JPH0610704B2 - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

Info

Publication number
JPH0610704B2
JPH0610704B2 JP59097882A JP9788284A JPH0610704B2 JP H0610704 B2 JPH0610704 B2 JP H0610704B2 JP 59097882 A JP59097882 A JP 59097882A JP 9788284 A JP9788284 A JP 9788284A JP H0610704 B2 JPH0610704 B2 JP H0610704B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
layer
crystal display
electrodes
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59097882A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60241021A (ja
Inventor
陽一 小野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP59097882A priority Critical patent/JPH0610704B2/ja
Publication of JPS60241021A publication Critical patent/JPS60241021A/ja
Publication of JPH0610704B2 publication Critical patent/JPH0610704B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/1365Active matrix addressed cells in which the switching element is a two-electrode device

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、液晶セル基板内に薄膜非線形素子を付加した
高デユーテイ駆動可能な大容量液晶表示装置に関する。
液晶表示装置の応用分野として、時計・電卓を始めと
し、最近ではコンピユータ端末用表示,パソコン用表示
あるいは、フルカラー化による画像表示等のCRTの置
換えとして使われ始めている。この要求に答えるために
は、液晶パネルの高デユーテイ駆動が不可欠であり、方
法として (1)高デユーテイ駆動可能な液晶材料の開発 (2)薄膜非線形素子を付加した液晶パネルの開発 (3)薄膜トランジスタ(TFT)を付加した液晶パネル
の開発 が考えられ、実際各社で研究開発が活発に行なわれてい
る。しかし現状では、各方法とも一長一短があり、性
能,コスト,信頼性すべての面で満足できるものが得ら
れていない。(1)の方法は、最も低コストであるが、性
能不足であり(現在実用レベル1/64デユーテイ)、(3)
の方法は最も高性能化できるが、工程が複雑なため高コ
ストになり、信頼性も不安がある。またパネルの大型化
に対して制約を受ける。これに対して(2)の方法は、(3)
に近い性能を有し、しかも(3)に比べ工程が簡略化でき
るため低コスト化し易く、パネルの大型化も可能であ
る。このため(2)の方法により前記要求を実現していく
ことが最良である。
〔従来技術〕
従来のこの種装置は、Bell-Northern Researchから報告
されており(例えば1980年IEEE)、第4図及び1画
素の拡大概略図の第3図に示す様に、基板31上に第1
層目金属であるTa32,42、陽極酸化による第2層
絶縁膜であるTa2O533,43、第3層目金属であるN
iCr:Au34,44、そして画素電極のITO3
5,45のように構成されていた。このため工程及び非
線形素子形状が複雑になる。また非線形素子の駆動面、
つまり液晶パネルへ印加される電圧が非線形素子と液晶
層の容量により分割されるため、非線形素子に充分電圧
が加わるようにするには、非線形素子の容量CMIMと画
素電極上の液晶セルの容量CLCの比がCLO/CMIM≧10
でなければならない。
このことは、CLCが画素サイズの点から大きくできない
ため、CMIMを小さくしなければならないことを示す。
MIMを小さくするには、非線形特性が絶縁膜のトンネ
ル効果に依存するため絶縁膜の膜厚を大きくすることが
できず、結局素子サイズを小さくするよりないことにな
る。これにより、画素数数万の大容量表示を達成するに
は、シビアーなフオトリソ技術が要求される。
以上の問題により、従来の比線形素子を付加した液晶パ
ネルを製造するには、設備が高価になり、またパネルの
歩留りが低くなるため、コストが非常に高くなつてしま
う欠点があつた。
〔目 的〕
本発明は、これらの欠点を解消したもので、その目的
は、非線形素子を用い、信頼性が高く、安価な大容量液
晶表示装置を構成する点、また、フルカラー化をも容易
に達成する点にある。
〔構成〕
上記の目的を達成するため、本発明の液晶表示装置は、
一対の基板間に液晶を挾持し、前記一対の基板のうち一
方の基板の液晶と接する基板面上には複数の行電極、他
方の基板の液晶と接する基板面上には複数の列電極が形
成され、かついずれか一方の基板面上には複数の非線形
素子及び複数の画素電極が形成され、前記行電極若しく
は前記列電極は、前記非線形素子を介して画素電極に電
気的に接続されて成り、前記非線形素子は第1金属層−
絶縁体−第2金属層構造からなる液晶表示装置におい
て、 前記行電極若しくは前記列電極は前記第1金属層を構成
し、前記第1金属層上及び画素電極に対応する基板面上
には絶縁性を有する有機物からなる絶縁膜層が形成さ
れ、前記絶縁膜層上には第2金属層と一体をなす画素電
極が形成されてなり、 かつ、前記絶縁膜層は染色されることを特徴とする。
また、上記の目的を達成するため、本発明では、薄膜非
線形素子の構成を金属−有機絶縁体−ITOあるいは金
属とし、金属としてAl,Ta,Ni,Cr,Cu,A
u等を用い、有機絶縁膜として極性の大きなポリマー,
高耐熱性のポリマー、または染色性の良好なポリマー等
を用いた。
さらに工程を簡素にするため、第2層目の有機絶縁体を
端子部にマスクをし、表示部にだけ形成する方法、例え
ばスクリーン印刷法,浸漬後等速引上げ法,スピンナー
塗布法,あるいはマスク真空蒸着法を行なうと共に、第
3層目のITO膜または金属膜が画素電極を兼ねるよう
にしてある。
また、フルカラー化を容易に達成できるように、第2層
目の有機絶絶縁膜を色素で染色可能にし、カラーフイル
ターを兼ねるようにもできる。
一方、大面積化及び製造容易化の対応として、第1層目
金属パターンをマスクとする自己整合法により第3層目
ITOあるいは金属画素電極を形成してある。
本発明の具体的説明を図面により詳述する。
第1図及び第2図は本発明の実施例であり、11はガラ
ス基板、12,22はリード電極を兼ねる第1層目金属
膜、13,23は第2層目の有機絶縁膜、14,24は
画素電極を兼ねる第3層目のITOまたは金属膜であ
る。なお第1図は、1画素単位の拡大図である。
本発明による非線形素子の製造方法を、従来と比較しな
がら第5図により説明する。
第5図−(a)は従来、第5図−(b)は本発明による
製造法を示す。先ず従来方法であるが、ガラス基板51
上に第1層目金属膜のTa52をスパツタリングで形成
し、フオトエツチングにより所定のパターンを得る
、最少線幅として7〜10μmが要求されるため精密
フオトリソ技術が必要である。次に陽極酸化によりTa
52の表面に酸化膜53を形成する。これにより第2
層目の絶縁膜が得られるが、量産性の点で不利である。
さらにその上に、第3層目の金属膜55が通常真空蒸着
法によ形成され、やはりフオトエツチングにより所定
のパターンを得る。これにより非線形素子は完成する
が、表示用の画素電極が必要であるためITO57をス
パツタリングで形成し、フオトエツチングにより得る
。この様に従来の場合、工程が多い、精密フオトリソ
技術が必要、素子形状が複雑等の理由により、歩留り低
下,コスト高,信頼性低下になつていた。これに対し本
発明による製造法では、ガラス基板51に第1層目金属
膜52を形成し、フオトエツチングにより所定のパタ
ーンを得る。ここで金属膜52として前記のいずれで
もよい。次に端子部を除く全面に、マスク真空蒸着スク
リーン印刷、あるいはデイツピング法等の方法で第2層
目の有機絶縁体54を形成する。
ここで、有機絶縁体54として前記のいずれでもよい
が、絶縁膜の膜質の良否が非線形特性に大きく影響する
ため、薄くて(数百Å〜数万Å)密度が高く、ピンホー
ルのない均一な薄膜が要求される。さらに画素電極を兼
ねたITOあるいは金属膜56をマグネトロンスパツタ
リングにより形成し、第1層目の金属膜をマスクとし
た自己整合法によるフオトエツチングを行ない所定のパ
ターンを得る。画素電極を兼用した第3層目薄膜を得
る場合、同様にリフトオフ法でも得られることは言うま
でもない。ゆえに本発明を従来と比較した場合、工程が
少ない、精密フオトリソ技術が不要、素子形状が単純等
の利点により、高歩留,低コスト,高信頼性が図れ、さ
らにはカラーフイルターが容易に形成できるため、同時
にフルカラー化も図れる。
この様にして作つた非線形素子の動作を液晶表示に応用
した場合について簡単に説明すると、非線形素子は第6
図に示す様に、電圧により抵抗値が変化するため電流が
オームの法則に従わない非線形特性を有する。このため
液晶パネルに印加される駆動信号が、非線形素子に電流
が流れる状態つまり、ON状態であれば液晶層に電界が
加わり点灯する。また駆動信号が、非線形素子に電流が
ほとんど流れない状態、つまりOFF状態であれば、液
晶層に加わる電界が小さいため点灯しない。
これを利用することで、液晶パネルのダイナミツク駆動
特性を著しく向上させることができる。通常の液晶パネ
ルは、高々1/64デユテイ程度であるが、非線形素子を付
加した液晶パネルでは1/500デユーテイあるいはそれ以
上可能であり、しかも表示品質が優れる。
〔実施例〕
以下、本発明による実施例を挙げる。
〔実施例1〕 第1層目金属膜:パイレツクスガラス基板にAlをEB
蒸着法により約3000Åの膜厚になる様蒸着した。次
に第1層目の所定パターンを得るため、Al膜上にフオ
トレジストをコーテイングし、通常のフオトリソ工程を
行なつた。ここでAlのエツチングにはPNC液(リン
酸,硝酸,酢酸混液)を用いた。
第2層目絶縁膜:第1層目の得られたパターンで端子部
となるところに金属箔のマスクをして、PVDFを真空
蒸着することにより緻密で一様な500Å程度の膜を得
た。
第3層目ITO膜:前記基板全面にマグネトロンDCス
パツタによる反応性スパツタを行ない、膜厚300Åの
ITO膜を得た。次にネガタイプのフオトレジストをス
ピンナーにより1.5μm厚にコーテイングし、第1層目
Alパターンをマスクにすると共に、所定のパターンマ
スクと併用し、基板裏面側より露光する自己整合法を行
ない、非線形素子の重なり部及び画素電極を同時に形成
した。
この様にして得られた非線形素子基板で第7図(1画素
分の拡大図)に示すTN型液晶セルを作成した。ここ
で、71は非線形側ガラス基板、72は第1層目金属の
Al、73は第2層目有機絶縁膜のPVDF、74は画
素電極を兼ねるITO、75は対向側ガラス基板、76は
ITO透明電極、77は液晶である。
上記液晶セルをダイナミツク駆動させたところ、1/500
デユーテイでも充分なコントラストが得られた。
〔実施例2〕 第1層目金属膜:Ni 第2層目絶縁膜:ポリイミド 第3層目金属膜:Al 各層に上記材料を用いて、第1層目のNiはFB蒸着に
より成膜。第2層目ポリイミドは端子部にマスクをした
後、プレポリマー溶液にデイツピングし、次に100〜
200℃でプレキュアーを行なつてからマスクを剥離
し、最後に300〜400℃で完全にキユアーすること
により成膜。第3層目Alは、マグネトロンDCスパツ
タにより成膜及びリフトオフ法によりパターン化。他は
〔実施例1〕と同様な方法で非線形素子を得た。これか
らゲスト・ホストタイプの液晶セルを作成し、ダイナミ
ツク駆動させたところ、〔実施例1〕と同様な結果が得
られた。
〔実施例3〕 第1層目金属膜:Ta 第2層目絶縁膜:PVA 第3層目膜 :ITO 各層に上記材料を用いて、第1層目Taはマグネトロン
RFスパツタリングにより成膜。第2層目PVAはスピ
ンナーによりコーテイング後乾燥して成膜。次に、赤,
緑,青の各色素により染色して、RGBのカラーフイル
ターを形成した。他は〔実施例1〕と同様に非線形素子
を得た。これからTN型のカラー液晶表示装置を作成し
たところ、満足のいく表示が得られた。
〔実施例4〕 第8図に示すようにして液晶表示装置を構成した。液晶
表示体Pは、液晶を基板P,Pで挾持し、偏光子P
,Pが上下に配される。駆動回路Zからは走査側の
電極及び信号側の電極にそれぞれ第10図に示す駆動電
圧を印加させた。
そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づい
て説明する。
第9図は、本発明に使用する装置の一例を示す回路のブ
ロツク図であつて、図中、符号1は液晶駆動電圧回路
で、画素をオン状態にする電圧Eを出力する電圧源2
に直列に接続された5本の分圧抵抗器R1,R2,R
3,R4,R5の接続点C1,C2,C3,C4にそれ
ぞれ演算増幅器D1,D2,D3,D4の一方の入力端
子を、他方の入力端子をその出力端子に接続してなるイ
ンピーダンス変換器を接続し、電圧Eを分圧して、 なる電圧を出力するように構成されている。
ここにおいて、定数Kは、使用されるマトリツクス液晶
パネルにより変動する1以上の値である。
3は走査電極駆動回路で、液晶駆動電圧発生回路1から
の駆動電圧V0,V1,V4とタイミング制御回路4か
らの信号が入力し、タイミング制御回路からの信号によ
つてマトリツクス型液晶表示パネル5の走査電極Y1,
Y2……Ymを線順次走査するように構成されている。
6は信号電極駆動回路で、液晶駆動電圧回路1からの電
圧V0,V2,V3とタイミング制御回路4からの信号
が入力し、タイミング制御回路4からの信号によつて信
号電極X1,X2,……Xnを所定の電圧により線順次
走査するように構成されている。
次に、このように構成した装置の動作を第5図に示した
波形図に基づいて説明する。
タイミング制御回路4にビデオ信号が入力すると、信号
中の同期信号に基づいて走査電極駆動回路3から各走査
電極Y1,Y2……Ymに駆動電圧が出力し(I)、選
択された走査電極には、電圧V5,V0が、また非選択
走査電極には、電圧V4,V1が印加される。他方、信
号電極駆動回路6から各信号電極に駆動電圧が出力し
(II)、選択された信号電極には電圧V0,V5が、ま
た選択されない電極には電圧V2,V3が印加されなが
ら次々に線順次走査される。このとき、選択されない画
素には、|V2-V1|,|V3-V4|なる電圧、つまり なる実効値の交番電圧が印加する。
なお、液晶パネルに印加する駆動信号−走査電極に印加
する駆動波形、信号電極に印加する駆動波形、及び液晶
に印加される駆動波形は第10図に示される如く構成さ
れる。
このため、パネル面に表示される画像は、ビデオ信号に
基づいて指令されたコントラストに1対1に対応したコ
ントラストで画素が駆動され、階調の整つた画像が表示
される。
〔実施例5〕 第11図(a)〜(d)に図示されるように、本発明の
液晶表示装置を構成する液晶表示体を構成した。第11
図(a)は、上基板Pの配向処理方向(配向処理はラ
ビングで行なつた)LP10を矢印の向とし、下基板P
配向処理方向LP20を矢印の方向とし、両者の挟み角
θを90゜で行なつた。そして、上偏光子Pの偏光
軸方向LP30(偏光軸と吸収軸は垂直である)は配向
処理方向LP10と平行で、下偏光子Pの偏光軸LP
40は配向処理方向LP20と平行である。
また、第11図(b)は、配向処理方向の挟み角θ
80゜〜100゜にとり、配向処理方向LP10と偏光
軸LP30,LP40を平行にしたものである。
また、第11図(c)は、配向処理方向の挟み角θ
偏光軸の挟み角θをそれぞれ80゜〜100゜にと
り、配向処理方向LP10と偏光軸方向LP40をほぼ
平行とし、配向処理方向LP20と偏光軸LP30をほ
ぼ平行としたものである。
第11図(d)は、配向処理方向LP10,LP20の
挟み角θ〜を80゜〜100゜とし、偏光軸LP3
0,LP40を配向処理方向LP20とほぼ平行にした
ものである。
これらの表示体の明視方向は、図示されているように図
面上手前側である。
なお、上基板Pの配向処理方向LP10を、第11図
(a)〜(d)の配向処理方向LP20と逆方向とし、
下基板P配向処理方向LP20を第11図(a)〜(d)
の配向処理方向LP10と逆方向として、明視方向を手前と
して、上下偏光子P,Pの偏光軸を第11図(a)
〜(d)同様に配向方向に合わせて製作してもよい。
〔実施例6〕 第8図に示された液晶表示体Pの下偏光子Pに反射体
を積層して液晶表示装置を構成した。
〔実施例7〕 第8図に示された液晶表示体Pの下からバツクライトを
照射して透過型とし、液晶表示装置を構成した。
〔効 果〕
以上説明した通り、本発明の液晶表示装置は、一対の基
板間に液晶を挾持し、前記一対の基板のうち一方の基板
の液晶と接する基板面上には複数の行電極、他方の基板
の液晶と接する基板面上には複数の列電極が形成され、
かついずれか一方の基板面上には複数の非線形素子及び
複数の画素電極が形成され、前記行電極若しくは前記列
電極は、前記非線形素子を介して画素電極に電気的に接
続されて成り、前記非線形素子は第1金属層−絶縁体−
第2金属層構造からなる液晶表示装置において、 前記行電極若しくは前記列電極は前記第1金属層を構成
し、前記第1金属層及び画素電極に対応する基板面上に
は絶縁性を有する有機物からなる絶縁膜層が形成され、
前記絶縁膜層上には第2金属層と一体をなす画素電極が
形成されてなり、かつ、前記絶縁膜層は染色されるとい
う構成を採用することにより、薄膜非線形素子を簡単で
高歩留に製造でき、しかも特性が優れているため、1/
500デユーテイあるいはそれ以上のダイナミツク駆動
可能である。また形状が単純であるため信頼性が高い。
さらにはカラー表示が容易である。ゆえに、コンピユー
タ端末表示,パソコン用表示な大容量液晶表示装置を、
表示品質がよくフルカラー表示も可能で、しかも安価に
提供できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図は、本発明の液晶表示装置を構成する
1画素分非線形素子の模式図及び第9画素分非線形素子
の平面図、第3図及び第4図は、従来の1画素分非線形
素子の模式図及び9画素分非線形素子の平面図、第5図
(a)は従来の非線形素子の製造方法、第5図(b)は
本発明の非線形素子の製造方法、第6図は本発明の液晶
表示装置を構成する非線形素子のV−I特性図、第7図
は本発明の液晶表示装置を構成する非線形素子を用いた
TN液晶セルの1画素分の模式図、第8図は本発明の液
晶表示装置の概略説明図、第9図は本発明に使用する装
置の一例を示す回路のブロツク図、第10図は同上装置
の動作を示す波形図である。第11図(a)〜(d)
は、それぞれ本発明の液晶表示装置を構成する液晶表示
体の実施例。 11,31,51,71,75……ガラス基板 12,32,52,72……第1層目金属膜 13,23,33,43,53,54,73 ……第2層目有機絶縁膜 14,24,56,74……第3層目ITO膜 34,44,55……第3層目金属膜 35,45,57……画素電極 76……ITO透明電極 77……液 晶

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一対の基板間に液晶を挾持し、前記一対の
    基板のうち一方の基板の液晶と接する基板面上には複数
    の行電極、他方の基板の液晶と接する基板面上には複数
    の列電極が形成され、かついずれか一方の基板面上には
    複数の非線形素子及び複数の画素電極が形成され、前記
    行電極若しくは前記列電極は、前記非線形素子を介して
    画素電極に電気的に接続されて成り、前記非線形素子は
    第1金属層−絶縁体−第2金属層構造からなる液晶表示
    装置において、 前記行電極若しくは前記列電極は前記第1金属層を構成
    し、前記第1金属層上及び画素電極に対応する基板面上
    には絶縁性を有する有機物からなる絶縁膜層が形成さ
    れ、前記絶縁膜層上には第2金属層と一体をなす画素電
    極が形成されてなり、かつ、前記絶縁膜層は染色される
    ことを特徴とする液晶表示装置。
JP59097882A 1984-05-16 1984-05-16 液晶表示装置 Expired - Lifetime JPH0610704B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59097882A JPH0610704B2 (ja) 1984-05-16 1984-05-16 液晶表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59097882A JPH0610704B2 (ja) 1984-05-16 1984-05-16 液晶表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60241021A JPS60241021A (ja) 1985-11-29
JPH0610704B2 true JPH0610704B2 (ja) 1994-02-09

Family

ID=14204115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59097882A Expired - Lifetime JPH0610704B2 (ja) 1984-05-16 1984-05-16 液晶表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0610704B2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01105913A (ja) * 1987-10-19 1989-04-24 Toshiba Corp マトリックスアレイ基板の製造方法
JP2589331B2 (ja) * 1987-12-14 1997-03-12 株式会社リコー 液晶表示装置
JP2605382B2 (ja) * 1987-12-18 1997-04-30 セイコーエプソン株式会社 アクティブマトリクス基板の製造方法
JPH02100023A (ja) * 1988-10-07 1990-04-12 Sharp Corp 表示装置の電極基板
US5294560A (en) * 1989-01-13 1994-03-15 Seiko Epson Corporation Bidirectional nonlinear resistor, active matrix liquid crystal panel using bidirectional nonlinear resistor, and method for production thereof
EP0381927A3 (en) * 1989-01-13 1991-08-14 Seiko Epson Corporation Bidirectional non-linear resistor, active matrix liquid-crystal panel using the same, and method for its production
JP2749624B2 (ja) * 1989-04-07 1998-05-13 シチズン時計株式会社 アクティブマトリクス液晶表示素子の液晶分子配向処理方法
CN114420866A (zh) * 2022-01-11 2022-04-29 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 柔性显示面板的制备方法及柔性显示面板

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5838799B2 (ja) * 1974-12-28 1983-08-25 キヤノン株式会社 エキシヨウヒヨウジソシ
JPS5646584A (en) * 1979-09-26 1981-04-27 Hitachi Ltd Multilayer thin film functional element and manufacture thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60241021A (ja) 1985-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60149025A (ja) 液晶表示装置
JPH0610704B2 (ja) 液晶表示装置
US5295008A (en) Color LCD panel
US6749975B2 (en) Method of utilizing color photoresist to form black matrix and spacers on a control circuit substrate
CN100405200C (zh) 使用双选择二极管的液晶显示器
JPH08313939A (ja) 液晶表示装置およびその駆動方法
US20030117553A1 (en) Liquid crystal display device
JPH05257137A (ja) カラー液晶表示装置
JPH04371923A (ja) 強誘電性液晶表示装置
JPS60151612A (ja) 液晶表示装置
JPS61156027A (ja) カラ−液晶表示装置
JPS60149024A (ja) 液晶表示装置
JP2001083504A (ja) 反射型又は半透過反射型の電気光学装置、これを用いた電子機器並びにその製造方法
JPH03174123A (ja) 電気光学装置およびその製造方法
US20020145684A1 (en) Method of manufacturing nonlinear element, method of manufacturing electrooptic device, electrooptic device, and electronic apparatus
JPS60134216A (ja) 液晶表示装置
JPS60194427A (ja) 液晶表示装置
JPH05232517A (ja) 液晶表示装置用基板およびその製造方法
JPH06308538A (ja) 液晶表示装置の製造方法
JPS61124922A (ja) 電気光学装置の製造方法
JPH0720499A (ja) 非線形素子およびその製造方法と非線形素子を備えた電気光学装置用素子基板並びに電気光学装置
JPS61241783A (ja) 液晶表示パネル
JPH0618936A (ja) 液晶表示装置の製造方法
JPH0822031A (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
JPH05142418A (ja) カラーフイルタ及びその製造方法