JPH06153535A

JPH06153535A - 静電フィルムアクチュエータ

Info

Publication number: JPH06153535A
Application number: JP30364992A
Authority: JP
Inventors: Eiji Niikura; 栄二新倉
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-11-13
Filing date: 1992-11-13
Publication date: 1994-05-31

Abstract

(57)【要約】【目的】複数の帯状電極を備えた絶縁性ベース材から
なる固定子基板の、高電圧印加による動作時の帯状電極
間の十分な絶縁性能や、安定した駆動力を得る。【構成】固定子基板を構成する複数枚の絶縁性ベース
材３１〜３４上に３極以上からなる所定のピッチ間隔で
設けられた平行パターンを形成する帯状電極４ａ，４
ｂ，４ｃを、相異なる電極が交互に並列するよう配置す
るとともに、前記帯状電極を、前記絶縁性ベース材の一
方の表面に１極のみ設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、紙やフィルムを駆動ま
たは搬送する為の静電アクチュエータに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図１３は、特開平２−２８５９７８号公
報に記載された従来のフィルムを利用した静電アクチュ
エータの斜視図、図１４は機能を説明するための構成
図、図１５は具体的構成例の断面図である。図１３およ
び図１４において、１は固定子であって、後述する絶縁
体２に帯状電極４を設けたものである。２は固定子１を
構成する絶縁体であり、たとえばＰＥＴフィルム等が用
いられる。４は絶縁体２に設けられた複数からなる帯状
電極であり、１０は固定子１上を動く移動子である。帯
状電極４は、互いに絶縁された帯状電極４ａ，４ｂ，４
ｃの３極から構成されており、固定子１内に絶縁されて
埋め込まれている。移動子１０は、絶縁体層１１および
高抵抗体層１２からなる。

【０００３】具体的構成を図１５についてさらに詳しく
述べる。図１５において、３はガラスエポキシ基板であ
って、その上に帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃが同一表面上
に設けられている。５はガラスエポキシ基板３および帯
状電極４の表面に塗られたエポキシ樹脂であって、絶縁
体２の一部をなし、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃ間を絶縁
する。６および７はＰＥＴフィルムであって、ガラスエ
ポキシ基板３およびエポキシ樹脂５とともに絶縁体２を
構成している。

【０００４】次に、動作を説明する。まず、帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃにそれぞれ正または負の電圧を印加す
る。帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃは印加電圧の電極に応じ
て正負の電荷が帯電し、高抵抗体層１２の帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃにそれぞれ対向した位置に逆の電位が誘
電する。この状態では、固定子１と移動子１０がそれぞ
れ逆の電位に帯電されているので吸引力が働いている。

【０００５】次に、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの電位を
適切に切り換えることによって、固定子１と移動子１０
の間には反発力が生じ、浮上力と吸引力により横方向へ
の力が作用し、移動子１０は上記力によって帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃの１ピッチ分だけ移動する。上記印加電
圧の電極の切り換えを繰り返すことによって、移動子１
０を固定子１に対して、所定の速度で所定の位置に駆動
することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の静
電フィルムアクチュエータにおいては、帯状電極４ａ，
４ｂ，４ｃに正負の電圧を印加するため、異なる電極間
には過大な電位差が生じる。さらに従来の静電アクチュ
エータにおいては、駆動力を増すためには印加電圧を上
げたり、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの間隔を狭める必要
があるが、この従来例では、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃ
がガラスエポキシ基板３の同一平面上に設けられている
ため、帯状電極間の距離が近接しており、十分な絶縁性
能が得られない。

【０００７】また、この従来例では、エポキシ樹脂５を
塗布して帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃ間の絶縁性を与えて
いるが、帯状電極間を完全に固体で絶縁することは不可
能であり、塗布むら等による絶縁性能の劣化も予想され
る。したがって、駆動力を高めるために、帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃに印加する電圧を上げたり、帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃの間隔を狭めたりすると、絶縁破壊が生
じる等の問題がある。

【０００８】さらに、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃのピッ
チに対する面積占有率を大きくすると、駆動力が増すこ
とが分かっているが、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの間隔
が狭くなるため絶縁破壊が生じる可能性がある。また、
構造的に隣合う帯状電極との間隙を０にすることは不可
能であるなどの問題点がある。

【０００９】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、隣合う帯状電極間の絶縁性能が
十分に得られ、高電圧を印加することが可能な静電アク
チュエータを得ることを目的とする。

【００１０】また、安定した駆動力の得られる構造の静
電アクチュエータを得ることを目的とする。

【００１１】さらに、隣合う異極の帯状電極との間隙を
最小０にすることができ、帯状電極を任意の電極幅にと
ることができて十分な駆動力が得られる静電アクチュエ
ータを得ることを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この発明に係る静電アク
チュエータは、複数枚の各絶縁性ベース材の一面には１
極の帯状電極のみを設け、少なくとも３極以上の帯状電
極が交互に並列するように各絶縁性ベース材を張り合わ
せて固定子を構成したものである。

【００１３】また、帯状電極と移動子の高抵抗体層まで
の距離の２乗に比例して、帯状電極の幅を変えたもので
ある。

【００１４】また、各帯状電極と移動子の高抵抗体層ま
での距離の２乗に比例して各帯状電極に印加する電圧の
絶対値を設定したものである。

【００１５】さらに、複数枚の絶縁性ベース材から構成
され、少なくとも３極以上から成る前記絶縁性ベース材
上に設けられた平行パターン状の帯状電極を備えた固定
子において、隣合う異極の帯状電極との間隙を最小で０
にし、帯状電極を任意の幅に構成したものである。

【００１６】

【作用】この発明による静電アクチュエータにおいて
は、動作時に帯状電極に正負の電圧を印加した際に、異
なる電圧が作用している帯状電極同志が、異なるフィル
ム面上に構成されているため、相互に十分絶縁されてい
る。

【００１７】また、各帯状電極の幅を、各帯状電極から
移動子の高抵抗体層までの距離の２乗に比例した幅に形
成したので、各帯状電極に対向する固定子表面での電界
密度が一様になる。

【００１８】また、各帯状電極に印加する電圧の絶対値
を移動子の高抵抗体層までの距離の２乗に比例した値に
したので、各帯状電極に対向する固定子表面での電界密
度が一様になる。

【００１９】また、３極以上からなる帯状電極の隣合う
電極が異なるフィルム面に存在するため、隣合う異極の
帯状電極との間隙を最小で０になるまで、帯状電極の幅
を任意の値にすることができる。

【００２０】

【実施例】実施例１．以下、本発明の実施例１について説明する。
図１は実施例１を示す静電アクチュエータの概観図、図
２は静電アクチュエータの構成図、図３は固定子１と移
動子１０の具体的構成図、図４は断面図である。図にお
いて、上記従来装置と同一または相当部材については、
同一符号を付してその説明を省略する。図１において、
２０は電極の切換えを制御するコンピュータ、２１は電
極を切り換える回路、２２は正電圧を与える直流電源、
２３は負電圧を与える直流電源である。

【００２１】図２は実施例１の静電アクチュエータの構
成を示す斜視図で、１は固定子、４は帯状電極であり、
３極の帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃを備えている。１０は
固定子１上を移動する移動子である。また、図３は実施
例１の具体的構成を示す斜視図で、本実施例１では、絶
縁性ベース材３１，３２，３３，３４にポリイミドフィ
ルムを利用しており、図４に示すように、ポリイミドフ
ィルム３２の上面に帯状電極４ａ、下面に帯状電極４
ｂ、ポリイミドフィルム３３の下面に帯状電極４ｃがそ
れぞれエッチングによって設けてある。これら３極の帯
状電極４ａ，４ｂ，４ｃは、それぞれ近接する他の帯状
電極と重なり合うことなく所定のピッチで平行に配置し
てある。３５，３６，３７は帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃ
間の湿式レジストとしてのシリコンであり、ポリイミド
フィルム３１，３２，３３，３４の間にシリコン３５，
３６，３７を塗布し、張り合わせたものを固定子１とし
ている。帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃは、それぞれ近接す
る帯状電極間が、固体の絶縁物質であるポリイミドフィ
ルムによって十分に絶縁されている。また、移動子１０
は、図３に示すように、絶縁体層１１と高抵抗体層１２
からなり、高抵抗体層１２には帯電防止材を抵抗体とし
て塗布してある。

【００２２】直流電源２２，２３は、電極切換回路２１
に接続されており、正負の電圧を供給している。電極切
換回路２１は、コンピュータ２０によって制御されてお
り、直流電源２２，２３から供給された電圧の正負の極
性の切り換えをおこなう。また、固定子１の帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃは、それぞれ電圧の正負の極性を切り換
える電極切換回路２１に接続されている。移動子１０
は、固定子１の上面に接触した状態で設置される。

【００２３】次に、この静電アクチュエータの動作原理
について説明する。図５（ａ）〜図６（ｂ）は、実施例
１の静電アクチュエータの動作原理図である。図５
（ａ）は初期状態を示す。図において、固定子１上に移
動子１０が接触した状態で設置してあり、帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃには直流電源２２，２３から電圧は印加
されていない。

【００２４】図５（ｂ）は帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃに
電圧を印加した状態を示す図で、帯状電極４ａには正電
圧＋Ｖ、帯状電極４ｂには負電圧−Ｖ、帯状電極４ｃに
は０Ｖをそれぞれ印加する。このとき、移動子１０の高
抵抗体層１２には、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃが帯電し
た電荷の量に応じて帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃに対向し
ている部分に電荷が誘導され、帯電された状態になる。
この操作を充電と呼ぶ。

【００２５】図５（ｃ）は帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃに
印加する電圧の極性の切り換えを示した図である。図に
示すように、帯状電極４ａは負電圧−Ｖ、帯状電極４ｂ
は正電圧＋Ｖ、帯状電極４ｃは負電圧−Ｖにそれぞれ印
加電圧の極性を切り換える。帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃ
内に帯電していた電荷は、印加電圧の切り換えと同時に
移動するが、高抵抗体層１２の帯状電極４ａ，４ｂ，４
ｃに対向している部分に帯電していた電荷は、抵抗値が
高いので瞬時に移動することができない。この時、帯状
電極４ａ，４ｂの電荷と、それに対向している高抵抗体
層１２に帯電された電荷とは互いに同符号となって反発
しあい、移動子１０は固定子１から浮き上がる。そし
て、帯状電極４ｂの＋電荷と、帯状電極４ａに対向して
いる高抵抗体層１２上の−電荷と、帯状電極４ｃの−電
荷と帯状電極４ｂに対向している高抵抗体層１２上の＋
電荷とは互いに吸引し合い、また、帯状電極４ａに対向
している高抵抗体層１２上の−電荷と、それに最も隣接
した帯状電極４ｃの−電荷とは反発し合うので、移動子
１０は右方向に１ピッチ移動する。図６（ａ）はこの移
動後の状態を示す図である。図のように、帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃの電荷と、高抵抗体層１２上の電荷とは
相互に異極なので吸引しあい、移動子１０は停止する。

【００２６】さらに、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃに印加
する電圧の極性を図６（ｂ）のように切り換える。図６
（ｂ）は再充電した状態を示す図である。図に示すよう
に、帯状電極４ａには０Ｖ、帯状電極４ｂには正電圧＋
Ｖ、帯状電極４ｃには負電圧−Ｖをそれぞれ印加して再
充電すると、高抵抗体層１２上の帯状電極４ａ，４ｂ，
４ｃにそれぞれ対向している部分には、０，−，＋の電
荷が帯電する。

【００２７】以下、上記と同様に、各帯状電極４ａ，４
ｂ，４ｃに印加する電圧の極性の切り換えを繰り返し行
なうことによって、移動子１０は帯状電極の１ピッチ分
ずつ浮上しながら移動する。

【００２８】静電フィルムアクチュエータは、直流電源
２２，２３からの印加電圧の絶対値の大きさを大きくし
たり、帯状電極４のピッチ間距離を狭めたりすることに
よって移動子１０の駆動力を増すとともに、滑らかな移
動が可能となる。本実施例１においては、帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃ間がポリイミドフィルムによって絶縁さ
れているため、大電圧の印加やピッチ間の隣接化をおこ
なっても、帯状電極が絶縁破壊を起こす可能性は少な
い。

【００２９】実施例２．図７は、この発明の実施例２を
示す固定子基板の断面図である。上記実施例１では、固
定子１は絶縁性ベース材としてポリイミドフィルムを利
用しており、３極の帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃを、ポリ
イミドフィルムの片面に１極づつ設けたものであって、
図４に示したように、ポリイミドフィルム３２の上面に
１極、下面に１極、ポリイミドフィルム３３の下面に１
極が設けてあり、ポリイミドフィルムを４枚張り合わせ
た構成であったが、本実施例２でも、同様に、絶縁性ベ
ース材としてポリイミドフィルムを利用している。図７
に示すように、ポリイミドフィルム３２の上面に帯状電
極４ａを、ポリイミドフィルム３３の上面に帯状電極４
ｂを、ポリイミドフィルム３４の上面に帯状電極４ｃを
それぞれエッチングによって配置したものである。

【００３０】図中のポリイミドフィルム３１，３２，３
３，３４の間には、それぞれシリコン３５，３６，３７
が湿式レジストとして塗られており、帯状電極４ａ，４
ｂ，４ｃ間は、それぞれポリイミドフィルム３２，３３
によって絶縁されている。この実施例２においても、上
記実施例１と同様に、３極の帯状電極はフィルムの片面
に１極設ける構成であるので、帯状電極４ａ，４ｂ，４
ｃ間で絶縁破壊を起こさず、移動子１０は十分な駆動力
を得ることができる。

【００３１】実施例３．図８は、本発明の実施例３を示
す固定子基板の断面図である。本実施例３は上記実施例
２と同様に、図８に示すように、ポリイミドフィルム３
２の上面に帯状電極４ａを、下面に帯状電極４ｂを、ポ
リイミドフィルム３４の上面に帯状電極４ｃをそれぞれ
エッチングによって配置したものである。各ポリイミド
フィルム間には、シリコン３５，３６，３７が湿式レジ
ストとして塗られている。本実施例３においても、帯状
電極４ａ，４ｂ，４ｃはポリイミドフィルム３２，３３
によって十分に絶縁されているため、電極間で絶縁破壊
を起こさず、移動子１０は十分な駆動力を得ることがで
きる。

【００３２】実施例４．図９は、本発明の実施例４を示
す固定子基板の断面図である。本実施例４は、絶縁性ベ
ース材としてポリイミドフィルムを利用しており、ポリ
イミドフィルム上に帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃをエッチ
ングにより設けている。図に示すように、ポリイミドフ
ィルム３１を絶縁体とし、ポリイミドフィルム３２の上
面に帯状電極４ａを、ポリイミドフィルム３３の上面に
帯状電極４ｂを、ポリイミドフィルム３４の上面に帯状
電極４ｃを配置し、ポリイミドフィルム３１，３２，３
３，３４を張り合わせて固定子１としている。

【００３３】また、移動子１０の高抵抗体層１２の表面
から、それぞれの帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃまでの距離
の２乗に比例して、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの幅をそ
れぞれ変えたものである。本実施例４では、帯状電極４
ａが高抵抗体層１２の表面から最も近いので電極幅を狭
くし、帯状電極４ｃが高抵抗体層１２の表面から最も離
れているので電極幅を最大にしている。

【００３４】静電アクチュエータの動作時に、帯状電極
４ａ，４ｂ，４ｃに帯電する電荷の量は、帯状電極４
ａ，４ｂ，４ｃの面積の大きさに比例する。また、移動
子１０の高抵抗体層１２に帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの
電荷によって誘電されて帯電する電荷の量は、高抵抗体
層１２と帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの距離の２乗にそれ
ぞれ反比例している。つまり、高抵抗体層１２と帯状電
極４ａ，４ｂ，４ｃそれぞれの距離に応じて帯状電極の
幅と、面積を変化させることにより、高抵抗体層１２上
での帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃが作る電界の大きさを一
様にすることが可能になり、そのようにすれば、電極の
切り換えによって生じる吸引力や反発力が高抵抗体層１
２上では一定になり、安定した駆動力を得ることができ
る。

【００３５】実施例５．図１０は、本発明の実施例５を
示す固定子基板の断面図、図１１はその帯状電極に供給
する電圧切り換えのシーケンス図である。本実施例５
は、実施例２と同様の固定子を使用している。本実施例
５は、絶縁性ベース材としてポリイミドフィルムを利用
しており、ポリイミドフィルム上に帯状電極４ａ，４
ｂ，４ｃをエッチングにより設けている。図１０に示す
ように、ポリイミドフィルム３１を絶縁体とし、ポリイ
ミドフィルム３２の上面に帯状電極４ａを、ポリイミド
フィルム３３の上面に帯状電極４ｂを、ポリイミドフィ
ルム３４の上面に帯状電極４ｃを配置し、ポリイミドフ
ィルム３１，３２，３３，３４を張り合わせて固定子１
としている。

【００３６】また、移動子１０の高抵抗体層１２の表面
から、それぞれの帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃまでの距離
の２乗に比例して帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃへの印加電
圧の大きさを、それぞれ変えたものである。本実施例５
では、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、帯状電極４
ａが高抵抗体層１２の表面から最も近いので、印加電圧
をＶａにし、帯状電極４ｃが高抵抗体層１２の表面から
最も離れているので、印加電圧をＶｃにしている。ただ
し、図中で、Ｖａ＜Ｖｂ＜Ｖｃである。

【００３７】固定子１の帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃに帯
電する電荷の量は、印加する電圧の大きさに比例する。
また、移動子１０の高抵抗体層１２に帯状電極４ａ，４
ｂ，４ｃの電荷によって誘電されて帯電する電荷の量
は、高抵抗体層１２と帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの距離
の２乗に反比例している。つまり、高抵抗体層１２と帯
状電極４ａ，４ｂ，４ｃそれぞれの距離に応じて、印加
する電圧の大きさを変化させることにより、高抵抗体層
１２上に帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃが作る電界の大きさ
が一様になるため、上記実施例４と同様に、電極の切り
換えによって生じる吸引力や反発力が一定になり、安定
した駆動力を得ることができる。

【００３８】実施例６．図１２は本発明の実施例６を示
す固定子基板の断面図である。本実施例６でも上記実施
例１と同様に、絶縁性ベース材としてポリイミドフィル
ムを利用している。図１２に示すように、ポリイミドフ
ィルム３２の上面に帯状電極４ａを、ポリイミドフィル
ム３３の上面に帯状電極４ｂを、ポリイミドフィルム３
４の上面に帯状電極４ｃをそれぞれエッチングによって
配置したものである。図中のポリイミドフィルム３１，
３２，３３，３４の間には、それぞれシリコン３５，３
６，３７が塗られており、帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃ間
は、それぞれポリイミドフィルム３２，３３によって絶
縁されている。本実施例５の固定子の構造上、帯状電極
４ａ，４ｂ，４ｃがそれぞれ異なるフィルム面に存在す
るため、隣合う異極の帯状電極との間隙が０になるまで
帯状電極の幅を広げることが可能である。上記実施例４
では、帯電する電荷の量が帯状電極４ａ，４ｂ，４ｃの
電極面積の大きさに比例すると述べたが、本実施例６で
は、帯状電極の幅を最大にする、つまり帯状電極の面積
を最大にするため、移動子１０に誘電する電荷の量も最
大になり、安定した駆動力を得る。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、複数枚の絶縁性ベース材から構成される固定子基板
と、相互に絶縁された３極以上からなる前記絶縁性ベー
ス材上に所定のピッチ間隔で設けられた平行パターンの
帯状電極を、前記固定子基板上に相異なる電極が交互に
並列するよう配置された静電フィルムアクチュエータに
おいて、３極以上からなる帯状電極を、前記絶縁性ベー
ス材の片面に１極だけ設ける構成とするため、大電圧の
印加や印加電圧の切り換えによって起こる電極間の絶縁
破壊を防ぐことができる効果がある。

【００４０】また、各帯状電極と高抵抗体層との距離の
２乗に比例して、各帯状電極の幅を変えたので、動作時
に、固定子表面の各帯状電極に対向する位置での電界密
度が一定になり、安定した駆動力が得られる効果があ
る。

【００４１】また、各帯状電極に印加する電圧の絶対値
を、各帯状電極と高抵抗体層までの距離の２乗に比例し
た値にしたので、動作時に、固定子表面の各帯状電極に
対向する位置での電界密度が一定になり、安定した駆動
力が得られる効果がある。

【００４２】また、複数枚の絶縁性ベース材上に設けら
れた３極以上からなる帯状電極の幅を、隣合う異極の帯
状電極との間隙が最小で０になるまで大きくできるの
で、所定の電極間ピッチにおいて、最大の駆動力を得る
ことができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す静電アクチュエータの
概観図である。

【図２】実施例１の静電アクチュエータの斜視図であ
る。

【図３】実施例１の固定子と移動子の具体的構成を示す
斜視図である。

【図４】実施例１の固定子を示す断面図である。

【図５】実施例１の動作原理を説明するための図であ
る。

【図６】実施例１の動作原理を説明するための図であ
る。

【図７】本発明の実施例２の固定子を示す断面図であ
る。

【図８】本発明の実施例３の固定子を示す断面図であ
る。

【図９】本発明の実施例４の固定子を示す断面図であ
る。

【図１０】本発明の実施例５の固定子を示す断面図であ
る。

【図１１】実施例５の印加電圧の切り換えを示すシーケ
ンス図である。

【図１２】本発明の実施例６の固定子を示す断面図であ
る。

【図１３】従来の静電アクチュエータを示す斜視図であ
る。

【図１４】従来の静電アクチュエータの機能を説明する
ための構成図である。

【図１５】従来の静電アクチュエータを示す具体的構成
例の断面図である。

【符号の説明】

１固定子２絶縁体３ガラスエポキシ基板４帯状電極５エポキシ樹脂６ＰＥＴフィルム７ＰＥＴフィルム１０移動子１１絶縁体層１２高抵抗体層２０コンピュータ２１電極切換回路２２直流電源（正電圧）２３直流電源（負電圧）３１ポリイミドフィルム３２ポリイミドフィルム３３ポリイミドフィルム３４ポリイミドフィルム３５シリコン３６シリコン３７シリコン

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フィルム状の絶縁性ベース材の表面に所
定のピッチ間隔でもって平行パターン状に形成された少
なくとも３極の帯状電極を有する固定子と、この固定子
の面上を移動する移動子とを備えた静電フィルムアクチ
ュエータにおいて、前記３極以上の帯状電極を、前記複
数枚の各絶縁性ベース材の一面には１極の帯状電極のみ
を設けてなることを特徴とする静電フィルムアクチュエ
ータ。
【請求項２】フィルム状の絶縁性ベース材の表面に所
定のピッチ間隔でもって平行パターン状に形成された少
なくとも３極の帯状電極を有する固定子と、この固定子
の面上を移動する移動子とを備えた静電フィルムアクチ
ュエータにおいて、前記各極を構成する帯状電極の幅
を、当該各帯状電極と移動子との距離の２乗に比例した
幅に形成してなることを特徴とする静電フィルムアクチ
ュエータ。
【請求項３】フィルム状の絶縁性ベース材の表面に所
定のピッチ間隔でもって平行パターン状に形成された少
なくとも３極の帯状電極を有する固定子と、この固定子
の面上を移動する移動子とを備えた静電フィルムアクチ
ュエータにおいて、前記各帯状電極に印加する電圧の絶
対値を、各帯状電極と移動子との距離の２乗に比例した
値としたことを特徴とする静電フィルムアクチュエー
タ。
【請求項４】複数枚のフィルム状の絶縁性ベース材の
表面に所定のピッチ間隔でもって平行パターン状に形成
された少なくとも３極の帯状電極を有する固定子と、こ
の固定子の面上を移動する移動子とを備えた静電フィル
ムアクチュエータにおいて、前記３極以上の帯状電極
を、前記複数枚の各絶縁性ベース材の一表面には１極の
帯状電極のみを設けるとともに、各帯状電極の幅を、隣
り合う異極の帯状電極との間隔が最小で０になる幅に形
成してなることを特徴とする静電フィルムアクチュエー
タ。