JPH06139615A - 光記録媒体 - Google Patents

光記録媒体

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JPH06139615A
JPH06139615A JP4290286A JP29028692A JPH06139615A JP H06139615 A JPH06139615 A JP H06139615A JP 4290286 A JP4290286 A JP 4290286A JP 29028692 A JP29028692 A JP 29028692A JP H06139615 A JPH06139615 A JP H06139615A
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JP4290286A
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Yasushi Miyazono
泰 宮園
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Hoya Corp
Original Assignee
Hoya Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 記録・消去の繰り返し回数を多くすることが
できる書換え型光記録媒体を提供する。 【構成】 基板上に直接又は間接的に設けられた保護層
と反射層との間及び/又は保護層と記録層との間に接着
層を設けたことを特徴とする光記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体に係り、詳し
くは光学的に情報の記録、再生及び消去を行うことの出
来る、いわゆる書換え型光情報記録媒体に関する。
【0002】
【背景技術】光照射、主にレーザー光の照射によって生
じた物質の非晶質状態と結晶質状態の間の可逆的な構造
変化(相変化)を積極的に情報の記録に利用した相変化
型光記録媒体は情報の高速処理能力に加えて記録容量が
大きく、将来の情報蓄積装置として期待されている。
【0003】この光記録媒体には情報処理の高速化が一
段と厳しくなる中で、高速記録した情報をより高速で消
去する性能が求められている。ここでは、一旦記録した
情報を消去し、さらにその上に別の情報を記録する、い
わゆる記録・消去の繰り返しの安定動作が必要不可欠と
なる。
【0004】この記録・消去の繰り返し回数は多いこと
が好ましい。記録・消去の繰り返し特性には記録層材料
や保護層材料等の各種の物性が影響を与えることが知ら
れ、種々の記録層材料や保護層材料が研究開発され、所
定の成果が得られている。
【0005】ところで、書換え型光記録媒体は、基板と
記録層とを必須の構成要素とするものであるが、本発明
者は、基板上に、下地の保護層、記録層、上地の保護
層、金属からなる反射層が順次形成された新規な構造を
有する光記録媒体を発明し、特許出願している(特願平
3−338757号)。
【0006】この特願平3−338757号明細書に記
載の光記録媒体において、保護層、特に上地の保護層
は、記録時の記録層材料のレーザー溶融に伴なう流動又
は飛散を抑制し、記録・消去の繰り返し特性の向上に寄
与する。特に保護層材料として、Y2 3 を含むものを
用いると、コントラスト比が大きくなるとともに、記録
・消去の繰り返しを多数回にわたって安定に行うことが
可能となり、Y2 3 とZnSとの混合物を用いると、
上記効果とともに記録感度が向上するという効果も得ら
れる。
【0007】また、前記反射層は、第一に金属は熱伝導
性に優れていることから記録層の冷却速度の制御が容易
となり記録(非晶質)状態及び消去(晶質)状態を良好
にするという効果があり、第二に金属は記録層を透過し
たレーザー光を反射させることからレーザー光を記録層
に有効に取り入れることを可能とするという効果があ
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前記のような構成を有
する特願平3−338757号明細書に記載の光記録媒
体は、それまで公知の光記録媒体よりも記録・消去の繰
り返し特性を大幅に改善したものであるが、この特性を
更に改善することが望まれていた。従って本発明の目的
は、より一層記録・消去の繰り返しの回数を多くするこ
とのできる書換え型光記録媒体を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、本
発明者は、種々の検討を加えた結果、記録・消去の繰り
返し回数が多くならない理由が、保護層と反射層との間
の付着力、さらには保護層と記録層との間の付着力が低
いことにあることを見い出した。
【0010】先ず、保護層と反射層との付着力及び保護
層と記録層との付着力について測定した結果を説明す
る。表1は、石英ガラス基板上に保護層(膜厚0.15
μm)、Al反射層(膜厚0.1μm)を順次高周波マ
グネトロンスパッタ法で成膜してなる試料における各種
保護層とAl反射層との付着力を剥離荷重(gf)によ
って示したものである。
【0011】
【表1】 表1より、Y2 3 単独からなる保護層とAl反射層と
の剥離荷重は21.5gfと高く良好な付着力を示し
た。しかし、特願平3−338757号明細書に記載の
ように保護層として特に好ましいとされるY2 3 とZ
nSとの混合物の場合、ZnSの含量が増えるに従って
次第に剥離荷重は低下し(Y2 3 /ZnS=5/5
(mol/mol)のとき19.5gf、Y2 3 /Z
nS=3/7(mol/mol)のとき17.2g
f)、Y2 3 /ZnS=2/8(mol/mol)の
とき剥離荷重は16.4gfにまで低下した。そして、
2 3 /ZnS=1/9(mol/mol)にすると
一旦剥離荷重は19.1gfとわずかに増加するが、さ
らにZnSの含量を増やすと剥離荷重は低下し、ZnS
単独の場合の剥離荷重は2.8gfと極めて低かった。
このように、保護層として特に好ましいとされるY2
3 とZnSとの混合物は、Al反射層との付着力が弱い
ものであった。
【0012】表2は、石英ガラス基板上に保護層(膜厚
0.15μm)、記録層(膜厚0.1μm)を順次高周
波マグネトロンスパッタ法で成膜してなる試料における
各種保護層とGeTeSb系記録層との付着力を剥離荷
重によって示したものである。
【0013】
【表2】 表2より、保護層がY2 3 又はY2 3 とZnSとの
混合物の場合、剥離荷重が略20gf以上であり、記録
層との付着力が強いものであったが、保護層がZnSの
場合は剥離荷重が6.2gfと付着力が非常に弱いもの
であった。
【0014】そして本発明者は、更に検討した結果、保
護層と反射層との間の付着力及び/又は保護層と記録層
との間の付着力を高めるために、使用される保護層の材
料よりも反射層の材料との付着力の高い材料からなる接
着層を保護層と反射層との間に設けることにより、及び
/又は使用される保護層の材料よりも記録層の材料との
付着力の高い材料からなる接着層を保護層と記録層との
間に設けることにより、記録・消去の繰り返し回数が著
るしく増加した光記録媒体を得ることができることを見
い出した。
【0015】本発明はこのような知見に基づきなされた
ものであり、本発明の光記録媒体は、基板上に直接又は
間接的に設けられた保護層と反射層との間及び/又は保
護層と記録層との間に接着層を設けたことを特徴とす
る。
【0016】本発明の光記録媒体は、基板上に直接又は
間接的に設けられた保護層と反射層との間及び/又は保
護層と記録層との間に接着層を設けた全ての光記録媒体
を包含するものであるが、その好ましい態様として、基
板と記録層と保護層とを有し、保護層と記録層との間に
接着層を設けた光記録媒体(A)および基板と記録層と
保護層と反射層とを有し、保護層と反射層との間及び/
又は保護層と記録層との間に接着層を設けた光記録媒体
(B)が挙げられる。
【0017】先ず光記録媒体(A)について説明する。
光記録媒体(A)は、上記のように基板と記録層と保護
層とを有し、保護層と記録層との間に接着層を設けたも
のであるが、具体的な層構成を示すと以下のとおりであ
る。 (i)基板/記録層/接着層/保護層 (ii)基板/保護層/接着層/記録層/保護層 (iii )基板/保護層/記録層/接着層/保護層 (iV)基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層 上記基板としては、特に限定されないが、石英ガラスな
どのガラス、PMMA(ポリメチルメタクリレート)樹
脂やPC(ポリカーボネート)樹脂などの樹脂、Al,
Cuなどの金属、SiAlONなどのセラミックスなど
が好ましく用いられる。
【0018】また記録層としては、特に限定されない
が、必須成分としてGe,Te,Sbを含み、さらに追
加成分としてBi,Seを含有するものが、記録・消去
の繰り返し回数を多くする上で好ましく用いられる。
【0019】また、保護層としては、特に限定されない
が、Y2 3 を含有するもの(特にY2 3 とともにZ
nSも含有するもの)が好ましい。その理由は、Y2
3 を含有する誘電体物質からなる保護層を記録層の少な
くとも上面に設けると、非晶質(記録)状態と結晶質
(消去)状態との間のコントラスト比を大きくするとと
もに、記録・消去の繰り返しを長期間にわたって安定に
行うことができるためである。コントラスト比が改善さ
れた理由は、上記保護層の熱伝導率が高いため、記録層
の冷却速度が十分大きくなり、非晶質化(記録)が容易
となるためと考えられる。また、繰り返し特性が改善さ
れた理由は、上記保護層が前記記録層に対して比較的付
着力が高いこと、融点が高く熱的に安定であること、及
び保護層を形成した後の残留応力が小さいためと考えら
れる。さらに、Y2 3 とともにZnSを含むと、前記
2 3 保護層の効果を損なうことなく、記録の際にお
けるレーザーのパワーを削減させること(換言すれば、
記録感度を良くすること)が可能となる。この効果を発
揮させるためにはZnSを保護層中10mol%以上
(望ましくは20mol%以上、さらに望ましくは30
mol%以上)含有させることが好ましい。しかしなが
らZnSを保護層中に90mol%を超えて含有させる
と、記録・消去の繰り返し精度が悪化するためZnSの
保護層中の含有量は90mol%以下(望ましくは85
mol%以下)とすることが好ましい。さらに、上記の
保護層は、記録・消去の繰り返しによる基板の劣化や記
録層の湿気による劣化を防ぐ効果も有する。
【0020】保護層の材料としては、他にAlN,Si
3 4 ,SiAlON,ZnSe,Al2 3 ,GeO
2 ,SiO2 ,Ta2 5 ,TiO2 なども用いられ
る。上記保護層と記録層との間に設けられる接着層の材
料は、使用される保護層の材料よりも記録層の材料との
付着力の高い材料であればその種類を問わないが、Al
2 3 ,GeO2 ,SiO2 ,Ta2 5 ,TiO2
びY2 3 から選ばれる少なくとも1種を用いるのが好
ましい。
【0021】この接着層の膜厚は、2nm〜15nmと
することが好ましい。その理由は、2nm未満である
と、保護層と記録層との付着力を大きくならず、記録・
消去の繰り返し特性を改善する効果が小さくなり、ま
た、15nmを超えると、記録・消去の繰り返し特性又
は記録層の反射率等の光学特性等が悪化する傾向がある
ためである。
【0022】光記録媒体(A)は、上述のように保護層
と記録層との間に接着層を設けたことを特徴とするもの
であり、この接着層は、保護層及び記録層のそれぞれの
性質を損なわずに、保護層と記録層との付着力を向上さ
せ、これにより記録・消去の繰り返し動作を多数回にわ
たって安定に行なうことが可能となる。
【0023】次に光記録媒体(B)について説明する。
光記録媒体(B)は、光記録媒体(A)と異なり、基
板、記録層、保護層とともにさらに反射層を有し、保護
層と反射層との間及び/又は保護層と記録層との間に接
着層が設けられたものであるが、その具体的構成を示す
と以下のとおりである。 (イ)基板/記録層/保護層/接着層/反射層 (ロ)基板/記録層/接着層/保護層/反射層 (ハ)基板/保護層/記録層/保護層/接着層/反射層 (ニ)基板/反射層/接着層/保護層/記録層/保護層 (ホ)基板/保護層/接着層/記録層/保護層/反射層 (ヘ)基板/保護層/記録層/接着層/保護層/反射層 (ト)基板/反射層/保護層/接着層/記録層/保護層 (チ)基板/反射層/保護層/記録層/接着層/保護層 (リ)基板/記録層/接着層/保護層/接着層/反射層 (ヌ)基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層
/反射層 (ル)基板/反射層/保護層/接着層/記録層/接着層
/保護層 (ヲ)基板/保護層/接着層/記録層/保護層/接着層
/反射層 (ワ)基板/保護層/記録層/接着層/保護層/接着層
/反射層 (カ)基板/反射層/接着層/保護層/接着層/記録層
/保護層 (ヨ)基板/反射層/接着層/保護層/記録層/接着層
/保護層 (タ)基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層
/接着層/反射層 (レ)基板/反射層/接着層/保護層/接着層/記録層
/接着層/保護層 上記構成からなる光記録媒体(B)において基板、記録
層、保護層の材料は、前記光記録媒体(A)において記
載したものと同様のものが用いられる。
【0024】光記録媒体(B)における反射層は、光記
録媒体における反射層としての機能を有するものであれ
ば、その種類は問わないが、Al,Cu,Au,Ag,
Pt,Cr,Ni及びTiから選ばれる少なくとも1種
の金属を用いるのが好ましい。
【0025】光記録媒体(B)において、保護層と反射
層との間及び/又は保護層と記録層との間に設けられる
接着層の材料および膜厚は、前記光記録媒体(A)にお
いて記載したものと同一である。
【0026】光記録媒体(B)は、上述のように保護層
と反射層との間及び/又は保護層と記録層との間に接着
層を設けたことを特徴とするものであり、この接着層
は、保護層、記録層及び反射層のそれぞれの性質を損わ
ずに、保護層と反射層との付着力及び/又は保護層と記
録層との付着力を向上させ、これにより記録・消去の繰
り返し動作を多数回にわたって安定に行なうことが可能
になる。
【0027】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に説明する。 (実施例1) (1)本発明の光記録媒体の構成の一例を図1に示す。
本発明の光記録媒体の構成は透明基板11上に保護層1
2、記録層13、保護層14、接着層15及び反射層1
6を順次積層したものである。透明基板11には十分洗
浄を施した石英ガラス基板を用いた。保護層12及び保
護層14にはY2 3 (試料No.1),Y2 3 −Z
nS混合物(試料No.2〜5)又はZnS(試料N
o.6)を用いた。接着層15にはAl2 3 (試料N
o.1)又はY2 3 (試料No.2〜6)を用いた。
そして反射層16にはAlを用いた。なお基板材料はガ
ラスに限定されるものではなく、利用可能なものであれ
ばよく、例えばポリカーボネートやPMMAといった樹
脂等を用いることもできる。保護層12、保護層14、
接着層15及び反射層16の膜厚はそれぞれ180n
m、25nm、5nm及び100nm程度とした。記録
層13には、式Ge2 Sb2 Te5 を基本構造式とし、
かつ上式におけるSbの2at.%をBiに、そしてT
eの5at.%をSeに置き換えたGe,Sb,Te,
Bi及びSeの5元素からなる合金を用いた。記録層1
3の膜厚は20nmであった。
【0028】試料No.2〜5において、Y2 3 −Z
nS混合物からなる前記保護層12および14は、Y2
3 とZnSの混合ターゲットを用意して成膜するか、
あるいはY2 3 ターゲットとZnSターゲットをそれ
ぞれ個別に用意し、2元同時スパッタ法により成膜し
た。ここで、成膜方法は高周波マグネトロン・スパッタ
法に限定されるものではなく、例えば、直流スパッタ
法、真空蒸着法、スピンコート法そしてプラズマCVD
法等のいかなる方法であっても差し支えない。記録膜の
組成は光電子分光分析法そして保護膜の組成はEDAX
によりそれぞれ確認した。
【0029】静止状態における記録・消去繰り返し特性
は図2に示すように830nmの波長のレーザーを有す
る光源21と開口数がおよそ0.52の対物レンズ22
よりなる光ヘッド23よりレーザー光線24を光記録媒
体10(詳しくは図1のガラス基板11側より記録層1
3)に集光、照射することにより調べた。記録・消去繰
り返し特性の測定に先立って、レーザーアニールあるい
は加熱処理によって記録層13に初期結晶化を施した。
加熱処理を施す際には反射層16の表面をさらに保護層
(約100nm)で覆うようにした。成膜後の反射率を
10%前後そして初期化後の媒体の反射率を30〜32
%程度に設定した。記録条件は信号コントラスト、Cを
【数1】 C :結晶状態の光電変換素子出力電圧(消去信号) VA :非晶質状態の光電変換素子出力電圧(記録信号) と定義し、記録は記録パルス幅を50ns、そして消去
は消去パルス幅を100ns一定として行った。
【0030】また、記録・消去の繰り返し特性に関して
は、コントラスト比が25%まで低下したところまでの
回数をもって繰り返し回数とした。結果を表3に示す。
【0031】
【表3】 表3に示すように、保護層14と反射層16との間に接
着層15を設けることにより、試料No.1〜6のいず
れにおいても記録・消去の繰り返し回数が増加している
ことが分かる。
【0032】特に、前述したように、保護層がY2 3
単独(試料No.1)又はY2 3とZnSとの混合物
(試料No.2〜5)からなる場合は、ZnS単独(試
料No.6)からなる場合に比べ、記録・消去の繰り返
し動作の安定性は改善されているが、反射層との付着力
のより高い接着層を設けることにより、さらに繰り返し
動作は改善される。例えば、保護層材料がY2 3 の場
合(試料No.1)、表1に示したようにそもそもAl
反射層との付着力が強く、記録・消去の繰り返し回数も
1.5×106 回と多いが、Y2 3 よりもさらにAl
反射層との付着力の大きなAl2 3 を接着層に用いる
ことによって、記録・消去の繰り返し回数はさらに多く
することができ、2×106 回に達するものであった。
【0033】また、前述したように、保護層としてY2
3 とZnSとの混合物を用いた場合、記録の際におけ
るレーザーのパワーPwを削減させることができるが、
本実施例においても、表1に示したように、試料No.
2〜5では、レーザーパワーPwが接着層の導入前と導
入後で変わらず14〜19mWと小さいままであり、記
録感度に優れていた。
【0034】このように、保護層と反射層との間に接着
層を設けると、単に保護層材料を接着層材料に置換した
だけの効果が表れるのではなく、Y2 3 −ZnS混合
物系保護層の特徴を損なわないで、保護層と反射層との
密着性が改善され、記録・消去の繰り返し回数を増加さ
せることができるものである。
【0035】このように接着層の導入により、効果的に
記録・消去の繰り返し動作の安定性が改善されるが、実
用的には、保護層としてZnSの含有量が90mol%
以下のものを用いたもの(試料No.1〜5)が、記録
・消去の繰り返し回数が1×106 回に達するものであ
り、好ましいものである。
【0036】(2)次に基板として、直径130mmφ
のフォーマット付きのガラスディスクを用いた以外は上
記試料No.4と同様にして保護層、記録層、保護層、
接着層及び反射層を順次積層して光ディスクを製造し、
この光ディスクについて、線速度を9m/s、キャリア
周波数f1 (記録)/f2 (消去)を5.1/1.9
(MHS)、記録パルス幅66ns、記録パワー20m
W、バイアスパワー11mWとして、1ビームオーバー
ライト繰返し特性の測定をランド部で行った。その結
果、20万回以上にわたって繰返し動作は安定に行わ
れ、C/Nは約54dB程度、消去率24dB以上の良
好な状態が維持出来るものであった。一方接着層のない
光ディスクの場合、繰返し動作は10万回程度に止まる
ものであった。ここに繰返し動作の回数はC/Nが3d
Bに低下した時点までの回数である。
【0037】(3)なお、Y2 3 接着層の膜厚は上記
の5nmに限定されるものではなく、2−15nm程度
の範囲にあれば、同様の効果を得ることが可能である。
しかし2nm未満の薄膜になると、接着層の効果は認め
られなくなり、15nmを超えると媒体の記録・消去特
性、感度等が変化するので、好ましくない。接着層材料
としてY2 3 に代わってSiO2 あるいはAl2 3
を用いても記録・消去繰返し動作を2〜3×106 回に
わたって安定に行うことが出来る。さらに、GeO2
Ta2 5 あるいはTiO2 等の酸化物を接着層として
も同様の良好な特性を得ることが出来る。記録層材料は
前記記録層材料に限定されるものではなく、Ge2 (S
b/Bi)2 Te5 ,Ge2 Sb2 (Te/Se)5
Ge2 Sb2 Te5 ,Ge1 Sb2 Te4 ,Ge2 Sb
4 Te7 等においても同様の効果が認められる。
【0038】光記録媒体の構成において、基板と記録層
の間に位置する保護層と記録層と接着層の間に位置する
保護層のZnSの含有量は必ずしも同様である必要はな
く、接着層の効果が得られるものであれば良く、例え
ば、基板側の保護層のZnS含有量を80mol%そし
て接着層側の保護層のそれを50mol%と言うように
異なるようにしてもよい。
【0039】(実施例2)本実施例の光記録媒体の構成
は、実施例1と異なり、基板と記録層との間に保護層を
設けず、石英ガラス基板/記録層/保護層/接着層/反
射層とした。また基板、記録層、反射層、保護層及び接
着層の各材料はそれぞれ実施例1と同様にし、膜厚は記
録層が20nm、保護層が25nm、接着層が5nm、
反射層が100nmとして、保護層がそれぞれY
2 3 ,Y2 3 −ZnS混合物(Y2 3 /ZnS=
5/5、3/7、2/8、1/9(mol/mo
l)),ZnSである6種の試料を作成し、実施例1と
同様にして記録・消去の繰り返し回数を求めた。この結
果、いずれの試料も、接着層を設けることにより、記録
・消去の繰り返し回数が増加し、例えば保護層が、Y2
3 /ZnS=2/8(mol/mol)である試料で
は、Y2 3 の接着層を設けない場合、記録・消去の繰
り返し回数が1.5×106 回であったのに対して、接
着層を設けると、2×106回に増加した。
【0040】その他の物性も実施例1と略同程度であ
り、レーザーパワーPwも接着層を設けたものと設けな
いものとで変わらず、特に保護層がY2 3 とZnSと
の混合物の場合、レーザーパワーPwが14〜19mW
と小さいままであり、記録感度に優れていた。
【0041】(実施例3)接着層の材料としてAl2
3 /SiO2 =5/5(mol/mol)を用いた以外
は、実施例1と同様にして、保護層がそれぞれY
2 3 ,Y2 3 −ZnS混合物(Y2 3 /ZnS=
5/5、3/7、2/8、1/9),ZnSである6種
の試料を作成した。この接着層の材料は、Al反射層そ
して記録層との剥離荷重はそれぞれ23.0gf、2
1.2gfと大きい値を有するものである。このように
して作成した6種の試料を、実施例1と同様にして記録
・消去の繰り返し回数を求めた。
【0042】この結果、いずれの試料も、接着層を設け
ることにより、記録・消去の繰り返し回数が増加し、例
えば保護層が、Y2 3 /ZnS=2/8(mol/m
ol)である試料は、Y2 3 の接着層を設けないと記
録・消去の繰り返し回数が1.5×106 回であったの
に対して、接着層を設けると3×106 回に増加した。
【0043】その他の物性も実施例1と略同程度であ
り、レーザーパワーPwも接着層を設けたものと設けな
いものとで変わらず、保護層がY2 3 とZnSとの混
合物の場合、14〜19mWと小さいままであり、記録
感度に優れていた。
【0044】なお、Al2 3 とSiO2 の混合比率は
上記のものに限定されるものではなく、その他の混合比
率においても同様の良好な特性が得られた。このように
接着層に用いられる材料は混合物でも良いことが明らか
となったが、接着層に用いる混合材料は、上記の2種に
限定されるものではなく、GeO2 ,Ta2 5 ,Ti
2 及びY2 3 等の酸化物を2種以上混合させても、
同様の効果を得ることができる。
【0045】(実施例4)光記録媒体の構成を、石英ガ
ラス基板/反射層/接着層/保護層/記録層/保護層と
し、前記各層の材料は実施例1と同様にし、さらに膜厚
は基板側から反射層が100nm、接着層が5nm、そ
の上の保護層が25nm、記録層が20nm、さらにそ
の上の保護層が180nmとして、保護層がY2 3
2 3 −ZnS混合物(Y2 3 /ZnS=5/5、
3/7、2/8、1/9),ZnSである6種の試料を
作成し、実施例1と同様にして記録・消去の繰り返し回
数を求めた。この結果、いずれの試料も、接着層を設け
ることにより、記録・消去の繰り返し回数が増加し、例
えば保護層がY2 3 /ZnS=2/8(mol/mo
l)である試料は、Y2 3 の接着層を設けないと記録
・消去の繰り返し回数が1.5×106 回であったのに
対して、接着層を設けると3×106 回に増加した。
【0046】その他の物性も実施例1と略同程度であ
り、レーザーパワーPwも接着層の有無で変わらず、保
護層がY2 3 とZnSとの混合物の場合、15〜20
mWと小さいままであり、記録感度に優れていた。な
お、本実施例においては、使用する基板材料は透光性を
有するものである必要はなく、石英ガラス、PMMA樹
脂の他、AlやCu等の金属、SiAlON等のセラミ
ック等を用いることもできる。
【0047】(実施例5)光記録媒体の構成は、石英ガ
ラス基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層/
反射層とし、各層の材料及び膜厚はそれぞれ、基板側か
ら保護層がZnSで180nm、接着層がY2 3 で5
nm、記録層が実施例1と同じもので20nm、接着層
がY2 3 で5nm、さらにその上の保護層がZnSで
25nm、反射層がAlで100nmとして試料を作成
した。すなわち、本実施例は、保護層として記録層にも
反射層にも密着性の悪いZnSを用い、この保護層と記
録層との付着力を高めるため接着層としてY2 3 を用
いたものである。このようにして作成した試料を、実施
例1と同様にして記録・消去の繰り返し回数を求めた。
この結果、接着層を設けることにより、保護層と記録層
との間の密着性が強くなり、記録・消去の繰り返し回数
が増加し、Y2 3 の接着層を設けない場合の記録・消
去の繰り返し回数が1×104 回であったのに対して、
接着層を設けると2×104 回に増加した。なお、レー
ザーパワーPwは接着層の有無で変わらず18.2mW
であった。
【0048】(実施例6)光記録媒体の構成は、石英ガ
ラス基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層/
接着層/反射層とし、各層の材料及び膜厚はそれぞれ、
基板側から保護層がZnSで180nm、接着層がY2
3 で5nm、記録層が実施例1と同じもので20n
m、接着層がY2 3 で5nm、さらにその上の保護層
がZnSで25nm、接着層がY2 3 で5nm、反射
層がAlで100nmとして試料を作成した。すなわ
ち、本実施例は実施例5においてさらに保護層と反射層
との間にもY2 3 の接着層を設けたものである。この
ようにして作成した試料を、実施例1と同様にして記録
・消去の繰り返し回数を求めた。この結果、実施例5と
比較して、保護層と反射層との間にも接着層を設けるこ
とにより、さらに記録・消去の繰り返し回数が増加し、
2×105 回に達した。なお、レーザーパワーPwは1
8.5mWであった。
【0049】(実施例7)光記録媒体の構成を、石英ガ
ラス基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層/
接着層/反射層とし、各層の材料及び膜厚はそれぞれ、
基板側から保護層がZnSで180nm、接着層がAl
2 3 で5nm、記録層が実施例1と同じもので20n
m、接着層がAl2 3 で5nm、さらにその上の保護
層がZnSで25nm、接着層がAl2 3 で5nm、
反射層がAlで100nmとして試料を作成した。すな
わち、本実施例は実施例6において接着層の材料をY2
3から密着性のより高いAl2 3 に置換させたもの
である。このようにして作成した試料を、実施例1と同
様にして記録・消去の繰り返し回数を求めた。この結
果、実施例6と比較して、さらに記録・消去の繰り返し
回数が増加し、3×105 回に達した。なお、レーザー
パワーPwは19.2mWであった。
【0050】(実施例8)光記録媒体の構成を、石英ガ
ラス基板/保護層/接着層/記録層/保護層/反射層と
し、各層の材料及び膜厚はそれぞれ、基板側から保護層
がZnSで180nm、接着層がY2 3 で5nm、記
録層が実施例1と同じもので20nm、その上の保護層
がY2 3 で25nm、反射層がAlで100nmとし
て試料を作成した。すなわち本実施例は基板と記録層と
の間の保護層は記録層との密着性の悪いZnSを用い、
記録層と反射層との間の保護層は両者に密着力の高いY
2 3 を用い、そしてZnSの保護層と記録層との間に
接着層として密着力の高いY2 3 を用いた。このよう
にして作成した試料を、実施例1と同様にして記録・消
去の繰り返し回数を求めた。この結果、Y2 3 接着層
を設けないものの記録・消去の繰り返し回数が1×10
4 回であったのに対して、接着層を設けると、記録・消
去の繰り返し回数が増加し、2×106 回と著しく増加
した。なお、レーザーパワーPwは接着層の有無で変化
せず18.8mWであった。
【0051】
【発明の効果】以上、本発明光記録媒体によれば、保護
層と反射層との間及び/又は保護層と記録層との間に、
接着層を設けることにより、保護層、反射層、記録層の
特徴を損なわないで、記録・消去の繰り返し動作をより
長期間にわたって安定に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例の光媒体の構成を示す。
【図2】静止状態での記録・消去特性の測定系を示す。
【符号の説明】
10 光記録媒体 11 透明基板 12,14 保護層 13 記録層 15 接着層 16 反射層 21 レーザー光源 22 対物レンズ 23 光ヘッド 24 レーザー光
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年4月20日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 光記録媒体
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体に係り、詳し
くは光学的に情報の記録、再生及び消去を行うことの出
来る、いわゆる書換え型光情報記録媒体に関する。
【0002】
【背景技術】光照射、主にレーザー光の照射によって生
じた物質の非晶質状態と結晶質状態の間の可逆的な構造
変化(相変化)を積極的に情報の記録に利用した相変化
型光記録媒体は情報の高速処理能力に加えて記録容量が
大きく、将来の情報蓄積装置として期待されている。
【0003】この光記録媒体には情報処理の高速化が一
段と厳しくなる中で、高速記録した情報をより高速で消
去する性能が求められている。ここでは、一旦記録した
情報を消去し、さらにその上に別の情報を記録する、い
わゆる記録・消去の繰り返しの安定動作が必要不可欠と
なる。
【0004】この記録・消去の繰り返し回数は多いこと
が好ましい。記録・消去の繰り返し特性には記録層材料
や保護層材料等の各種の物性が影響を与えることが知ら
れ、種々の記録層材料や保護層材料が研究開発され、所
定の成果が得られている。
【0005】ところで、書換え型光記録媒体は、基板と
記録層とを必須の構成要素とするものであるが、本発明
者は、基板上に、下地の保護層、記録層、上地の保護
層、金属からなる反射層が順次形成された新規な構造を
有する光記録媒体を発明し、特許出願している(特願平
3−338757号)。
【0006】この特願平3−338757号明細書に記
載の光記録媒体において、保護層、特に上地の保護層
は、記録時の記録層材料のレーザー溶融に伴なう流動又
は飛散を抑制し、記録・消去の繰り返し特性の向上に寄
与する。特に保護層材料として、Y2 3 を含むものを
用いると、コントラスト比が大きくなるとともに、記録
・消去の繰り返しを多数回にわたって安定に行うことが
可能となり、Y2 3 とZnSとの混合物を用いると、
上記効果とともに記録感度が向上するという効果も得ら
れる。
【0007】また、前記反射層は、第一に金属は熱伝導
性に優れていることから記録層の冷却速度の制御が容易
となり記録(非晶質)状態及び消去(晶質)状態を良好
にするという効果があり、第二に金属は記録層を透過し
たレーザー光を反射させることからレーザー光を記録層
に有効に取り入れることを可能とするという効果があ
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前記のような構成を有
する特願平3−338757号明細書に記載の光記録媒
体は、それまで公知の光記録媒体よりも記録・消去の繰
り返し特性を大幅に改善したものであるが、この特性を
更に改善することが望まれていた。従って本発明の目的
は、より一層記録・消去の繰り返しの回数を多くするこ
とのできる書換え型光記録媒体を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、本
発明者は、種々の検討を加えた結果、記録・消去の繰り
返し回数が多くならない理由が、保護層と反射層との間
の付着力が低いことにあることを見い出した。
【0010】先ず、保護層と反射層との付着力について
測定した結果を説明する。表1は、石英ガラス基板上に
保護層(膜厚0.15μm)、Al反射層(膜厚0.1
μm)を順次高周波マグネトロンスパッタ法で成膜して
なる試料における各種保護層とAl反射層との付着力を
剥離荷重(gf)によって示したものである。
【0011】
【表1】 表1より、Y2 3 単独からなる保護層とAl反射層と
の剥離荷重は21.5gfと高く良好な付着力を示し
た。しかし、特願平3−338757号明細書に記載の
ように保護層として特に好ましいとされるY2 3 とZ
nSとの混合物の場合、ZnSの含量が増えるに従って
次第に剥離荷重は低下し(Y2 3 /ZnS=5/5
(mol/mol)のとき19.5gf、Y2 3 /Z
nS=3/7(mol/mol)のとき17.2g
f)、Y2 3 /ZnS=2/8(mol/mol)の
とき剥離荷重は16.4gfにまで低下した。そして、
2 3 /ZnS=1/9(mol/mol)にすると
一旦剥離荷重は19.1gfとわずかに増加するが、さ
らにZnSの含量を増やすと剥離荷重は低下し、ZnS
単独の場合の剥離荷重は2.8gfと極めて低かった。
このように、保護層として特に好ましいとされるY2
3 とZnSとの混合物は、Al反射層との付着力が弱い
ものであった。
【0012】そして本発明者は、更に検討した結果、保
護層と反射層との間の付着力を高めるために、使用され
る保護層の材料よりも反射層の材料との付着力の高い材
料からなる接着層を保護層と反射層との間に設けること
により、記録・消去の繰り返し回数が著るしく増加した
光記録媒体を得ることができることを見い出した。
【0013】本発明はこのような知見に基づきなされた
ものであり、本発明の光記録媒体は、基板上に直接又は
間接的に設けられた保護層と反射層との間に接着層を設
けたことを特徴とする。
【0014】本発明の光記録媒体は、基板上に直接又は
間接的に設けられた保護層と反射層との間に接着層を設
けた全ての光記録媒体を包含するものであるが、その好
ましい態様として、基板と記録層と保護層と反射層とを
有し、保護層と反射層との間に接着層を設けた光記録媒
体が挙げられる。
【0015】光記録媒体は、基板、記録層、保護層とと
もにさらに反射層を有し、保護層と反射層との間に接着
層が設けられたものであるが、その具体的構成を示すと
以下のとおりである。 (イ)基板/記録層/保護層/接着層/反射層 (ロ)基板/保護層/記録層/保護層/接着層/反射層 (ハ)基板/反射層/接着層/保護層/記録層/保護層 (ニ)基板/記録層/接着層/保護層/接着層/反射層 (ホ)基板/保護層/接着層/記録層/保護層/接着層
/反射層 (ヘ)基板/保護層/記録層/接着層/保護層/接着層
/反射層 (ト)基板/反射層/接着層/保護層/接着層/記録層
/保護層 (チ)基板/反射層/接着層/保護層/記録層/接着層
/保護層 (リ)基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層
/接着層/反射層 (ヌ)基板/反射層/接着層/保護層/接着層/記録層
/接着層/保護層 光記録媒体における反射層は、光記録媒体における反射
層としての機能を有するものであれば、その種類は問わ
ないが、Al,Cu,Au,Ag,Pt,Cr,Ni及
びTiから選ばれる少なくとも1種の金属を用いるのが
好ましい。
【0016】上記基板としては、特に限定されないが、
石英ガラスなどのガラス、PMMA(ポリメチルメタク
リレート)樹脂やPC(ポリカーボネート)樹脂などの
樹脂、Al,Cuなどの金属、SiAlONなどのセラ
ミックスなどが好ましく用いられる。
【0017】また記録層としては、特に限定されない
が、必須成分としてGe,Te,Sbを含み、さらに追
加成分としてBi,Seを含有するものが、記録・消去
の繰り返し回数を多くする上で好ましく用いられる。
【0018】また、保護層としては、特に限定されない
が、Y2 3 を含有するもの(特にY2 3 とともにZ
nSも含有するもの)が好ましい。その理由は、Y2
3 を含有する誘電体物質からなる保護層を記録層の少な
くとも上面に設けると、非晶質(記録)状態と結晶質
(消去)状態との間のコントラスト比を大きくするとと
もに、記録・消去の繰り返しを長期間にわたって安定に
行うことができるためである。コントラスト比が改善さ
れた理由は、上記保護層の熱伝導率が高いため、記録層
の冷却速度が十分大きくなり、非晶質化(記録)が容易
となるためと考えられる。また、繰り返し特性が改善さ
れた理由は、上記保護層が前記記録層に対して比較的付
着力が高いこと、融点が高く熱的に安定であること、及
び保護層を形成した後の残留応力が小さいためと考えら
れる。さらに、Y2 3 とともにZnSを含むと、前記
2 3 保護層の効果を損なうことなく、記録の際にお
けるレーザーのパワーを削減させること(換言すれば、
記録感度を良くすること)が可能となる。この効果を発
揮させるためにはZnSを保護層中10mol%以上
(望ましくは20mol%以上、さらに望ましくは30
mol%以上)含有させることが好ましい。しかしなが
らZnSを保護層中に90mol%を超えて含有させる
と、記録・消去の繰り返し精度が悪化するためZnSの
保護層中の含有量は90mol%以下(望ましくは85
mol%以下)とすることが好ましい。さらに、上記の
保護層は、記録・消去の繰り返しによる基板の劣化や記
録層の湿気による劣化を防ぐ効果も有する。
【0019】保護層の材料としては、他にAlN,Si
3 4 ,SiAlON,ZnSe,Al2 3 ,GeO
2 ,SiO2 ,Ta2 5 ,TiO2 なども用いられ
る。上記保護層と記録層との間に設けられる接着層の材
料は、使用される保護層の材料よりも記録層の材料との
付着力の高い材料であればその種類を問わないが、Al
2 3 ,GeO2 ,SiO2 ,Ta2 5 ,TiO2
びY2 3 から選ばれる少なくとも1種を用いるのが好
ましい。
【0020】この接着層の膜厚は、2nm〜15nmと
することが好ましい。その理由は、2nm未満である
と、保護層と記録層との付着力を大きくならず、記録・
消去の繰り返し特性を改善する効果が小さくなり、ま
た、15nmを超えると、記録・消去の繰り返し特性又
は記録層の反射率等の光学特性等が悪化する傾向がある
ためである。
【0021】光記録媒体は、上述のように保護層と反射
層との間に接着層を設けたことを特徴とするものであ
り、この接着層は、保護層及び反射層のそれぞれの性質
を損わずに、保護層と反射層との付着力を向上させ、こ
れにより記録・消去の繰り返し動作を多数回にわたって
安定に行なうことが可能になる。
【0022】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に説明する。 (実施例1) (1)本発明の光記録媒体の構成の一例を図1に示す。
本発明の光記録媒体の構成は透明基板11上に保護層1
2、記録層13、保護層14、接着層15及び反射層1
6を順次積層したものである。透明基板11には十分洗
浄を施した石英ガラス基板を用いた。保護層12及び保
護層14にはY2 3 (試料No.1),Y2 3 −Z
nS混合物(試料No.2〜5)又はZnS(試料N
o.6)を用いた。接着層15にはAl2 3 (試料N
o.1)又はY2 3 (試料No.2〜6)を用いた。
そして反射層16にはAlを用いた。なお基板材料はガ
ラスに限定されるものではなく、利用可能なものであれ
ばよく、例えばポリカーボネートやPMMAといった樹
脂等を用いることもできる。保護層12、保護層14、
接着層15及び反射層16の膜厚はそれぞれ180n
m、25nm、5nm及び100nm程度とした。記録
層13には、式Ge2 Sb2 Te5 を基本構造式とし、
かつ上式におけるSbの2at.%をBiに、そしてT
eの5at.%をSeに置き換えたGe,Sb,Te,
Bi及びSeの5元素からなる合金を用いた。記録層1
3の膜厚は20nmであった。
【0023】試料No.2〜5において、Y2 3 −Z
nS混合物からなる前記保護層12および14は、Y2
3 とZnSの混合ターゲットを用意して成膜するか、
あるいはY2 3 ターゲットとZnSターゲットをそれ
ぞれ個別に用意し、2元同時スパッタ法により成膜し
た。ここで、成膜方法は高周波マグネトロン・スパッタ
法に限定されるものではなく、例えば、直流スパッタ
法、真空蒸着法、スピンコート法そしてプラズマCVD
法等のいかなる方法であっても差し支えない。記録膜の
組成は光電子分光分析法そして保護膜の組成はEDAX
によりそれぞれ確認した。
【0024】静止状態における記録・消去繰り返し特性
は図2に示すように830nmの波長のレーザーを有す
る光源21と開口数がおよそ0.52の対物レンズ22
よりなる光ヘッド23よりレーザー光線24を光記録媒
体10(詳しくは図1のガラス基板11側より記録層1
3)に集光、照射することにより調べた。記録・消去繰
り返し特性の測定に先立って、レーザーアニールあるい
は加熱処理によって記録層13に初期結晶化を施した。
加熱処理を施す際には反射層16の表面をさらに保護層
(約100nm)で覆うようにした。成膜後の反射率を
10%前後そして初期化後の媒体の反射率を30〜32
%程度に設定した。記録条件は信号コントラスト、Cを
【数1】 C :結晶状態の光電変換素子出力電圧(消去信号) VA :非晶質状態の光電変換素子出力電圧(記録信号) と定義し、記録は記録パルス幅を50ns、そして消去
は消去パルス幅を100ns一定として行った。
【0025】また、記録・消去の繰り返し特性に関して
は、コントラスト比が25%まで低下したところまでの
回数をもって繰り返し回数とした。結果を表2に示す。
【0026】
【表2】 表2に示すように、保護層14と反射層16との間に接
着層15を設けることにより、試料No.1〜6のいず
れにおいても記録・消去の繰り返し回数が増加している
ことが分かる。
【0027】特に、前述したように、保護層がY2 3
単独(試料No.1)又はY2 3とZnSとの混合物
(試料No.2〜5)からなる場合は、ZnS単独(試
料No.6)からなる場合に比べ、記録・消去の繰り返
し動作の安定性は改善されているが、反射層との付着力
のより高い接着層を設けることにより、さらに繰り返し
動作は改善される。例えば、保護層材料がY2 3 の場
合(試料No.1)、表1に示したようにそもそもAl
反射層との付着力が強く、記録・消去の繰り返し回数も
1.5×106 回と多いが、Y2 3 よりもさらにAl
反射層との付着力の大きなAl2 3 を接着層に用いる
ことによって、記録・消去の繰り返し回数はさらに多く
することができ、2×106 回に達するものであった。
【0028】また、前述したように、保護層としてY2
3 とZnSとの混合物を用いた場合、記録の際におけ
るレーザーのパワーPwを削減させることができるが、
本実施例においても、表1に示したように、試料No.
2〜5では、レーザーパワーPwが接着層の導入前と導
入後で変わらず14〜19mWと小さいままであり、記
録感度に優れていた。
【0029】このように、保護層と反射層との間に接着
層を設けると、単に保護層材料を接着層材料に置換した
だけの効果が表れるのではなく、Y2 3 −ZnS混合
物系保護層の特徴を損なわないで、保護層と反射層との
密着性が改善され、記録・消去の繰り返し回数を増加さ
せることができるものである。
【0030】このように接着層の導入により、効果的に
記録・消去の繰り返し動作の安定性が改善されるが、実
用的には、保護層としてZnSの含有量が90mol%
以下のものを用いたもの(試料No.1〜5)が、記録
・消去の繰り返し回数が1×106 回に達するものであ
り、好ましいものである。
【0031】(2)次に基板として、直径130mmφ
のフォーマット付きのガラスディスクを用いた以外は上
記試料No.4と同様にして保護層、記録層、保護層、
接着層及び反射層を順次積層して光ディスクを製造し、
この光ディスクについて、線速度を9m/s、キャリア
周波数f1 (記録)/f2 (消去)を5.1/1.9
(MHS)、記録パルス幅66ns、記録パワー20m
W、バイアスパワー11mWとして、1ビームオーバー
ライト繰返し特性の測定をランド部で行った。その結
果、20万回以上にわたって繰返し動作は安定に行わ
れ、C/Nは約54dB程度、消去率24dB以上の良
好な状態が維持出来るものであった。一方接着層のない
光ディスクの場合、繰返し動作は10万回程度に止まる
ものであった。ここに繰返し動作の回数はC/Nが3d
Bに低下した時点までの回数である。
【0032】(3)なお、Y2 3 接着層の膜厚は上記
の5nmに限定されるものではなく、2−15nm程度
の範囲にあれば、同様の効果を得ることが可能である。
しかし2nm未満の薄膜になると、接着層の効果は認め
られなくなり、15nmを超えると媒体の記録・消去特
性、感度等が変化するので、好ましくない。接着層材料
としてY2 3 に代わってSiO2 あるいはAl2 3
を用いても記録・消去繰返し動作を2〜3×106 回に
わたって安定に行うことが出来る。さらに、GeO2
Ta2 5 あるいはTiO2 等の酸化物を接着層として
も同様の良好な特性を得ることが出来る。記録層材料は
前記記録層材料に限定されるものではなく、Ge2 (S
b/Bi)2 Te5 ,Ge2 Sb2 (Te/Se)5
Ge2 Sb2 Te5 ,Ge1 Sb2 Te4 ,Ge2 Sb
4 Te7 等においても同様の効果が認められる。
【0033】光記録媒体の構成において、基板と記録層
の間に位置する保護層と記録層と接着層の間に位置する
保護層のZnSの含有量は必ずしも同様である必要はな
く、接着層の効果が得られるものであれば良く、例え
ば、基板側の保護層のZnS含有量を80mol%そし
て接着層側の保護層のそれを50mol%と言うように
異なるようにしてもよい。
【0034】(実施例2)本実施例の光記録媒体の構成
は、実施例1と異なり、基板と記録層との間に保護層を
設けず、石英ガラス基板/記録層/保護層/接着層/反
射層とした。また基板、記録層、反射層、保護層及び接
着層の各材料はそれぞれ実施例1と同様にし、膜厚は記
録層が20nm、保護層が25nm、接着層が5nm、
反射層が100nmとして、保護層がそれぞれY
2 3 ,Y2 3 −ZnS混合物(Y2 3 /ZnS=
5/5、3/7、2/8、1/9(mol/mo
l)),ZnSである6種の試料を作成し、実施例1と
同様にして記録・消去の繰り返し回数を求めた。この結
果、いずれの試料も、接着層を設けることにより、記録
・消去の繰り返し回数が増加し、例えば保護層が、Y2
3 /ZnS=2/8(mol/mol)である試料で
は、Y2 3 の接着層を設けない場合、記録・消去の繰
り返し回数が1.5×106 回であったのに対して、接
着層を設けると、2×106回に増加した。
【0035】その他の物性も実施例1と略同程度であ
り、レーザーパワーPwも接着層を設けたものと設けな
いものとで変わらず、特に保護層がY2 3 とZnSと
の混合物の場合、レーザーパワーPwが14〜19mW
と小さいままであり、記録感度に優れていた。
【0036】(実施例3)接着層の材料としてAl2
3 /SiO2 =5/5(mol/mol)を用いた以外
は、実施例1と同様にして、保護層がそれぞれY
2 3 ,Y2 3 −ZnS混合物(Y2 3 /ZnS=
5/5、3/7、2/8、1/9),ZnSである6種
の試料を作成した。この接着層の材料は、Al反射層そ
して記録層との剥離荷重はそれぞれ23.0gf、2
1.2gfと大きい値を有するものである。このように
して作成した6種の試料を、実施例1と同様にして記録
・消去の繰り返し回数を求めた。
【0037】この結果、いずれの試料も、接着層を設け
ることにより、記録・消去の繰り返し回数が増加し、例
えば保護層が、Y2 3 /ZnS=2/8(mol/m
ol)である試料は、Y2 3 の接着層を設けないと記
録・消去の繰り返し回数が1.5×106 回であったの
に対して、接着層を設けると3×106 回に増加した。
【0038】その他の物性も実施例1と略同程度であ
り、レーザーパワーPwも接着層を設けたものと設けな
いものとで変わらず、保護層がY2 3 とZnSとの混
合物の場合、14〜19mWと小さいままであり、記録
感度に優れていた。
【0039】なお、Al2 3 とSiO2 の混合比率は
上記のものに限定されるものではなく、その他の混合比
率においても同様の良好な特性が得られた。このように
接着層に用いられる材料は混合物でも良いことが明らか
となったが、接着層に用いる混合材料は、上記の2種に
限定されるものではなく、GeO2 ,Ta2 5 ,Ti
2 及びY2 3 等の酸化物を2種以上混合させても、
同様の効果を得ることができる。
【0040】(実施例4)光記録媒体の構成を、石英ガ
ラス基板/反射層/接着層/保護層/記録層/保護層と
し、前記各層の材料は実施例1と同様にし、さらに膜厚
は基板側から反射層が100nm、接着層が5nm、そ
の上の保護層が25nm、記録層が20nm、さらにそ
の上の保護層が180nmとして、保護層がY2 3
2 3 −ZnS混合物(Y2 3 /ZnS=5/5、
3/7、2/8、1/9),ZnSである6種の試料を
作成し、実施例1と同様にして記録・消去の繰り返し回
数を求めた。この結果、いずれの試料も、接着層を設け
ることにより、記録・消去の繰り返し回数が増加し、例
えば保護層がY2 3 /ZnS=2/8(mol/mo
l)である試料は、Y2 3 の接着層を設けないと記録
・消去の繰り返し回数が1.5×106 回であったのに
対して、接着層を設けると3×106 回に増加した。
【0041】その他の物性も実施例1と略同程度であ
り、レーザーパワーPwも接着層の有無で変わらず、保
護層がY2 3 とZnSとの混合物の場合、15〜20
mWと小さいままであり、記録感度に優れていた。な
お、本実施例においては、使用する基板材料は透光性を
有するものである必要はなく、石英ガラス、PMMA樹
脂の他、AlやCu等の金属、SiAlON等のセラミ
ック等を用いることもできる。
【0042】(実施例5)光記録媒体の構成は、石英ガ
ラス基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層/
接着層/反射層とし、各層の材料及び膜厚はそれぞれ、
基板側から保護層がZnSで180nm、接着層がY2
3 で5nm、記録層が実施例1と同じもので20n
m、接着層がY2 3 で5nm、さらにその上の保護層
がZnSで25nm、接着層がY2 3 で5nm、反射
層がAlで100nmとして試料を作成した。すなわ
ち、本実施例は実施例5においてさらに保護層と反射層
との間にもY2 3 の接着層を設けたものである。この
ようにして作成した試料を、実施例1と同様にして記録
・消去の繰り返し回数を求めた。この結果、実施例5と
比較して、保護層と反射層との間にも接着層を設けるこ
とにより、さらに記録・消去の繰り返し回数が増加し、
2×105 回に達した。なお、レーザーパワーPwは1
8.5mWであった。
【0043】(実施例6)光記録媒体の構成を、石英ガ
ラス基板/保護層/接着層/記録層/接着層/保護層/
接着層/反射層とし、各層の材料及び膜厚はそれぞれ、
基板側から保護層がZnSで180nm、接着層がAl
2 3 で5nm、記録層が実施例1と同じもので20n
m、接着層がAl2 3 で5nm、さらにその上の保護
層がZnSで25nm、接着層がAl2 3 で5nm、
反射層がAlで100nmとして試料を作成した。すな
わち、本実施例は実施例6において接着層の材料をY2
3から密着性のより高いAl2 3 に置換させたもの
である。このようにして作成した試料を、実施例1と同
様にして記録・消去の繰り返し回数を求めた。この結
果、実施例6と比較して、さらに記録・消去の繰り返し
回数が増加し、3×105 回に達した。なお、レーザー
パワーPwは19.2mWであった。
【0044】
【発明の効果】以上、本発明光記録媒体によれば、保護
層と反射層との間に、接着層を設けることにより、保護
層、反射層、記録層の特徴を損なわないで、記録・消去
の繰り返し動作をより長期間にわたって安定に行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の1実施例の光媒体の構成を示す。
【図2】静止状態での記録・消去特性の測定系を示す。
【符号の説明】 10 光記録媒体 11 透明基板 12,14 保護層 13 記録層 15 接着層 16 反射層 21 レーザー光源 22 対物レンズ 23 光ヘッド 24 レーザー光

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に直接又は間接的に設けられた保
    護層と反射層との間及び/又は保護層と記録層との間に
    接着層を設けたことを特徴とする光記録媒体。
  2. 【請求項2】 接着層が酸化物を含むことを特徴とする
    請求項1に記載の光記録媒体。
  3. 【請求項3】 酸化物が、Al2 3 ,GeO2 ,Si
    2 ,Ta2 5 ,TiO2 及びY2 3 から選ばれる
    少なくとも1種であることを特徴とする請求項2に記載
    の光記録媒体。
  4. 【請求項4】 保護層がY2 3 ,Y2 3 とZnSと
    の混合物又はZnSであることを特徴とする請求項1に
    記載の光記録媒体。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0779614A1 (en) 1995-12-11 1997-06-18 Teijin Limited Phase change optical recording medium
US6141315A (en) * 1997-04-25 2000-10-31 Teijin Limited Phase change optical recording medium containing oxygen and process for manufacturing the same

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0779614A1 (en) 1995-12-11 1997-06-18 Teijin Limited Phase change optical recording medium
US5912103A (en) * 1995-12-11 1999-06-15 Teijin Limited Phase change optical recording medium
US6141315A (en) * 1997-04-25 2000-10-31 Teijin Limited Phase change optical recording medium containing oxygen and process for manufacturing the same

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