JPH06147806A - 形状測定方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 任意の曲線形状の壁面における形状誤差を測
定し得る形状誤差測定装置を提供する。 【構成】 ベース１上には回転駆動装置３が設置され、
回転駆動装置３上のターンテーブル３ａが軸線Ｌ₀ を中
心に回転駆動装置３内のサーボモータ２によって回転駆
動される。昇降スタンド４には昇降枠５が昇降可能に取
り付けられ、昇降枠５には支持アーム７がターンテーブ
ル３ａの回転平面方向へ移動可能に支持される。支持ア
ーム７はサーボモータ８によって直線駆動され、支持ア
ーム７の先端にはプローブヘッド９が取り付けられてい
る。その探触子１５がターンテーブル３ａの回転平面に
対して平行に回動変位可能に支持されており、探触子１
５の回動角変位はプローブヘッド９内のロータリエンコ
ーダ１７によって検出される。サーボモータ２，８はベ
ース１内の制御コンピュータＣによって駆動制御され、
制御コンピュータＣは探触子１５の回動角変位情報及び
スクロール部材１８の予め設定された壁面形状に基づい
て形状誤差を割り出す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばスクロール型圧
縮機におけるスクロール部材のスクロール壁面の形状、
あるいはカム部材のカム形状の形状誤差を測定するため
の装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の形状測定装置としては、被測定
体をターンテーブルに載置して回転すると共に、ターン
テーブルの回転平面に対して平行にプローブヘッドを直
線移動して被測定体の被測定形状領域に探触子を摺接さ
せる極座標方式がある。探触子はプローブヘッドに対し
てターンテーブルの回転平面の方向へ傾動付勢され、こ
の傾動付勢はばね付勢によって行われている。このばね
付勢は１方向のみであり、例えばスクロール部材のスク
ロール壁に１方向へばね付勢される探触子が摺接され
る。即ち、このようなプローブヘッドは２次元あるいは
３次元の曲線形状の誤差測定に用いられ、誤差は探触子
の原位置に対する傾動量から把握される。このようなプ
ローブヘッドは例えば特開昭６０−５２７０２号公報、
特開平１−２０９３１１号公報及び特開平２−２２１８
０６号公報に開示されるようなスクロール壁の壁面形状
測定方法に用いられる。これら各公報ではいずれも探触
子がスクロール壁面を形成するインボリュート曲線の基
礎円の接線上を移動し、探触子は例えばその移動方向へ
前記ばね付勢によって付勢される。インボリュート曲線
は基礎円の接線、即ち伸開線の長さ及び伸開角を用いて
表現できる。伸開線の長さをプローブヘッドの直線移動
位置、伸開角をスクロール部材の回転角度として採用す
ることによりプローブヘッドをインボリュート曲線に沿
わせる移動制御が正確に行われる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】スクロール部材のスク
ロール壁の内壁面及び外壁面は始端部ではインボリュー
ト曲線以外の曲線で接続される。特開昭５９−５８１８
７号公報ではスクロール壁の始端部の耐圧強度を高める
ために始端部の壁厚が他部位よりも厚くされており、こ
の壁厚増加は内壁面の始端部を直線形状とすることによ
って行われている。探触子の先端は球になっているが、
インボリュート曲線の接線と伸開線とは直交しているた
めに伸開線上の接触子先端の球とインボリュート曲線と
の接点は常に伸開線上にあり、この接点位置を正確に特
定できる。従って、インボリュート曲線を用いた壁面形
状の正確な形状誤差測定が行える。しかしながら、イン
ボリュート曲線とは異なる曲線（以下、非インボリュー
ト曲線という）では基礎円の接線と非インボリュート曲
線の接線とが直交せず、基礎円の接線上の探触子先端の
球と非インボリュート曲線との接点位置は基礎円の接線
から外れる。そのため、基礎円の接線上を移動するプロ
ーブヘッドの移動方向へのみ傾動変位可能な探触子を備
えたプローブヘッドでは非インボリュート曲線からなる
スクロール壁始端部の正確な形状誤差測定はできない。

【０００４】又、基礎円内に入り込む非インボリュート
曲線には探触子が接触できず、測定不可能である。本発
明は、インボリュート曲線及び非インボリュート曲線の
いずれの場合にも正確な形状誤差測定を行ない得る極座
標方式の形状測定装置及びこれに使用するプローブヘッ
ド、並びインボリュート曲線及び非インボリュート曲線
のいずれの形状誤差も測定し得る方法を提供することを
目的する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そのために第１の発明で
は、スクロール部材のスクロール壁の一部を形成するイ
ンボリュート曲線の基礎円の半径中心をスクロール部材
の測定用回転中心とし、スクロール部材の回転平面に対
して平行に回動変位可能な探触子を備えたプローブヘッ
ドの直線移動制御及びスクロール部材の回転制御によっ
てスクロール部材のスクロール壁に前記探触子を摺接さ
せ、探触子の回動角変位データからスクロール壁の形状
を測定するようにした。

【０００６】第２の発明では、被測定体を載置回転する
ためのターンテーブルと、ターンテーブルを回転駆動す
るための回転駆動装置と、ターンテーブルの回転平面に
平行して回動変位可能な探触子及び探触子の回動角変位
を電気的信号に変換して出力する回動角検出手段を備え
ると共に、ターンテーブルの回転平面に対して平行に直
線移動するプローブヘッドと、プローブヘッドを直線駆
動するための直線駆動装置と、被測定体に対するプロー
ブヘッドの相対経路として前記探触子が被測定体の被測
定領域に摺接するように前記回転駆動装置及び直線駆動
装置を駆動制御する測定動作指令手段と、被測定体の被
測定領域に摺接する探触子の探触経路を回動角検出手段
から得られる変位データに基づいて割り出すと共に、こ
の探触経路と被測定体の形状として予め設定記憶された
設定形状との差を誤差として割り出す形状誤差割り出し
手段とにより形状測定装置を構成した。

【０００７】第３の発明では、支持枠によって支軸を回
転可能に支持すると共に、支軸の回転中心から半径方向
へ離間した位置に探触子の探触先端を配置し、支持枠と
支軸との間には探触子を原点位置に復帰させるための付
勢手段を介在し、前記探触子の回動角変位を検出する回
動角検出手段を設けてプローブヘッドを構成した。

【０００８】

【作用】スクロール部材のスクロール壁面形状を測定す
る場合、ターンテーブル上に載置されるスクロール部材
のインボリュート曲線の基礎円の半径中心がターンテー
ブルの回転中心上に設定される。回転駆動装置及び直線
駆動装置は測定動作指令手段からの動作指令によって駆
動し、探触子はスクロール壁面に摺接する。探触子はタ
ーンテーブルの回転平面に対して平行に回動変位する
が、探触子の回動中心と探触先端とを結ぶ半径線と直線
移動経路との成す角度が回動角検出手段によって検出さ
れる。回動角検出手段は探触子の回動角を電気信号とし
て形状誤差割り出し手段に出力し、形状誤差割り出し手
段は回動角検出手段から得られる検出データに基づいて
実際の壁面形状と設定壁面形状との差、即ち誤差を割り
出す。

【０００９】第３の発明のプローブヘッドはこのような
回動変位可能な探触摺接機能を持つ。

【００１０】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図１〜
図５に基づいて説明する。図１は形状測定装置全体を表
す。ベース１上にはサーボモータ２を用いた回転駆動装
置３が設置されており、回転駆動装置３上のターンテー
ブル３ａがサーボモータ２の駆動によって回転される。
ターンテーブル３ａ上には被測定体（本実施例ではスク
ロール型圧縮機に用いられるスクロール部材１８）が載
置される。

【００１１】回転駆動装置３の側方には昇降スタンド４
が立設されており、昇降スタンド４には昇降枠５が昇降
可能に支持されている。昇降スタンド４内にはサーボモ
ータ６が内蔵されており、昇降枠５がサーボモータ６の
作動によって昇降する。

【００１２】昇降枠５には支持アーム７がターンテーブ
ル３ａの上方へスライド延出可能に支持されている。昇
降枠５内にはサーボモータ８が内蔵されており、支持ア
ーム７がサーボモータ８の作動によって出没する。支持
アーム７の出没方向はターンテーブル３ａの回転平面に
対して平行である。

【００１３】支持アーム７の先端にはプローブヘッド９
が止着されている。図２はプローブヘッド９の内部構造
を表す。円筒形状の支持枠１０の中心軸線上には支軸１
１が回動可能に支持されており、支軸１１と支持枠１０
との間にはねじりばね１２が介在されている。支軸１１
はねじりばね１２のばね作用によって図２の矢印Ｓ方向
へ回動付勢されている。

【００１４】支持枠１０の開口から突出する支軸１１の
端部にはラジアルアーム１３が止めねじ１４によって締
め付け固定されており、ラジアルアーム１３の先端には
針状の探触子１５が支軸１１と平行に止めねじ１６によ
って締め付け固定されている。探触子１５の先端には探
触球１５ａが形成されている。ラジアルアーム１３の回
動半径は止めねじ１４の締め付け位置調整によって調整
可能であり，ラジアルアーム１３から探触球１５ａまで
の長さは止めねじ１６の締め付け位置調整に調整可能で
ある。

【００１５】支持枠１０には原点位置決めピン１０ａが
止着されており、ねじりばね１２のばね作用によるラジ
アルアーム１３の回動復帰範囲が原点位置決めピン１０
ａによって規制される。ラジアルアーム１３の復帰原点
位置Ｘ₀ はこの回動復帰規制によって支持アーム７に平
行な位置となる。即ち、ラジアルアーム１３が原点位置
Ｘ₀ にあれば探触球１５ａの中心ｒ₀ が回転中心線Ｌ₀
の方向に見て直線移動経路Ｘ上に一致する。

【００１６】支軸１１は支持枠１０の上端壁から突出し
ており、支持枠１０の上端壁にはアブソリュート型のロ
ータリエンコーダ１７が取り付けられている。ロータリ
エンコーダ１７は支軸１１の回動角を検出し、この回動
角はラジアルアーム１３の原点位置Ｘ₀ を起点として測
られる。

【００１７】ベース１内には制御コンピュータＣが内蔵
されている。図４に示すように制御コンピュータＣは、
中央演算処理部ＣＰＵ、データメモリＲＡＭ及びプログ
ラムメモリＲＯＭからなり、ロータリエンコーダ１７か
ら出力される角度検出データが制御コンピュータＣのデ
ータメモリＲＡＭに取り込まれる。データメモリＲＡＭ
にはスクロール部材１８のスクロール壁の壁面曲線デー
タが入力設定器１９によって入力設定されており、プロ
グラムメモリＲＯＭには形状誤差測定プログラムが入力
されている。中央演算処理部ＣＰＵは設定壁面曲線デー
タ及び形状誤差測定プログラムに基づいてサーボモータ
２，８の駆動を制御し、角度検出データに基づいて形状
誤差を割り出し把握する。即ち、制御コンピュータＣ
は、プローブヘッド９の直線駆動動作及びターンテーブ
ル３ａの回転駆動動作を指令する測定動作指令手段及び
形状誤差割り出し手段となる。

【００１８】図１の鎖線直線Ｌ₀ はターンテーブル３ａ
の回転中心を表す。図３の鎖線直線Ｘは支持アーム７の
直線移動経路を表す。一層正確に言えば直線移動経路Ｘ
は支軸１１の回動中心線Ｒ₀ の移動経路であり、ターン
テーブル３ａの回転中心Ｌ₀と直交するように設定され
ている。

【００１９】スクロール部材１８のスクロール壁１８ａ
の内外壁面は始端部を除いてインボリュート曲線Ｅ⁺ ，
Ｅ^- で形成されている。図５はスクロール壁１８ａの始
端部付近を拡大図示したものである。円Ｃ₀ はインボリ
ュート曲線Ｅ⁺ ，Ｅ^- の基礎円であり、点Ｑは基礎円Ｃ
₀ の半径中心である。

【００２０】図５に示すように内壁上の点Ｐ₁ と点Ｐ₂
との間の壁面は滑らかな凹曲線Ｆ⁺、点Ｐ₂ と点Ｐ₃ と
の間の壁面は直線Ｇである。点Ｐ₃ と外壁上の点Ｐ₄ と
の間の壁面は滑らかな凸曲線Ｆ^- である。スクロール部
材１８をスクロール型圧縮機における固定スクロール部
材とすると、可動スクロール部材の壁面もスクロール部
材１８と同一形状であり、固定スクロール部材１８の内
壁曲線Ｅ⁺ は可動スクロール部材の外壁曲線Ｅ^- と摺接
し、固定スクロール部材１８の内壁曲線Ｆ⁺ は可動スク
ロール部材の外壁曲線Ｆ^- と摺接する。又、固定スクロ
ール部材１８の直線壁面Ｇは可動スクロール部材の所定
の公転位置において可動スクロール部材の直線壁面と接
合一致する。

【００２１】データメモリＲＡＭに入力される壁面形状
データは、インボリュート曲線Ｅ⁺，Ｅ^- 、凹曲線
Ｆ⁺ 、凸曲線Ｆ^- 及び直線Ｇからなる壁面形状曲線Ｈ₀
である。インボリュート曲線Ｅ⁺ ，Ｅ^- 、凹曲線Ｆ⁺ 、
凸曲線Ｆ^- 及び直線Ｇは基礎円Ｃ ₀ の中心Ｑを原点とす
る極座標で表現される。即ち、インボリュート曲線
Ｅ⁺ ，Ｅ^- 、凹曲線Ｆ⁺ 、凸曲線Ｆ^- 及び直線Ｇの上の
任意の点Ｐは、原点Ｑからの距離Ｘ（Ｐ）及びターンテ
ーブル３ａの回転角度成分θ（Ｐ）を変数とする関数で
表される。

【００２２】スクロール部材１８の壁面の形状誤差測定
は、スクロール部材１８のインボリュート曲線Ｅ⁺ ，Ｅ
^- の基礎円Ｃ₀ の中心Ｑ₀ とターンテーブル３ａの回転
中心線Ｌ₀ とを一致させる共に、スクロール壁１８ａの
内壁終端に探触球１５ａを当接させた状態から開始され
る。ターンテーブル３ａは図３において右回転し、プロ
ーブヘッド９が直線移動経路Ｘ上をスクロール壁１８ａ
の始端部に向けて移動する。ターンテーブル３ａの回転
及びプローブヘッド９の直線移動、即ちサーボモータ
２，８の駆動は支軸１１の回転中心線Ｒ₀ が曲線Ｈ₀ を
描くように制御される。支軸１１の回転中心線Ｒ₀ が曲
線Ｈ₀ 上を移動することによって探触球１５ａは図３に
おいて原点位置Ｘ₀ から右回りに回動配置され、探触球
１５ａの中心ｒ₀ は曲線Ｈ₀ から探触球１５ａの半径ｒ
程度変位した状態でスクロール壁１８ａの壁面を摺接す
る。

【００２３】スクロール壁１８ａの実際の壁面形状Ｈが
予め設定された曲線Ｈ₀ に一致して場合、支軸１１の回
動中心線Ｒ₀ は曲線Ｈ上を移動し、図５に示すように探
触球１５ａの中心ｒ₀ は曲線Ｈ₀ をその法線方向へ探触
球１５ａの半径ｒだけ移動して得られる曲線Ｈ₁ 上を移
動する。スクロール壁１８ａの実際の壁面形状Ｈが予め
設定された曲線Ｈ₀ に一致しない所では探触球１５ａの
中心ｒ₀ は曲線Ｈ₁ から外れる。基礎円Ｃ₀ の中心Ｑを
通る直線Ｘ₁ ，Ｘ₂ ，Ｘ₃ ，Ｘ₄ ，Ｘ₅ は個々の探触球
１５ａに対応する直線移動経路Ｘであり、直線移動経路
Ｘと壁面曲線Ｈとは一般的には直交しない。

【００２４】図５に示すように回動中心線Ｒ₀ と基礎円
Ｃ₀ の中心Ｑとの距離をρ₁ 、回動中心線Ｒ₀ と接点Ｒ
₁ との距離をＹ、探触球１５ａに対するスクロール壁面
の接点Ｒ₁ と中心Ｑとの距離をρ₂ 、線Ｒ₀ Ｒ₁ と線Ｑ
Ｒ₀ との成す角度をψとすると、距離ρ₂ は次式（１）
で表される。

【００２５】

【数１】 ρ₂ ²＝ρ₁ ²＋Ｙ² −２ρ₁ ・Ｙ² ・ cosψ ・・・（１） 又、支軸１１の回動中心線Ｒ₀ から探触球１５ａの中心
ｒ₀ までの長さ、即ち探触球１５ａの中心ｒ₀ の回動半
径をＲ、原点位置Ｘ₀ からの探触球１５ａの回動角をω
とすると、線Ｒ₀ Ｒ₁ と原点位置Ｘ₀ との成す角ω’は
ω＋ψ−πとなり、探触球１５ａの半径ｒは次式（２）
で表される。

【００２６】

【数２】 ｒ² ＝Ｒ² ＋Ｙ² −２ｒＹ・cos(ω＋ψ−π) ・・・（２） 探触球１５ａが設定された曲線Ｈ₀ を摺接する場合、即
ちρ₁ ＝ρ₁₀の場合に距離Ｙ＝Ｙ₀ は半径ｒの探触球１
５ａと設定された曲線Ｈ₀ との接触関係から演算特定で
きる。距離Ｙ₀ が特定されることは接点Ｒ₁ の特定を意
味し、接点Ｒ₁が特定されれば角度ψ＝ψ₀ 及び距離ρ
₂ ＝ρ₂₀が特定される。従って、角度ω＝ω₀ も式
（１）及び式（２）から特定される。角度ψ₀ 及び距離
ρ₂₀，Ｙ₀ は探触球１５ａが設定された曲線Ｈ₀ を摺接
する場合の値であり、制御コンピュータＣは入力された
壁面形状データＨ₀ 、半径ｒ，Ｒ及び形状誤差測定プロ
グラムに基づいて距離ρ＝ρ₁₀における曲線Ｈ₀ 全体に
対する角度ψ₀ 、距離ρ₂₀，Ｙ ₀ 及び角度ω₀ を予め算
出すると共に、記憶する。

【００２７】探触球１５ａが実際の壁面曲線Ｈを摺接す
る場合の角度ωはロータリエンコーダ１７から得られ
る。制御コンピュータＣはこの検出角度ωと設定された
角度ω ₀ との差（ω−ω₀ ）と距離Ｙとの積Ｙ（ω−ω
₀ ）を算出し、表示装置２０に出力表示する。この積Ｙ
（ω−ω₀ ）が設定曲線Ｈ₀ に対する実際の曲線Ｈの形
状誤差と見なし得る。

【００２８】スクロール壁１８ａの始端部内壁面を摺接
した探触球１５ａはターンテーブル３ａの回転につれて
始端部外壁面の摺接に移り、探触球１５ａが外壁面の終
端に達するとターンテーブル３ａの回転及びプローブヘ
ッド９の直線移動が停止する。

【００２９】直線移動経路Ｘと設定曲線Ｈ₀ とが直交し
ない場合にも形状誤差を測定し得るのはターンテーブル
３ａの回転平面に対して平行に回動変位可能な探触子１
５を備えたプローブヘッド９の採用による。ラジアルア
ーム１３はターンテーブル３ａの回転平面の全方位を指
向でき、探触子１５に対してねじりばね１２に対抗する
回動力が作用していなければ探触子１５はねじりばね１
２のばね作用によって原点位置Ｘ₀ へ復帰する。従っ
て、図５に示すように探触子１５の原点位置Ｘ₀が被測
定物（本実施例ではスクロール壁１８ａ）内に入り込む
ような曲線Ｈであれば探触球１５ａが曲線Ｈ上を摺接
し、曲線Ｈの形状誤差測定が行われる。

【００３０】曲線Ｈに対する探触球１５ａの押接はねじ
りばね１２の一方向ばね作用のみによって行われるが、
このはね特性を適度に設定することによって摺接追随性
を高めることができる。高い摺接追随性は高い精度の形
状誤差測定に必要であり、プローブヘッド９はこの点に
おいても優れている。

【００３１】なお、特開昭５６−８５０２号公報及び特
開昭５８−５６０１号公報にはいずれも３次元形状誤差
測定可能なプローブヘッドが開示されているが、本発明
のプローブヘッド９の特徴的な構成は何ら開示されてい
ない。

【００３２】このようにプローブヘッド９の採用によっ
て直線移動経路Ｘに対して直交しない壁面曲線Ｈにおけ
る形状誤差が測定され、しかもインボリュート曲線
Ｅ⁺ ，Ｅ ^- の基礎円Ｃ₀ の中心Ｑを通るように直線移動
経路Ｘを設定した状態で直線移動経路Ｘと直交しない壁
面曲線Ｈにおける形状誤差が測定できる。図５に示すよ
うに壁面Ｈの直線部Ｇは基礎円Ｃ₀ 内に入りこんでいる
が、前述したように基礎円Ｃ₀ の接線上に直線移動経路
Ｘを設定する方法では基礎円Ｃ₀ 内に入り込む壁面の形
状を測定することはできない。しかしながら、支軸１１
の回動中心線Ｒ₀ が曲線Ｈ₀ 上を移動制御し得るように
直線移動経路Ｘを設定すれば、探触球１５ａが基礎円Ｃ
₀ 内に入り込む壁面をも摺接でき、基礎円Ｃ₀ 内に入り
込む壁面の形状誤差測定を行なうことができる。本実施
例では直線移動経路Ｘは基礎円Ｃ₀ の中心Ｑを通るよう
に設定されるが、基礎円Ｃ₀ の接線となるように直線移
動経路Ｘを設定した場合にも回動中心線Ｒ₀ が曲線Ｈ₀
上を移動できるように制御でき、探触球１５ａを曲線Ｈ
に摺接させることができる。

【００３３】又、本実施例のプローブヘッド９を用いた
形状測定装置によれば直線移動経路Ｘに対して平行な壁
面の形状誤差も測定することができ、さらにはカム形状
誤差測定にも用いることができる。

【００３４】さらに本発明では探触子の変位を一定に保
つように直線移動経路Ｘ上の変位及び角度θの変位を制
御して形状測定を行なうこともできる。

【００３５】

【発明の効果】以上詳述したように第１の発明は、イン
ボリュート曲線の基礎円の半径中心をスクロール部材の
測定用回転中心とし、スクロール部材の回転平面に対し
て平行に回動変位可能な探触子をスクロール壁に摺接さ
せて形状誤差を測定するようにしたので、基礎円内に入
り込むスクロール壁面をも探触子で摺接して形状誤差を
測定し得る。

【００３６】第２の発明は、極座標方式の形状測定装置
にターンテーブルの回転平面に平行に回動変位可能な探
触子及び探触子の回動変位を電気的信号に変換して出力
する回動角変位検出手段を備えたプローブヘッドを組み
込んだので、プローブヘッドの直線移動経路と直交しな
い曲線からなる壁面形状の誤差も正確に測定し得る。

【００３７】第３の発明は、支持枠によって支軸を回転
可能に支持すると共に、支軸の回転中心から半径方向へ
離間した位置に探触子の探触先端を配置し、支持枠と支
軸との間には探触子を原点位置に復帰させるための付勢
手段を介在し、前記探触子の回動角変位を検出する回動
角検出手段を設けてプローブヘッドを構成したので、プ
ローブヘッドの直線移動経路と直交しない曲線の形状誤
差を測定し得ると共に、探触子の摺接追随性に優れてい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 形状測定装置の全体正面図である。

【図２】 プローブヘッドの縦断面図である。

【図３】 形状測定装置の全体平面図である。

【図４】 測定動作を遂行するための制御ブロック図で
ある。

【図５】 スクロール壁の始端部付近における形状誤差
測定動作を説明する略体図である。

【符号の説明】

２…回転駆動装置を構成するサーボモータ、３…回転駆
動装置、３ａ…ターンテーブル、８…直線駆動装置を構
成するサーボモータ、９…プローブヘッド、１２…付勢
手段としてのねじりばね、１５…探触子、１７…回動角
検出手段としてのロータリエンコーダ、Ｃ…測定動作指
令手段及び形状誤差割り出し手段としての制御コンピュ
ータＣ。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スクロール部材のスクロール壁の一部を形
   成するインボリュート曲線の基礎円の半径中心をスクロ
   ール部材の測定用回転中心とし、スクロール部材の回転
   平面に対して平行に回動変位可能な探触子を備えたプロ
   ーブヘッドの直線移動制御及びスクロール部材の回転制
   御によってスクロール部材のスクロール壁に前記探触子
   を摺接させ、探触子の回動角変位データからスクロール
   壁の形状を測定する形状測定方法。
2. 【請求項２】被測定体を載置回転するためのターンテー
   ブルと、 ターンテーブルを回転駆動するための回転駆動装置と、 ターンテーブルの回転平面に平行して回動変位可能な探
   触子及び探触子の回動角変位を電気的信号に変換して出
   力する回動角検出手段を備えると共に、ターンテーブル
   の回転平面に対して平行に直線移動するプローブヘッド
   と、 プローブヘッドを直線駆動するための直線駆動装置と、 被測定体に対するプローブヘッドの相対経路として前記
   探触子が被測定体の被測定領域に摺接するように前記回
   転駆動装置及び直線駆動装置を駆動制御する測定動作指
   令手段と、 被測定体の被測定領域に摺接する探触子の探触経路を回
   動角検出手段から得られる変位データに基づいて割り出
   すと共に、この探触経路と被測定体の形状として予め設
   定記憶された設定形状との差を誤差として割り出す形状
   誤差割り出し手段とにより構成した形状測定装置。
3. 【請求項３】支持枠によって支軸を回転可能に支持する
   と共に、支軸の回転中心から半径方向へ離間した位置に
   探触子の探触先端を配置し、支持枠と支軸との間には探
   触子を原点位置に復帰させるための付勢手段を介在し、
   前記探触子の回動角変位を検出する回動角検出手段を設
   けたプローブヘッド。