JP2842310B2 - 光モジュール光軸調整装置及び方法 - Google Patents
光モジュール光軸調整装置及び方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光モジュール光軸調整装
置及び方法に関し、特に半導体レーザと光ファイバの光
軸合わせを行う光モジュール光軸調整装置及び方法に関
する。
置及び方法に関し、特に半導体レーザと光ファイバの光
軸合わせを行う光モジュール光軸調整装置及び方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の光モジュール光軸調整方法として
は特開平１−１８０５０７に示されているものがある。
は特開平１−１８０５０７に示されているものがある。
【０００３】従来の光軸調整方法は、図４（ａ）に示す
ようにＬＤモジュール１７をその出射光軸を基本光軸に
ほぼ平行となるように固定し、光ファイバの一端（光フ
ァイバ１６）をＬＤモジュール１７の出射光軸上で受光
面をＬＤモジュール１７に近接させて保持した状態でＬ
Ｄモジュール１７の出射光が光ファイバを透過した光を
センサ（図示略）でモニタしながら、基本光軸に直角で
互いに直交する二方向のＸＹ方向を走査するように光フ
ァイバ１６を移動させ前記センサの出力が最大となるよ
うに光ファイバ１６を位置させる面サーチ工程と、この
面サーチ工程の次に図４（ｂ）に示すように行う前記基
本光軸を含み互いに直交する二平面上で光ファイバ１６
を受光面を中心に回転させ、前記センサの出力が最大と
なる角度にし図４（ｃ）に示す状態に調整する角度サー
チ工程と、この角度サーチ工程の次に図４（ｄ）に示す
ように行う前記基本光軸方向に光ファイバ１６を移動さ
せ、さらに前記基本光軸方向に直角な二方向に面サーチ
を行い前記センサの出力が最大となる位置に光ファイバ
１６とＬＤモジュール１７との間隔を調整する焦点サー
チ工程とを含む光軸粗調整を行い、この後にさらに光フ
ァイバ１６をＸ、Ｙ方向に光軸粗調整の時よりも小さい
間隔で移動させ前記センサの出力が最大となる位置に光
ファイバ１６を精密調整する。
ようにＬＤモジュール１７をその出射光軸を基本光軸に
ほぼ平行となるように固定し、光ファイバの一端（光フ
ァイバ１６）をＬＤモジュール１７の出射光軸上で受光
面をＬＤモジュール１７に近接させて保持した状態でＬ
Ｄモジュール１７の出射光が光ファイバを透過した光を
センサ（図示略）でモニタしながら、基本光軸に直角で
互いに直交する二方向のＸＹ方向を走査するように光フ
ァイバ１６を移動させ前記センサの出力が最大となるよ
うに光ファイバ１６を位置させる面サーチ工程と、この
面サーチ工程の次に図４（ｂ）に示すように行う前記基
本光軸を含み互いに直交する二平面上で光ファイバ１６
を受光面を中心に回転させ、前記センサの出力が最大と
なる角度にし図４（ｃ）に示す状態に調整する角度サー
チ工程と、この角度サーチ工程の次に図４（ｄ）に示す
ように行う前記基本光軸方向に光ファイバ１６を移動さ
せ、さらに前記基本光軸方向に直角な二方向に面サーチ
を行い前記センサの出力が最大となる位置に光ファイバ
１６とＬＤモジュール１７との間隔を調整する焦点サー
チ工程とを含む光軸粗調整を行い、この後にさらに光フ
ァイバ１６をＸ、Ｙ方向に光軸粗調整の時よりも小さい
間隔で移動させ前記センサの出力が最大となる位置に光
ファイバ１６を精密調整する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光軸調
整方法は、角度サーチ、焦点サーチの前に、光ファイバ
にＬＤモジュールから出射されるレーザビームを導入す
るために面サーチを行う必要がある。この面サーチはレ
ーザビームが位置する可能性のある範囲すべてにわたっ
て光ファイバをＸＹ方向に走査し、光ファイバを透過す
る光量が最大となる光ファイバの位置を見つけるもので
あるが、一般にＬＤモジュールのレーザビームの位置は
ＬＤベレットのマウントのばらつきやレーザビームを集
光するレンズの搭載のばらつきなどによって数１０〜数
１００μｍの範囲でばらついてしまう。
整方法は、角度サーチ、焦点サーチの前に、光ファイバ
にＬＤモジュールから出射されるレーザビームを導入す
るために面サーチを行う必要がある。この面サーチはレ
ーザビームが位置する可能性のある範囲すべてにわたっ
て光ファイバをＸＹ方向に走査し、光ファイバを透過す
る光量が最大となる光ファイバの位置を見つけるもので
あるが、一般にＬＤモジュールのレーザビームの位置は
ＬＤベレットのマウントのばらつきやレーザビームを集
光するレンズの搭載のばらつきなどによって数１０〜数
１００μｍの範囲でばらついてしまう。
【０００５】一方、光ファイバのコア径はシングルモー
ドの場合高々１０μｍ程度であり、ＬＤモジュールから
出射させるレーザビームもフォーカス位置では１０μｍ
程度であるため、面サーチの際のＸＹ走査の間隔は１０
μｍ以下でなくてはならない。たとえば、５００×５０
０μｍの範囲を１０μｍ間隔で面サーチするには、２５
００回のステージ移動と光パワー計測が必要となる。
ドの場合高々１０μｍ程度であり、ＬＤモジュールから
出射させるレーザビームもフォーカス位置では１０μｍ
程度であるため、面サーチの際のＸＹ走査の間隔は１０
μｍ以下でなくてはならない。たとえば、５００×５０
０μｍの範囲を１０μｍ間隔で面サーチするには、２５
００回のステージ移動と光パワー計測が必要となる。
【０００６】このため、従来の光モジュール光軸調整方
法は、最初に光ファイバにレーザビームを導入するため
の面サーチに時間が掛かり、ＬＤモジュールと光ファイ
バの光軸調整には長時間を要する欠点があり、この光モ
ジュール光軸調整方法の欠点が光モジュール組立の生産
性が上がらない原因となっている。
法は、最初に光ファイバにレーザビームを導入するため
の面サーチに時間が掛かり、ＬＤモジュールと光ファイ
バの光軸調整には長時間を要する欠点があり、この光モ
ジュール光軸調整方法の欠点が光モジュール組立の生産
性が上がらない原因となっている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の光モジュール光
軸調整装置は、ＬＤモジュールを固定するＬＤチャック
と、前記ＬＤチャックを搭載してＸＹ方向に移動させる
ステージと、光ファイバの入射端をこのステージにより
光軸合わせ用位置に位置決めされた前記ＬＤモジュール
に対応する位置に固定するファイバチャックと、前記ス
テージによりレーザスポット位置測定用位置に位置決め
された前記ＬＤモジュールのレーザスポットを投影し光
軸とファイバチャックに固定された光ファイバの入射端
の光軸との相対位置が既知であるレンズと、前記レンズ
に関し前記レーザスポットと共役な位置に配置されたピ
ンホールと、前記レンズと前記ピンホールの間に配置さ
れレーザスポット位置決め用位置に位置決めされたＬＤ
モジュールからのレーザビームを２軸方向に偏向走査す
るレーザビーム走査器と、前記ピンホールを通過する前
記レーザビームの強度を測定するレーザビーム検出素子
とを備えている。
軸調整装置は、ＬＤモジュールを固定するＬＤチャック
と、前記ＬＤチャックを搭載してＸＹ方向に移動させる
ステージと、光ファイバの入射端をこのステージにより
光軸合わせ用位置に位置決めされた前記ＬＤモジュール
に対応する位置に固定するファイバチャックと、前記ス
テージによりレーザスポット位置測定用位置に位置決め
された前記ＬＤモジュールのレーザスポットを投影し光
軸とファイバチャックに固定された光ファイバの入射端
の光軸との相対位置が既知であるレンズと、前記レンズ
に関し前記レーザスポットと共役な位置に配置されたピ
ンホールと、前記レンズと前記ピンホールの間に配置さ
れレーザスポット位置決め用位置に位置決めされたＬＤ
モジュールからのレーザビームを２軸方向に偏向走査す
るレーザビーム走査器と、前記ピンホールを通過する前
記レーザビームの強度を測定するレーザビーム検出素子
とを備えている。
【０００８】本発明の光モジュール光軸調整方法は、Ｌ
Ｄモジュールを固定するＬＤチャックと、前記ＬＤチャ
ックを搭載してＸＹ方向に移動させるステージと、光フ
ァイバの入射端をこのステージにより光軸合わせ用位置
に位置決めされた前記ＬＤモジュールに対応する位置に
固定するファイバチャックと、前記ステージによりレー
ザスポット位置測定用位置に位置決めされた前記ＬＤモ
ジュールのレーザスポットの結像面に配置された中心と
ファイバチャックに固定された光ファイバの入射端の光
軸との相対位置が既知である十字スリットと、前記十字
スリットを通過したレーザスポット位置決め用位置に位
置決めされたＬＤモジュールからのレーザビームの強度
を測定するレーザビーム検出素子とを備えている。
Ｄモジュールを固定するＬＤチャックと、前記ＬＤチャ
ックを搭載してＸＹ方向に移動させるステージと、光フ
ァイバの入射端をこのステージにより光軸合わせ用位置
に位置決めされた前記ＬＤモジュールに対応する位置に
固定するファイバチャックと、前記ステージによりレー
ザスポット位置測定用位置に位置決めされた前記ＬＤモ
ジュールのレーザスポットの結像面に配置された中心と
ファイバチャックに固定された光ファイバの入射端の光
軸との相対位置が既知である十字スリットと、前記十字
スリットを通過したレーザスポット位置決め用位置に位
置決めされたＬＤモジュールからのレーザビームの強度
を測定するレーザビーム検出素子とを備えている。
【０００９】本発明の光モジュール光軸調整方法は、レ
ーザスポット位置測定用位置に固定したＬＤモジュール
のレーザビームをレーザビーム走査器で２軸方向に偏向
走査し、このレーザビーム走査器で偏向走査されたレー
ザビームを入射して前記ＬＤモジュールのレーザスポッ
トレンズで投影し、このレンズに関し前記レーザスポッ
トと共役な位置に配列されたピンホールを通過する前記
レーザビームの強度を前記レーザビーム検出素子で測定
し、このレーザビーム検出素子が前記レーザビーム走査
器による走査中に前記レーザビームの最大の強度を測定
した時の前記レンズの光軸に対する前記レーザスポット
の相対位置を前記レンズの光軸と光軸合わせ用位置に固
定された光ファイバの入射端の光軸との相対位置に加え
た分だけ前記ＬＤモジュールを移動させることを特徴と
する。
ーザスポット位置測定用位置に固定したＬＤモジュール
のレーザビームをレーザビーム走査器で２軸方向に偏向
走査し、このレーザビーム走査器で偏向走査されたレー
ザビームを入射して前記ＬＤモジュールのレーザスポッ
トレンズで投影し、このレンズに関し前記レーザスポッ
トと共役な位置に配列されたピンホールを通過する前記
レーザビームの強度を前記レーザビーム検出素子で測定
し、このレーザビーム検出素子が前記レーザビーム走査
器による走査中に前記レーザビームの最大の強度を測定
した時の前記レンズの光軸に対する前記レーザスポット
の相対位置を前記レンズの光軸と光軸合わせ用位置に固
定された光ファイバの入射端の光軸との相対位置に加え
た分だけ前記ＬＤモジュールを移動させることを特徴と
する。
【００１０】本発明の光モジュール光軸調整方法は、レ
ーザスポット位置測定用位置に固定したＬＤモジュール
のレーザスポットの結像面に配置された十字スリットを
通過した前記ＬＤモジュールからのレーザビームの強度
を測定し、前記ＬＤモジュールを下記の座標からなる位
置（Ｘｍａｘ，Ｙｍａｘ）から前記十字スリットの中心
と光軸合わせ用位置に固定された光ファイバの入射端の
光軸の相対位置だけ移動させて前記ＬＤモジュールと前
記光ファイバの入射端との光軸を合わせることを特徴と
する。 座標Ｘｍａｘ：前記ＬＤモジュールを前記十字スリット
の下方で前記十字スリットの一方の直線状スリットの方
向であるＸ軸の方向に移動した時に前記十字スリットを
通過した前記レーザビームの最大強度を検出した時の前
記ＬＤモジュールの前記Ｘ軸上の座標。 座標Ｙｍａｘ：前記ＬＤモジュールを前記十字スリット
の下方で前記十字スリットの他方の直線状スリットの方
向であるＹ軸の方向に移動した時に前記十字スリットを
通過した前記レーザビームの最大強度を検出した時の前
記ＬＤモジュールの前記Ｙ軸上の座標。
ーザスポット位置測定用位置に固定したＬＤモジュール
のレーザスポットの結像面に配置された十字スリットを
通過した前記ＬＤモジュールからのレーザビームの強度
を測定し、前記ＬＤモジュールを下記の座標からなる位
置（Ｘｍａｘ，Ｙｍａｘ）から前記十字スリットの中心
と光軸合わせ用位置に固定された光ファイバの入射端の
光軸の相対位置だけ移動させて前記ＬＤモジュールと前
記光ファイバの入射端との光軸を合わせることを特徴と
する。 座標Ｘｍａｘ：前記ＬＤモジュールを前記十字スリット
の下方で前記十字スリットの一方の直線状スリットの方
向であるＸ軸の方向に移動した時に前記十字スリットを
通過した前記レーザビームの最大強度を検出した時の前
記ＬＤモジュールの前記Ｘ軸上の座標。 座標Ｙｍａｘ：前記ＬＤモジュールを前記十字スリット
の下方で前記十字スリットの他方の直線状スリットの方
向であるＹ軸の方向に移動した時に前記十字スリットを
通過した前記レーザビームの最大強度を検出した時の前
記ＬＤモジュールの前記Ｙ軸上の座標。
【００１１】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を用いて詳
細に説明する。
細に説明する。
【００１２】図１は本発明の一実施例を示す斜視図であ
る。
る。
【００１３】図１に示す光モジュール光軸調整装置は、
ＬＤモジュール１を固定するＬＤチャック２と、光ファ
イバ３の入射端に外装された金属管４を所定の位置のＬ
Ｄチャック２に保持されたＬＤモジュール１に対向する
ように固定するファイバチャック５と、ＬＤチャック２
を搭載しＬＤモジュール１が出射するレーザビーム６の
光軸に対し垂直なＸＹ平面内を移動して光ファイバ３の
光軸とＬＤモジュール１の光軸の位置合わせを行うこと
のできるＸＹステージ７と、ＬＤチャック２によりレー
ザビームの位置測定用の位置に保持されたＬＤモジュー
ル１の上側に配置されレーザビーム６が集光されて形成
するレーザスポット８を投影するレンズ１１と、レンズ
１１を通過したレーザビーム６の光路中に配置され２軸
方向にレーザビーム６を偏向走査するガルバノミラー１
２と、レンズ１１に関してレーザスポット８と共役な位
置に配置されたピンホール１３と、ピンホール１３を通
過したレーザビーム６のビーム強度を測定する赤外線検
出素子１４とで構成される。レンズ１１の光軸と金属管
４内の光ファイバ３の入射端の光軸との相対位置は既知
である。
ＬＤモジュール１を固定するＬＤチャック２と、光ファ
イバ３の入射端に外装された金属管４を所定の位置のＬ
Ｄチャック２に保持されたＬＤモジュール１に対向する
ように固定するファイバチャック５と、ＬＤチャック２
を搭載しＬＤモジュール１が出射するレーザビーム６の
光軸に対し垂直なＸＹ平面内を移動して光ファイバ３の
光軸とＬＤモジュール１の光軸の位置合わせを行うこと
のできるＸＹステージ７と、ＬＤチャック２によりレー
ザビームの位置測定用の位置に保持されたＬＤモジュー
ル１の上側に配置されレーザビーム６が集光されて形成
するレーザスポット８を投影するレンズ１１と、レンズ
１１を通過したレーザビーム６の光路中に配置され２軸
方向にレーザビーム６を偏向走査するガルバノミラー１
２と、レンズ１１に関してレーザスポット８と共役な位
置に配置されたピンホール１３と、ピンホール１３を通
過したレーザビーム６のビーム強度を測定する赤外線検
出素子１４とで構成される。レンズ１１の光軸と金属管
４内の光ファイバ３の入射端の光軸との相対位置は既知
である。
【００１４】図１に示した実施例において、レーザスポ
ット８の位置はレンズ１１でピンホール１３面上に投影
されるが、ピンホール１３面上に投影されるレーザスポ
ット８の像はガルバノミラー１２によってＸＹ方向に高
速に走査される。この走査において、赤外線検出素子１
４によって検出されるレーザビーム６の強度が最大とな
るガルバノミラー１２の位置から、レーザスポット８の
レンズ１１の光軸に対する位置を求めることができる。
レーザスポット８の位置を検出した後、既知のレンズ１
１の光軸と、ファイバチャック５に固定された金属管４
内の光ファイバ ３の光軸との相対位置にガルバノミラー
１１の位置から検出されたレーザスポット８のレンズ１
１の光軸に対する位置から換算したレーザスポット８の
レンズ１１の光軸に対する位置ずれを加えた分だけＸＹ
ステージ７を移動することにより、金属管４内の光ファ
イバ３の入射端の光軸に対しＬＤモジュール１のレーザ
スポット８の位置を正確に合わせることができる。レー
ザビーム８の位置を求めた後は、このようにＸＹステー
ジ７でＬＤモジュール１をファイバチャック５に固定さ
れた金属管４に対向する位置に移動させ、レーザスポッ
ト８と金属管４の位置合わせを正確に行う。
ット８の位置はレンズ１１でピンホール１３面上に投影
されるが、ピンホール１３面上に投影されるレーザスポ
ット８の像はガルバノミラー１２によってＸＹ方向に高
速に走査される。この走査において、赤外線検出素子１
４によって検出されるレーザビーム６の強度が最大とな
るガルバノミラー１２の位置から、レーザスポット８の
レンズ１１の光軸に対する位置を求めることができる。
レーザスポット８の位置を検出した後、既知のレンズ１
１の光軸と、ファイバチャック５に固定された金属管４
内の光ファイバ ３の光軸との相対位置にガルバノミラー
１１の位置から検出されたレーザスポット８のレンズ１
１の光軸に対する位置から換算したレーザスポット８の
レンズ１１の光軸に対する位置ずれを加えた分だけＸＹ
ステージ７を移動することにより、金属管４内の光ファ
イバ３の入射端の光軸に対しＬＤモジュール１のレーザ
スポット８の位置を正確に合わせることができる。レー
ザビーム８の位置を求めた後は、このようにＸＹステー
ジ７でＬＤモジュール１をファイバチャック５に固定さ
れた金属管４に対向する位置に移動させ、レーザスポッ
ト８と金属管４の位置合わせを正確に行う。
【００１５】ガルバノミラー１２を走査しピンホール１
３を通過するレーザビーム６が最大となる位置を求める
ことは、ＸＹステージ７を走査して光ファイバ３の透過
光量を検出する面サーチと等価であるが、ＸＹステージ
７に比べガルバノミラー１２は非常に軽量であるため、
ＸＹステージ７に比べ高速な走査が可能である。
３を通過するレーザビーム６が最大となる位置を求める
ことは、ＸＹステージ７を走査して光ファイバ３の透過
光量を検出する面サーチと等価であるが、ＸＹステージ
７に比べガルバノミラー１２は非常に軽量であるため、
ＸＹステージ７に比べ高速な走査が可能である。
【００１６】図１に示した実施例では赤外線であるレー
ザビーム６の検出に受光光量のみを検出できればよい安
価な赤外線検出素子１４を使用しているため、安価に装
置を構成できるという効果がある。
ザビーム６の検出に受光光量のみを検出できればよい安
価な赤外線検出素子１４を使用しているため、安価に装
置を構成できるという効果がある。
【００１７】図２は本発明の他の実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【００１８】図２に示す光モジュール光軸調整装置は、
ＬＤモジュール１を固定するＬＤチャック２と、光ファ
イバ３の入射端に外装された金属管４を所定の位置のＬ
Ｄチャック２に保持されたＬＤモジュール１に対向する
ように固定するファイバチャック５と、ＬＤチャック２
を搭載しＬＤモジュール１が出射するレーザビーム６の
光軸に対し垂直なＸＹ平面内を移動して光ファイバ３の
光軸とＬＤモジュール１の光軸の位置合わせを行うこと
のできるＸＹステージ７と、ＬＤモジュール１のレーザ
ビーム６が集光されて形成するレーザスポット８の結像
面上に配置されファイバチャック５に固定され、中心と
金属管４内のファイバ３の入射端の光軸との相対位置が
既知である十字スリット１５と、十字スリット１５を通
過したレーザビーム６のビーム強度を測定する赤外線検
出素子１４とで構成される。
ＬＤモジュール１を固定するＬＤチャック２と、光ファ
イバ３の入射端に外装された金属管４を所定の位置のＬ
Ｄチャック２に保持されたＬＤモジュール１に対向する
ように固定するファイバチャック５と、ＬＤチャック２
を搭載しＬＤモジュール１が出射するレーザビーム６の
光軸に対し垂直なＸＹ平面内を移動して光ファイバ３の
光軸とＬＤモジュール１の光軸の位置合わせを行うこと
のできるＸＹステージ７と、ＬＤモジュール１のレーザ
ビーム６が集光されて形成するレーザスポット８の結像
面上に配置されファイバチャック５に固定され、中心と
金属管４内のファイバ３の入射端の光軸との相対位置が
既知である十字スリット１５と、十字スリット１５を通
過したレーザビーム６のビーム強度を測定する赤外線検
出素子１４とで構成される。
【００１９】図２に示されている十字スリット１５は互
いに交差するｘ軸方向の直線状のスリット１５ａとｙ軸
方向の直線状のスリット１５ｂから構成されている。図
３（ａ）及び（ｂ）はＸＹステージ７によりＬＤモジュ
ール１を十字スリット１５の下方でＸ方向およびＹ方向
に移動させたときの十字スリット１５を通過するレーザ
ビーム６の強度の様子を示すグラフである。図３（ａ）
はＸＹステージ７によりＬＤモジュール１をＸ軸方向に
移動させたときにスリット１５ｂを通過したレーザビー
ム６の光量変化を示しており、図３（ｂ）はＸＹステー
ジ７によりＬＤモジュール１をＹ軸方向に移動させたと
きにスリット１５ａを通過したレーザビーム６の光量変
化を示している。それぞれ光量が最大となるときのＸ座
標およびＹ座標をＸｍａｘおよびＹｍａｘとする。
いに交差するｘ軸方向の直線状のスリット１５ａとｙ軸
方向の直線状のスリット１５ｂから構成されている。図
３（ａ）及び（ｂ）はＸＹステージ７によりＬＤモジュ
ール１を十字スリット１５の下方でＸ方向およびＹ方向
に移動させたときの十字スリット１５を通過するレーザ
ビーム６の強度の様子を示すグラフである。図３（ａ）
はＸＹステージ７によりＬＤモジュール１をＸ軸方向に
移動させたときにスリット１５ｂを通過したレーザビー
ム６の光量変化を示しており、図３（ｂ）はＸＹステー
ジ７によりＬＤモジュール１をＹ軸方向に移動させたと
きにスリット１５ａを通過したレーザビーム６の光量変
化を示している。それぞれ光量が最大となるときのＸ座
標およびＹ座標をＸｍａｘおよびＹｍａｘとする。
【００２０】次に本実施例における光軸調整の手順につ
いて説明する。
いて説明する。
【００２１】ＬＤモジュール１が十字スリット１５に対
向するような位置にＸＹステージ７を移動させ、ＬＤモ
ジュール１をＸ軸方向およびＹ軸方向に１回ずつ移動さ
せ、図３（ａ）及び（ｂ）に示すような十字スリット１
５を通過するレーザビーム６の光量変化のデータを採
る。光量が最大となる位置（Ｘｍａｘ、Ｙｍａｘ）にＬ
Ｄモジュール１を移動させ、すなわちレーザスポット８
の位置を十字スリット１５の中心に合わせ、それから既
知の十字スリット１５の中心とファイバチャック５に固
定された金属管４内の光ファイバ３の光軸との相対位置
だけＸＹステージ７を移動させる。
向するような位置にＸＹステージ７を移動させ、ＬＤモ
ジュール１をＸ軸方向およびＹ軸方向に１回ずつ移動さ
せ、図３（ａ）及び（ｂ）に示すような十字スリット１
５を通過するレーザビーム６の光量変化のデータを採
る。光量が最大となる位置（Ｘｍａｘ、Ｙｍａｘ）にＬ
Ｄモジュール１を移動させ、すなわちレーザスポット８
の位置を十字スリット１５の中心に合わせ、それから既
知の十字スリット１５の中心とファイバチャック５に固
定された金属管４内の光ファイバ３の光軸との相対位置
だけＸＹステージ７を移動させる。
【００２２】このように予め光ファイバ３との距離が既
知である十字スリット１５の中心に対してレーザスポッ
ト８を正確に位置合わせすることにより、ファイバチャ
ック５に固定された光ファイバ３に対して正確にレーザ
スポット８を位置合わせすることができる。
知である十字スリット１５の中心に対してレーザスポッ
ト８を正確に位置合わせすることにより、ファイバチャ
ック５に固定された光ファイバ３に対して正確にレーザ
スポット８を位置合わせすることができる。
【００２３】本実施例においては赤外線に感度を有する
高価な撮像管やＣＣＤなどの赤外線撮像素子やレーザビ
ーム６を走査するガルバノミラー１２も必要ないため、
安価に装置を構成することができる。また、レーザスポ
ット８の位置を検出するためにＸＹステージ７によるＬ
Ｄモジュール１の移動が必要となるが、ＸＹ方向それぞ
れ１回だけでよいのでサーチ時間は非常に短くてすむ。
高価な撮像管やＣＣＤなどの赤外線撮像素子やレーザビ
ーム６を走査するガルバノミラー１２も必要ないため、
安価に装置を構成することができる。また、レーザスポ
ット８の位置を検出するためにＸＹステージ７によるＬ
Ｄモジュール１の移動が必要となるが、ＸＹ方向それぞ
れ１回だけでよいのでサーチ時間は非常に短くてすむ。
【００２４】
【発明の効果】本発明の光モジュール光軸調整装置及び
方法は、レーザスポット位置測定用位置に固定されたＬ
Ｄモジュールのレーザスポットの位置をレーザビーム検
出素子で検出し、この検出した位置で光軸合わせ用位置
に固定された光ファイバの入射端の光軸とレーザビーム
検出素子との相対位置を修正した相対位置分だけＬＤモ
ジュールを移動させることにより、光ファイバとＬＤモ
ジュールとの光軸調整を短時間に行うことを可能にし、
光モジュールの生産性を向上させるという効果がある。
方法は、レーザスポット位置測定用位置に固定されたＬ
Ｄモジュールのレーザスポットの位置をレーザビーム検
出素子で検出し、この検出した位置で光軸合わせ用位置
に固定された光ファイバの入射端の光軸とレーザビーム
検出素子との相対位置を修正した相対位置分だけＬＤモ
ジュールを移動させることにより、光ファイバとＬＤモ
ジュールとの光軸調整を短時間に行うことを可能にし、
光モジュールの生産性を向上させるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図３】図２に示した赤外線検出素子で得られた信号を
示すグラフの図である。
示すグラフの図である。
【図４】従来の光軸調整方法を示す斜視図である。
１，１７ ＬＤモジュール ２ ＬＤチャック ３，１６ 光ファイバ ５ ファイバチャック ７ ＸＹステージ １２ ガルバノミラー １３ ピンホール １４ 赤外線検出素子 １５ 十字スリット。
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体レーザ（ＬＤ）モジュールを固定
するＬＤチャックと、前記ＬＤチャックを搭載してＸＹ
方向に移動させるステージと、光ファイバの入射端をこ
のステージにより光軸合わせ用位置に位置決めされた前
記ＬＤモジュールに対応する位置に固定するファイバチ
ャックと、前記ステージによりレーザスポット位置測定
用位置に位置決めされた前記ＬＤモジュールのレーザス
ポットを投影し光軸とファイバチャックに固定された光
ファイバの入射端の光軸との相対位置が既知であるレン
ズと、前記レンズに関し前記レーザスポットと共役な位
置に配置されたピンホールと、前記レンズと前記ピンホ
ールの間に配置されレーザスポット位置決め用位置に位
置決めされたＬＤモジュールからのレーザビームを２軸
方向に偏向走査するレーザビーム走査器と、前記ピンホ
ールを通過する前記レーザビームの強度を測定するレー
ザビーム検出素子とを含むことを特徴とする光モジュー
ル光軸調整装置。 - 【請求項２】 ＬＤモジュールを固定するＬＤチャック
と、前記ＬＤチャックを搭載してＸＹ方向に移動させる
ステージと、光ファイバの入射端をこのステージにより
光軸合わせ用位置に位置決めされた前記ＬＤモジュール
に対応する位置に固定するファイバチャックと、前記ス
テージによりレーザスポット位置測定用位置に位置決め
された前記ＬＤモジュールのレーザスポットの結像面に
配置された中心とファイバチャックに固定された光ファ
イバの入射端の光軸との相対位置が既知である十字スリ
ットと、前記十字スリットを通過したレーザスポット位
置決め用位置に位置決めされたＬＤモジュールからのレ
ーザビームの強度を測定するレーザビーム検出素子とを
含むことを特徴とする光モジュール光軸調整装置。 - 【請求項３】 レーザスポット位置測定用位置に固定し
たＬＤモジュールのレーザビームをレーザビーム走査器
で２軸方向に偏向走査し、このレーザビーム走査器で偏
向走査されたレーザビームを入射するレンズで前記ＬＤ
モジュールのレーザスポットを投影し、このレンズに関
し前記レーザスポットと共役な位置に配列されたピンホ
ールを通過する前記レーザビームの強度を前記レーザビ
ーム検出素子で測定し、このレーザビーム検出素子が前
記レーザビーム走査器による走査中に前記レーザビーム
の最大の強度を測定した時の前記レンズの光軸に対する
前記レーザスポットの相対位置を前記レンズの光軸と光
軸合わせ用位置に固定された光ファイバの入射端の光軸
との相対位置に加えた分だけ前記ＬＤモジュールを移動
させることを特徴とする光モジュール光軸調整方法。 - 【請求項４】 レーザスポット位置測定用位置に固定し
たＬＤモジュールのレーザスポットの結像面に配置され
た十字スリットを通過した前記ＬＤモジュールからのレ
ーザビームの強度を測定し、前記ＬＤモジュールを下記
の座標からなる位置（Ｘｍａｘ，Ｙｍａｘ）から前記十
字スリットの中心と光軸合わせ用位置に固定された光フ
ァイバの入射端の光軸の相対位置だけ移動させて前記Ｌ
Ｄモジュールと前記光ファイバの入射端との光軸を合わ
せることを特徴とする光モジュール光軸調整方法。 座標Ｘｍａｘ：前記ＬＤモジュールを前記十字スリット
の下方で前記十字スリットの一方の直線状スリットの方
向であるＸ軸の方向に移動した時に前記十字スリットを
通過した前記レーザビームの最大強度を検出した時の前
記ＬＤモジュールの前記Ｘ軸上の座標。 座標Ｙｍａｘ：前記ＬＤモジュールを前記十字スリット
の下方で前記十字スリットの他方の直線状スリットの方
向であるＹ軸の方向に移動した時に前記十字スリットを
通過した前記レーザビームの最大強度を検出した時の前
記ＬＤモジュールの前記Ｙ軸上の座標。
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|---|---|---|---|
| JP7191733A JP2842310B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 光モジュール光軸調整装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7191733A JP2842310B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 光モジュール光軸調整装置及び方法 |
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|---|---|
| JPH0943456A JPH0943456A (ja) | 1997-02-14 |
| JP2842310B2 true JP2842310B2 (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=16279596
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|---|---|---|---|
| JP7191733A Expired - Fee Related JP2842310B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 光モジュール光軸調整装置及び方法 |
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-
1995
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