JPH06154590A - ポルフィリン薄膜の製造方法 - Google Patents

ポルフィリン薄膜の製造方法

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JPH06154590A
JPH06154590A JP4308513A JP30851392A JPH06154590A JP H06154590 A JPH06154590 A JP H06154590A JP 4308513 A JP4308513 A JP 4308513A JP 30851392 A JP30851392 A JP 30851392A JP H06154590 A JPH06154590 A JP H06154590A
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JP
Japan
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porphyrin
tetra
surface roughness
film
tetraphenylporphyrin
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JP4308513A
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Toshinaka Nonaka
敏央 野中
Takayuki Takahagi
隆行 高萩
Hikari Ishitani
炯 石谷
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Toray Research Center Inc
Japan Science and Technology Agency
Original Assignee
Toray Research Center Inc
Research Development Corp of Japan
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Publication date
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    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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    • Y02E10/549—Organic PV cells
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 優れた表面精度が長期間持続し得るポルフィ
リン薄膜を製造する。 【構成】 ポルフィリン薄膜の製造方法は、ポルフィリ
ン誘導体分子を加熱蒸発させかつ１×１０-7Ｔｏｒｒ未
満の超高真空下で分子線として飛行させて基板上に堆積
させ、これにＸ線を照射する工程を含んでいる。 【効果】 上記の方法により基板上に形成されたポルフ
ィリン薄膜は、太陽電池、光導電素子、溶液中の微量金
属元素センサー素子等として使用できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、基板上に形成され
て、太陽電池、光導電素子、溶液中の微量金属元素セン
サー素子などとして使用され得るポルフィリン薄膜の製
造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】有機薄膜を形成する方法と
しては、例えば、M.Ashidaらによる、"Acta Crystallog
raphica Vol.B47 (1991) 87"に記載された方法が知られ
ている。この方法は、１×１０-6Ｔｏｒｒの真空下での
真空蒸着法により、ＫＣ１基板上にテトラフェニルポル
フィリン薄膜を作製するものである。
【０００３】ところが、この方法で作製した薄膜は、粒
径が数百ｎｍでかつ粒間に空隙のある粗なものでるた
め、この薄膜を太陽電池などに利用しようとして、膜を
挟むように膜の上下に電極を付けようとする場合、電極
間のショートが起きやすいという問題点がある。この発
明の目的は、優れた表面精度が長期間にわたり持続し得
るポルフィリン薄膜を製造することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明にかかるポルフィ
リン薄膜の製造方法は、次の工程を含んでいる。 ◎ ポルフィリン誘導体分子を加熱蒸発させかつ１×１
０-7Ｔｏｒｒ未満の超高真空下で分子線として飛行させ
て基板上に堆積させる工程。 ◎ 基板上に堆積したポルフィリン誘導体分子にＸ線を
照射する工程。
【０００５】なお、ポルフィリン誘導体分子は、たとえ
ば、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリン、5,10,1
5,20−金属テトラフェニルポルフィリン、テトラベンゾ
ポルフィリン、金属テトラベンゾポルフィリン、5,10,1
5,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,
20−金属テトラ（２−ピリジル）ポルフィリン、5,10,1
5,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,
20−金属テトラ（３−ピリジル）ポルフィリン、5,10,1
5,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,
20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20
−金属テトラ（４−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,
20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,20
−金属テトラ（４−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,
20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,20
−金属テトラ（６−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,
20−テトラキノキサリルポルフィリン、5,10,15,20−金
属テトラキノキサリルポルフィリン、5,10,15,20−テト
ラキス（２−フルオレニル）ポルフィリン、5,10,15,20
−金属テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリン、
5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリン、5,10,15,20−金属テトラキス（２，
４−ジメトキシフェノール）ポルフィリン、5,10,15,20
−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィリン、5,
10,15,20−金属テトラキス（２−ニトロフェニル）ポル
フィリン、5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリ
ン、5,10,15,20−金属テトラビフェニルポルフィリン、
2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリン、2,
3,7,8,12,13,17,18 −金属オクタエチルポルフィリンか
らなる群から選ばれた少なくとも１種のポルフィリン誘
導体である。
【０００６】この発明において用いられるポルフィリン
誘導体は、特に限定されるものではないが、たとえば、
下記Ａ群から選ばれた粉末状もしくは塊状のポルフィリ
ン誘導体が用いられる。 Ａ群：5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリン 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトコバルト 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトニッケル 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトマグネシウ
ム 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト銅 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトカドミウム テトラベンゾポルフィリン テトラベンゾポルフィリナト亜鉛 テトラベンゾポルフィリナトコバルト テトラベンゾポルフィリナト鉛 テトラベンゾポルフィリナトニッケル テトラベンゾポルフィリナトマグネシウム テトラベンゾポルフィリナト銅 テトラベンゾポルフィリナトカドミウム 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリン 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリナトコバ
ルト 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリンニッケ
ル 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリンマグネ
シウム 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリン銅 5,10,15,20−テトラ（2-ピリジル）ポルフィリンカドミ
ウム 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリン 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリナトコバ
ルト 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリンニッケ
ル 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリンマグネ
シウム 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリン銅 5,10,15,20−テトラ（3-ピリジル）ポルフィリンカドミ
ウム 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリン 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリナトコバ
ルト 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリンニッケ
ル 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリンマグネ
シウム 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリン銅 5,10,15,20−テトラ（4-ピリジル）ポルフィリンカドミ
ウム 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリン 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリナトコバ
ルト 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリナトニッ
ケル 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリナトマグ
ネシウム 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリナト銅 5,10,15,20−テトラ（4-キノリル）ポルフィリナトカド
ミウム 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリン 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリナトコバ
ルト 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリナトニッ
ケル 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリナトマグ
ネシウム 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリナト銅 5,10,15,20−テトラ（6-キノリル）ポルフィリナトカド
ミウム 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリン 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトコバル
ト 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトニッケ
ル 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトマグネ
シウム 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナト銅 5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトカドミ
ウム 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ン 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ナト亜鉛 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ナトコバルト 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ナト鉛 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ナトニッケル 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ナトマグネシウム 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ナト銅 5,10,15,20−テトラキス（2-フルオレニル）ポルフィリ
ナトカドミウム 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリン 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリナトコバルト 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリナトニッケル 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリナトマグネシウム 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリナト銅 5,10,15,20−テトラキス（2,4-ジメトキシフェノール）
ポリフィリナトカドミウム 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リン 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リナト亜鉛 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リナトコバルト 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リナト鉛 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リナトニッケル 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リナトマグネシウム 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リナト銅 5,10,15,20−テトラキス（2-ニトロフェニル）ポルフィ
リナトカドミウム 5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリン 5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト亜鉛 5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナトコバルト 5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト鉛 5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナトニッケル 5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト銅 5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナトカドミウ
ム 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリン 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナト亜
鉛 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトコ
バルト 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナト鉛 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトニ
ッケル 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトマ
グネシウム 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナト銅 2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトカ
ドミウム なお、Ａ群のポルフィリン誘導体のうち、5,10,15,20−
テトラフェニルポルフィリン、5,10,15,20−テトラフェ
ニルポルフィリナト亜鉛、5,10,15,20−テトラフェニル
ポルフィリナトコバルト、5,10,15,20−テトラフェニル
ポルフィリナト鉛、5,10,15,20−テトラフェニルポルフ
ィリナトニッケル、5,10,15,20−テトラフェニルポルフ
ィリナトマグネシウム、5,10,15,20−テトラフェニルポ
ルフィリナト銅及び5,10,15,20−テトラフェニルポルフ
ィリナトカドミウムがより好ましい。
【０００７】この発明により製造され得るポルフィリン
薄膜は、上述のポルフィリン誘導体からなる単層膜、ま
たは上述のポルフィリン誘導体からなるポルフィリン薄
膜を２層以上積層してなる多層膜である。多層膜の場
合、その積層数は、２〜１００層が好ましく、２〜２０
層がより好ましい。また、この多層膜の表面の自乗平均
粗さは、１００オングストローム以下が好ましく、５０
オングストローム以下がより好ましく、さらに１〜２０
オングストロームがより好ましい。この多層膜を構成す
る薄膜の各厚みは、８０オングストローム以下が好まし
く、２〜５０オングストロームがより好ましい。
【０００８】なお、多層膜の場合、各層は互いに異なる
ポルフィリン誘導体により形成されていてもよい。上述
のポルフィリン薄膜は、分子線蒸着法、電子ビーム蒸着
法、イオン・クラスター・ビーム法などにより作製する
ことができる。たとえば、分子線蒸着法による場合は次
ようにして行う。
【０００９】分子線蒸着装置は、蒸着前に予め分子線源
室内の試料の脱気を行えるようにするために、成長室と
分子線源室とが独立の真空ポンプを有し、かつゲートバ
ルブなどによりそれらの室内の雰囲気を分離／接続でき
るようになったものが好ましい。成長室は、クライオポ
ンプ、イオンポンプ、チタンゲッターポンプ、液体窒素
シュラウドなどによって排気されることにより、その圧
力がポルフィリン誘導体蒸着時に１０-7Ｔｏｒｒ未満に
なるようなものが好ましい。蒸着時の圧力が１０-7Ｔｏ
ｒｒ以上になると多層薄膜ができないことがある。分子
線源室は、成長室とは独立に排気できるようになってい
るものが好ましい。成長室と独立に排気できるようにな
っていない場合、蒸着前の試料の脱気が行いにくく、蒸
着時に成長室内の圧力を１０-7Ｔｏｒｒに保つことが困
難となり、多層薄膜ができにくい傾向がある。
【００１０】試料については、充分な脱気を行うのが好
ましい。充分な脱気を行わない場合、蒸着時に成長室内
の圧力を１０-7Ｔｏｒｒに保つことが困難となり、多層
薄膜ができにくい傾向がある。試料の蒸着は、真空下
で、分子線源室のヒータにより試料を加熱蒸発させ、こ
れを成長室に分子線として飛行させ、基板上に堆積させ
ることにより行う。
【００１１】種類の異なる複数のポルフィリン誘導体
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，…について積層蒸着を行う場合、
堆積量を水晶振動式膜厚計などでモニタしながら、まず
ポルフィリン誘導体ａについてのみ蒸着を行い、所定の
堆積量に達したところで蒸着を終える。次に、ポルフィ
リン誘導体ｂについて同様に蒸着を行い、さらに各ポル
フィリン誘導体ｃ，ｄ，ｅ，…と蒸着を行っていく。必
要に応じて、ａ，ｂ，ｃ，…、ａ，ｂ，ｃ，…という繰
り返しを行ってもよい。なお、接触する層同志が異なる
ポルフィリン誘導体からなれば、その順序は限定されな
い。
【００１２】それぞれの層の蒸着時の堆積速度は、０．
０１〜１０００オングストローム／分であるのが好まし
い。０．０１オングストローム／分未満になると膜を形
成するのに時間がかかりすぎて実用的でない。１０００
オングストローム／分を越えると多層薄膜ができにく
い。蒸着時の分子線源内の試料は、１００〜４００℃に
加熱するのが好ましい。１００℃未満では、堆積速度が
０．０１オングストローム／分未満になりやすい。４０
０℃を越えるとポルフィリン誘導体が分解しやすく、不
純物の含まれた薄膜になる場合がある。
【００１３】基板としては、材質が、シリコン、ゲルマ
ニウム、ニッケル、クロム、チタン、金、銀、白金など
の金属や、これらの少なくとも１種類を主成分とする合
金や、ガラス、ＩＴＯガラス、炭素、シリカ、アルミ
ナ、マグネシア、ジルコニア、チタニア、ストロンチウ
ムチタネート、窒化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、
炭化ホウ素、窒化アルミニウムなどの無機材料や、ポリ
エチレンやポリプロピレンなどポリオレフィン系フィル
ム、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系フ
ィルム、ナイロン６フィルムなどのポリアミド系フィル
ム、その他ポリイミド系、ポリスチレン系などの高分子
材料など、室温で空気中及び真空中で安定な物質であれ
ばよい。これらの基板材料は、その表面を研磨などによ
り平滑にし、さらに洗浄し、油分などによるよごれを除
去しておくのが望ましい。
【００１４】蒸着時及び蒸着後の基板温度は１００℃以
下に保持するのが好ましい。１００℃を超えると多層薄
膜になりにくい場合がある。次に、Ｘ線による処理につ
いて説明する。基板に堆積したポルフィリン誘導体に
は、Ｘ線を照射する。Ｘ線の照射は、基板上にポルフィ
リン誘導体が堆積し終わってから実施してもよいし、ポ
ルフィリン誘導体の堆積工程と並行して実施してもよ
い。照射するＸ線の波長は、０．５〜４オングストロー
ムが好ましい。また、出力は０．１〜２０Ｗ、好ましく
は０．５〜１０Ｗである。照射時間は、Ｘ線の出力に応
じて適宜設定し得る。なお、照射装置としては、Ｘ線回
折分析装置のような分析装置を利用することもできる。
【００１５】
【実施例】以下、この発明にかかる実施例を説明する
が、以下の実施例で使用した原子間力顕微鏡は、Digita
l Instruments, Inc. 社製の Nanoscope II AFM であっ
た。また、Ｘ線回折分析装置は、理学電機（株）社製の
クラツキー型二軸小角散乱装置であった。
【００１６】実施例１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリン粉末０．１ｇ
を計り取り、石英るつぼの中に入れ、これを成長室と分
子線源室とがゲートバルブにより雰囲気を分離された状
態にある分子線蒸着装置の分子線源室に入れて、液体窒
素トラップのついた油拡散式真空ポンプにより１５０℃
に加熱しながら１０時間真空引きした。
【００１７】一方、厚みが０．５ｍｍの４インチのシリ
コンウェハー（１００）に、酸素気流中で２００℃に加
熱しながら紫外線を当て、次に、純水で調整した１％の
フッ化水素水溶液に１０分間浸漬することにより、洗
浄、エッチングを行った。そして、これを成長室内の基
板ホルダにセットした。次に、試料の加熱温度を２４０
℃にし、分子線源室と、クライオポンプ、イオンポン
プ、チタンゲッターポンプ及び液体窒素シュラウドによ
り１×１０-10 の圧力に排気された成長室との雰囲気を
分離していたゲートバルブを開け、基板への蒸着を開始
した。基板温度は、ホルダを液体窒素で冷却することに
より、−１００℃に保持した。蒸着時の成長室内圧は３
×１０-10 Ｔｏｒｒであった。蒸着時の堆積膜厚は水晶
振動子式膜厚計でモニタした。堆積膜厚が４００オング
ストロームに達したところで蒸着を停止した。
【００１８】次に、この膜にＸ線の１種である銅のＫα
線を出力４０ＫＶ、２００ｍＡで１０分間照射した。得
られた5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリン薄膜表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．５オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００１９】実施例２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラフエニルポルフィリナト亜鉛を用いた
ほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラフ
ェニルポルフィリナト亜鉛薄膜を得た。この膜の表面の
粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均
粗さが２．６オングストロームであった。また、この表
面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００２０】実施例３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトコバルトを用
いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テト
ラフェニルポルフィリナトコバルト薄膜を得た。この膜
の表面の平均粗さを原子間顕微鏡で測定したところ、そ
の自乗平均粗さが２．６オングストロームであった。ま
た、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００２１】実施例４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト鉛を用いたほ
かは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラフェ
ニルポルフィリナト鉛薄膜を得た。この膜の表面の粗さ
を原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さ
が２．５オングストロームであった。また、この表面粗
さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００２２】実施例５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトニッケルを用
いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テト
ラフェニルポルフィリナトニッケル薄膜を得た。この膜
の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その
自乗平均粗さが２．６オングストロームであった。ま
た、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００２３】実施例６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトマグネシウム
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラフェニルポルフィリナトマグネシウム薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００２４】実施例７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト銅を用いたほ
かは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラフェ
ニルポルフィリナト銅薄膜を得た。この膜の表面の粗さ
を原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さ
が２．５オングストロームであった。また、この表面粗
さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００２５】実施例８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラフェニルポルフィリナトカドミウムを
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラフェニルポルフィリナトカドミウム薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．６オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００２６】実施例９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリンを用いたほかは、実施例１と同
様にして、テトラベンゾポルフィリン薄膜を得た。この
膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、そ
の自乗平均粗さが２．６オングストロームであった。ま
た、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００２７】実施例１０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリナト亜鉛を用いたほかは、実施例
１と同様にして、テトラベンゾポルフィリナト亜鉛薄膜
を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定し
たところ、その自乗平均粗さが２．６オングストローム
であった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなか
った。
【００２８】実施例１１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリナトコバルトを用いたほかは、実
施例１と同様にして、テトラベンゾポルフィリナトコバ
ルト薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡
で測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングス
トロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変
化しなかった。
【００２９】実施例１２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリナト鉛を用いたほかは、実施例１
と同様にして、テトラベンゾポルフィリナト鉛薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．５オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００３０】実施例１３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリナトニッケルを用いたほかは、実
施例１と同様にして、テトラベンゾポルフィリナトニッ
ケル薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡
で測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングス
トロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変
化しなかった。
【００３１】実施例１４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリナトマグネシウムを用いたほか
は、実施例１と同様にして、テトラベンゾポルフィリナ
トマグネシウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子
間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．
４オングストロームであった。また、この表面粗さは４
ヶ月後も変化しなかった。
【００３２】実施例１５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリナト銅を用いたほかは、実施例１
と同様にして、テトラベンゾポルフィリナト銅薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．５オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００３３】実施例１６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、テ
トラベンゾポルフィリナトカドミウムを用いたほかは、
実施例１と同様にして、テトラベンゾポルフィリナトカ
ドミウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【００３４】実施例１７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリンを用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
（２−ピリジル）ポルフィリン薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．６オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００３５】実施例１８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナト亜鉛
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナト亜鉛薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．５オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００３６】実施例１９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトコバ
ルトを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトコバルト薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００３７】実施例２０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナト鉛を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（２−ピリジル）ポルフィリナト鉛薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００３８】実施例２１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトニッ
ケルを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトニッケル薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００３９】実施例２２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトマグ
ネシウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトマグ
ネシウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．４オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【００４０】実施例２３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナト銅を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（２−ピリジル）ポルフィリナト銅薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００４１】実施例２４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトカド
ミウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,1
5,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトカドミウ
ム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【００４２】実施例２５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリンを用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
（３−ピリジル）ポルフィリン薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．６オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００４３】実施例２６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナト亜鉛
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナト亜鉛薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．５オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００４４】実施例２７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトコバ
ルトを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトコバルト薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００４５】実施例２８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナト鉛を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（３−ピリジル）ポルフィリナト鉛薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００４６】実施例２９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトニッ
ケルを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトニッケル薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００４７】実施例３０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトマグ
ネシウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトマグ
ネシウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．４オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【００４８】実施例３１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナト銅を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（３−ピリジル）ポルフィリナト銅薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００４９】実施例３２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトカド
ミウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,1
5,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリナトカドミウ
ム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【００５０】実施例３３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリンを用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
（４−ピリジル）ポルフィリン薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．６オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００５１】実施例３４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナト亜鉛
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナト亜鉛薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．５オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００５２】実施例３５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトコバ
ルトを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトコバルト薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００５３】実施例３６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナト鉛を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（４−ピリジル）ポルフィリナト鉛薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００５４】実施例３７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトニッ
ケルを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトニッケル薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００５５】実施例３８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトマグ
ネシウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトマグ
ネシウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．４オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【００５６】実施例３９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナト銅を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（４−ピリジル）ポルフィリナト銅薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００５７】実施例４０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトカド
ミウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,1
5,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリナトカドミウ
ム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【００５８】実施例４１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリンを用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
（４−キノリル）ポルフィリン薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．６オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００５９】実施例４２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナト亜鉛
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラ（４−キノリル）ポルフィリナト亜鉛薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．５オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００６０】実施例４３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトコバ
ルトを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトコバルト薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００６１】実施例４４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナト鉛を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（４−キノリル）ポルフィリナト鉛薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００６２】実施例４５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトニッ
ケルを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトニッケル薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００６３】実施例４６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトマグ
ネシウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトマグ
ネシウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．４オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【００６４】実施例４７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナト銅を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（４−キノリル）ポルフィリナト銅薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００６５】実施例４８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトカド
ミウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,1
5,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリナトカドミウ
ム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【００６６】実施例４９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリンを用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
（６−キノリル）ポルフィリン薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．６オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００６７】実施例５０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナト亜鉛
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラ（６−キノリル）ポルフィリナト亜鉛薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．５オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００６８】実施例５１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトコバ
ルトを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトコバルト薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００６９】実施例５２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナト鉛を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（６−キノリル）ポルフィリナト鉛薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００７０】実施例５３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトニッ
ケルを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトニッケル薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００７１】実施例５４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトマグ
ネシウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトマグ
ネシウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．４オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【００７２】実施例５５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナト銅を
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラ（６−キノリル）ポルフィリナト銅薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。実施例５６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトカド
ミウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,1
5,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリナトカドミウ
ム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【００７３】実施例５７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリンを用いたほ
かは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラキノ
キサリルポルフィリン薄膜を得た。この膜の表面の粗さ
を原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さ
が２．６オングストロームであった。また、この表面粗
さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００７４】実施例５８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナト亜鉛を用
いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テト
ラキノキサリルポルフィリナト亜鉛薄膜を得た。この膜
の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その
自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。ま
た、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００７５】実施例５９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトコバルト
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラキノキサリルポルフィリナトコバルト薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００７６】実施例６０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナト鉛を用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
キノキサリルポルフィリナト鉛薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．５オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００７７】実施例６１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトニッケル
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラキノキサリルポルフィリナトニッケル薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００７８】実施例６２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトマグネシ
ウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラキノキサリルポルフィリナトマグネシウム薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．４オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００７９】実施例６３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナト銅を用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
キノキサリルポルフィリナト銅薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．５オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００８０】実施例６４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナトカドミウ
ムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20
−テトラキノキサリルポルフィリナトカドミウム薄膜を
得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定した
ところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームで
あった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００８１】実施例６５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ンを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20
−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリン薄膜を
得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定した
ところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームで
あった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００８２】実施例６６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナト亜鉛を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナト亜鉛薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．５オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【００８３】実施例６７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナトコバルトを用いたほかは、実施例１と同様にして、
5,10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィ
リナトコバルト薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子
間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．
６オングストロームであった。また、この表面粗さは４
ヶ月後も変化しなかった。
【００８４】実施例６８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナト鉛を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,1
5,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリナト
鉛薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．５オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【００８５】実施例６９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナトニッケルを用いたほかは、実施例１と同様にして、
5,10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィ
リナトニッケル薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子
間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．
６オングストロームであった。また、この表面粗さは４
ヶ月後も変化しなかった。
【００８６】実施例７０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナトマグネシウムを用いたほかは、実施例１と同様にし
て、5,10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポル
フィリナトマグネシウム薄膜を得た。この膜の表面の粗
さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗
さが２．４オングストロームであった。また、この表面
粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００８７】実施例７１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナト銅を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,1
5,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリナト
銅薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．５オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【００８８】実施例７２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポルフィリ
ナトカドミウムを用いたほかは、実施例１と同様にし
て、5,10,15,20−テトラキス（２−フルオレニル）ポル
フィリナトカドミウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さ
を原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さ
が２．６オングストロームであった。また、この表面粗
さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００８９】実施例７３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリンを用いたほかは、実施例１と同様にし
て、5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェ
ノール）ポルフィリン薄膜を得た。この膜の表面の粗さ
を原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さ
が２．６オングストロームであった。また、この表面粗
さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００９０】実施例７４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナト亜鉛を用いたほかは、実施例１と同
様にして、5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキ
シフェノール）ポルフィリナト亜鉛薄膜を得た。この膜
の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その
自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。ま
た、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００９１】実施例７５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナトコバルトを用いたほかは、実施例１
と同様にして、5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジメ
トキシフェノール）ポルフィリナトコバルト薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００９２】実施例７６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナト鉛を用いたほかは、実施例１と同様
にして、5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシ
フェノール）ポルフィリナト鉛薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．５オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００９３】実施例７７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナトニッケルを用いたほかは、実施例１
と同様にして、5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジメ
トキシフェノール）ポルフィリナトニッケル薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００９４】実施例７８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナトマグネシウムを用いたほかは、実施
例１と同様にして、5,10,15,20−テトラキス（２，４−
ジメトキシフェノール）ポルフィリナトマグネシウム薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．４オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００９５】実施例７９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナト銅を用いたほかは、実施例１と同様
にして、5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシ
フェノール）ポルフィリナト銅薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．５オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【００９６】実施例８０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナトカドミウムを用いたほかは、実施例
１と同様にして、5,10,15,20−テトラキス（２，４−ジ
メトキシフェノール）ポルフィリナトカドミウム薄膜を
得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定した
ところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームで
あった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【００９７】実施例８１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リンを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,
20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィリン薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【００９８】実施例８２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナト亜鉛を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナト亜鉛薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力
顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．５オ
ングストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月
後も変化しなかった。
【００９９】実施例８３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナトコバルトを用いたほかは、実施例１と同様にし
て、5,10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポ
ルフィリナトコバルト薄膜を得た。この膜の表面の粗さ
を原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さ
が２．６オングストロームであった。また、この表面粗
さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１００】実施例８４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナト鉛を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナト鉛薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．５オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【０１０１】実施例８５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナトニッケルを用いたほかは、実施例１と同様にし
て、5,10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポ
ルフィリナトニッケル薄膜を得た。この膜の表面の粗さ
を原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さ
が２．６オングストロームであった。また、この表面粗
さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１０２】実施例８６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナトマグネシウムを用いたほかは、実施例１と同様に
して、5,10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）
ポルフィリナトマグネシウム薄膜を得た。この膜の表面
の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平
均粗さが２．４オングストロームであった。また、この
表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１０３】実施例８７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナト銅を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,1
0,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナト銅薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕
微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．５オン
グストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後
も変化しなかった。
【０１０４】実施例８８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィ
リナトカドミウムを用いたほかは、実施例１と同様にし
て、5,10,15,20−テトラキス（２−ニトロフェニル）ポ
ルフィリナトカドミウム薄膜を得た。この膜の表面の粗
さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗
さが２．５オングストロームであった。また、この表面
粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１０５】実施例８９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリンを用いたほか
は、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラビフェ
ニルポルフィリン薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原
子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが
２．６オングストロームであった。また、この表面粗さ
は４ヶ月後も変化しなかった。
【０１０６】実施例９０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト亜鉛を用い
たほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラ
ビフェニルポルフィリナト亜鉛薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．６オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１０７】実施例９１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナトコバルトを
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラビフェニルポルフィリナトコバルト薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．６オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１０８】実施例９２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト鉛を用いた
ほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラビ
フェニルポルフィリナト鉛薄膜を得た。この膜の表面の
粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均
粗さが２．５オングストロームであった。また、この表
面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１０９】実施例９３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナトニッケルを
用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テ
トラビフェニルポルフィリナトニッケル薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．６オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１１０】実施例９４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナトマグネシウ
ムを用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20
−テトラビフェニルポルフィリナトマグネシウム薄膜を
得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定した
ところ、その自乗平均粗さが２．４オングストロームで
あった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【０１１１】実施例９５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト銅を用いた
ほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−テトラビ
フェニルポルフィリナト銅薄膜を得た。この膜の表面の
粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗平均
粗さが２．５オングストロームであった。また、この表
面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１１２】実施例９６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、5,
10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナトカドミウム
を用いたほかは、実施例１と同様にして、5,10,15,20−
テトラビフェニルポルフィリナトカドミウム薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【０１１３】実施例９７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリンを用い
たほかは、実施例１と同様にして、2,3,7,8,12,13,17,1
8 −オクタエチルポルフィリン薄膜を得た。この膜の表
面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、その自乗
平均粗さが２．６オングストロームであった。また、こ
の表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１１４】実施例９８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナト亜鉛
を用いたほかは、実施例１と同様にして、2,3,7,8,12,1
3,17,18 −オクタエチルポルフィリナト亜鉛薄膜を得
た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したと
ころ、その自乗平均粗さが２．６オングストロームであ
った。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【０１１５】実施例９９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトコバ
ルトを用いたほかは、実施例１と同様にして、2,3,7,8,
12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトコバルト薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【０１１６】実施例１００ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナト鉛を
用いたほかは、実施例１と同様にして、2,3,7,8,12,13,
17,18 −オクタエチルポルフィリナト鉛薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１１７】実施例１０１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトニッ
ケルを用いたほかは、実施例１と同様にして、2,3,7,8,
12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトニッケル薄
膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定
したところ、その自乗平均粗さが２．６オングストロー
ムであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しな
かった。
【０１１８】実施例１０２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトマグ
ネシウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、2,3,
7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトマグネ
シウム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微
鏡で測定したところ、その自乗平均粗さが２．４オング
ストロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も
変化しなかった。
【０１１９】実施例１０３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナト銅を
用いたほかは、実施例１と同様にして、2,3,7,8,12,13,
17,18 −オクタエチルポルフィリナト銅薄膜を得た。こ
の膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、
その自乗平均粗さが２．５オングストロームであった。
また、この表面粗さは４ヶ月後も変化しなかった。
【０１２０】実施例１０４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて、2,
3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトカド
ミウムを用いたほかは、実施例１と同様にして、2,3,7,
8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナトカドミウ
ム薄膜を得た。この膜の表面の粗さを原子間力顕微鏡で
測定したところ、その自乗平均粗さが２．６オングスト
ロームであった。また、この表面粗さは４ヶ月後も変化
しなかった。
【０１２１】実施例１０５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリン粉末０．１ｇ
と、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛
０．１ｇとを計り取り、それぞれを第１石英るつぼと第
２石英るつぼの中に入れた。そして、第１石英るつぼを
分子線蒸着装置の第１分子線源室に、第２石英るつぼを
第２分子線源室に入れて、別々に、１５０℃に加熱しな
がら液体窒素トラップのついた油拡散式真空ポンプによ
り１０時間真空引きした。
【０１２２】一方、厚み０．５ｍｍ、直径４インチのシ
リコンウェハー（１００）に対し、酸素気流中で２００
℃に加熱しながら紫外線を当てた。次に、そのシリコン
ウェハーを、純水で調整した１％のフッ化水素水溶液に
１０分間浸漬することにより、洗浄及びエッチングを行
った。そして、これを成長室内の基板ホルダにセットし
た。
【０１２３】次に、第１及び第２分子線源室内を液体窒
素トラップのついた油拡散式真空ポンプにより真空引き
しながら、両試料とも２４０℃に加熱した。そして、第
１分子線源室と、内部をクライオポンプ、イオンポン
プ、チタンゲッタポンプ及び液体窒素シュラウドにより
１×１０-10 Ｔｏｒｒに減圧された成長室とを分離して
いた第１ゲートバルブを開け、5,10,15,20−テトラフェ
ニルポルフィリンの基板への蒸着を開始した。このと
き、堆積膜厚を水晶振動子式膜厚計でモニタした。そし
て、堆積膜厚が２２オングストロームに達したところで
第１ゲートバルブを閉じ、蒸着を停止した。次に、同様
の手順で、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト
亜鉛を２２オングストローム蒸着した。この作業をそれ
ぞれ交互に２０回ずつ繰り返して、多層膜を作成した。
この膜の積層周期をＸ線回折分析装置で調べたところ、
４４オングストロームとなっていることが確認された。
【０１２４】この膜の小角のＸ線回折パターンを図１に
示す。なお、回折条件は、Ｃｕ−Ｋアルファ線、４００
ＫＶ、２００ｍＡであった。また、測定角度θのピッチ
は０．０２°であった。また、この膜の自乗平均粗さは
２．４オングストロームであり、この値は４ヶ月後も変
化しなかった。この実施例では、Ｘ線回折分析装置によ
る装定操作において、多層膜をＸ線処理したことにな
る。
【０１２５】実施例１０６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えてテト
ラベンゾポルフィリナトコバルトを用い、5,10,15,20−
テトラフェニルポルフィリナト亜鉛に代えてテトラベン
ゾ鉛を用い、それぞれのポルフィリン誘導体の１回ごと
の堆積膜厚をともに２０オングストロームとし、アセト
ンで超音波洗浄されたＩＴＯガラスを基板に用いたほか
は、実施例１０５と同様にして、多層膜を得た。この膜
の積層周期をＸ線回折分析装置で調べたところ、４０オ
ングストロームとなっていることが確認された。また、
この膜の自乗平均粗さは２．５オングストロームであ
り、この値は４ヶ月後も変化しなかった。
【０１２６】実施例１０７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポルフィリナトニッ
ケルを用い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナ
ト亜鉛に代えて5,10,15,20−テトラ（２−ピリジル）ポ
ルフィリナトマグネシウムを用い、それぞれのポルフィ
リン誘導体の１回ごとの堆積膜厚をともに２４オングス
トロームとしたほかは、実施例１０５と同様にして、多
層膜を得た。この膜の積層周期をＸ線回折分析装置で調
べたところ、４８オングストロームとなっていることが
確認された。また、この膜の自乗平均粗さは２．６オン
グストロームであり、この値は４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【０１２７】実施例１０８ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィリン銅を用
い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛に
代えて、5,10,15,20−テトラ（３−ピリジル）ポルフィ
リナトカドミウムを用い、それぞれのポルフィリン誘導
体の１回ごとの堆積膜厚を３０オングストローム及び２
０オングストロームとしたほかは、実施例１０５と同様
にして、多層膜を得た。この膜の積層周期をＸ線回折分
析装置で調べたところ、５０オングストロームとなって
いることが確認された。また、この膜の自乗平均粗さは
２．４オングストロームであり、この値は４ヶ月後も変
化しなかった。
【０１２８】実施例１０９ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリンを用
い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛に
代えて5,10,15,20−テトラ（４−ピリジル）ポルフィリ
ナトコバルトを用い、それぞれのポルフィリン誘導体の
１回ごとの堆積膜厚をともに２２オングストロームとし
たほかは、実施例１０５と同様にして、多層膜を得た。
この膜の積層周期をＸ線回折分析装置で調べたところ、
４４オングストロームとなっていることが確認された。
また、この膜の自乗平均粗さは２．５オングストローム
であり、この値は４ヶ月後も変化しなかった。
【０１２９】実施例１１０ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリンを用
い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛に
代えて5,10,15,20−テトラ（４−キノリル）ポルフィリ
ナト鉛を用い、それぞれのポルフィリン誘導体の１回ご
との堆積膜厚をともに２３オングストロームとしたほか
は、実施例１０５と同様にして、多層膜を得た。この膜
の積層周期をＸ線回折分析装置で調べたところ、４６オ
ングストロームとなっていることが確認された。また、
この膜の自乗平均粗さは２．５オングストロームであ
り、この値は４ヶ月後も変化しなかった。
【０１３０】実施例１１１ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリンを用
い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛に
代えて5,10,15,20−テトラ（６−キノリル）ポルフィリ
ナトマグネシウムを用い、それぞれのポルフィリン誘導
体の１回ごとの堆積膜厚を２８オングストローム及び２
４オングストロームとしたほかは、実施例１０５と同様
にして、多層膜を得た。この膜の積層周期をＸ線回折分
析装置で調べたところ、５２オングストロームとなって
いることが確認された。また、この膜の自乗平均粗さは
２．７オングストロームであり、この値は４ヶ月後も変
化しなかった。
【０１３１】実施例１１２ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラキノキサリルポルフィリンを用い、5,1
0,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛に代えて
5,10,15,20−テトラキノキサリルポルフィリナト銅を用
い、それぞれのポルフィリン誘導体の１回ごとの堆積膜
厚を２４オングストローム及び２２オングストロームと
したほかは、実施例１０５と同様にして、多層膜を得
た。この膜の積層周期をＸ線回折分析装置で調べたとこ
ろ、４６オングストロームとなっていることが確認され
た。また、この膜の自乗平均粗さは２．５オングストロ
ームであり、この値は４ヶ月後も変化しなかった。
【０１３２】実施例１１３ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラ（２−フルオレニル）ポルフィリンを
用い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛
に代えて5,10,15,20−テトラ（２−フルオレニル）ポル
フィリナトカドミウムを用い、それぞれのポルフィリン
誘導体の１回ごとの堆積膜厚を２４オングストローム及
び２６オングストロームとしたほかは、実施例１０５と
同様にして、多層膜を得た。この膜の積層周期をＸ線回
折分析装置で調べたところ、５０オングストロームとな
っていることが確認された。また、この膜の自乗平均粗
さは２．５オングストロームであり、この値は４ヶ月後
も変化しなかった。
【０１３３】実施例１１４ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラキス（２，４−ジメトキシフェノー
ル）ポルフィリナト鉛を用い、5,10,15,20−テトラフェ
ニルポルフィリナト亜鉛に代えて5,10,15,20−テトラキ
ス（２，４−ジメトキシフェノール）ポルフィリナトコ
バルトを用い、それぞれのポルフィリン誘導体の１回ご
との堆積膜厚を２０オングストローム及び２６オングス
トロームとしたほかは、実施例１０５と同様にして、多
層膜を得た。この膜の積層周期をＸ線回折分析装置で調
べたところ、４６オングストロームとなっていることが
確認された。また、この膜の自乗平均粗さは２．７オン
グストロームであり、この値は４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【０１３４】実施例１１５ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて5,1
0,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト亜鉛を用
い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛に
代えて5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリナト鉛
を用い、それぞれのポルフィリン誘導体の１回ごとの堆
積膜厚を２２オングストローム及び２６オングストロー
ムとしたほかは、実施例１０５と同様にして、多層膜を
得た。この膜の積層周期をＸ線回折分析装置で調べたと
ころ、４８オングストロームとなっていることが確認さ
れた。また、この膜の自乗平均粗さは２．６オングスト
ロームであり、この値は４ヶ月後も変化しなかった。
【０１３５】実施例１１６ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリンに代えて2,3,
7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィリナト亜鉛を
用い、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛
に代えて2,3,7,8,12,13,17,18 −オクタエチルポルフィ
リナトニッケルを用い、それぞれのポルフィリン誘導体
の１回ごとの堆積膜厚を２２オングストローム及び２３
オングストロームとしたほかは、実施例１０５と同様に
して、多層膜を得た。この膜の積層周期をＸ線回折分析
装置で調べたところ、４５オングストロームとなってい
ることが確認された。また、この膜の自乗平均粗さは
２．６オングストロームであり、この値は４ヶ月後も変
化しなかった。
【０１３６】実施例１１７ 5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリン粉末０．１ｇ
と、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛
０．１ｇと、テトラベンゾポルフィリナトコバルト０．
１ｇとを計り取り、それぞれを第１石英るつぼと第２石
英るつぼと第３石英るつぼとの中に入れた。そして、第
１石英るつぼを分子線蒸着装置の第１分子線源室に、第
２石英るつぼを第２分子線源室に、第３石英るつぼを第
３分子線源室に入れて、別々に、１５０℃に加熱しなが
ら液体窒素トラップのついた油拡散式真空ポンプにより
１０時間真空引きした。
【０１３７】一方、厚み０．５ｍｍ、直径４インチのシ
リコンウェハー（１００）に対し、酸素気流中で２００
℃に加熱しながら紫外線を当てた。次に、そのシリコン
ウェハーを純水で調整した１％のフッ化水溶液に１０分
間浸漬することにより、洗浄及びエッチングを行った。
そして、これを成長室内の基板ホルダにセットした。次
に、第１〜第３分子線源室内を液体窒素トラップのつい
た油拡散式真空ポンプにより真空引きしながら、どの試
料とも２４０℃に加熱した。そして、第１分子線源室
と、クライオポンプ、イオンポンプ、チタンゲッタポン
プ及び液体窒素シュラウドにより１×１０-10 Ｔｏｒｒ
に減圧された成長室との雰囲気を分離していた第１ゲー
トバルブを開け、5,10,15,20−テトラフェニルポルフィ
リンの基板への蒸着を開始した。このとき、堆積膜厚を
水晶振動子式膜厚計でモニタした。そして、堆積膜厚が
２０オングストロームに達したところで第１ゲートバル
ブを閉じ、蒸着を停止した。次に、同様の手順で、5,1
0,15,20−テトラフェニルポルフィリナト亜鉛を２０オ
ングストローム蒸着した。さらに同様にして、テトラベ
ンゾポルフィリナトコバルトをこの上から２０オングス
トローム蒸着した。この作業をそれぞれ交互に２０回ず
つ繰り返して、多層膜を作成した。この膜の積層周期を
Ｘ線回折分析装置を用いて実施例１０５と同じ条件で調
べたところ、６０オングストロームとなっていることが
確認された。また、この膜の自乗平均粗さは２．８オン
グストロームであり、この値は４ヶ月後も変化しなかっ
た。
【０１３８】
【発明の効果】この発明によれば、表面精度にすぐれた
ポルフィリン薄膜が得られる。この膜は、たとえば電極
間に付着して用いるとショートを有効に防止できるの
で、太陽電池、光導電素子などに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例により製造された多層膜の
Ｘ線回折パターンを示す図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石谷 炯 滋賀県大津市園山３丁目３番７号 株式会 社東レリサーチセンター内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ポルフィリン誘導体分子を加熱蒸発させか
    つ１×１０-7Ｔｏｒｒ未満の超高真空下で分子線として
    飛行させて基板上に堆積させる工程と、 前記基板上に堆積した前記ポルフィリン誘導体分子にＸ
    線を照射する工程と、を含むポルフィリン薄膜の製造方
    法。
  2. 【請求項２】前記ポルフィリン誘導体は、5,10,15,20−
    テトラフェニルポルフィリン、5,10,15,20−金属テトラ
    フェニルポルフィリン、テトラベンゾポルフィリン、金
    属テトラベンゾポルフィリン、5,10,15,20−テトラ（２
    −ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20−金属テトラ
    （２−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20−テトラ
    （３−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20−金属テト
    ラ（３−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20−テトラ
    （４−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20−テトラ
    （４−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20−金属テト
    ラ（４−ピリジル）ポルフィリン、5,10,15,20−テトラ
    （４−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,20−金属テト
    ラ（４−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,20−テトラ
    （６−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,20−金属テト
    ラ（６−キノリル）ポルフィリン、5,10,15,20−テトラ
    キノキサリルポルフィリン、5,10,15,20−金属テトラキ
    ノキサリルポルフィリン、5,10,15,20−テトラキス（２
    −フルオレニル）ポルフィリン、5,10,15,20−金属テト
    ラキス（２−フルオレニル）ポルフィリン、5,10,15,20
    −テトラキス（２，４−ジメトキシフェノール）ポルフ
    ィリン、5,10,15,20−金属テトラキス（２，４−ジメト
    キシフェノール）ポルフィリン、5,10,15,20−テトラキ
    ス（２−ニトロフェニル）ポルフィリン、5,10,15,20−
    金属テトラキス（２−ニトロフェニル）ポルフィリン、
    5,10,15,20−テトラビフェニルポルフィリン、5,10,15,
    20−金属テトラビフェニルポルフィリン、2,3,7,8,12,1
    3,17,18 −オクタエチルポルフィリン、2,3,7,8,12,13,
    17,18 −金属オクタエチルポルフィリンからなる群から
    選ばれた少なくとも１種のポルフィリン誘導体である、
    請求項１に記載のポルフィリン薄膜の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1255167A3 (en) * 2001-04-12 2003-12-10 Canon Kabushiki Kaisha Porphyrin compound, and electrophotographic photosensitive member, process-cartridge and apparatus using the compound
JP2010529695A (ja) * 2007-06-13 2010-08-26 ユニバーシティ オブ サザン カリフォルニア 非平面状ポルフィリンを用いた有機感光性光電子デバイス

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