JP3303418B2 - 半導体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装置 - Google Patents
半導体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装置Info
- Publication number
- JP3303418B2 JP3303418B2 JP09359893A JP9359893A JP3303418B2 JP 3303418 B2 JP3303418 B2 JP 3303418B2 JP 09359893 A JP09359893 A JP 09359893A JP 9359893 A JP9359893 A JP 9359893A JP 3303418 B2 JP3303418 B2 JP 3303418B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- semiconductor laser
- optical
- core
- stripe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、半導体モジュ
ールの作製の際に行われる、半導体レーザと光ファイバ
との光学的結合方法およびその装置に関するものであ
る。
ールの作製の際に行われる、半導体レーザと光ファイバ
との光学的結合方法およびその装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】光半導体モジュールの作製等の際には、
半導体レーザと光ファイバの光学的結合を行う必要があ
る。半導体レーザと光ファイバの光学的結合は、図３に
示すように、まず、半導体レーザ１を駆動させ、ストラ
イプ出射端１３から半導体レーザ１の光を発振出射さ
せ、半導体レーザ１の上側に設けられた撮像カメラ５で
観察しながら光ファイバ４の入射側の先端１４をストラ
イプ出射端１３と一定の距離Ａを介して近づけ、光ファ
イバ４のコアに半導体レーザ１の光を入射する。次に、
光ファイバ４の出射側の端面１５に接続されている受光
検出モニタ１６により、光ファイバ４のコアから出射さ
れる光の強度を測定し、この光強度が最適値となるよう
に光ファイバ４の入射側の先端１４側を移動する。その
ことにより、半導体レーザ１と光ファイバ４コアの光軸
Ｚを合わせ、半導体レーザ１と光ファイバ４の相対位置
を調整し、半導体レーザ１と光ファイバ４との光学的結
合を行ってきた。
半導体レーザと光ファイバの光学的結合を行う必要があ
る。半導体レーザと光ファイバの光学的結合は、図３に
示すように、まず、半導体レーザ１を駆動させ、ストラ
イプ出射端１３から半導体レーザ１の光を発振出射さ
せ、半導体レーザ１の上側に設けられた撮像カメラ５で
観察しながら光ファイバ４の入射側の先端１４をストラ
イプ出射端１３と一定の距離Ａを介して近づけ、光ファ
イバ４のコアに半導体レーザ１の光を入射する。次に、
光ファイバ４の出射側の端面１５に接続されている受光
検出モニタ１６により、光ファイバ４のコアから出射さ
れる光の強度を測定し、この光強度が最適値となるよう
に光ファイバ４の入射側の先端１４側を移動する。その
ことにより、半導体レーザ１と光ファイバ４コアの光軸
Ｚを合わせ、半導体レーザ１と光ファイバ４の相対位置
を調整し、半導体レーザ１と光ファイバ４との光学的結
合を行ってきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
レーザ１と光ファイバ４のコアとの相対位置が光ファイ
バのトレランス（最適位置からのずれの許容範囲）から
ずれている場合は、半導体レーザ１のストライプ発光部
３の光を光ファイバ４のコアに少しでも入射させること
ができず、特に、光ファイバ４がシングルモードファイ
バの場合は、光ファイバのトレランスは数μｍと小さい
ために、半導体レーザ１のストライプ発光部３の光が光
ファイバ４のコアに入射する位置に光ファイバ４の入射
側先端１４側を移動させることは困難だった。
レーザ１と光ファイバ４のコアとの相対位置が光ファイ
バのトレランス（最適位置からのずれの許容範囲）から
ずれている場合は、半導体レーザ１のストライプ発光部
３の光を光ファイバ４のコアに少しでも入射させること
ができず、特に、光ファイバ４がシングルモードファイ
バの場合は、光ファイバのトレランスは数μｍと小さい
ために、半導体レーザ１のストライプ発光部３の光が光
ファイバ４のコアに入射する位置に光ファイバ４の入射
側先端１４側を移動させることは困難だった。
【０００４】また、半導体レーザ１のストライプ発光部
３の光が光ファイバ４のコアに入射する位置に光ファイ
バ４の先端１４側を移動させた後も、受光検出モニタ１
６により検出される光ファイバ４の出射光の強度が最適
値となるように光ファイバ４の先端１４側を移動し、半
導体レーザ１と光ファイバ４の相対位置を調整するには
時間がかかり、特に、半導体レーザ１と光ファイバ４の
相対位置が最適位置から大きくずれていた場合などは、
受光検出モニタ１６で検出される光ファイバ４出射光の
最適ピークを捜すには非常に時間がかかった。
３の光が光ファイバ４のコアに入射する位置に光ファイ
バ４の先端１４側を移動させた後も、受光検出モニタ１
６により検出される光ファイバ４の出射光の強度が最適
値となるように光ファイバ４の先端１４側を移動し、半
導体レーザ１と光ファイバ４の相対位置を調整するには
時間がかかり、特に、半導体レーザ１と光ファイバ４の
相対位置が最適位置から大きくずれていた場合などは、
受光検出モニタ１６で検出される光ファイバ４出射光の
最適ピークを捜すには非常に時間がかかった。
【０００５】また、光半導体モジュール作製等の目的で
半導体レーザ１と光ファイバ４の相対位置を最適位置に
て固定する場合に、半導体レーザ１と光ファイバ４の相
対位置を最適位置に調整した後、位置を固定する前に、
何らかの原因でその位置がずれてしまったりすると、そ
のずれの方向をすぐに検出する手段がないために半導体
レーザ１と光ファイバ４の相対位置の調整を最初からや
り直さなければならず、２度手間となり、非効率的であ
った。また、段差のある物を微小な距離を隔てて精密に
置くことは、ピントが合わないので難しい。
半導体レーザ１と光ファイバ４の相対位置を最適位置に
て固定する場合に、半導体レーザ１と光ファイバ４の相
対位置を最適位置に調整した後、位置を固定する前に、
何らかの原因でその位置がずれてしまったりすると、そ
のずれの方向をすぐに検出する手段がないために半導体
レーザ１と光ファイバ４の相対位置の調整を最初からや
り直さなければならず、２度手間となり、非効率的であ
った。また、段差のある物を微小な距離を隔てて精密に
置くことは、ピントが合わないので難しい。
【０００６】本発明は上記従来の課題を解決するために
なされたものであり、その目的は、半導体レーザと光フ
ァイバとの光学的結合を容易にし、効率的に行える半導
体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装
置を提供することにある。
なされたものであり、その目的は、半導体レーザと光フ
ァイバとの光学的結合を容易にし、効率的に行える半導
体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装
置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のように構成されている。すなわち、本
発明は、半導体レーザのストライプ出射端側に対向配置
する光ファイバを光軸のＺ軸方向とこのＺ軸に対して直
交するＸ軸およびＹ軸方向に移動する駆動機構に連係し
ておき、半導体レーザを駆動し発光させることにより該
半導体レーザの出射端側の外周面を通して見えるストラ
イプ発光部と光ファイバを半導体レーザの上面側とこれ
に直交する側面側の２方向から撮像カメラによって観察
し、各撮像カメラの画像を用いてストライプ発光部と光
ファイバコアのＸ軸方向とＹ軸方向のずれを検出し、こ
のずれを修正するＸ，Ｙ方向に駆動機構を移動して半導
体レーザと光ファイバコアとの相対位置を調整すること
を特徴として構成されている。前記光ファイバはマルチ
モードファイバや先球のシングルモードファイバであ
り、シングルモードファイバのコアの先端側はテーパ状
であることが望ましい。また、好ましくは、半導体レー
ザは上面に上面に前記半導体レーザの上面の面積よりも
小さい面積の電極を有している。また、本発明に係る半
導体レーザと光ファイバとの光学的結合装置は、半導体
レーザの駆動手段と、半導体レーザに対向配置される光
ファイバに連係した光ファイバ駆動機構と、前記半導体
レーザの駆動手段により駆動され発光して半導体レーザ
の外周面を通して見えるストライプ発光部と前記光ファ
イバとを上面側とこれに直交する側面側の２方向から撮
像する撮像カメラと、前記撮像カメラに接続された画像
処理部とを有し、前記画像処理部は、前記撮像カメラで
撮像された２方向からの画像を同一画面上に映し出し、
各画像から前記半導体レーザのストライプ発光部と光フ
ァイバコアとのずれ量を検出することを特徴とする。好
ましくは、前記画像処理部にはフィードバック制御部が
接続され、前記フィードバック制御部は光ファイバ駆動
機構に接続されて、前記画像処理部により検出されたず
れ量を修正する方向に前記光ファイバ駆動機構を移動さ
せるようにする。
に、本発明は次のように構成されている。すなわち、本
発明は、半導体レーザのストライプ出射端側に対向配置
する光ファイバを光軸のＺ軸方向とこのＺ軸に対して直
交するＸ軸およびＹ軸方向に移動する駆動機構に連係し
ておき、半導体レーザを駆動し発光させることにより該
半導体レーザの出射端側の外周面を通して見えるストラ
イプ発光部と光ファイバを半導体レーザの上面側とこれ
に直交する側面側の２方向から撮像カメラによって観察
し、各撮像カメラの画像を用いてストライプ発光部と光
ファイバコアのＸ軸方向とＹ軸方向のずれを検出し、こ
のずれを修正するＸ，Ｙ方向に駆動機構を移動して半導
体レーザと光ファイバコアとの相対位置を調整すること
を特徴として構成されている。前記光ファイバはマルチ
モードファイバや先球のシングルモードファイバであ
り、シングルモードファイバのコアの先端側はテーパ状
であることが望ましい。また、好ましくは、半導体レー
ザは上面に上面に前記半導体レーザの上面の面積よりも
小さい面積の電極を有している。また、本発明に係る半
導体レーザと光ファイバとの光学的結合装置は、半導体
レーザの駆動手段と、半導体レーザに対向配置される光
ファイバに連係した光ファイバ駆動機構と、前記半導体
レーザの駆動手段により駆動され発光して半導体レーザ
の外周面を通して見えるストライプ発光部と前記光ファ
イバとを上面側とこれに直交する側面側の２方向から撮
像する撮像カメラと、前記撮像カメラに接続された画像
処理部とを有し、前記画像処理部は、前記撮像カメラで
撮像された２方向からの画像を同一画面上に映し出し、
各画像から前記半導体レーザのストライプ発光部と光フ
ァイバコアとのずれ量を検出することを特徴とする。好
ましくは、前記画像処理部にはフィードバック制御部が
接続され、前記フィードバック制御部は光ファイバ駆動
機構に接続されて、前記画像処理部により検出されたず
れ量を修正する方向に前記光ファイバ駆動機構を移動さ
せるようにする。
【０００８】
【作用】上記構成の本発明において、半導体レーザのス
トライプ出射端側のストライプ発光部と光ファイバは、
半導体レーザの上面側とこれに直交する側面側の２方向
から撮像カメラによって観察される。各撮像カメラの画
像は画像処理部に表示され、この表示によりストライプ
発光部と光ファイバのコアのＸ軸方向とＹ軸方向のずれ
は検出される。この検出結果に基づいて、ずれを修正す
るＸ，Ｙ方向に駆動機構を移動することで半導体レーザ
と光ファイバコアとの相対位置が調整される。
トライプ出射端側のストライプ発光部と光ファイバは、
半導体レーザの上面側とこれに直交する側面側の２方向
から撮像カメラによって観察される。各撮像カメラの画
像は画像処理部に表示され、この表示によりストライプ
発光部と光ファイバのコアのＸ軸方向とＹ軸方向のずれ
は検出される。この検出結果に基づいて、ずれを修正す
るＸ，Ｙ方向に駆動機構を移動することで半導体レーザ
と光ファイバコアとの相対位置が調整される。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来と同一部分
には同一符号を付し、その重複説明は省略する。図１に
は、本発明に係る半導体レーザと光ファイバとの光学的
結合方法に用いる装置の一実施例が示されている。図１
において、サブマウント２６の上側には直方体状の半導
体レーザ１が搭載され、ボンディングされており、半導
体レーザ１の直上側には電極２がボンディングされてい
る。電極２の外周縁９と半導体レーザ１の上面の外周縁
１０との間の距離は２０μｍあり、その分だけ電極２の
面積は半導体レーザ１の上面の面積よりも小さくなって
いる。
する。なお、本実施例の説明において、従来と同一部分
には同一符号を付し、その重複説明は省略する。図１に
は、本発明に係る半導体レーザと光ファイバとの光学的
結合方法に用いる装置の一実施例が示されている。図１
において、サブマウント２６の上側には直方体状の半導
体レーザ１が搭載され、ボンディングされており、半導
体レーザ１の直上側には電極２がボンディングされてい
る。電極２の外周縁９と半導体レーザ１の上面の外周縁
１０との間の距離は２０μｍあり、その分だけ電極２の
面積は半導体レーザ１の上面の面積よりも小さくなって
いる。
【００１０】半導体レーザ１の内部にはストライプ発光
部３が設けられており、ストライプ発光部３は半導体レ
ーザ１駆動時に発光する光により、半導体レーザ１の外
側から半導体レーザ１の鏡面状態となっている外周面を
通して透けて見えるようになっている。
部３が設けられており、ストライプ発光部３は半導体レ
ーザ１駆動時に発光する光により、半導体レーザ１の外
側から半導体レーザ１の鏡面状態となっている外周面を
通して透けて見えるようになっている。
【００１１】半導体レーザ１のストライプ出射端１３側
には光ファイバ４が対向配置されており、光ファイバ４
は光ファイバ駆動機構２２に連係され、その光ファイバ
駆動機構２２により光ファイバ４の光軸Ｚ方向、及びそ
れに直交するＸ，Ｙ方向に自在に移動できるように構成
されている。光ファイバ４は先球のシングルモードファ
イバであり、そのコアの先端側はテーパ状になってい
る。
には光ファイバ４が対向配置されており、光ファイバ４
は光ファイバ駆動機構２２に連係され、その光ファイバ
駆動機構２２により光ファイバ４の光軸Ｚ方向、及びそ
れに直交するＸ，Ｙ方向に自在に移動できるように構成
されている。光ファイバ４は先球のシングルモードファ
イバであり、そのコアの先端側はテーパ状になってい
る。
【００１２】半導体レーザ１の上面側（図のＹ方向）に
は赤外線カメラである撮像カメラ５が設けられており、
半導体レーザ１のストライプ発光部３と光ファイバ４を
上面側から撮像できるようになっている。また、半導体
レーザ１の上面側を直交する側面手前側（図のＸ方向）
には赤外線カメラの撮像カメラ６が設けられており、撮
像カメラ５と同様に、半導体レーザ１のストライプ発光
部３と光ファイバを側面側から観察し、撮像できるよう
になっている。
は赤外線カメラである撮像カメラ５が設けられており、
半導体レーザ１のストライプ発光部３と光ファイバ４を
上面側から撮像できるようになっている。また、半導体
レーザ１の上面側を直交する側面手前側（図のＸ方向）
には赤外線カメラの撮像カメラ６が設けられており、撮
像カメラ５と同様に、半導体レーザ１のストライプ発光
部３と光ファイバを側面側から観察し、撮像できるよう
になっている。
【００１３】撮像カメラ５，６は画像処理部２０に接続
され、画像処理部２０はフィードバック制御部２１に接
続されている。画像処理部２０は撮像カメラ５，６で撮
像した各画像を同一の画面に同時に表示し、ストライプ
発光部３と光ファイバ４コアのＸ軸方向とＹ軸方向のず
れを検出する働きをしている。フィードバック制御部２
１は前記光ファイバ駆動機構２２に接続されていて、フ
ィードバック制御部２１は、画像処理部２０により検出
されたストライプ発光部３と光ファイバ４コアのＸ軸方
向とＹ軸方向のずれを修正する方向に、光ファイバ駆動
機構２２を移動させる働きをしている。
され、画像処理部２０はフィードバック制御部２１に接
続されている。画像処理部２０は撮像カメラ５，６で撮
像した各画像を同一の画面に同時に表示し、ストライプ
発光部３と光ファイバ４コアのＸ軸方向とＹ軸方向のず
れを検出する働きをしている。フィードバック制御部２
１は前記光ファイバ駆動機構２２に接続されていて、フ
ィードバック制御部２１は、画像処理部２０により検出
されたストライプ発光部３と光ファイバ４コアのＸ軸方
向とＹ軸方向のずれを修正する方向に、光ファイバ駆動
機構２２を移動させる働きをしている。
【００１４】以上のように本実施例は構成されており、
次にその動作について説明する。まず、半導体レーザ１
を駆動し、半導体レーザ１のストライプ発光部３からレ
ーザ光を発光させる。次に、撮像カメラ５，６のピント
をそれぞれストライプ発光部３に合わせ、撮像カメラ
５，６の各画像を画像処理部２０の画面に映し出す。
次にその動作について説明する。まず、半導体レーザ１
を駆動し、半導体レーザ１のストライプ発光部３からレ
ーザ光を発光させる。次に、撮像カメラ５，６のピント
をそれぞれストライプ発光部３に合わせ、撮像カメラ
５，６の各画像を画像処理部２０の画面に映し出す。
【００１５】画像処理部２０の画面には、図２に示すよ
うに、撮像カメラ５，６の各画像が同一画面に同時に表
示される。画面の上側半面には撮像カメラ５によって撮
像された、半導体レーザ１のストライプ出射端１３側と
光ファイバ４の入射側先端１４側のＸＺ平面の画像（上
面側から見た画像）が表示され、画面の下側半面には撮
像カメラ６によって撮像された、半導体レーザ１のスト
ライプ出射端１３側と光ファイバ４の入射側先端１４側
のＹＺ平面の画像（側面側から見た画像）が表示され
る。
うに、撮像カメラ５，６の各画像が同一画面に同時に表
示される。画面の上側半面には撮像カメラ５によって撮
像された、半導体レーザ１のストライプ出射端１３側と
光ファイバ４の入射側先端１４側のＸＺ平面の画像（上
面側から見た画像）が表示され、画面の下側半面には撮
像カメラ６によって撮像された、半導体レーザ１のスト
ライプ出射端１３側と光ファイバ４の入射側先端１４側
のＹＺ平面の画像（側面側から見た画像）が表示され
る。
【００１６】次に、光ファイバ駆動機構２２を作動さ
せ、光ファイバ４をＺ軸方向に移動させ、画像処理部２
０の画面を見ながら光ファイバ４の先端１４と半導体レ
ーザ１のストライプ出射端１３との距離が１０μｍとな
るように、光ファイバ４の入射側の先端１４側を半導体
レーザ１のストライプ出射端１３に近づける。
せ、光ファイバ４をＺ軸方向に移動させ、画像処理部２
０の画面を見ながら光ファイバ４の先端１４と半導体レ
ーザ１のストライプ出射端１３との距離が１０μｍとな
るように、光ファイバ４の入射側の先端１４側を半導体
レーザ１のストライプ出射端１３に近づける。
【００１７】次に、半導体レーザ１のストライプ発光部
３の光軸２３と光ファイバ４のコア１２の光軸２４のず
れを画像処理部２０により検出し、検出結果の信号をフ
ィードバック制御部２１に伝送する。
３の光軸２３と光ファイバ４のコア１２の光軸２４のず
れを画像処理部２０により検出し、検出結果の信号をフ
ィードバック制御部２１に伝送する。
【００１８】フィードバック制御部２１は画像処理部２
０から送られた信号に基づき、半導体レーザ１のストラ
イプ発光部３の光軸２３と光ファイバコア１２の光軸２
４とのずれを修正するＸＹ方向に光ファイバ駆動機構２
２を移動させる。この移動によりストライプ発光部３と
光ファイバコア１２の各光軸２３，２４が一致し、スト
ライプ発光部３の光がコア１２の中心に入射するような
方向に光ファイバ４が移動する。このようにして半導体
レーザ１と光ファイバコア１２との相対位置を調整し、
半導体レーザ１と光ファイバ４の光学的結合を行う。
０から送られた信号に基づき、半導体レーザ１のストラ
イプ発光部３の光軸２３と光ファイバコア１２の光軸２
４とのずれを修正するＸＹ方向に光ファイバ駆動機構２
２を移動させる。この移動によりストライプ発光部３と
光ファイバコア１２の各光軸２３，２４が一致し、スト
ライプ発光部３の光がコア１２の中心に入射するような
方向に光ファイバ４が移動する。このようにして半導体
レーザ１と光ファイバコア１２との相対位置を調整し、
半導体レーザ１と光ファイバ４の光学的結合を行う。
【００１９】以上のように、本実施例によれば、撮像カ
メラ５，６により半導体レーザ１のストライプ発光部３
と光ファイバ４のコアを半導体レーザ１の上面側と側面
側の２方向から観察して撮像し、撮像した画像を画像処
理部２０により同一画面上に同時に映し出して、半導体
レーザ１のストライプ発光部３の光軸２３と光ファイバ
４のコア１２の光軸２４のずれを検出するため、光軸２
３と光軸２４のＸ方向とＹ方向のずれを同時に検出する
ことができる。したがって、各光軸２３，２４のずれを
検出するために要する信号処理の時間も短くてすみ、短
時間で各光軸２３，２４のずれを検出することができ
る。
メラ５，６により半導体レーザ１のストライプ発光部３
と光ファイバ４のコアを半導体レーザ１の上面側と側面
側の２方向から観察して撮像し、撮像した画像を画像処
理部２０により同一画面上に同時に映し出して、半導体
レーザ１のストライプ発光部３の光軸２３と光ファイバ
４のコア１２の光軸２４のずれを検出するため、光軸２
３と光軸２４のＸ方向とＹ方向のずれを同時に検出する
ことができる。したがって、各光軸２３，２４のずれを
検出するために要する信号処理の時間も短くてすみ、短
時間で各光軸２３，２４のずれを検出することができ
る。
【００２０】また、その検出結果に基づき、フィードバ
ック制御部２１は各光軸２３，２４のずれが修正される
ように光ファイバ駆動機構２２を移動させ、光ファイバ
４を移動することにより、容易に光ファイバ４のコア１
２の光軸２４を半導体レーザ１のストライプ発光部３の
光軸２３と一致させることができる。したがって、従来
例のように、半導体レーザ１と光ファイバコア１２との
相対位置の調整に時間がかかることなく、短時間で調整
することができる。
ック制御部２１は各光軸２３，２４のずれが修正される
ように光ファイバ駆動機構２２を移動させ、光ファイバ
４を移動することにより、容易に光ファイバ４のコア１
２の光軸２４を半導体レーザ１のストライプ発光部３の
光軸２３と一致させることができる。したがって、従来
例のように、半導体レーザ１と光ファイバコア１２との
相対位置の調整に時間がかかることなく、短時間で調整
することができる。
【００２１】また、半導体レーザ１と光ファイバコア１
２との相対位置の調整後、光ファイバ４を固定する際
に、何らかの原因で光ファイバ４の位置が微妙にずれた
場合にも、撮像カメラ５，６の観察によりずれた方向を
即座に知ることができ、それにより、すぐにずれを修正
することができるため、半導体レーザ１と光ファイバコ
ア１２との位置ずれの修正も効率良く行うことができ
る。
２との相対位置の調整後、光ファイバ４を固定する際
に、何らかの原因で光ファイバ４の位置が微妙にずれた
場合にも、撮像カメラ５，６の観察によりずれた方向を
即座に知ることができ、それにより、すぐにずれを修正
することができるため、半導体レーザ１と光ファイバコ
ア１２との位置ずれの修正も効率良く行うことができ
る。
【００２２】また、半導体レーザ１のストライプ出射端
１３を光ファイバ４の入射側の先端１４側を近づける時
にも、撮像カメラ５，６により２方向から観察すること
ができるために、ストライプ出射端１３と光ファイバ４
の入射側の先端１４側との距離を正確に測定することが
でき、そのための操作も容易に行うことができる。
１３を光ファイバ４の入射側の先端１４側を近づける時
にも、撮像カメラ５，６により２方向から観察すること
ができるために、ストライプ出射端１３と光ファイバ４
の入射側の先端１４側との距離を正確に測定することが
でき、そのための操作も容易に行うことができる。
【００２３】なお、本発明の構成は上記実施例に限定さ
れることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例え
ば、上記実施例で用いた光ファイバ４は先球のシングル
モードファイバであり、そのコア１２は先端側がテーパ
状になっていたが、光ファイバ４はマルチモードファイ
バでもよく、その形状も先球光ファイバとは限らず、コ
ア１２の先端側がテーパ状になっているもの以外の光フ
ァイバ４を用いた場合にも本発明を適用させることがで
きる。但し、本実施例で用いたシングルモードファイバ
４は非常に極細であり、半導体レーザ１との光結合の位
置合わせが特に難しい光ファイバであるので、このよう
な光ファイバ４の光結合を容易に短時間で行える本発明
によれば、光ファイバ４の種類や形状を変えた場合に
も、より容易に短時間で半導体レーザ１との光結合を行
うことができる。
れることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例え
ば、上記実施例で用いた光ファイバ４は先球のシングル
モードファイバであり、そのコア１２は先端側がテーパ
状になっていたが、光ファイバ４はマルチモードファイ
バでもよく、その形状も先球光ファイバとは限らず、コ
ア１２の先端側がテーパ状になっているもの以外の光フ
ァイバ４を用いた場合にも本発明を適用させることがで
きる。但し、本実施例で用いたシングルモードファイバ
４は非常に極細であり、半導体レーザ１との光結合の位
置合わせが特に難しい光ファイバであるので、このよう
な光ファイバ４の光結合を容易に短時間で行える本発明
によれば、光ファイバ４の種類や形状を変えた場合に
も、より容易に短時間で半導体レーザ１との光結合を行
うことができる。
【００２４】また、上記実施例では、半導体レーザ１の
上面の外周縁１０と電極２の外周縁９との間の距離を２
０μｍとしたが、この距離は２０μｍ以上であればよ
く、電極２の面積が電極２としての機能を果たす大きさ
であれば、電極２の外周縁９と半導体レーザ１の上面の
外周縁１０の距離は大きく隔ててあっても構わない。
上面の外周縁１０と電極２の外周縁９との間の距離を２
０μｍとしたが、この距離は２０μｍ以上であればよ
く、電極２の面積が電極２としての機能を果たす大きさ
であれば、電極２の外周縁９と半導体レーザ１の上面の
外周縁１０の距離は大きく隔ててあっても構わない。
【００２５】さらに、上記実施例では、撮像カメラ６を
半導体レーザ１の上面側と直交する側面手前側に設けた
が、撮像カメラ６は半導体レーザ１の上面側と直交する
側面で半導体レーザ１の奥側に設けるように構成しても
よい。
半導体レーザ１の上面側と直交する側面手前側に設けた
が、撮像カメラ６は半導体レーザ１の上面側と直交する
側面で半導体レーザ１の奥側に設けるように構成しても
よい。
【００２６】また、上記実施例では、半導体レーザ１は
サブマウント２６に搭載し、ボンディングされていた
が、半導体レーザ１はサブマウント２６に搭載されてい
るとは限らず、ステム等に搭載されていてもよいし、搭
載された後にボンディングされていなくてもよく、例え
ば半田等により実装されていてもよい。
サブマウント２６に搭載し、ボンディングされていた
が、半導体レーザ１はサブマウント２６に搭載されてい
るとは限らず、ステム等に搭載されていてもよいし、搭
載された後にボンディングされていなくてもよく、例え
ば半田等により実装されていてもよい。
【００２７】さらに、上記実施例では、撮像カメラ５，
６の画像を画像処理部２０に表示し、フィードバック制
御部２１の制御により光ファイバ駆動機構２２を駆動、
制御していたが、フィードバック制御部２１は必ずしも
設ける必要はなく、画像処理部２０の表示に従い、手動
により光ファイバ駆動機構２２を駆動させてもよい。
６の画像を画像処理部２０に表示し、フィードバック制
御部２１の制御により光ファイバ駆動機構２２を駆動、
制御していたが、フィードバック制御部２１は必ずしも
設ける必要はなく、画像処理部２０の表示に従い、手動
により光ファイバ駆動機構２２を駆動させてもよい。
【００２８】さらにまた、上記実施例では、撮像カメラ
５，６の画像を画像処理部２０で同一の画面に同時に表
示したが、同一の画面にスイッチの切り換え等により別
々に表示するように構成してもよく、また、撮像カメラ
５用と撮像カメラ６用との別々の画面を設けて表示して
もよい。但し、これらの場合は、半導体レーザ１のスト
ライプ発光部３の光軸２３と光ファイバ４のコア１２の
光軸２４とのずれを検出するために行われる信号処理の
時間は、撮像カメラ５，６の画像を同一画面に同時に表
示する場合に比べると多少長くかかる。
５，６の画像を画像処理部２０で同一の画面に同時に表
示したが、同一の画面にスイッチの切り換え等により別
々に表示するように構成してもよく、また、撮像カメラ
５用と撮像カメラ６用との別々の画面を設けて表示して
もよい。但し、これらの場合は、半導体レーザ１のスト
ライプ発光部３の光軸２３と光ファイバ４のコア１２の
光軸２４とのずれを検出するために行われる信号処理の
時間は、撮像カメラ５，６の画像を同一画面に同時に表
示する場合に比べると多少長くかかる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、半導体レーザの上面側
とこれに直交する側面側の２方向から撮像カメラによっ
て観察し、各撮像カメラの画像を用いてストライプ発光
部と光ファイバコアのＸ軸方向とＹ軸方向のずれを検出
するため、このずれは容易に短時間で検出することがで
きる。また、この検査結果に基づき、このずれを修正す
るＸ，Ｙ方向に駆動機構を移動して半導体レーザと光フ
ァイバコアとの相対位置を調整するため、調整は容易
で、調整にかかる時間は短時間ですむ。
とこれに直交する側面側の２方向から撮像カメラによっ
て観察し、各撮像カメラの画像を用いてストライプ発光
部と光ファイバコアのＸ軸方向とＹ軸方向のずれを検出
するため、このずれは容易に短時間で検出することがで
きる。また、この検査結果に基づき、このずれを修正す
るＸ，Ｙ方向に駆動機構を移動して半導体レーザと光フ
ァイバコアとの相対位置を調整するため、調整は容易
で、調整にかかる時間は短時間ですむ。
【００３０】また、半導体レーザと光ファイバを固定す
る際に、一度半導体レーザと光ファイバコアとの相対位
置を調整した後に、固定前にその位置が微妙にずれた時
には撮像カメラによってそのずれを即座に検出し、すぐ
にずれを修正することができる。したがって、本発明を
用いることにより、半導体レーザと光ファイバとの光学
的結合を容易に、効率的に行うことができ、光半導体モ
ジュールの作製等の際にも組立の時間を大幅に省くこと
ができる。
る際に、一度半導体レーザと光ファイバコアとの相対位
置を調整した後に、固定前にその位置が微妙にずれた時
には撮像カメラによってそのずれを即座に検出し、すぐ
にずれを修正することができる。したがって、本発明を
用いることにより、半導体レーザと光ファイバとの光学
的結合を容易に、効率的に行うことができ、光半導体モ
ジュールの作製等の際にも組立の時間を大幅に省くこと
ができる。
【図１】本発明に係る半導体レーザと光ファイバの光学
的結合に用いる装置の一実施例を示すブロック構成図で
ある。
的結合に用いる装置の一実施例を示すブロック構成図で
ある。
【図２】上記装置の画像処理部の画面に映し出された撮
像カメラの画像を示す説明図である。
像カメラの画像を示す説明図である。
【図３】半導体レーザと光ファイバの従来の光学的結合
方法を示す説明図である。
方法を示す説明図である。
１ 半導体レーザ ２ 電極 ３ ストライプ発光部 ４ 光ファイバ ５，６ 撮像カメラ １２ コア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−197906（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−43413（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−158620（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−91312（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/42
Claims (7)
- 【請求項１】 半導体レーザのストライプ出射端側に対
向配置する光ファイバを光軸のＺ軸方向とこのＺ軸に対
して直交するＸ軸およびＹ軸方向に移動する駆動機構に
連係しておき、半導体レーザを駆動し発光させることに
より該半導体レーザの出射端側の外周面を通して見える
ストライプ発光部と光ファイバを半導体レーザの上面側
とこれに直交する側面側の２方向から撮像カメラによっ
て観察し、各撮像カメラの画像を用いてストライプ発光
部と光ファイバコアのＸ軸方向とＹ軸方向のずれを検出
し、このずれを修正するＸ，Ｙ方向に駆動機構を移動し
て半導体レーザと光ファイバコアとの相対位置を調整す
る半導体レーザと光ファイバとの光学的結合方法。 - 【請求項２】 光ファイバが先球のシングルモードファ
イバであることを特徴とする請求項１記載の半導体レー
ザと光ファイバとの光学的結合方法。 - 【請求項３】 シングルモードファイバのコアの先端側
がテーパ状である請求項２記載の半導体レーザと光ファ
イバとの光学的結合方法。 - 【請求項４】 光ファイバがマルチモードファイバであ
る請求項１記載の半導体レーザと光ファイバとの光学的
結合方法。 - 【請求項５】 半導体レーザは上面に前記半導体レーザ
の上面の面積よりも小さい面積の電極を有している請求
項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の半導体レーザ
と光ファイバとの光学的結合方法。 - 【請求項６】 半導体レーザの駆動手段と、半導体レー
ザに対向配置される光ファイバに連係した光ファイバ駆
動機構と、前記半導体レーザの駆動手段により駆動され
発光して半導体レーザの外周面を通して見えるストライ
プ発光部と前記光ファイバとを上面側とこれに直交する
側面側の２方向から撮像する撮像カメラと、前記撮像カ
メラに接続された画像処理部とを有し、前記画像処理部
は、前記撮像カメラで撮像された２方向からの画像を同
一画面上に映し出し、各画像から前記半導体レーザのス
トライプ発光部と光ファイバコアとのずれ量を検出する
ことを特徴とする半導体レーザと光ファイバとの光学的
結合装置。 - 【請求項７】 画像処理部にはフィードバック制御部が
接続され、前記フィードバック制御部は光ファイバ駆動
機構に接続されて、前記画像処理部により検出されたず
れ量を修正する方向に前記光ファイバ駆動機構を移動さ
せることを特徴とする請求項６記載の半導体レーザと光
ファイバとの光学的結合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09359893A JP3303418B2 (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 半導体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09359893A JP3303418B2 (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 半導体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06281846A JPH06281846A (ja) | 1994-10-07 |
| JP3303418B2 true JP3303418B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=14086759
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09359893A Expired - Fee Related JP3303418B2 (ja) | 1993-03-29 | 1993-03-29 | 半導体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3303418B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2842310B2 (ja) * | 1995-07-27 | 1999-01-06 | 日本電気株式会社 | 光モジュール光軸調整装置及び方法 |
| KR100466378B1 (ko) * | 2002-06-07 | 2005-01-13 | 주식회사 이오테크닉스 | 광통신 모듈 제조과정에서의 광학소자와 광섬유 정렬 방법 |
| US7376312B2 (en) | 2002-11-05 | 2008-05-20 | Rohm Co., Ltd. | Optical module and method for manufacturing the same |
| JP5698277B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2015-04-08 | 株式会社フジクラ | 光結合方法及びコネクタ付きケーブルの製造方法 |
| JP7128926B1 (ja) * | 2021-03-18 | 2022-08-31 | Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 | 光ファイバ接続システム、光ファイバ接続制御装置及び光ファイバ接続方法 |
-
1993
- 1993-03-29 JP JP09359893A patent/JP3303418B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06281846A (ja) | 1994-10-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7190329B2 (en) | Apparatus for remotely imaging a region | |
| EP0762092B1 (en) | Optical source position adjustment device | |
| US5383118A (en) | Device alignment methods | |
| US20070165016A1 (en) | Apparatus, system, and method for capturing an image with a scanned beam of light | |
| US10848721B2 (en) | Laser projection device and laser projection system | |
| JPH04309907A (ja) | 光半導体素子モジュールの製造方法 | |
| US6504611B2 (en) | Two stage optical alignment device and method of aligning optical components | |
| JP3303418B2 (ja) | 半導体レーザと光ファイバとの光学的結合方法およびその装置 | |
| JP4514316B2 (ja) | 半導体レーザモジュールの製造方法 | |
| JP2002043673A (ja) | 光モジュール組立方法及び組立装置 | |
| JP2581257B2 (ja) | 光半導体素子モジユールの製造方法 | |
| JP2005227677A (ja) | 光走査装置及びそれを有する画像表示装置 | |
| CA2387740C (en) | Linked scanner imaging system and method | |
| US6680461B2 (en) | Nozzle system for laser machining | |
| JP2518078B2 (ja) | 光半導体素子モジュ―ルの製造方法 | |
| JPH0219810A (ja) | 光回路部品の組立装置 | |
| JP3131826B2 (ja) | 正立・分岐光学系 | |
| JPH09138328A (ja) | 光半導体モジュールの製造装置 | |
| JPH03259691A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH0763941A (ja) | 光ファイバ接続装置 | |
| JPH03264836A (ja) | 光軸アライメント装置 | |
| JP3128920B2 (ja) | 光空間伝送装置 | |
| JP2021148812A (ja) | プロジェクター | |
| JP3366728B2 (ja) | 光ファイバの観察装置 | |
| JP2000171293A (ja) | 投受光装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090510 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100510 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110510 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |