JPH06103952A - 電子ビーム高電圧切替え電源 - Google Patents

電子ビーム高電圧切替え電源

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JPH06103952A
JPH06103952A JP5084791A JP8479193A JPH06103952A JP H06103952 A JPH06103952 A JP H06103952A JP 5084791 A JP5084791 A JP 5084791A JP 8479193 A JP8479193 A JP 8479193A JP H06103952 A JPH06103952 A JP H06103952A
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JP
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voltage
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JP5084791A
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Inventor
Daniel W Shimer
ダブリュー シマー ダニエル
Arnold C Lange
シー ランゲ アーノルド
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US Government
Original Assignee
US Government
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/24Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
    • H01J37/241High voltage power supply or regulation circuits
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02HEMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
    • H02H7/00Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/22Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac
    • H02M3/24Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/28Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac
    • H02M3/325Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal
    • H02M3/335Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only
    • H02M3/337Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only in push-pull configuration
    • H02M3/3376Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only in push-pull configuration with automatic control of output voltage or current

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子ビーム銃やイオン源用などの電源で、負
荷でアークなどが発生してもショート状態になっても破
損しない安定で高出力の固体電源を提供する。 【構成】 交流入力電圧を未調整の直流電圧へ変換する
整流器/フィルタ100と、複数の切替え型直流−直流
変換器モジュール112とからなり、該変換器モジュー
ルは、入力減結合回路網116、入力コンデンサ12
5、電圧調整器114、方形波インバータ118、昇圧
変圧器150および出力側の整流器/フィルタ回路16
0とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】合衆国政府は、ローレンス・リバ
ーモア国立研究所の事業のために合衆国エネルギー省と
カリフォルニア大学とのあいだで締結された契約番号W
−7405−ENG−48に関する本発明の権利を有す
る。
【0002】本発明は、高出力固体電源に一般的に関す
る。より詳細には、本発明は、真空炉における電子ビー
ム銃、レーザーアイソトープ分離システムの蒸発器に使
用される電子ビーム銃、またはプラズマスパッタリング
装置などのイオン源の出力に適切な、変化しかつアーク
を発生する負荷の下で、制御自在で一定の高電圧出力を
生成する高出力固体電源に関する。
【0003】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】電子
ビーム銃は、目標物質に衝撃を与えるために高強度の電
子ビームを生成する真空炉システムなどに使用される。
電子銃は、目標物質と共に真空排気された室内に配設さ
れるのが一般的である。電子銃すなわち電子ビーム銃
は、加熱陰極または加熱フィラメントなどの電子源と、
接地された加速陽極とを通常備えている。陰極は、電子
を加速する高い静電界を形成するために、陽極に対して
高い負電位に維持される。磁界は、一般的に目標物質へ
電子を指向させるために設けられることがある。
【0004】電子ビームにより目標物質へ衝撃を与える
あいだ、各種のイオン化された物質が放出される。その
ような物質の存在により、電子ビーム銃の各部と他のエ
レメントとのあいだの耐電圧機能がかなり減少すること
が多い。これにより、電子ビーム銃の各部と他の構造部
分とのあいだでアークが発生することがある。このアー
ク発生により、電子銃の電流がかなり増加するので、電
子銃構造部分と周囲のエレメントが損傷することがあ
る。またアーク発生により、電子銃を駆動する電源回路
が損傷する。
【0005】レーザーアイソトープ分離システムの蒸発
器などの高出力で高性能の装置において、電子ビーム
銃、周囲の構成部分および目標物質間の物理的間隔は、
比較的狭い。この結果、電子ビーム銃は頻繁にアークを
発生して接地することがある。損傷を避け、かつ長寿命
を達成するためには、電源出力キャパシタンスに蓄えら
れたエネルギーが小さいこと、およびアーク発生中のい
わゆる電源通過エネルギーが小さいことが必須である。
加えて、物理的間隔が狭いため、安定した非アーク発生
動作中に電子ビームが隣接する構成部分と構造部分に衝
突する機会が大きくなる。これを避けるためには、電源
出力電圧を低いリプル成分で正確に制御することが重要
である。
【0006】従来のサイリスタ制御式電源は、高出力で
高性能の電子ビーム銃装置には不適切である。サイリス
タ制御式電源は、60Hzの線路周波数で作動し、かつ
かなりの出力電圧リプルを発生するか、またはリプルを
受入れできるレベルまで下げるためにかなりの出力キャ
パシタンスを必要とする。電子銃アーク発生が頻繁に生
じるならば、その出力キャパシタンスにより、過度に蓄
積されたエネルギーが電子銃または周囲の構成部分中へ
送出され、結果として寿命が短くなる。またサイリスタ
制御式電源は、比較的遅い動的応答を有するので、アー
ク発生中に電源通過エネルギーが電子銃にさらに加えら
れ、またアークが消滅したあとにランプ(ramp)が減速
される。サイリスタ制御式電源は、比較的低い入力力率
を有し、高い入力調波を発生する。これにより、高出力
装置における60Hz公共事業体電源システムのコスト
がかなり増加する。またサイリスタ制御式電源は、変圧
器とフィルタ構成部分が60Hzおよび60Hzの低い
調波で作動するために、物理的に大きい。多数の電源が
使用されるばあい、このことは、装置の初期コストにお
ける重要な要素となる。
【0007】直列パス四極真空管(series pass tetrod
e vacuum tube )を利用する従来の電源は、サイリスタ
制御式電源の多くの不具合をなくす。四極真空管の調整
特性(regulating characteristics)は、かなりの出力
キャパシタンスを必要とすることなく、非常に低い出力
リプル電圧を生成するのに使用できる。またその調整特
性により、入力力率を大幅に上昇し、かつ入力ライン調
波を減少するダイオード整流器の使用が可能となる。こ
の電流を制限する調整特性、四極管グリッドの高速制御
機能、および低い出力キャパシタンスは、電子銃のアー
クへ優れた応答をするので、電子銃への入力エネルギー
は低くなり、かつアーク消滅後の回復が速くなる。
【0008】しかしながら従来の四極真空管利用の電子
ビーム電源は、それ自体に重大な欠陥を有する。この形
式の電源の効率は、サイリスタ制御式電源の約95%と
比べて80%未満である。その理由は、四極真空管は、
それを適切に調整するために電圧をかなり低下させなけ
ればならないからである。また四極真空管は、フィラメ
ント破損および陰極上のコーティングの化学的分解によ
り消耗するので、陰極は電子を放出する機能を失う。そ
の結果、四極真空管は、少なくとも10,000時間毎
に取り替える必要があり、かなり保守費用のかかる品目
である。
【0009】10kHz以上で作動する切替えモード直
流−直流変換装置を使用する電源は、従来のサイリスタ
制御式および直列パス四極真空管利用電源の欠陥をなく
す可能性を有する。切替えモード直流−直流変換装置を
使用する電源は小形の変圧器とフィルタ構成部分のため
にコンパクトであり、高入力力率のためにダイオード整
流器で作動し、線型レギュレータ(linear regulator)
として作動しないので効率的であり、全て固体であるの
で保守の必要性が少なく、また高周波数で作動するので
良好な動的応答を有することができる。
【0010】アーク発生負荷を有する10kHz以上の
高出力装置に有用な切替え直流−直流変換装置の一形式
として、直列共振型がある。直列共振型直流−直流変換
装置を使用する電源は、直流電圧を生成する入力用整流
器およびフィルタと、サイリスタおよび高周波数電流を
生成する共振回路網からなるインバーターと、所要の出
力電圧レベルを生成する変圧器と、負荷へ印加する直流
を生成する整流器およびフィルタとを備える。これは、
電子ビーム銃に使用されてきた周知の形式の電源である
(1970年12月1日に付与された米国特許第3,5
44,913号明細書)。高性能電子ビーム装置用のこ
の形式の電源における主な欠陥は、出力フィルタキャパ
シタンスに蓄えられるエネルギー量、および共振回路網
が極性を逆にするまで負荷への電源を遮断できない点で
ある。インバーターの出力電流は正弦波であり、またイ
ンバーターは10kHz以上で作動するが、充分な出力
電圧リプルをうるためには整流後にかなりのキャパシタ
ンスが必要である。また直流−直流変換装置は、共振回
路網がサイリスタを整流するまで、アーク発生後に負荷
へ電流を供給し続ける。かかる直流−直流変換装置は、
アーク発生中に電子銃中に散逸するエネルギーに関し
て、従来の60Hzサイリスタ式電源より優れている
が、直列パス四極真空管利用電源より劣り、また電子ビ
ーム銃用の高性能電源に対しては適切ではない。
【0011】数キロワットまでの低出力装置とアーク発
生負荷に有用な切替え直流−直流変換装置の他の形式と
して、電流源パルス幅変調型がある。この直流−直流変
換装置は、1973年6月5日に付与された米国特許第
3,737,755号明細書に記載されているように、
電圧調整器、誘導器、非調整インバーター、変圧器、出
力整流器、および出力フィルタコンデンサから構成され
る。この引用された特許明細書に記載されている誘導器
およびインバーターは、出力整流器とフィルタへ方形波
電流を供給するので、小さい出力フィルタキャパシタン
スを使用でき、したがって負荷のアーク中に負荷へのエ
ネルギーを低くできる。しかしながらインバーター電圧
クランプ手段は、高出力装置には不適切である。その理
由は、インバーターは、高出力装置において入力フィル
タコンデンサから比較的離れているので、クランプ回路
網においてかなりのインダクタンスと、インバータート
ランジスタを通る過大な電圧スパイクとが生じるからで
ある。
【0012】前述したように、従来の電源に関して、お
よび高出力で高性能のイオン源用、とくに電子ビーム銃
用の切替え電源に関して問題がある。要約すると、従来
のサイリスタ電源は、高出力キャパシタンス、アーク発
生に対する遅い動的応答、および低い入力力率を有す
る。直列パス四極真空管調整型電源は、効率が比較的低
く、かつ真空管に関する保守費用がかなりかかる。これ
らの両方の従来型電源は、いずれも物理的に大きい。直
列共振型直流−直流変換装置を使用する切替え電源は、
従来の電源に伴う問題の多くを解決するが、出力キャパ
シタンスが過大であり、かつアーク発生に対する応答が
遅すぎる。従来の技術に記載された電流源パルス幅変調
型直流−直流変換装置を使用する切替え電源は、電子ビ
ーム銃電源に対する要求を潜在的に満たしているが、高
出力レベルでは作動しない。
【0013】したがって本発明の目的は、100kW以
上での作動に適切な改良された電流源パルス幅変調型直
流−直流変換装置を提供することである。
【0014】本発明の他の目的は、所要の出力を達成す
るために使用される100kW以上の定格を有する同一
構造の1個以上の変換装置のモジュールでモジュール化
された電源を提供することである。
【0015】本発明のさらに他の目的は、確実な電源調
整と、正確なビーム制御用の低い出力電圧リプルと、負
荷のアーク中に負荷への入力エネルギーを少なくする小
さい出力キャパシタンスとを有する電源を提供すること
である。
【0016】本発明の別の目的は、アーク中に電流が制
限され、またアークの開始後に数マイクロ秒以内に出力
をゼロまで減少させ、かつ中止期間(cutback interva
l)後に数ミリ秒で出力を元に戻す電源を提供すること
である。
【0017】本発明のさらに別の目的は、過大な電圧過
渡を生じることなく、または負荷アーク発生の前後に1
00フィート以上の電源と負荷間のケーブル長さでケー
ブル反射を生じることなく作動する電源を提供すること
である。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、公共事
業体供給の交流入力電圧を、原子蒸気レーザーアイソト
ープの分離プロセス(atomic vapor laser istope sepa
ration process)などにおけるような高出力で高性能の
装置用電子銃を駆動するのに適切な高電圧直流出力へ変
換する固体切替え電源(switching power supply)が提
供される。また本発明は、アーク発生負荷として挙動す
ることがあるレーダーシステムのような装置にも有用で
ある。
【0019】本発明の電源は、交流入力電圧を未調整の
直流電圧へ変換するフィルタおよび入力ダイオード整流
器から構成される。それぞれ100kW以上の定格を有
する複数の切替え型直流−直流変換装置モジュールは、
その入力部が並列に、かつその出力部が直列に接続され
ており、この未調整の直流電圧を調整された直流高電圧
出力へ変換するのに使用される。
【0020】直流−直流変換装置モジュールは、周知の
電流源パルス幅変調型の改良型である。各変換装置は、
入力減結合回路網(input decoupling network)、入力
コンデンサ、電圧調整器、方形波インバーター、昇圧変
圧器、および出力側の整流器とフィルタからなる。入力
減結合回路網は、入力コンデンサと共に機能して、モジ
ュール間の相互作用をなくし、かつ入力側の整流器とフ
ィルタからのケーブル中のかなり高い周波数電流を防止
する。この機能により、1つの直流源からのモジュール
の並列動作ができる。絶縁ゲートバイポーラトランジス
タ(IGBT)は、その高出力機能と高速切替え速度の
ために電圧調整器とインバーター内でスイッチとして使
用される。改良されたインバータークランプ回路網によ
り、漂遊誘導ループが最小になり、かつインバーター出
力極性変化中にインバーターIGBT電圧を確実に制御
することができる。この両方の機能により、10kHz
以上のインバーター切替え周波数および10kW以上の
出力レベルでモジュール動作ができる。
【0021】それぞれの直流−直流変換装置モジュール
は、大幅に変化しアーク発生する負荷で作動できる制御
機構(control scheme)を有する。フィードバックルー
プは、電圧調整器スイッチのオン/オフ比を制御するこ
とにより、モジュール出力電圧を調整する。出力電圧を
表すフィードバック信号は、昇圧変圧器上の1巻センス
巻線(one turn sense winding)から供給される出力シ
ミュレータ回路(simulator circuit )と、モジュール
出力リード線上の直流電流センサを使用して生成され
る。この機能により、高電圧から絶縁された接地レベル
でのフィードバック信号を生成でき、その信号により、
モジュール出力電力回路と電子ビーム銃負荷の動特性が
再生される。また制御機構は、アーク発生中に電力が負
荷へ流れるのを阻止する。正規の作動レベルをこえる出
力電流は、カットバックタイマー回路(cutback timer
circuit )を起動する比較回路により検出される。この
カットバックタイマーは、両方の調整器スイッチの作動
を同時に停止し、また予め決められた時間間隔で4個の
インバータースイッチ全てを作動する。この機能によ
り、負荷内のアーク発生を迅速に消滅できる。
【0022】全体の電源出力は、モジュールの出力部を
直列に接続し、ついで負荷への伝送線路へ接続する前
に、出力減結合回路網と伝送線路整合インピーダンスに
接続することにより形成される。出力結合回路網は、モ
ジュールの出力フィルターコンデンサーが、伝送線路整
合インピーダンスを短絡させるのを防ぐ。この機能によ
り、負荷アーク発生中に電源出力部と負荷において、過
電圧過渡が最小に維持される。
【0023】全体の電源は、各モジュールにおける電圧
調整器とインバーターの切替えタイミングを、隣接する
モジュールに関して、合計n個のモジュールのばあいに
360°/nだけ 整相する(phasing )ための制御回
路を備える。この機能により、低出力電圧リプルの達成
に必要な出力キャパシタンスが減少され、したがって負
荷アーク発生中に負荷へ送出されるエネルギーが減少す
る。電源出力電圧を制御する回路も設けられる。全体の
電圧フィードバックループは、個別のモジュールフィー
ドバックループに対する電圧設定点として機能するエラ
ー信号を生成する。ランプ発生器は、作動中およびカッ
トバック後の出力電圧の上昇率を制御する。
【0024】
【実施例】以下、添付図面を参照しつつ本発明を詳細に
説明する。
【0025】図1に示されるように、通常は480Vの
3相交流電圧は、整流器/フィルタ回路100に印加さ
れる。整流器/フィルタ回路100は、その3相交流入
力電圧を、正の接続点101と基準接続点102上のフ
ィルタされた直流出力電圧に変換する手段を提供する。
整流器/フィルタは、全波ブリッジ回路を構成する6個
のダイオードからなっている。全波ブリッジ回路の出力
は、誘導器104へ接続され、電流リプルの平滑が行わ
れる。ついで誘導器104は、制動抵抗器107とフィ
ルタコンデンサ108により形成される直列接続の回路
網に接続される。400kWの出力定格のばあい、誘導
器104は一般的に500μHであり、制動抵抗器10
7は一般的に0.5Ωであり、またコンデンサ108は
一般的に8,000μFである。交流電圧の整流および
電圧リプルのフィルタリングは既知の方法で達成され
る。
【0026】本発明の電源の1つの態様においては、複
数のモジュール直流−直流変換器回路、すなわちモジュ
ール112−1、112−2、112−3‥‥‥112
−nは、整流器/フィルタ回路100の出力リード線、
接続点101および102へそれぞれ接続される。各直
流−直流変換器モジュール112−1〜112−nは、
制御されるデューティサイクルの脈動電圧源を生成する
電圧調整回路(voltage regulator circuit )手段11
4、脈動電圧を直流電流に変換する誘導器128、前記
直流から交番極性の高周波方形波を発生するインバータ
ー回路手段118、インバーター出力を分離し昇圧する
変圧手段150、および高周波方形波電流を整流かつフ
ィルタリングして直流出力高電圧を生成する出力整流器
/フィルター回路手段160を備えている。
【0027】それぞれの電圧調整回路114は、対応す
る減結合回路網116と入力コンデンサ125とに接続
されている。減結合回路網は、整流器100からの正の
入力リード線101に接続され、並列に接続される0.
25Ωの抵抗器120および40μHの誘導器122か
らなる。入力コンデンサ125は、一般的に200μF
であり、また一端が減結合回路網および正のインバータ
ーバス141aにより形成される接続点に接続される。
入力コンデンサ125の他端は、整流器/フィルター1
00からの負の入力リード線102に接続される。減結
合回路網すなわち誘導器122および抵抗器120は、
高周波でインピーダンスを生成し、そのインピーダンス
は、調整器114により引き起される電流サージを、整
流器/フィルター100または並列接続された直流−直
流変換器モジュールを通さないで、コンデンサ125を
強制的に通過させる。
【0028】それぞれの電圧調整回路114は、並列に
接続される2個の絶縁ゲートのバイポーラトランジスタ
(insulated gate bipolar transistors、以下IGBT
という)からなり、それらのトランジスタは、入力コン
デンサ125の負リード線に接続されるエミッタを有す
ると共に、フリーホイーリング(free wheeling )ダイ
オード126の陽極と、500μHの誘導器128の第
1のリード線とに、それぞれ接続されるコレクタを有す
る。本デバイスは、IGBTに限定されない。適切な電
流と電圧の定格、および切替え速度のゲート制御切替え
手段であれば、いずれも使用することができる。以下、
簡単のために、そのようなデバイスをIGBTと呼ぶこ
とにする。IGBT124a、124bは、そのゲート
に印加される制御信号により交互に起動される。両方の
IGBTの124a、124bは、10kHzで起動す
るが、互いに180°フェーズシフトされる。これによ
り、その対に対して正味20kHzの切替え周波数を生
じる。この手法により、両方のIGBTの124a、1
24bが同時に起動されたならば生じるであろう電流分
担の問題が避けられる。IGBT124a、124bの
起動により、電流は、立ち上がることができ、また直流
−直流変換器モジュール112の出力電圧が制御される
ように誘導器128を通して減衰されうる。またIGB
T124a、124bの起動により、0〜650Vの直
流電圧方形波がダイオード126の両端間に生じる。フ
リーホイーリングダイオード126の両端間に生じる0
〜650Vの脈動直流電圧は、誘導器128により低い
リプルの直流電流へ平滑化される。減結合回路網116
のコンポーネント、入力コンデンサ125および誘導器
128について述べた前記値は、100kWモジュール
出力定格に対するものであると共に、各々の電圧調整器
IGBTの124a、124bに対し10kHzの切替
え周波数に対するものである。
【0029】電圧調整器114からの直流出力電圧は、
誘導器128を通過して、実質的に平滑な直流電流を生
成し、ついでその直流電流は、直流を交番極性の高周波
方形波電流、すなわち高周波数交流へ変換するインバー
ター手段118へ印加される。電流は、入力減結合回路
網116および入力コンデンサ125により形成される
接続点からインバーターの正のバス141aへ供給さ
れ、ついでインバーターの負のバス141bから誘導器
128を通して電圧調整器114へ戻される。インバー
ター118は、直列に接続され、かつ2つの分岐に構成
された複数の絶縁ゲートのバイポーラトランジスタ(I
GBT)からなり、前記分岐は、並列に接続されてブリ
ッジ回路を形成する。ここでまた、高電流用の適切なゲ
ート制御切替え手段であれば、そのいずれもIGBTの
代わりに使用することができる。好ましくは、4個のI
GBT140が使用され、それらは、それぞれ並列の分
岐で2個直列に接続されたIGBTであり、斜めの対で
起動される。それぞれの交流線路に2つのIGBTが存
在する。関連する単相変圧器を駆動するには2つの交流
線路が必要があることは、当業者には明らかであろう。
【0030】IGBT140は、交番極性の方形波を生
成するように、当業者にとって周知の方法で、その作動
可能リード線に印加される制御信号により、交互の斜め
の対で起動される。高周波方形波電流は、付属変圧器1
50の一次巻線を通して印加される。IGBTは、その
高い切替え速度、高い電流容量および高い降伏電圧によ
って、必要な高周波出力を発生することができる。一次
側を通る高周波電流は、変圧器150の二次側へ誘導的
に結合される。変圧器150は、それぞれ対応する直流
−直流変換器モジュール112−1〜112−nの一部
であり、また電子銃を駆動するのに必要な高電圧を生成
するために、一次側へ印加される高周波数交流電圧を昇
圧する手段を提供する。また変圧器150は、各直流−
直流変換器モジュールの出力部に対する電気的絶縁を提
供し、これにより出力部を直列に接続することができ
る。変圧器150の二次側のリードは、高周波数交流を
平滑な高直流電圧に変換する出力整流器/フィルタ回路
手段160に接続される。出力整流器/フィルタ回路1
60は、単相全波ブリッジ整流器からなり、その整流器
は、並列の0.05μFのコンデンサ161へ、かつ
0.15μFのコンデンサ162と直列の2400Ωの
抵抗器163により形成される並列制動回路網へ接続さ
れる。前記値は、±0.5%のピーク出力電圧リプルを
有し、400Wと500Vの定格で、それぞれのインバ
ーターが10kHzで作動する4個のモジュール電源に
対するものである。出力整流器/フィルタ回路160
は、周知の方法で作動する。
【0031】図1に示されるように、出力減結合回路網
170は、500μHの誘導器174と並列の100Ω
の抵抗器172からなる。出力減結合回路網170の一
方の側は、直列接続直流−直流変換器モジュール出力部
の高電圧側へ接続される。減結合回路網の反対側は、負
荷への高電圧伝送線路により形成される接続点へ、直列
で接続される50Ωの抵抗器175と0.01μFのコ
ンデンサ176からなる線路整合回路網へ、また電圧フ
ィードバック分周器180の高電圧側へ接続される。負
荷のアークが開始され、かつ伝送線路反射が生じるサブ
マイクロ秒の時間のあいだ、減結合回路網のインピーダ
ンスは、線路整合回路網のインピーダンスよりも非常に
大きい。その結果、アーク発生中、伝送線路は、その特
性インピーダンスにより整合され、また直流−直流変換
器モジュールの出力フィルタキャパシタンスにより短絡
されない。これにより、負荷と電源において小さい過電
圧過渡が生じる。前述した一般的なコンポーネント値
は、100フィートの伝送線路長さを有し、かつ400
kWで50kVの出力に対するものである。
【0032】減結合回路網170は、各直流−直流変換
器モジュールへ均等に分岐され、かつ分配できること
は、当業者にとり明らかであろう。減結合回路網の機能
は変更されない。いくつかの用途では、これは好ましい
実施例である。
【0033】直流−直流変換器の出力は、直列の代わり
に並列に接続できることも、当業者にとり明らかであろ
う。これは、各モジュールの出力間の相互作用を避ける
ために、各変換器モジュールの出力部内に出力減結合回
路網170を配置することを必要とする。
【0034】本発明のデバイスによれば、インバーター
IGBTの140a、140b、140c、140dは
各直流−直流変換器モジュール112内の電圧調整器回
路114、または切替え手段124a、124bまたは
IGBTのオンタイム(on time )と同期するオンタイ
ムを有する。インバーター出力電流極性の変化(transi
tion)は、インバーターブリッジ内の1つの斜めのIG
BT対がターンオフし、かつ対向する斜めのIGBT対
が通電するときに生じる。この時間は、電圧調整器回路
内のIGBTの124aまたは124bの通電の最後に
生じる。この同期により、以下に述べるモジュールの整
相(phasing )が実現できる。
【0035】図1においてセクション112−1、11
2−2、112−3、……112−nとして示される直
流−直流変換器モジュールは、互いに交換できる同一の
モジュール電源回路からなることが明らかであろう。各
直流−直流変換器モジュール112への入力部は並列に
連結され、またその出力部は、隣接する直流−直流変換
器モジュール112と直列に連結される。
【0036】各電圧調整回路114のIGBTの124
a、124b、および各分離した直流−直流変換器モジ
ュール112−1内のインバーター回路118のIGB
Tの140a、140b、140c、140dは、隣接
するモジュール112−2……112−nに関して整相
された関係でスイッチオンされる。複数のn個のモジュ
ールのばあい、整相関係は360°/nに等しい。
【0037】図1に示される4個のモジュール直流−直
流変換器セクションのばあい、各セクション、すなわち
モジュール112−1……112−4の起動は、引き続
くモジュールの起動よりも90°だけ先に生じる。4相
発振器135は、90°だけ分離されたクロックパルス
をモジュールに対して発生する。分離されたモジュール
112−1、112−2、112−3および112−4
の整相された起動により、モジュール出力電圧リプルの
周波数より4倍大きい全体電源出力電圧の周波数を生じ
る。これにより、出力フィルタコンデンサ161と16
2用のキャパシタンス値は、整相された起動なしのばあ
いに必要であろうと思われる値に比べて1/4も低くで
きる。
【0038】図1において130で一般的に示されるフ
ィードバック制御回路は、周知の手法に従って全体電源
の出力電圧を制御する。アナログ電圧は、所要の出力電
圧すなわち電源電圧設定点と、電圧分周器180により
測定される実際の出力電圧とのあいだの差に基づいて制
御回路130により発生される。このアナログ電圧は、
各直流−直流変換器モジュール内の他のフィードバック
制御回路への電圧設定点となる。図2を参照しつつ以下
に詳細に説明するように、このモジュールフィードバッ
ク制御回路は、その設定点と、各モジュールからえられ
た出力電圧とのあいだの差に依存するエラー電圧を発生
する。このエラー電圧は、モジュール制御回路におい
て、エラー電圧の関数として可変デューティーサイクル
を有する動作可能信号に変換される。ついでこの動作可
能信号は、その制御回路により、IGBTトランジスタ
124a、124bの動作可能リード線へ印加される。
IGBTの124a、bのオンおよびオフ時間の変動に
より、直流−直流変換器121−1からの出力電圧が、
負荷の変動条件下で制御されたレベルに維持される。
【0039】ランプ発生回路(ramp generation circui
t )131は、全体電源フィードバック制御回路130
の一部である。ランプ発生器は、フィードバック制御加
算手段へ印加される電圧設定点を減速し、電源出力電圧
のオーバシュートを防止する。ランプ発生器は、電源電
圧設定点の段階増加のあいだ中または負荷アークが発生
するために生じるカットバック間隔(cutback interva
l)の終了後に必要である。ランプ時間は400kWの
出力定格のばあい、10msのオーダーである。
【0040】単一モジュールセクション、たとえば11
2−1の作動を、図2を参照しつつ説明する。図1に示
される3相入力整流器およびフィルタ100による整流
とフィルタリング後に、650Vの直流電圧が、図2に
示されるように入力線路201と202とのあいだに現
れる。線路201と202は、図1の接続点101と1
02に、それぞれ対応する。入力減結合回路216は、
抵抗器220と並列の誘導器222からなる。入力減結
合回路216は、接続点101と102とのあいだに接
続される650V源の出力からの低リプルを有する実質
的に平滑な電流を維持する手段を提供する。また入力減
結合回路216は、650V源を通して並列に接続され
るモジュール112間の相互作用を防止する手段も提供
する。入力減結合回路216は、調整器切替え周波数以
上における入力コンデンサのインピーダンスと比べて比
較的高いインピーダンスを示す。その結果、それは、調
整器により引き出される高周波数電流パルスを、図1の
入力整流器/フィルタ100からではなく、コンデンサ
225から効果的に流れるように強制させる。これは、
電源により引き起こされる電磁障害を実質的に減少させ
る。というのは、入力整流器/フィルタと直流−直流変
換器モジュールとのあいだのケーブルにおける電流は低
リプルで平滑であるからである。
【0041】また入力減結合回路216は、リンギング
も制動する。入力減結合回路216により、大きな相互
作用を生じることなく、図1のモジュール112−1…
…112−4の並列作動が可能となることが分かるであ
ろう。入力減結合回路216は、ケーブルと、異なるモ
ジュールのコンデンサとのあいだの共振を制動する手段
を提供する。抵抗器220は、モジュール間のケーブル
のインダクタンスおよび異なるモジュールにおける入力
コンデンサのキャパシタンスにより形成される直列共振
回路網に対する制動を提供する。
【0042】誘導器222は、2つの回路入力線路20
1と202における電流の発振を抑制する制動手段を提
供する抵抗器220と並列に接続される。また誘導器2
22は、電流の変化率を制限する手段も提供する。誘導
器222は、201からの回路線路に挿入される入力端
部と出力端部を有する。コンデンサ225は、切替え手
段224a、224bへ向けて誘導器222の出力側の
2つの回路入力線路201と202とのあいだに接続さ
れる電荷蓄積手段を提供する。この構成により、電流変
化率制限誘導器の入力端部上の線路電流は、電圧調整器
の切替え手段224a、224bが電流を流すときに、
最初の値から高い値まで小さい変化率で増加することが
保証される。電流変化率制限誘導器222の入力端部上
の線路電流は、調整器の切替え手段224a、224b
が非通電のときに、小さい変化率で元の最初のレベルま
で減少する。コンデンサ225は、切替え手段224
a、224bが非通電のときに、電流変化率制限誘導器
222を通過するすべての電流を吸収する。またコンデ
ンサ225は、切替え手段224a、224bが通電し
ているときに、電圧調整器の切替え手段の電流要求量に
合致するように、電流変化率制限誘導器222を通過す
る電流を増加させる。
【0043】それぞれの直流−直流変換器モジュール
は、接続点201と202にそれぞれ依存する線路上の
未調整直流入力電圧からの制御されたデューティ周期の
脈動電圧を提供する電圧調整器回路手段214も具備す
る。電圧調整器回路手段214は、フリーホイーリング
ダイオード226および電圧調整器切替え手段224
a、224bを備えており、それぞれの切替え手段22
4a、224bは、未調整の直流入力電圧の第1の出力
端子へ接続されるエミッタリード線および制御リード線
を有し、かつフリーホイーリングダイオード226の陽
極に接続されるコレクタリード線を有する。フリーホイ
ーリングダイオード226の陰極は、入力減結合回路2
16を経て未調整の直流入力の第2の端子へ接続され
る。
【0044】誘導器228は、電圧調整器の切替え手段
224a、224bの共通接続点へ、かつフリーホイー
リングダイオード226の陽極へ接続される第1の端部
を有し、電流を平滑化する手段として作動する。誘導器
手段228は、切替え手段224により生成された脈動
電圧をフィルタリングする手段を提供し、またインバー
ター回路手段218へ印加される平滑直流電流を生成す
る。
【0045】図2に示されるように、インバーター回路
218は、誘導器228からの直流電流を、変圧器25
0の一次側252における高周波方形波電流へ変換する
手段を提供する。好ましい実施例におけるインバーター
回路218は、第1と第2の並列分岐からなる。第1の
回路分岐は、直列にそれぞれ接続されるIGBTの24
0aおよび240bからなる。第2の分岐は、直列に接
続されるIGBTの240cおよび240dからなる。
両方の回路分岐は、並列に接続されて、ブリッジ回路網
を形成する。IGBTは、切替え手段として作動し、そ
れぞれコレクタリード線、制御リード線およびエミッタ
リード線を有する。IGBTの240aおよび240c
はそれぞれ、直流電流源を供給する正のインバーターバ
ス241aへ接続されるコレクタを有する。IGBTの
240bおよび240dのエミッタリード線はそれぞ
れ、直流電流を誘導器228へ戻す負のインバーターバ
ス241bへ接続される。
【0046】直列に接続されるコンデンサ243とダイ
オード242は、正のバス241aと負のバス241b
とのあいだのインバーター回路218と並列に接続され
る。前記コンデンサ243とダイオード242は、抵抗
器244と組合わせられて、後述するインバータークラ
ンプ(inverter clamping )手段を形成する。変圧器2
50の一次巻線252は、インバーターの出力リード線
を通して接続される。4個のIGBTは、インバーター
の各出力リード線が、インバーター回路218の正と負
のバス241a、241bへ交互に接続されるように、
制御リード線へ印加される電圧により、斜めの対(IG
BTの240aおよび240d、およびIGBTの24
0bおよび240c)において交互に起動される。全て
の4個のIGBTが通電しているばあい、それぞれの極
性変化(polarity transition )において、約2マイク
ロ秒の短いオーバーラップ時間が生じる。実質的に方形
波の交流電流が、変圧器250の一次巻線252を通し
て生成される。
【0047】図3に示されるように、2μFのコンデン
サ343、ダイオード342および8Ωの抵抗器344
により形成されるインバータークランプ回路網は、イン
バーターへ供給する正と負のバス間の電圧を制限し、そ
れにより、インバーター出力の極性が変化しているあい
だ、IGBTスイッチを通る電圧を制限するように機能
する。図3は、昇圧変圧器負荷の等価表示のものを駆動
する調整器電源回路とインバーターの一部を示す。誘導
器355は、変圧器の漏れインダクタンスを表し、また
電圧源356は、一次側へ反射される二次電圧を表す。
電圧源356の大きさは、変圧器巻数比により分けられ
るモジュール直流出力電圧に実質的に等しい。電圧源3
56の極性は、電流ip の方向が図3に示した通りであ
るとき、図3に示した通りである。電圧源356の極性
は、電流ip が反対方向へ変化すると、反対極性へ変化
する。
【0048】インバータークランプ回路網の原理は、図
4に示すインバーター出力の極性の変化中の波形を参照
することにより最も良く説明される。10kHzのイン
バーター出力周波数のばあい、正から負へのインバータ
ー出力極性の変化中、これらの波形は100マイクロ秒
毎に生じる。同一の波形であるが反対極性の波形も、正
から負へのインバーター出力極性の変化中に、100マ
イクロ秒毎に生じる。変化は、50マイクロ秒間隔で起
こり、インバーターから実質的に方形の電流波形を生成
する。
【0049】図4に示されるように、時間ta の前、I
GBTスイッチ340aおよび340dは、オンで通電
しており、またトランジスタスイッチ340bおよび3
40cは、オフで非通電である。誘導器328における
電流IL は、スイッチ340aおよび340dを通り、
かつ誘導器355および電圧源356により形成される
等価負荷を通って流れる。時間ta において、スイッチ
340bおよび340cもオンとなるので、等価負荷の
両端間の電圧はゼロになり、また電流ip の減衰が始ま
り時間tb でゼロになる。時間tb とtc のあいだ、全
ての4個のスイッチ340a、340b、340cおよ
び340dは、IL /2の大きさの電流を通す。時間t
c において、スイッチ340aおよび340dは、オフ
となり、非通電となる。ここで誘導器328における電
流IL は、抵抗器344を通して650Vへ予め充電さ
れているコンデンサ343およびダイオード342を通
るように強制される。これは、等価負荷を通して650
Vを印加するので、負方向に電流ip を立ち上げる。コ
ンデンサの両端の電圧および等価負荷を通る電流i
p は、ip の大きさが時間td において値IL に達する
まで増加し続ける。この時間td において、ダイオード
342は逆バイアスとなり、またコンデンサ343は、
半周期後の次の極性変化に備えて、抵抗器344を通し
て650Vまで放電し始める。
【0050】誘導負荷355において電流がゼロから立
ち上がるときの電流の流れのために、交互に変る電流通
路が設けられることが分かるであろう。コンデンサ34
3は、2つの入力回路線路の1つ、および電圧源コンデ
ンサ325の1つのリード線から、抵抗器344とダイ
オード342のあいだの回路接続点へ接続されるので、
電流がゼロから最大値まで立ち上がるにつれて、過電流
は、2つの入力回路線路の1つから、コンデンサ343
とダイオード342を通して、2つの入力回路線路の他
の線路まで流れる。2つの回路線路間の電圧は、電圧源
325の電圧にほぼクランプされる。コンデンサ34
3、ダイオード342および抵抗器344からなるこの
インバータークランプ回路網は、急速に変化する電流
が、コンデンサ343、ダイオード342およびインバ
ーターIGBTスイッチ340a、340b、340c
および340d内だけに生じるので、既知の従来技術に
比べて優れている。コンデンサ343およびダイオード
342は、インバーターIGBTに非常に近接して位置
決めされるので、そのコンデンサ、ダイオードおよびI
GBTにより形成されるループの標遊インダクタンスが
最小になる。その結果、このインダクタンスおよび急速
に変化する電流により生成される、IGBTを通って現
れる電圧変化スパイクは、最小にされる。
【0051】図2を再び参照すると、インバーター回路
は、電子銃アークの開始が検知されるときに、変圧器2
50の一次側252を短絡すなわち分離するために、全
てのIGBTスイッチ手段240a〜240dを同時に
ターンオンする手段も具備する。これにより、負荷のア
ーク発生中に当該負荷を通過する電圧電流の量が最小に
なる。
【0052】それぞれが抵抗器、ダイオードおよびコン
デンサからなるスナッバー回路網(snubber network )
が、電圧調整器214およびインバーター215におい
て各IGBTに関連して必要になることがあることは、
当業者にとり明らかであろう。これらのスナッバー回路
網は、図を分かりやすくするために、図1、図2および
図3においては示されていない。IGBT用のスナッバ
ー回路網の構造は周知のものである。
【0053】1巻き電圧検知巻線255は、一次巻線2
52および二次巻線254として同一の変圧器上に巻か
れる。電圧検知巻線255は、変圧器250の二次巻線
254の両端間の交流電圧に比例した交流電圧を検知す
る手段を提供する。検知巻線255に誘導された交流電
圧は、ついで出力シミュレータ手段290により整流お
よびフィルタリングされる。また、モジュールの出力電
流は、直流電流検知器280により検知されて、出力シ
ミュレータ290においてフィルタコンデンサ293と
並列の電流源を制御するのに使用される。電流源は、イ
オン源、具体的には電子ビーム銃の電流源特性を表す。
フィルタコンデンサ293のキャパシタンス値および電
流源292の値と範囲は基準化されるので、出力シミュ
レータ290の出力は、直流−直流変換器モジュールの
電圧レベルおよび回路動特性を正確に表し、またフィー
ドバック制御回路で使用される電圧レベルと一致する。
出力シミュレータ290は、周知の電子回路手法で具体
化される。1巻き電圧検知巻線255および出力シミュ
レータを使用すれば、モジュール出力電圧が直接測定さ
れたならば必要であろう高電圧分離回路を必要とするこ
となく、モジュール出力電圧フィードバック信号を発生
させることができる。
【0054】出力シミュレータ290は、検知巻線25
5により生成される交流電圧に応答するダイオード整流
器手段291からなり、2つの出力線路上に直流電圧を
生成する。この直流電圧は、電源モジュール112の直
流電圧に比例する。出力シミュレータ手段290は、整
流器手段291からの2つの出力線路間に接続されるフ
ィルタコンデンサ293も備える。制御される電流源手
段292も、電流検知手段280の出力電圧を印加する
2つの出力線路間に接続されて、電源モジュールの出力
電流に比例する電流を生成する。制御される電流源手段
292は、2つの出力線路から電流を引き込み、電源モ
ジュール出力電圧の正確なシミュレーションを生成す
る。
【0055】出力シミュレータ290の出力は、ついで
電圧加算手段266へ印加される。加算手段において、
出力シミュレータ290からの電圧は、設定点電圧から
減算される。設定点電圧は、直流−直流変換器出力電圧
の振幅を制御する基準電圧である。設定点電圧により、
変換器出力電圧を、所望のレベルまで制御できる。電圧
加算手段266の出力は、差電圧、すなわち設定点電圧
と電圧出力シミュレータとのあいだの差である。
【0056】差電圧は、補償器265において既知の手
法に従って増幅およびフィルタリングされる。補償器2
65からの増幅された電圧は、ついで比較器270にお
いて刻時装置発生のこぎり歯形電圧と比較される。のこ
ぎり歯形電圧は、のこぎり歯形発生器手段272により
発生され、システムのクロックパルスに同期される。比
較器の出力は、可能および不可能状態を有する論理レベ
ル作動可能信号(たとえば+5V)である。比較器27
0の出力および刻時論理信号は、調整器論理およびドラ
イバ回路274へ供給され、その回路は作動可能信号を
調整器IGBTの224aおよび224bへ配分する。
論理およびドライバ回路274は、IGBTの224a
および224bを交互に作動可能にする手段も提供す
る。この論理およびドライバ回路274は、周知の電子
手法を使用して具体化される。作動可能信号は、比較器
270のエラー電圧出力の関数として、電圧が高い期間
と電圧が低い期間との可変比を有する。作動可能信号
は、ついで電圧調整器回路214のIGBTスイッチ手
段224aおよび224bの作動可能リード線へ印加さ
れる。これは、出力シミュレータ290および検知巻線
255により検知されている変化する負荷に従って、電
源出力の直流電圧を動的に調整する。
【0057】本発明の電源の他の態様においては、直流
電流検知手段280が、電源の負出力負荷上に設けられ
る。そこで検知された出力電流は、初期の電子銃アーク
発生中、電流条件の予め定められたしきい値指標と比較
される。検知された電流および電流しきい値は、電源比
較器282において比較される。電圧比較器は、予め定
められたしきい値をこえる電流が検知され、かつ初期の
電子銃アークが存在するときに、出力信号を生成する。
ついで、前記電源比較器282は、信号をカットバック
タイマー284へ送り、そのタイマーは、50msから
200msの範囲のパルスを発生し、一方このパルスは
インバーター論理およびドライバ回路286を起動す
る。電子銃アークが検知されると、インバーター論理お
よびドライバ回路286は、全ての4個のIGBTの2
40a〜240dを同時に起動し、これにより一次側2
52が短絡するので、一次側から負荷側への電流通過が
終了する。カットバックタイマー284も、同時に信号
を調整器論理およびドライバ回路274へ送り、これに
より調整器スイッチ手段224aおよび224bがター
ンオフする。
【0058】本発明は、最も実際的であり、かつ好まし
い実施例であると現在みなされるものに関連して説明さ
れてきたが、本発明は、開示された実施例に限定される
ものではなく、むしろ反対に、添付した特許請求の範囲
の精神と範囲内に含まれる種々の変形および同等な構成
を包含することを意図するものであると理解すべきであ
ると理解すべきである。
【0059】
【発明の効果】本発明の電源によれば、負荷でアークが
発生したばあい、電流が制限され、数マイクロ秒の短い
時間で出力をゼロまで減少させ、アークが止まったのち
は数ミリ秒で出力を元に戻すことができ、安定した電源
がえられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】4個の直流−直流変換装置モジュールが示され
ている、本発明の電源の全体回路線図である。
【図2】単一モジュールの回路線図である。
【図3】変圧器一次側の同等な表示をした単一モジュー
ルの部分回路線図である。
【図4】インバータークランプ回路の動作と波形を示す
タイミング線図である。
【符号の説明】
100 整流器/フィルタ 112 直流−直流変換器モジュール 114 電圧調整回路手段 116 入力減結合回路網 118 インバータ回路手段 120 抵抗器 122 誘導器 125 入力コンデンサ 150 変圧手段 160 出力整流器/フィルタ回路手段 170 出力減結合回路 172 抵抗器 174 誘導器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H02M 3/28 H 8726−5H 7/08 9180−5H (72)発明者 アーノルド シー ランゲ アメリカ合衆国、94550 カリフォルニア 州、リバーモア、ゼイビアー ウェイ 1064

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 多相交流電圧源を整流するとともに正お
    よび負の出力リード線上に未調節の直流電圧を生成する
    手段を有する、変化しかつアークを発生する負荷の下で
    制御された高出力電圧を生成する電源であって、該電源
    は、整流のための前記手段の前記の正および負の直流出
    力リード線間に並列に接続された複数個の直流−直流変
    換器モジュールであって、前記変換器モジュールのそれ
    ぞれは、制御されたデューティーサイクルの脈動電圧を
    生成する調節器手段と、前記脈動電圧を平滑な直流電流
    へ平滑化する誘導器手段と、前記直流電流を交番極性の
    高周波方形波電流へ変換するインバータースイッチ手段
    と、前記高周波方形波電流を受け入れる一次側巻線を有
    し、かつ前記一次側巻線間の印加電圧を二次側巻線間の
    高電圧レベルまで昇圧する変圧器手段と、前記二次側巻
    線間に生じる高周波数の高電圧を正と負の出力リード線
    上の高い直流電圧へ変換する出力整流器およびフィルタ
    コンデンサ手段とを具備してなる複数個の直流−直流変
    換器モジュールからなり、それにより前記電源は非常に
    減少せられたキャパシタンス値で作動し、アーク中に電
    子ビーム銃などへの放電に用いられる蓄積されたエネル
    ギーを最小にすることを特徴とする電源。
  2. 【請求項2】 (a)インバータ手段の正と負の入力バ
    スを給電する直流電流源から少なくとも10kHzの周
    波数を有する交番極性の方形電流波を生成するインバー
    ター手段、および(b)前記正と負の入力バス間の電圧
    を制限すると共に、前記インバーター出力の極性の変化
    中に前記インバーター手段の両極間の電圧を制限する手
    段からなるインバータークランプ回路。
  3. 【請求項3】 2つの入力回路線路の1つにおける切替
    え回路の急速で反復する作動により生じる2つの入力回
    路線路における電流リプルを減少させる第1の手段から
    なる入力減結合回路網であって、さらに(a)前記2つ
    の入力回路線路の1つに挿入される入力端部と出力端部
    を有する電流変化率を制限する第2の手段、および切替
    え回路へ向けて電流変化率を制限する前記第2の手段の
    出力側の前記2つの回路線路間に接続される電荷を蓄積
    する第3の手段であって、この構成により、電流変化率
    を制限する第2の手段の入力端部上の線路電流は、前記
    切替え回路が電流を流すときに、最初の値から高い値ま
    で小さい変化率で増加し、また電流変化率を制限する前
    記第2の手段の入力端部上の線路電流は、前記切替え回
    路が非通電のときに、小さい変化率で元の前記最初のレ
    ベルまで減少するようにした第2の手段および第3の手
    段、および(b)前記2つの回路線路における電流の発
    振を抑制するために電流変化率を制限する前記手段と並
    列に接続される制動手段を含み、前記電荷を蓄積する第
    3の手段は、切替え回路が非通電のときに、電流変化率
    を制限する前記第2の手段を通過する全ての電流を吸収
    するように作動し、また前記切替え回路が通電している
    ときに、前記切替え回路の電流要求量に合致するよう
    に、電流変化率を制限する前記第2の手段を通過する電
    流を増加するものである入力減結合回路網。
  4. 【請求項4】 電源の出力部上のアーク発生条件中に前
    記電源の出力コンデンサからの電流の変化率を減少する
    回路手段からなる回路網であって、該回路網はアークの
    開始および回復中に前記出力コンデンサの変化率を制限
    し、したがって出力伝送線路の整合抵抗の短絡を防止す
    る電流変化率抑制手段をさらに含み、前記電流変化率抑
    制手段は、前記出力コンデンサへ接続される入力端部を
    有すると共に、前記電源の出力部へ接続される出力端部
    を有する誘導器、および前記出力コンデンサと誘導器と
    のあいだの共振により生じる発振を制限するために、前
    記誘導器と並列に接続される抵抗器制動手段を備えてな
    る回路網。
  5. 【請求項5】 供給出力リード線を形成するように直列
    に接続される出力部を有する複数の直流−直流変換器モ
    ジュールの1つの出力電圧を制御するために、接地レベ
    ル電圧フィードバック信号を発生する回路手段であっ
    て、各モジュールは、制御されたデューティサイクルの
    脈動電圧を生成する切替え手段と、前記脈動電圧を平滑
    直流電流に変換する誘導器手段と、前記直流電流から変
    圧器の一次側を通して交流電流を生成するインバーター
    手段とを備え、前記変圧器は、前記モジュールの出力電
    圧を生成するために前記一次側巻線へ誘導的に結合され
    る少なくとも1つの二次側巻線を有し、また出力電圧フ
    ィードバック信号を発生する前記回路手段は、(a)前
    記直流−直流変換器モジュールの直流出力電圧に大きさ
    が比例する交流電圧を生成するために、前記一次側およ
    び前記二次側巻線と誘導的に結合される別個の変圧器巻
    線、(b)電圧が前記直流−直流変換器モジュールの直
    流出力電圧に比例する電圧の2つの出力線路上に直流電
    圧を生成するコンデンサと接続する前記別個の変圧器巻
    線により生成される前記交流電圧に応答する整流器手
    段、(c)前記直列に接続される直流−直流変換器モジ
    ュール全ての出力部を通って流れる電流に比例する出力
    電圧を生成するために、前記供給出力リード線間に接続
    される電流検知手段、および(d)前記直流−直流変換
    器モジュール出力電流に比例する電流を生成するよう
    に、前記電流検知手段の出力電圧を印加するために、前
    記2つの出力線路間に接続される制御された電流源手段
    であって、前記の2つの出力線路の電流出力を引き込
    み、モジュール出力負荷の正確なシミュレーションを生
    じるようにした、制御された電流源手段からなる回路手
    段。
  6. 【請求項6】 直列に接続される出力端子および単一の
    電圧源を通り並列に接続される入力端子をそれぞれ有す
    る複数の直流−直流変換器モジュールの作動を同期する
    手段および複数のクロックパルス線路からなる制御回路
    であって、前記複数のクロックパルス線路は、複数のn
    個の変換器モジュールにより電圧源から引き込まれる正
    味リプル電流、および直列に接続されるn個の変換器モ
    ジュールの出力部における正味リプル電圧が、時間にわ
    たり平均化され、かつ単一の変換器モジュールのリプル
    電流および電圧よりも低いように、前記n個の変換器モ
    ジュールの他のモジュールにおける他の切替え手段に関
    し、特定の変換器モジュール内のスイッチモード電圧調
    整器におけるスイッチ手段のターンオンの瞬間を制御す
    るために、直流−直流変換器モジュール毎に設けられて
    なる制御回路。
  7. 【請求項7】 n個の変換器モジュールのばあい、n個
    のクロックパルス線路があり、前記クロックパルス線路
    は、2つの連続したクロックパルス線路上の2つのクロ
    ックパルス間の位相差が360°/nであるように順次
    配列される請求項6記載の複数のn個の変換器モジュー
    ルの作動を同期する手段。
  8. 【請求項8】 切替え手段を有する電圧調整器と、変圧
    器の一次側を通して交流電流を発生する切替え手段へ直
    列に少なくとも2つが接続される少なくとも2つの並列
    分岐からなるインバーターとを備えたスイッチモード直
    流−直流変換器を急速に遮断する方法であって、(a)
    供給直流−直流変換器出力電流を検知し、前記検知され
    た出力電流に比例した出力電圧を生成する段階、(b)
    前記の検知された出力電圧を、一定の基準電圧と比較し
    て、2つの論理状態の1つを形成する段階、および
    (c)前記電圧調整器の出力電圧がゼロになるように前
    記電圧調整器の前記切替え手段を作動不能にすると同時
    に、短絡が、初期アーク電流が検知されたときはいつで
    も前記変圧器の一次側を通り現れるように前記インバー
    ターの前記切替え手段を作動するタイミング手段の第2
    の状態を生成するために、かつ前記電圧調整器および前
    記インバーターの前記切替え手段に対して、正規のパル
    スパターンを生成するために、前記タイミング手段を第
    1の状態に駆動する前記論理状態を使用する段階からな
    る方法。
  9. 【請求項9】 アーク電流が検知されたときはいつでも
    スイッチモード直流−直流変換器などを遮断する制御回
    路であって、(a)それぞれの切替え手段が、作動可能
    リード線、フリーホイーリングダイオードと誘導器へ接
    続されるコレクタリード線、およびエミッタリード線を
    有する電圧調整器切替え手段を備えた、第1と第2の出
    力リード線上に制御された直流電流源を発生する手段、
    (b)第1と第2の並列分岐を備えた、前記直流電流源
    から変圧器の一次側巻線を通して高周波方形波電流を発
    生するインバーター手段であって、各分岐は、直列に接
    続される少なくとも2つの切替え手段を有し、かつ前記
    変圧器の一次側巻線を通して直流電流を発生する前記手
    段の第1と第2の出力リード線を接続するブリッジ回路
    を形成し、また各切替え手段は、作動可能リード線、コ
    レクタリード線およびエミッタリード線を有してなるイ
    ンバーター手段、(c)交互に起動される切替え手段の
    オン時間が、前記変圧器の一次側巻線を通して正または
    負の電流を生成するように、前記ブリッジ回路の前記並
    列分岐のそれぞれにおいて斜め切替えを交互に起動する
    制御手段、(d)前記電源の出力部において初期アーク
    電流を検知する手段、および(e)初期アーク電流を検
    知し、および誘導器電流をフリーホイーリングダイオー
    ド内に強制的に流させるように、前記電圧調整器切替え
    手段を実質的に同時に作動不能し、さらに初期アーク電
    流が検知されたときに、予め定められた時間のあいだ、
    前記変圧器の一次側を通り短絡を生じるように、前記ブ
    リッジ回路の前記並列分岐において前記インバーター切
    替え手段の全てを同時に作動不能にするために、前記手
    段に応答する制御手段からなる制御回路。
  10. 【請求項10】 負荷で発生したアークからの電源出力
    を減結合する回路網手段であって、(a)前記複数の前
    記の接続された直流−直流変換器モジュールと電源出力
    とのあいだの電流変化率を制限する誘導器手段、および
    (b)前記誘導器と前記フィルタコンデンサとのあいだ
    に共振により生じる発振を減少するために、前記誘導器
    手段に並列に接続される抵抗器制動手段からなる回路網
    手段。
  11. 【請求項11】 電流変化率を制限する前記誘導器手
    段、および前記誘導器手段と並列に接続される前記抵抗
    器制動手段は、複数の直流−直流変換器モジュールそれ
    ぞれの各出力線路上に挿入されるように構成されてなる
    請求項10記載の電源。
  12. 【請求項12】 前記複数の直流−直流変換器モジュー
    ルは、その出力線路上に互いに並列に結合される請求項
    11記載の電源。
  13. 【請求項13】 (a)それぞれ2つの入力線路と2つ
    の出力線路を有する複数の直流−直流変換器モジュール
    を備える電源であって、前記モジュールはその入力線路
    側では並列に連結され、またその出力線路側では直列に
    連結されるようにした電源、(b)制御された直流電流
    源を生成するために、各モジュールに設けられた調整手
    段、(c)前記制御された直流電流源から、交番極性の
    方形波電流を発生するインバーター手段、(d)印加電
    圧を昇圧し、かつ前記インバーター手段からの前記方形
    波電流をステップダウンする変圧器手段、(e)前記変
    圧器からの前記方形波電流を整流しかつフィルタリング
    する出力整流器およびフィルタコンデンサ手段、(f)
    前記複数の前記直流−直流変換器モジュールの前記直列
    に接続される出力線路と、電源出力線路とのあいだの電
    流変化率を制限するために、電源出力線路に配設された
    誘導器手段、および(g)前記誘導器と前記フィルタコ
    ンデンサとのあいだの共振により生じる発振を減少する
    ために、前記誘導器手段と並列に接続された抵抗器制動
    手段からなる負荷発生アークからの電源出力を減結合す
    る回路手段。
  14. 【請求項14】 電流変化率を制限する前記誘導器手
    段、および前記誘導器手段と並列に接続される発振を減
    少する前記抵抗器制動手段が、前記複数の直流−直流変
    換器モジュールの各出力線路に挿入される請求項13記
    載の装置。
  15. 【請求項15】 前記複数の直流−直流変換器モジュー
    ルは、並列に接続される出力線路を有する請求項14記
    載の装置。
  16. 【請求項16】 (a)未調整の直流入力電圧から制御
    されたデューティーサイクルの脈動電圧を提供する電圧
    調整器回路手段であって、フリーホイーリングダイオー
    ドと、制御リード線、未調整の直流入力部の第1の出力
    端子へ接続される第1のリード線および前記フリーホイ
    ーリングダイオードの第1の端部へ接続される第2のリ
    ード線を備えた電圧調整器切替え手段とを有し、前記フ
    リーホイーリングダイオードの第2の端部が未調整の直
    流入力部の第2の出力端子へ接続するようにした電圧調
    整器回路手段、(b)前記電圧調整器切替え手段の共通
    接続点と前記フリーホイーリングダイオードの第2の端
    部へ接続される電流を平滑にする誘導器手段、(c)前
    記平滑にされた直流電流から高周波交流電流を生成する
    インバーター回路網であって、変圧器の一次側において
    交番極性の方形波電流を発生するブリッジ構成部に配置
    される複数の切替え手段を備え、各切替え手段は、作動
    可能または作動不能信号を受け入れる制御リード線を有
    するようにしたインバーター回路網、(d)前記電源の
    出力部において初期アーク電流を検知し、作動不能信号
    を、前記切替え手段の通電を作動不能にする前記電圧調
    整器切替え手段の前記制御リード線へ同時に印加し、か
    つ作動可能信号を、前記切替え手段の通電を作動可能に
    し、かつアークが検知されたときに前記変圧器の一次側
    を短絡する前記インバーター回路網スイッチ手段の制御
    リード線へ印加する手段、および(e)前記電圧調整器
    切替え手段の前記制御リード線上に作動可能または作動
    不能信号を生成し、かつ所望の直流−直流変換器出力電
    圧とシミュレートされた出力電圧とのあいだの差の関数
    として、前記電圧調整器切替え手段のオン時間とオフ時
    間の比を選択的に変化することにより直流−直流変換器
    の出力電圧を調整する制御手段からなる、変化しかつア
    ークを発生する負荷の下で制御された直流電圧を生成す
    る直流−直流変換器。
  17. 【請求項17】 前記制御手段は、(a)二次側巻線を
    通る交番方形波電圧パルスの大きさに比例する交流電圧
    を生成するために、前記変圧器の前記一次側巻線と、二
    次側巻線とに誘導的に結合された電圧検知巻線手段、
    (b)前記検知巻線からの前記交流電圧を整流し、かつ
    直流−直流変換器の出力電圧に比例する出力直流電圧を
    生成する出力シミュレータ手段、(c)所望の出力電圧
    を提供するように固定される基準電圧と、前記出力シミ
    ュレータの直流電圧とのあいだの差であるエラー電圧を
    生成する手段、(d)前記作動可能信号が、前記エラー
    電圧の関数として、信号が誤りの期間に対する、信号が
    真の期間の可変比を有するように、前記エラー電圧を、
    可変デューティーサイクルを有する前記作動可能信号へ
    変換する手段、および(e)直流−直流変換器の出力部
    上の前記直流電圧を調整するために、前記電圧調整器ス
    イッチ手段の前記作動可能リード線へ接続され、かつ前
    記作動可能信号へ応答する手段からなる電圧フィードバ
    ックループ回路をさらに含んでなる請求項16記載の直
    流−直流変換器。
  18. 【請求項18】 (a)多相交流電圧源を整流し、かつ
    正および負の出力リード線上の未調整直流電圧を生成す
    る手段、(b)整流のための前記手段の前記の正および
    負の直流出力リード線間に並列に接続された複数のn個
    の直流−直流変換器モジュールであって、前記変換器モ
    ジュールのそれぞれは、制御されたデューティーサイク
    ルの脈動電圧を生成する調整器手段と、前記脈動電圧を
    平滑な直流電流へ平滑化する誘導器手段と、前記直流電
    流を交番極性の高周波方形波電流へ変換するインバータ
    ースイッチ手段と、前記高周波方形波電流を受け入れる
    一次側巻線を有し、かつ前記一次側巻線間の印加電圧を
    二次側巻線間の高電圧レベルまで昇圧する変圧器手段
    と、前記二次側巻線間に生じる高周波数の高電圧を正と
    負の出力リード線上の高い直流電圧へ変換する出力整流
    器およびフィルタコンデンサ手段とを具備し、かつ、全
    ての回路モジュールにより生成される直流出力電圧が加
    算されかつ前記電圧の合計は電源の正と負の出力線路間
    に生成されるように、第1の直流−直流変換器モジュー
    ルの第1の出力整流器およびフィルタの正の出力リード
    線は、第2の直流−直流変換器モジュールの第2の出力
    整流器およびフィルタの負のリード線へ接続するように
    した複数のn個の直流−直流変換器モジュール、(c)
    前記n個の直流−直流変換器モジュールにおける前記変
    圧器の各一次側および二次側巻線に誘導的に結合される
    電源検知巻線手段を備えると共に、直流−直流変換器モ
    ジュール出力電圧に比例するシミュレートされた出力電
    圧を生成する出力シミュレータ手段、および(d)隣接
    するモジュールと360゜/nに等しい整相関係で、連
    続する直流−直流変換器モジュールそれぞれを起動し、
    かつ前記n個のモジュールのそれぞれにおいて前記シミ
    ュレートされた電圧を検知し、さらに前記シミュレート
    された電圧と所要の出力電圧との差の関数として前記直
    流電圧を調整する手段を備えた制御手段からなる、変化
    しかつアークを発生する負荷の下で制御された高電圧出
    力を生成する電源。
  19. 【請求項19】 前記複数の直流−直流変換器モジュー
    ルは、並列に接続される各出力リード線をそれぞれ有す
    る請求項18記載の電源。
  20. 【請求項20】 前記直流−直流変換器モジュールのそ
    れぞれは、さらに、(a)コレクタリード線、制御リー
    ド線およびエミッタを有する調整器切替え手段であっ
    て、前記エミッタは前記整流器の前記負の直流出力へ接
    続され、また前記コレクタはフリーホイーリングダイオ
    ードの陽極と、誘導器の第1のリード線とへ接続される
    ようにした調整器切替え手段、(b)第1と第2の入力
    リード線を有するインバーター手段であって、前記第1
    の入力リード線は前記誘導器の第2の入力リード線へ接
    続し、また前記第2の入力リード線は前記フリーホイー
    リングダイオードの陰極と、前記整流器の正の直流出力
    リード線とへ接続するようにしたインバーター手段、お
    よび(c)隣接する変換器モジュールと等しい整相関係
    で、それぞれ連続する変換器モジュールの連続する調整
    器スイッチ手段を順次作動可能にする制御手段を有して
    なる請求項18記載の電源。
  21. 【請求項21】 (a)整流された入力電圧から制御さ
    れたデューティーサイクルで脈動電圧源を生成するため
    に、制御信号に応答する切替え調整器手段、(b)前記
    脈動電圧をフィルタリングし、かつ平滑な直流電流を生
    成する誘導器手段、(c)前記平滑な直流電流から高周
    波交流電流を生成する切替え手段、(d)前記高周波交
    流電流を受け入れる一次側巻線と、前記一次側巻線にお
    ける電圧を昇圧し、かつ前記昇圧した交流電圧を出力整
    流器およびフィルタへ結合する二次側巻線とを備える昇
    圧変圧器手段、および(e)前記出力整流器およびフィ
    ルタからの直流−直流変換器出力電圧と所望の電圧との
    あいだの差を表すエラー電圧を生成し、かつ前記エラー
    電圧の関数として可変デューティーサイクルを有する制
    御信号を生成する出力シュミレータを備える制御手段で
    あって、前記切替え調整器手段のオンおよびオフ時間
    が、変化する負荷の下で、前記調整された直流電圧出力
    を実質的に一定に維持するように、前記可変デューティ
    ーサイクル制御信号を前記切替え調整器手段へ印加し、
    かつ前記制御手段が、前記出力整流器およびフィルタの
    出力部上で初期アーク電流を検知するために、かつ前記
    切替え調整器手段をターンオフにすると同時に、高周波
    数交流を生成する前記切替え手段をターンオフすること
    により、前記変圧器の一次側を前記電源出力から分離す
    るように第2の制御信号を生成するための電流検知手段
    をさらに備える制御手段からなる、負荷がアークを発生
    中に電源を減結合する手段と動的電圧調整とを有する高
    電圧直流−直流変換器。
  22. 【請求項22】 前記の切替え調整器手段、誘導器手
    段、高周波数交流を生成する切替え手段、変圧器手段、
    ならびに出力整流器およびフィルタ手段は、それぞれ別
    個の回路モジュールを形成し、かつ前記高電圧電源は、
    入力部を並列に、かつ出力部を直列に互いに連結した複
    数の回路モジュールからなる請求項21記載の装置。
  23. 【請求項23】 少なくとも2つの入力回路線路を備え
    た切替え回路、および前記2つの入力回路線路間の電圧
    スパイクを制限する回路網手段からなり、前記回路網手
    段が、前記2つの入力回路線路の1つ、および電圧源の
    1つのリード線から、抵抗器とダイオード間の回路接続
    点へ接続されるコンデンサからなり、前記電圧源が、前
    記コンデンサの両端に接続される前記抵抗器と直列であ
    る電源回路網。
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