンズを取り付けるに際して、手作業によらず、迅速
かつ正確な光軸合わせを可能とする微小レンズの取付装
置及び取付方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、光ファイ
バの端面に微小レンズを取り付ける装置であって、
(1)光ファイバの端面を固定する台座と、(2)微小
レンズを吸引して保持する保持具と、(3)この保持具
を搭載して、保持された微小レンズを直交三軸のいずれ
の方向にも移動し得る三軸駆動装置と、(4)上記の固
定された光ファイバの端面と微小レンズのレンズ面と
を、または端面と微小レンズによって結像される端面の
影像とを、その光軸方向から観察して光ファイバと微小
レンズとの光軸のずれを検出する光軸ずれ検出装置と、
(5)この光軸ずれ検出装置が検出した光軸のずれ量が
ゼロとなるまで三軸駆動装置を駆動する制御装置と、を
有してなる微小レンズの取付装置を提供することによっ
て解決できる。
【0008】また上記の課題は、光ファイバの端面に微
小レンズを取り付けるに際して、光ファイバの端部を固
定すると共に微小レンズを保持具に吸引して保持し、上
記の固定された光ファイバの端面と微小レンズのレンズ
面とを、または端面と微小レンズによって結像される端
面の影像とを、その光軸方向から観察して、光ファイバ
と微小レンズとの光軸のずれを検出し、このずれ量がゼ
ロとなるように、保持具に保持された微小レンズを移動
して、光ファイバの光軸と微小レンズの光軸とを合致さ
せる微小レンズの取付方法によって解決できる。
【0009】
【作用】本発明では、微小レンズを光ファイバに取り付
けるに際して、微小レンズが保持具の吸引の開始/停止
のみによって着脱自在に保持され、かつこの微小レンズ
は保持具が搭載されている三軸駆動装置によって直交三
軸のいずれの方向にも移動される。そして、この移動量
と移動方向は、光軸ずれ検出装置が検出した光ファイバ
と微小レンズとの光軸のずれから算出され、制御装置に
よって、このずれ量がゼロとなるように三軸駆動装置が
駆動される。この一連の動作が、固定された光ファイバ
に対して自動的に行われるので、微小レンズを光ファイ
バに、その双方の光軸を精密に合致させて取り付けるこ
とが可能となる。
【0010】ここで、光ファイバとは、光ファイバ単
線、バンドルファイバ、またはイメージファイバなどを
含む総称であって、その外周部が被覆されていてもよ
い。光ファイバの外径は特に限定されるものではない
が、本発明は、比較的細い光ファイバ、例えば外径1m
m程度のものに有効に適用できる。この光ファイバは、
その一端が光軸に垂直な平面で切断され、この切断面が
微小レンズを取り付けるための端面を形成している。微
小レンズは外径の小さい光学レンズ系であって、ロッド
レンズ、球レンズ、円柱レンズ、球面レンズ、非球面レ
ンズなど、用途に応じていずれも使用可能である。また
その外径も特に限定されるものではないが、使用される
光ファイバの外径に近似した外径を有するものが好まし
い。
【0011】光ファイバと微小レンズとの取り付けは、
一般的には、このいずれか一方、または双方を移動し行
うことができるが、本発明では、光ファイバの端部を台
座に固定しておき、微小レンズの方を移動する。このと
きの微小レンズの保持には保持具が用いられる。この保
持具は、例えば微小レンズの側面形状に応じたノズル状
の吸引口を有していて、この吸引口を微小レンズの側面
部に接触させ、負圧によって微小レンズを吸引口に吸着
させることができるものであって、吸引し続けているあ
いだは微小レンズを確実に吸着保持し、吸引を停止すれ
ば直ちに解放することができる。この形式の保持具は
「エアーピンセット」として知られ、1個の微小レンズ
を、例えば微小レンズのホルダーなどから摘出し、これ
を所定の位置(即ち、その光軸が光ファイバの光軸と合
致する端面位置)にまで移動し、かつ解放する一連の動
作を、吸引の開始、持続及び停止のみで行うことができ
る。
【0012】微小レンズの所定の位置までの移動は、こ
の保持具が搭載されている三軸駆動装置を駆動すること
によって行われる。ここで、三軸駆動装置とは、信号の
指示に基づき、直交するX,Y,Z三軸に沿って搭載物
を移動し得る装置であって、従来から各種の位置合わせ
などに用いられている例えばパルスステージなどが知ら
れている。この三軸駆動装置は、制御装置の指示に基づ
いて駆動される。この制御装置は、光軸ずれ検出装置に
よって得られる光ファイバと微小レンズとの光軸のずれ
量がゼロとなる方向に三軸駆動装置を駆動する。
【0013】光軸ずれ検出装置は、例えば顕微鏡やテレ
ビカメラと画像処理装置の組合せからなり、光ファイバ
の端面と微小レンズのレンズ面とを、その光軸方向から
観察して影像が得られるものであって、例えばそれらの
影像の中心点の平面位置をそれぞれ求め、光ファイバ端
面の中心点に対する微小レンズのレンズ面の中心点の平
面ずれ量(光ファイバ端面に平行な面内のずれ量)を光
軸ずれとして検出することができるものである。または
光軸ずれ検出装置は、上記の方法で光ファイバの端面の
中心点の平面位置を求め、次いで微小レンズによって結
像された端面の影像をその光軸方向から観察してこの影
像の中心点を求め、これら双方の中心点の平面ずれ量を
光軸ずれとして検出するものであってもよい。
【0014】制御装置は、例えばディスプレイを付属し
た制御用コンピュータ及び駆動装置コントローラからな
り、検出された光軸のずれ情報から、対応するベクトル
量を算出し、このベクトル(即ち、ずれの方向と量)が
ゼロとなるまで三軸駆動装置を駆動することができるも
のである。このベクトル量は、固定されている光ファイ
バの端面の光軸位置を収束点として求められる。駆動さ
れた三軸駆動装置には保持具を介して微小レンズが保持
されているから、これによって光ファイバと微小レンズ
との光軸合わせが実現される。このとき例えば光ファイ
バの端面に予め光学用接着剤を塗布しておき、この光軸
合わせと同時に、またはその後で光ファイバと微小レン
ズとの光軸合致関係を維持したまま双方を接触させ、次
いで保持具の吸引を停止すれば、微小レンズの光ファイ
バ端面への取り付けが終了する。
【0015】
【実施例】次に本発明の実施例を説明する。図1は本発
明の一実施例を示す構成図であって、符号1は光ファイ
バを、符号2は微小レンズを示している。この実施例の
取付装置は概略、顕微鏡3、テレビカメラ4及び11、
画像処理装置5、光源6、保持具7、三軸駆動装置8、
駆動装置コントローラ9、制御用コンピュータ10、及
び光ファイバの台座14から構成されている。光ファイ
バ1は、端面tを水平上向きにして、台座14に着脱自
在に固定される。
【0016】保持具7はエアーピンセットである。これ
は吸引によって微小レンズ2を保持した状態で、例えば
微小レンズの光軸に直角な軸を中心に回転できる機構を
有するものであることが好ましい。これは、光ファイバ
1を台座14に固定したときの取付角度の誤差、または
微小レンズ2を吸着したときの保持角度の誤差などによ
って、光ファイバの端面における光軸(以下、「端面光
軸」という)と、保持された微小レンズ2の光軸(以下
「レンズ光軸」という)とが平行でない場合も、そのず
れ角を回転によって平行に修正できるからである。この
保持具7は、三軸駆動装置8に搭載されている。
【0017】この実施例で、光軸ずれ検出装置は顕微鏡
3、テレビカメラ4、及び画像処理装置5からなり、顕
微鏡3とテレビカメラ4とは一体化されて、台座14に
固定された光ファイバ1の端面tの、間隔をへだてた上
方に配設されている。顕微鏡3は光ファイバ1の端面t
の影像と、光軸が端面光軸と平行に保持されている微小
レンズ2のレンズ面、またはこの微小レンズ2によって
結像される端面tの影像との観察に用いられ、顕微鏡3
による影像は、テレビカメラ4によって電気的画像情報
に変換され、画像処理装置5に入力される。
【0018】この光軸ずれ検出装置による光軸ずれの検
出は、例えば次の手順で行われる。まず、固定された光
ファイバ1の他方の端面から、光源6の光を入射する。
顕微鏡3の焦点を端面tに合わせると、透過光による端
面tの影像が顕微鏡3によってテレビカメラ4に結像す
る。この影像は画像処理装置5を経由して制御用コンピ
ュータ10のディスプレイ上に表示することができる。
この画像の一例を図2に示す。ここでは、ディスプレイ
画面c内に光ファイバの端面tが映写されている。この
画面cでは、光源6からの光が透過した、光ファイバ1
のコア部または画像伝送部aのみが明部となり、クラッ
ド部b及び視野周辺部は相対的に暗部となっている。こ
の明暗差を、適当な域値を設けて二値化し、二値化像を
微分すると、画像伝送部aの輪郭像が円として得られ
る。この円の中心点pを、端面tに平行な平面(これを
「XY平面」という)における座標原点とする。この原
点p(0,0)は光ファイバ1の光軸位置を示してい
る。この原点pを制御用コンピュータ10に記憶させ
る。
【0019】一方、エアーピンセット7と三軸駆動装置
8を作動し、ホルダー(図示せず)から1個の微小レン
ズ2を吸引して摘出し、これを端面tと顕微鏡3との間
隙、顕微鏡3の視野内に移動して保持する。このとき微
小レンズ2のレンズ光軸は、光ファイバ1の端面光軸と
平行に保持される。これは、微小レンズを格納するホル
ダーとエアーピンセット7の相対関係を調節し、またエ
アーピンセットを回転して、微小レンズ2の光軸の傾き
を微調整するなどによって実現できる。
【0020】次に、顕微鏡3を微小レンズ2の一方のレ
ンズ面に合焦する。このとき微小レンズは、端面tから
放射された光で照明されているから、レンズ面全体が明
部として観察できる。この画像についても、上記の光フ
ァイバ端面tの場合と同様に画像処理装置5において演
算処理して微小レンズ2の輪郭線を抽出し、その中心点
のXY平面における位置を求めれば、この点q(x,
y)が、上記微小レンズの光軸位置となる。この微小レ
ンズの光軸の位置q(x,y)と先に求めた端面tの光
軸位置p(0,0)とのずれが、この実施例における光
軸ずれである。
【0021】光軸ずれは、また例えば次の方法によって
も求めることができる。光ファイバの端面tの光軸位置
p(0,0)を求めるところは上記の実施例と同様であ
る。次に、光ファイバ1と顕微鏡3との間隙に微小レン
ズ2を配置し、この微小レンズ2によって結像される端
面tの影像に顕微鏡3を合焦し、ここに得られた影像を
画像処理装置5において演算処理して影像の中心点位置
q’(x’,y’)を求め、この点q’と原点pとのX
Y平面上のずれ量を光軸ずれとする。この第2の方法
は、ロッドレンズなどで、レンズ面の中心とレンズ光軸
とがずれている場合などには、特に有効である。
【0022】テレビカメラ11は、端面tと微小レンズ
2のレンズ面との垂直距離(これをzとする)を検出す
るためのものであって、端面tと微小レンズ2との側方
からの影像情報が画像処理装置5に送られてz値が算出
される。
【0023】制御装置は制御用コンピュータ10と駆動
装置コントローラ9からなる。これらは上記のずれ量
(x,y)または(x’,y’)とz値から、三軸駆動
装置をX,Y,Z軸に沿って駆動するための三次元ベク
トル量を決定し、この(x,y,z)または(x’,
y’,z)が原点(0,0,0)に収束するように指令
して三軸駆動装置8を駆動する。一方、三軸駆動装置8
の架台には、上記の保持具、エアーピンセット7が搭載
されている。従って、エアーピンセット7に保持された
微小レンズ2は、この指令によって移動し、その光軸が
光ファイバの光軸と合致し、かつ双方が接触したとき静
止する。光ファイバの端面tには予め光学用エポキシ樹
脂などの接着剤を塗布しておく。従って微小レンズ2の
レンズ面が端面tと接触したとき、エアーピンセット7
を、その吸引を停止して引き離しても、微小レンズ2は
端面tの上に安定に保持されている。この状態で接着剤
が硬化すれば、光ファイバ1と微小レンズ2との取り付
けは完了する。
【0024】この実施例の装置を用いたとき、いずれの
方法によっても、精密に光軸が合致した微小レンズ付き
の光ファイバが自動的に得られた。また、その生産性は
人手による場合と比較して高く、微小レンズと光ファイ
バとの光軸ずれのバラツキは小さかった。
【0025】
【発明の効果】本発明は、光ファイバの端面と微小レン
ズとの光軸ずれを光軸方向から観察して検出し、この光
軸ずれをゼロとするように微小レンズを移動するもので
あるので、光ファイバと微小レンズとの光軸を自動的に
合致させることができ、手作業によらず、迅速かつ正確
な微小レンズの取り付けが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の微小レンズ取付装置の一実施例を示
す構成図である。
【図2】 本発明の一実施例における表示画像を示す。
【図3】 従来の微小レンズ取付方法の一例を示す断面
図である。
【図4】 従来の微小レンズ取付方法の一例を示す説明
図である。
【符号の説明】
1…光ファイバ、2…微小レンズ、3…顕微鏡、4…テ
レビカメラ、5…画像処理装置、7…保持具、8…三軸
駆動装置、9…駆動装置コントローラ、10…制御用コ
ンピュータ、14…台座、t…端面。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ファイバの端面に微小レンズを取り付
    ける装置であって、光ファイバの端部を固定する台座
    と、微小レンズを吸引して保持する保持具と、この保持
    具を搭載して、保持された微小レンズを直交三軸のいず
    れの方向にも移動し得る三軸駆動装置と、上記の固定さ
    れた光ファイバの端面と微小レンズのレンズ面とを、ま
    たは端面と微小レンズによって結像される端面の影像と
    を、その光軸方向から観察して光ファイバと微小レンズ
    との光軸のずれを検出する光軸ずれ検出装置と、この光
    軸ずれ検出装置が検出した光軸のずれ量がゼロとなるま
    で三軸駆動装置を駆動する制御装置と、を有してなる微
    小レンズの取付装置。
  2. 【請求項2】 光ファイバの端面に微小レンズを取り付
    けるに際して、光ファイバの端部を固定すると共に微小
    レンズを保持具に吸引して保持し、上記の固定された光
    ファイバの端面と微小レンズのレンズ面とを、または端
    面と微小レンズによって結像される端面の影像とを、そ
    の光軸方向から観察して、光ファイバと微小レンズとの
    光軸のずれを検出し、このずれ量がゼロとなるように、
    保持具に保持された微小レンズを移動して、光ファイバ
    の光軸と微小レンズの光軸とを合致させることを特徴と
    する微小レンズの取付方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009301065A (ja) * 2009-09-28 2009-12-24 Mitsubishi Cable Ind Ltd 光ファイバ構造体の製造装置
JP2017072642A (ja) * 2015-10-05 2017-04-13 富士通株式会社 光学製品の製造方法および光学製品の製造装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5898716A (ja) * 1981-12-09 1983-06-11 Hitachi Cable Ltd 球レンズの実装方法
JPS60413A (ja) * 1983-06-16 1985-01-05 Sumitomo Electric Ind Ltd レンズ装荷方法
JPS6223003A (ja) * 1985-07-24 1987-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザダイボンデイングツ−ル
JPH02120815A (ja) * 1988-09-20 1990-05-08 Alcatel Nv 光送信機、受信機モジュール
JPH04326311A (ja) * 1991-04-26 1992-11-16 Sony Corp 光導波路端面結合装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5898716A (ja) * 1981-12-09 1983-06-11 Hitachi Cable Ltd 球レンズの実装方法
JPS60413A (ja) * 1983-06-16 1985-01-05 Sumitomo Electric Ind Ltd レンズ装荷方法
JPS6223003A (ja) * 1985-07-24 1987-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザダイボンデイングツ−ル
JPH02120815A (ja) * 1988-09-20 1990-05-08 Alcatel Nv 光送信機、受信機モジュール
JPH04326311A (ja) * 1991-04-26 1992-11-16 Sony Corp 光導波路端面結合装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009301065A (ja) * 2009-09-28 2009-12-24 Mitsubishi Cable Ind Ltd 光ファイバ構造体の製造装置
JP4704492B2 (ja) * 2009-09-28 2011-06-15 三菱電線工業株式会社 光ファイバ構造体の製造装置
JP2017072642A (ja) * 2015-10-05 2017-04-13 富士通株式会社 光学製品の製造方法および光学製品の製造装置

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