JPH06137898A - 光学式エンコーダ - Google Patents

光学式エンコーダ

Info

Publication number
JPH06137898A
JPH06137898A JP30788092A JP30788092A JPH06137898A JP H06137898 A JPH06137898 A JP H06137898A JP 30788092 A JP30788092 A JP 30788092A JP 30788092 A JP30788092 A JP 30788092A JP H06137898 A JPH06137898 A JP H06137898A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
pattern
level
shielding plate
light shielding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30788092A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhiro Moroyama
和弘 諸山
Kazuhiro Kishimoto
一宏 岸本
Hiroshi Furuumi
洋 古海
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honda Motor Co Ltd
Original Assignee
Honda Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honda Motor Co Ltd filed Critical Honda Motor Co Ltd
Priority to JP30788092A priority Critical patent/JPH06137898A/ja
Publication of JPH06137898A publication Critical patent/JPH06137898A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小さいスペースに収容でき、かつ調整も容易
な、高分解能光学式エンコーダを提供する。 【構成】 被検出体に結合され、軸2を中心として回転
する遮光板1には、2列のスリット列3,4が設けら
れ、該スリット列3,4に対向して、光センサ5a,5
b(5)および6a,6b(6)がそれぞれ設けられ
る。スリット列3は連続する平行四辺形のスリット3a
からなり、スリット列4は矩形のスリット4aからな
る。スリット3aによって光センサ5はアナログ信号を
出力し、スリット4aによって光センサ6はパルス信号
を発生する。パルス信号の計数値とアナログ信号レベル
に基づいて遮光板1の回転量を検出できる。また、アナ
ログ信号の増減とパルス信号の高低の組合わせによって
遮光板1の回転方向も識別できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光学式エンコーダに関す
るものであり、特に、高分解能を達成するのに好適な光
学式エンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】回転体の回転角度および回転方向、なら
びに往復動体の移動量および移動方向を検出するために
光学式エンコーダ(以下、単にエンコーダという)が使
用できることはよく知られている。
【0003】この光学式エンコーダは、スリット列を設
けた遮光板と、該スリット列に対向するようにして該遮
光板の両側もしくは一方側に配置された光センサとを具
備する。通常、前記光センサはベース等に固定されるの
に対し、前記遮光板は被検出体である移動体に固定され
て該移動体と共に移動するように構成される。その結
果、移動体の動きに従い、光センサは前記遮光板のスリ
ット列によってその光軸の遮断・非遮断が交互に繰返さ
れ、それに応じたパルス列信号が発生される。このパル
スの数によって移動体の移動量が検出できるほか、光セ
ンサを複数設け、各光センサの出力信号から前記パルス
列の位相の差を検知することにより、移動体の移動方向
を識別することもできる。
【0004】ところで、この種のエンコーダの分解能を
向上させるための提案もなされている。例えば、回転体
の回転角度を検出するためのエンコーダにおいて、回転
体と遮光板を直接結合するのではなく、その中間に歯車
装置を介在させ、回転体の回転を増速させて遮光板に伝
達するようにしたものがある。このエンコーダは、回転
体の単位回転量あたりに検出されるパルス数を増大させ
て分解能を向上させようとするものである。
【0005】また、光センサの受光側を、多数の受光素
子をアレイ状に配列した構成にすることにより、各受光
素子の出力に基づいて遮光板のスリットの移動量をより
細かく検出するようにしたものもある。多数の受光素子
を配列し、かつ回転体の回転を増速させたエンコーダの
例として、特開昭52−10165号公報に記載された
ものがある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記、従来のエンコー
ダには次のような問題点があった。まず、回転体の回転
を増速させた場合は、回転体の負荷が増大するので、歯
車装置のギヤ比をあまり大きくすることができない。ま
た、加工技術の点から遮光板に加工できるスリットの数
にもある程度の制限がある。さらに、歯車装置を配設す
るスペースを必ずしも確保できるとは限らないという問
題点もある。
【0007】一方、多数の受光素子を配列した場合は、
受光素子の配列ピッチと遮光板のスリットのピッチとを
予定の相互関係に調節する必要があるため、取付け精度
が厳しく制限されるという問題点があった。
【0008】本発明の目的は、上記の問題点を解消し、
大きい設置スペースをとらず、また、スリットの加工精
度も問題とならず、かつ各構成要素の組み付けも容易で
高分解能が得られる光学式エンコーダを提供することに
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決し、目
的を達成するための本発明は、被検出体および遮光板の
相対的な変位方向においてその幅が予定の割合で直線的
に変化するパタ―ン要素が前記変位方向に連続するパタ
ーンが形成された遮光板と、該パターンに対向して配置
された光センサとを具備した点、ならびに前記パターン
要素との相対位置に対応して前記光センサから出力され
る信号のレベル、および該光センサの出力信号に基づい
て得られる前記パターン要素の検出信号によって、遮光
板の変位量を検出する検出装置をさらに具備した点に第
1の特徴がある。
【0010】また、本発明は、被検出体および遮光板の
相対的な変位方向においてその幅が予定の割合で直線的
に変化する第1パタ―ン要素を前記変位方向連続的に配
置した第1パターン、および前記第1パターン要素と予
定の位置関係で矩形の第2パタ―ン要素が配列された第
2パターンが形成された遮光板と、前記各パターンに対
向して配置された光センサとを具備した点、ならびに前
記第1パターン要素との相対位置に対応して前記光セン
サから出力される信号のレベル、および前記光センサの
出力信号に基づいて得られる前記前記第2パターン要素
の検出信号とによって遮光板の変位量および変位方向を
検出する検出装置を具備した点に第2の特徴がある。
【0011】
【作用】上記の第1の特徴を有する本発明によれば、パ
ターン要素との相対位置に応じて得られる光センサの出
力信号レベルと、パターン要素の検出信号とによって該
パターン要素からなるパターンが形成された遮光板の変
位量を検出できる。すなわち、パターン要素検出信号と
各要素間の間隔に基づいて遮光板のおおよその変位量を
検出できる。さらに光センサの出力信号レベルはパター
ン要素との相対位置によって変化するので、この信号レ
ベルに基づいてパターン要素に対する光センサの位置す
なわち遮光板の詳細な位置を検出できる。
【0012】一方、第2の特徴を有する本発明によれ
ば、第1パターン要素との相対位置に応じて得られる光
センサの出力信号レベルと、第2パターン要素の検出信
号とによって前記遮光板の変位量を検出できる。さら
に、第1パターン要素との相対位置に応じて得られる光
センサの出力信号レベルの変化状態、および第2パター
ン要素の検出信号との組合わせに基づいて遮光板の変位
方向を検出できる。
【0013】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を詳細に説明す
る。図1は本発明の一実施例に係る透過型光センサを組
込んだエンコーダを示す図であり、図1(a)は該エン
コーダの要部を示す部分断面側面図、図(b)は該エン
コーダの要部を示す正面図である。
【0014】図1において、回転軸2を介して図示しな
い被検出体に結合された遮光板1には2つのスリット列
3,4が設けられている。スリット列3は後述するアナ
ログ信号発生用であり、スリット列4はデジタル信号発
生用である。なお、このスリット列3,4は図示の配置
に限定されず、互いの配置を入れ替えて、アナログ信号
発生用スリット列3を遮光板1の内周側に配置し、デジ
タル信号発生用スリット列を外周側に配置してもよい。
各スリット列3,4は、それぞれスリットの構成要素3
a,3bからなる。
【0015】各スリット列3,4には、それぞれに別個
に対応させた光センサが設けられる。すなわち、スリッ
ト列3には光センサ5a,5bが、スリット列4には光
センサ6a,6bがそれぞれ対向して配置されている。
なお、対をなす光センサ5a,5b,および6a,6b
は、それぞれ一方が発光素子、他方が受光素子であって
もよいし、一方が受発光素子、他方が光反射手段であっ
てもよい。また、スリット列3,4は遮光板1を貫通す
る孔つまりスリットに限らず、蒸着等によって形成され
た反射膜の模様(パターン列)で構成してもよい。この
場合、光センサは受発光素子で構成し、該受発光素子か
ら出た光の、前記遮光板1からの反射光の有無を検出す
るように構成する。以下の説明では、前記スリット列お
よびパターン列を、ともにパターンと呼ぶ。
【0016】次に、図2を参照して前記パターンによっ
て光センサから出力される信号について説明する。図2
は前記パターンの拡大図、および該パターンに対応して
設けられた光センサの出力信号を示す図である。
【0017】図2において、パターン3の各構成要素
(以下、単に要素という)3aは、遮光板1の変位方向
すなわち矢印Aの方向において幅を変化させた形状(本
実施例では平行四辺形)となっている。すなわち、この
平行四辺形の要素3aの幅Bの変化に着眼すると、前記
変位方向Aにおいて漸増し、再び漸減している。したが
って、該要素3aからなるパターン3に対応して配設さ
れた光センサ5(5a,5b)からは図示のように、漸
減・漸増を繰返す鋸刃上の出力信号s1が得られる。該
出力信号s1のピーク値は、前記要素3aの幅Bが最大
である位置に対応する。
【0018】一方、パターン4の要素4aは長方形であ
り、該長方形の端部に対応するタイミングで出力信号が
立ち下がりまたは立ち上がりのいずれかに変化する(信
号s2参照)。変位方向Aでの前記要素3a,4aの相
対位置関係は、前記信号s2の立ち上がりおよび立ち下
がりのタイミングが、それぞれ信号s1の増減の変化点
と合致するように決定される。
【0019】なお、遮光板1の変位方向Aが逆転すれ
ば、前記信号s2の立ち上がり立ち下がりの方向は反転
する。この信号の反転により、後述の手順に従って遮光
板1の変位方向を判定することができる。
【0020】次に、上記構成のエンコーダを、自動車の
操舵角検出および操舵方向検出装置(以下、検出装置と
いう)に適用した例を説明する。すなわち、エンコーダ
の回転軸を自動車の操舵輪(ハンドル)の軸に連結して
その軸の回転量および回転方向を判定する。
【0021】まず、図3を参照して、前記検出装置の要
部機能を説明する。この検出装置はマイクロコンピュー
タで構成することができ、図3のブロック図は、このマ
イクロコンピュータの要部処理機能を示したものであ
る。
【0022】図3において、光センサ5(5a,5b)
で検出された信号s1はA/D変換器7でデジタル信号
に変換された後、アナログ信号増減判定部8、アナログ
信号最大・最小判定部9、および回転量演算部13に入
力される。ここで、アナログ信号増減判定部8およびア
ナログ信号最大・最小判定部9での処理対象となる信号
s3はA/D変換された信号であるが、光センサ5の出
力信号s1の性質に鑑み、光センサ6の出力信号との対
比上、便宜的に「アナログ」という用語を用いる。
【0023】一方、光センサ6(6a,6b)で検出さ
れた信号s2は、デジタル信号反転検出部10に供給さ
れる。
【0024】前記アナログ信号増減判定部8では、信号
s3のレベルが、前回判定時と比較して増大しているか
減少しているかを判定し、いずれかの信号を出力する。
アナログ信号最大・最小判定部9では、信号s3が最大
もしくは最小値かどうかを判定し、最大か最小を示す信
号を出力する。なお、アナログ信号最大・最小判定部9
の判定は、デジタル信号反転検出部10の出力信号に応
答して行われる。
【0025】デジタル信号反転検出部10は、信号s2
の論理が反転したかどうかを判定し、反転を検出したな
らば検出信号を出力する。
【0026】前記アナログ信号増減判定部8、アナログ
信号最大・最小判定部9、およびデジタル信号反転検出
部10の出力信号は、方向判定部11に供給される。さ
らにデジタル信号反転検出部10の出力信号は、前述の
ように前記アナログ信号最大・最小判定部9に、そのト
リガとして供給される。
【0027】方向判定部11では、供給された信号に基
づいて遮光板の回転方向すなわち自動車のハンドルの回
転方向を判定する。
【0028】さらに、前記デジタル信号反転検出部10
で検出される反転信号は、パルス計数部12に入力され
る。パルス計数部12のカウント値は回転量演算部13
に供給され、このカウント値と前記信号s3とに基づい
て回転量が演算される。この演算手順は後述する。
【0029】方向反転判定部14は、前記方向判定部1
1の出力信号に基づいてハンドルの回転方向(転舵方
向)が反転したことを検出する。転舵方向が反転する
と、その時点からの回転量を検出する必要があるので、
方向反転判定部14の検出信号によって回転量演算部1
3のデータをリセットするようにする。
【0030】続いて、図4,図5を参照して本実施例の
動作を説明する。まず図4において、ステップS1で
は、光センサ5の信号s3を読み込む。ステップS2で
は、光センサ6の信号s2がハイ(H)かロー(L)か
を判断する。信号s2が(L)のときは、ステップS3
に進み、信号s3が前回判定時から変動しているかどう
かを判断する。信号s3に変動があれば、ステップS4
に進み、前記変動が増大か減少かを判断する。減少であ
れば、ステップS5に進んで右転舵検出信号を出力す
る。一方、前記変動が増大であれば、ステップS6に進
んで左転舵検出信号を出力する。
【0031】また、ステップS3で信号s3に変動がな
いと判断されれば、ステップS7に進んで信号s2の論
理反転があったか否かを判断する。論理反転があったな
らばステップS8に進み、信号s3は最大値もしくは最
小値のいずれかが判断される。信号s3が最大値ならば
ステップS6に進み、左転舵検出信号を出力し、最小値
ならばステップS5に進んで右転舵検出信号を出力す
る。
【0032】信号s3の変動もなく、信号s2の論理反
転もなければステップS9でハンドル保持検出信号を出
力する。
【0033】信号s2が(H)の場合は、ステップS1
0に進む。なお、ステップS10〜S13は、前記ステ
ップS3,S4,S7,S8と同様であるので、説明は
省略する。
【0034】ステップS1〜S13で転舵方向の判定処
理が終了すると、図5のステップS14に進み、信号s
2の論理反転回数つまり前記パルス数計数部12のカウ
ント値を読込む。ステップS15では信号s3を読込
む。ステップS16では、前記カウント値および信号s
3の値に基づいてハンドルの回転量を演算する。この演
算式は後述する。
【0035】ステップS17では、転舵方向に変化があ
ったかどうかを判断する。変化があればステップS18
に進み、新たに回転量を算出するため、信号s2,s3
をリセットする。
【0036】次に、ハンドルの回転量を算出の詳細につ
いて説明する。図6は、回転量算出式の説明図であり、
信号s1(=s3)および信号s2のタイミングチャー
トである。同図において、信号s3の最大値を符号a、
最小値を符号bで示し、初期の信号s3のレベルを符号
a1、算出時の信号s3のレベルを符号a2で示す。
【0037】右転舵において、タイミングt1からt3
までの回転量D1、時間t1からt4までの回転量D
2、時間t2からt3までの回転量D3、時間t2から
t4までの回転量D4を算出するときの式を(1)〜
(4)に示す。なお、回転量D1〜D4は角度で表し、
算出式において、符号nは前記パルス数計数部12のカ
ウント値、符号xは信号s2の最小分解角度つまりパル
ス周期の1/2の角度(°)、符号yは信号s3の最小
分解角度つまり前記A/D変換器7の分解能によって決
まる角度(°)である。
【0038】 D1={(a−a1)+(a2−b)}×y+(n−1)×x…(1) D2={(a−a1)+(a−a2)}×y+(n−1)×x…(2) D3={(a1−b)+(a2−b)}×y+(n−1)×x…(3) D4={(a1−b)+(a−a2)}×y+(n−1)×x…(4) ところで、本実施例は次のように変形することもでき
る。すなわち、被検出体の移動量だけを検出し、移動方
向は別の手段で検出するように構成してもよい。その場
合は、信号s2を得るための光センサ6(6a,6b)
およびパターン4は省略できる。
【0039】具体的には、図4のフローチャートに示し
たステップS1〜13は実行せず、かつ図5のステップ
S14では、パルス数計数部12のカウント値を読込む
代わりに、信号s3の最大値および最小値検出回数すな
わち信号s3の大きさが反転する点の検出回数を読込む
ようにすればよい。
【0040】以上の説明のように、本実施例では、信号
s2の(H),(L)の反転回数のみでは信号が反転し
ない固定領域での角度変化を検出できないので、その固
定領域では信号s3の変化量を検出して検出精度を補う
ようにした。
【0041】本実施例は以上説明した実施例に限定され
るものではない。例えば本実施例ではパターン3の要素
3aの形状は平行四辺形にしたが、この形状に限定され
ず、菱形や三角形など、遮光板1と光センサの相対的な
変位方向において、直線的に幅が変化している形状であ
ればよい。
【0042】また、パターン3の各要素3aは隣接する
物同士が変位方向にとぎれることなく連続していて、信
号s1が連続して出力されるのが望ましいが、各要素3
a間が多少離れていたとしても、光センサの光束の大き
さや、受光・発光素子の特性等によって問題なく実施で
きる。
【0043】さらに、被検出体は回転体に限らず直線運
動する物体であっても、本実施例と同様に実施できる。
【0044】なお、信号s3の変化量と遮光板1の変位
量との関係がより直線的なものとなるように、パターン
2に組合わせる光センサ5の受発光源の形状を要素3a
の幅方向すなわち、変位方向Aに直角な方向に長くした
構造にすることもできる。
【0045】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、従来のパターンによって得られるデジタル信
号(2値信号)では検出できなかった該信号の固定領域
での被検出体の移動情報を、多値の信号として検出でき
る。その結果、前記2値信号と多値信号との組合わせに
よって高い分解能を有するエンコーダを実現できる。
【0046】パターンを構成する要素の数自体を多くす
ることなく検出精度を向上できるので、限られたスペー
スに収められる小さい遮光板に対してもパターンを形成
するのが容易である。
【0047】光センサの数が少なくてよいので、エンコ
ーダの設置スペースを大きくとることがなくなり、エン
コーダの使用範囲が拡大される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例を示すエンコーダの要部断
面図および正面図である。
【図2】 パターンと出力信号との関連を示すタイミン
グチャートである。
【図3】 検出装置の要部機能ブロック図である。
【図4】 検出装置の動作を示すフローチャート(その
1)である。
【図5】 検出装置の動作を示すフローチャート(その
2)である。
【図6】 回転量の演算方法説明のためのタイミングチ
ャートである。
【符号の説明】
1…遮光板、 2…回転軸、 3,4…パターン、 5
a,5b,6a,6b…光センサ、 8…アナログ信号
増減判定部、 9…アナログ信号最大・最小判定部、
10…デジタル信号反転検出部、 11…方向判定部、
12…パルス数計数部、 13…回転量演算部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検出体および遮光板の相対的な変位方
    向においてその幅が予定の割合で直線的に変化するパタ
    ―ン要素を前記変位方向に連続的に配置したパターンが
    形成された遮光板と、 前記パターンに対向して配置された光センサとを具備し
    たことを特徴とする光学式エンコーダ。
  2. 【請求項2】 前記パターン要素との相対位置に対応し
    て前記光センサから出力される信号の大きさを検出する
    レベル検出手段と、 前記レベル検出手段の出力信号に基づき、該信号が予定
    レベルとなった回数を検出するパターン要素検出手段
    と、 前記レベル検出手段から出力される信号のレベルおよび
    前記パターン要素検出手段によって検出された回数に基
    づいて前記遮光板の変位量を算出する演算手段とを具備
    したことを特徴とする請求項1記載の光学式エンコー
    ダ。
  3. 【請求項3】 被検出体および遮光板の相対的な変位方
    向においてその幅が予定の割合で直線的に変化する第1
    パタ―ン要素を前記変位方向に連続的に配置した第1パ
    ターン、および前記第1パターン要素と予定の位置関係
    で矩系の第2パタ―ン要素が配列された第2パターンが
    形成された遮光板と、 前記各パターンに対向して配置された光センサとを具備
    したことを特徴とする光学式エンコーダ。
  4. 【請求項4】 前記第1パターン要素との相対位置に対
    応して前記光センサから出力される信号の大きさを検出
    するレベル検出手段と、 前記第2パターン要素に対応して設けられた光センサか
    ら出力されるパルス信号を計数するパルス計数手段と、 前記パルス信号のレベルを検出するパルス信号レベル検
    出手段と、 前記レベル検出手段から出力される信号のレベルおよび
    前記パルス計数手段で検出されたパルス数に基づいて前
    記遮光板の変位量を算出する演算手段と、 前記レベル検出手段から出力される信号のレベルおよび
    パルス信号レベル検出手段から出力される前記パルス信
    号のレベルに基づいて遮光板の変位方向を判定する方向
    判定手段とを具備したことを特徴とする請求項3記載の
    光学式エンコーダ。
  5. 【請求項5】 前記各パターン要素が、遮光板1に穿設
    されたスリットであることを特徴とする請求項1〜4記
    載の光学式エンコーダ。
JP30788092A 1992-10-23 1992-10-23 光学式エンコーダ Pending JPH06137898A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30788092A JPH06137898A (ja) 1992-10-23 1992-10-23 光学式エンコーダ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30788092A JPH06137898A (ja) 1992-10-23 1992-10-23 光学式エンコーダ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06137898A true JPH06137898A (ja) 1994-05-20

Family

ID=17974282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30788092A Pending JPH06137898A (ja) 1992-10-23 1992-10-23 光学式エンコーダ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06137898A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007064650A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Nikon Corp 移動量検出装置およびレンズ鏡筒
JP2019056593A (ja) * 2017-09-20 2019-04-11 キヤノン株式会社 回転角度検出装置及び電子機器

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007064650A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Nikon Corp 移動量検出装置およびレンズ鏡筒
JP2019056593A (ja) * 2017-09-20 2019-04-11 キヤノン株式会社 回転角度検出装置及び電子機器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7184914B2 (en) Sensor signal processor
US9605981B1 (en) Absolute encoder
US5003170A (en) Reference signal generation apparatus for position detector with Fraunhofer diffraction
US7262714B2 (en) Interpolating encoder utilizing a frequency multiplier
US7015832B2 (en) Pulse width modulation based digital incremental encoder
JP3200172B2 (ja) 移動方向検出方法
JPH09145408A (ja) エンコーダ装置
JPH06137898A (ja) 光学式エンコーダ
JPH1038902A (ja) 回転速度検出装置
JPH0259611A (ja) アブソリュートエンコーダ
JPH08166257A (ja) ロータリーエンコーダとこのロータリーエンコーダに用いる回転ディスク
JP2000180212A (ja) 角度位置検出器
JPH08261795A (ja) エンコーダの基準位置検出方法
JP3035751B2 (ja) 光学式エンコーダ
JPH04232814A (ja) 高分解能絶対値エンコ−ダ
JP4052499B2 (ja) 光学式エンコーダ
JP2629832B2 (ja) 複合型ロータリエンコーダ
JP3200847B2 (ja) ハイブリッドエンコーダ
JPH03274415A (ja) 光学式移動量検出装置
JPH0861990A (ja) エンコーダ
JP2005265512A (ja) 光学式エンコーダ
JP2629833B2 (ja) 複合型ロータリエンコーダ
JPH0481729B2 (ja)
JPH02147814A (ja) 三相信号型エンコーダ
JPH0715376B2 (ja) 回転角検出装置