JPH06102313B2 - 自動調心嵌合ツ−ル - Google Patents
自動調心嵌合ツ−ルInfo
- Publication number
- JPH06102313B2 JPH06102313B2 JP60244851A JP24485185A JPH06102313B2 JP H06102313 B2 JPH06102313 B2 JP H06102313B2 JP 60244851 A JP60244851 A JP 60244851A JP 24485185 A JP24485185 A JP 24485185A JP H06102313 B2 JPH06102313 B2 JP H06102313B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- shaft portion
- self
- cap
- peripheral surface
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜技術分野＞ 本発明は、産業用のロボットまたは専用機により、瓶の
口にキャップを被冠させたり、栓を嵌合させたり、各種
のワークの凹部もしくは凸部に所要のワークピースを嵌
合させたりする作業に適用される自動調心嵌合ツールに
関する。
口にキャップを被冠させたり、栓を嵌合させたり、各種
のワークの凹部もしくは凸部に所要のワークピースを嵌
合させたりする作業に適用される自動調心嵌合ツールに
関する。
＜従来技術＞ 自動調心嵌心ツールを備えた産業用のロボットまたは専
用機がある。従来の自動調心嵌合ツールは、それ自体芯
合せのための自由度が、X,Yのいずれか一軸または二軸
方向にコンプライアンスできる１自由度または２自由度
を有するだけであったので、該自動調心嵌合ツールによ
り、コンベア上のキャップや栓、あるいは所要のワーク
ピースを把持するには、キャップや栓やワークピースを
コンベア上の所要位置にきわめて正確に位置決めする必
要があった。さらにまた、把持したキャップや栓を瓶の
口に被冠または嵌合させたり、あるいは把持したワーク
ピースをワークの凹部もしくは凸部に嵌合させたりする
際にもきわめて正確な芯合せを必要としていた。
用機がある。従来の自動調心嵌合ツールは、それ自体芯
合せのための自由度が、X,Yのいずれか一軸または二軸
方向にコンプライアンスできる１自由度または２自由度
を有するだけであったので、該自動調心嵌合ツールによ
り、コンベア上のキャップや栓、あるいは所要のワーク
ピースを把持するには、キャップや栓やワークピースを
コンベア上の所要位置にきわめて正確に位置決めする必
要があった。さらにまた、把持したキャップや栓を瓶の
口に被冠または嵌合させたり、あるいは把持したワーク
ピースをワークの凹部もしくは凸部に嵌合させたりする
際にもきわめて正確な芯合せを必要としていた。
＜発明の目的＞ 本発明は、ワークまたはワークピースもしくはキャップ
の位置決めに若干のくるいがあっても、それに対応する
ように自動芯合せを行うことができ、瓶の口へのキャッ
プや栓の被冠または嵌合、あるいはワークの凹部もしく
は凸部への所要のワークピースの嵌合が良好に行える自
動調心嵌合ツールを提供することを目的とする。
の位置決めに若干のくるいがあっても、それに対応する
ように自動芯合せを行うことができ、瓶の口へのキャッ
プや栓の被冠または嵌合、あるいはワークの凹部もしく
は凸部への所要のワークピースの嵌合が良好に行える自
動調心嵌合ツールを提供することを目的とする。
＜発明の構成＞ 本発明の自動調心嵌合ツール（Ｔ）は、産業用のロボッ
トまたは専用機の作動端（Ｍ）に固定されるツール基体
（１）と、該ツール基体（１）の下に配置され、ワーク
ピース又はキャップ（Ｋ）の突端を開口部に被嵌して把
持する把持手段（2a）を下端に有するホルダー（２）と
を備え、前記ツール基体（１）は軸部を有し、前記ホル
ダー（２）は、該軸部をその外周面から所定距離だけ離
隔させて収容する円筒内周面が形成され且つ当該円筒内
周面と軸部との間隙が許容する範囲内で相対的な回動並
びに水平方向移動可能に前記軸部に係合して連結される
ハウジング部を有し、前記軸部の下端とハウジング部と
の間には、前記ホルダから上向きに作用されるスラスト
荷重を支えるベアリング手段（３）を設け、前記軸部の
外周面に等間隔で複数個の凹部（５）を形成し、夫々の
凹部（５）には突出方向に弾発付勢された自動調心用係
合ピン（６）を収容し、同ピン（６）の突端をこれに対
向する前記ハウジング部の円筒内周面に当接させてホル
ダーの前記開口部と軸部との同心状態を弾発的に規制
し、且つ、前記ホルダーの外周部と前記作動端とをコイ
ルばね（８）で連結して、前記ハウジング部を介して軸
部に連結されたホルダーの回動位置を弾発的に規制し、
更に、前記ホルダーには位置決め孔に係合してホルダー
の開口部を所定位置に向けて案内する位置決めピン
（９）を垂設固定して成るものである。これによりホル
ダー（２）は、遠心方向に弾発付勢された複数の自動調
心用係合ピン（６）からの自動調心的な力に抗してツー
ル基体（１）に対し回動並びに水平方向移動が可能にさ
れ且つ自動調心的に状態復帰可能にされる。復帰された
状態は、弾発付勢された係合ピンやコイルばねによって
保たれる。
トまたは専用機の作動端（Ｍ）に固定されるツール基体
（１）と、該ツール基体（１）の下に配置され、ワーク
ピース又はキャップ（Ｋ）の突端を開口部に被嵌して把
持する把持手段（2a）を下端に有するホルダー（２）と
を備え、前記ツール基体（１）は軸部を有し、前記ホル
ダー（２）は、該軸部をその外周面から所定距離だけ離
隔させて収容する円筒内周面が形成され且つ当該円筒内
周面と軸部との間隙が許容する範囲内で相対的な回動並
びに水平方向移動可能に前記軸部に係合して連結される
ハウジング部を有し、前記軸部の下端とハウジング部と
の間には、前記ホルダから上向きに作用されるスラスト
荷重を支えるベアリング手段（３）を設け、前記軸部の
外周面に等間隔で複数個の凹部（５）を形成し、夫々の
凹部（５）には突出方向に弾発付勢された自動調心用係
合ピン（６）を収容し、同ピン（６）の突端をこれに対
向する前記ハウジング部の円筒内周面に当接させてホル
ダーの前記開口部と軸部との同心状態を弾発的に規制
し、且つ、前記ホルダーの外周部と前記作動端とをコイ
ルばね（８）で連結して、前記ハウジング部を介して軸
部に連結されたホルダーの回動位置を弾発的に規制し、
更に、前記ホルダーには位置決め孔に係合してホルダー
の開口部を所定位置に向けて案内する位置決めピン
（９）を垂設固定して成るものである。これによりホル
ダー（２）は、遠心方向に弾発付勢された複数の自動調
心用係合ピン（６）からの自動調心的な力に抗してツー
ル基体（１）に対し回動並びに水平方向移動が可能にさ
れ且つ自動調心的に状態復帰可能にされる。復帰された
状態は、弾発付勢された係合ピンやコイルばねによって
保たれる。
＜実施例＞ 第１図には本発明に係る自動調心嵌合ツールの実施例が
断面図で示される。同図に示される自動調心嵌合ツール
Ｔは、産業用のロボットまたは専用機の作動端Ｍに取付
けられ、符号Ｋで示すキャップ（ワークピース）を把持
し、これを符号Ｗで示すワークの突端嵌合させる。この
自動調心嵌合ツールＴは、産業用のロボットまたは専用
機の作動端Ｍに固定されたツール基体１と、該ツール基
体１に垂下状に支持されていてワークピースやキャップ
を把持する把持手段2aを下端に有するホルダー２とを備
え、ツール基体１とホルダー２との間にはスラストベア
リング３が介在される。このスラストベアリング３は、
上向きのスラスト方向荷重を担うだけであり、ツール基
体１とホルダ２とを同心状態に保持する機能はない。
断面図で示される。同図に示される自動調心嵌合ツール
Ｔは、産業用のロボットまたは専用機の作動端Ｍに取付
けられ、符号Ｋで示すキャップ（ワークピース）を把持
し、これを符号Ｗで示すワークの突端嵌合させる。この
自動調心嵌合ツールＴは、産業用のロボットまたは専用
機の作動端Ｍに固定されたツール基体１と、該ツール基
体１に垂下状に支持されていてワークピースやキャップ
を把持する把持手段2aを下端に有するホルダー２とを備
え、ツール基体１とホルダー２との間にはスラストベア
リング３が介在される。このスラストベアリング３は、
上向きのスラスト方向荷重を担うだけであり、ツール基
体１とホルダ２とを同心状態に保持する機能はない。
前記ツール基体１は軸部を有する。また、前記ホルダー
２には該軸部をその外周面から所定距離だけ離隔させて
収容する円筒内周面が形成され、且つ当該円筒内周面と
軸部との間隙が許容する範囲内で相対的な回動並びに水
平方向移動可能に前記軸部に係合して連結されるハウジ
ング部を有する。前記軸部とハウジング部との間には、
前記ホルダ２から上向きに作用されるスラスト荷重を支
える前記スラストベアリング３が配置される。更に、前
記軸部の外周面には等間隔で複数個の凹部５が形成さ
れ、夫々の凹部５には圧縮コイルスプリングのような弾
性体７にて突出方向に弾発付勢された自動調心用係合ピ
ン６が収容され、同ピン６の突端をこれに対向する前記
ハウジング部の円筒内周面に当接させてある。これによ
りホルダー２は、遠心方向に弾発付勢された複数の自動
調心用係合ピン６からの自動調心的な力に抗してツール
基体１に対し回動並びに水平方向移動が可能にされ且つ
自動調心的に状態復帰可能にされる。
２には該軸部をその外周面から所定距離だけ離隔させて
収容する円筒内周面が形成され、且つ当該円筒内周面と
軸部との間隙が許容する範囲内で相対的な回動並びに水
平方向移動可能に前記軸部に係合して連結されるハウジ
ング部を有する。前記軸部とハウジング部との間には、
前記ホルダ２から上向きに作用されるスラスト荷重を支
える前記スラストベアリング３が配置される。更に、前
記軸部の外周面には等間隔で複数個の凹部５が形成さ
れ、夫々の凹部５には圧縮コイルスプリングのような弾
性体７にて突出方向に弾発付勢された自動調心用係合ピ
ン６が収容され、同ピン６の突端をこれに対向する前記
ハウジング部の円筒内周面に当接させてある。これによ
りホルダー２は、遠心方向に弾発付勢された複数の自動
調心用係合ピン６からの自動調心的な力に抗してツール
基体１に対し回動並びに水平方向移動が可能にされ且つ
自動調心的に状態復帰可能にされる。
上記把持手段2aは、例えば、キャップＫを着脱自在に弛
く収容し得るキャップ収容孔と、この収容孔の奥壁と外
部を連通するバキューム孔とからなる吸引構造とされ
る。キャップ収容孔の下端開口縁は比較的大きなテーパ
ーに形成されている。キャップ収容孔にキャップＫを収
容すると、バキューム孔と接続している図示しない負圧
吸引手段で負圧吸引が行われ、キャップＫがキャップ収
容孔に吸引保持され、負圧吸引が止まるとキャップの保
持が解除されて、キャップ収容孔から下方に離脱するよ
うになっている。
く収容し得るキャップ収容孔と、この収容孔の奥壁と外
部を連通するバキューム孔とからなる吸引構造とされ
る。キャップ収容孔の下端開口縁は比較的大きなテーパ
ーに形成されている。キャップ収容孔にキャップＫを収
容すると、バキューム孔と接続している図示しない負圧
吸引手段で負圧吸引が行われ、キャップＫがキャップ収
容孔に吸引保持され、負圧吸引が止まるとキャップの保
持が解除されて、キャップ収容孔から下方に離脱するよ
うになっている。
本実施例の自動調心嵌合ツールによれば、ホルダー２の
ツール基体１に対する水平面内の自由度は３である。す
なわち、水平面にＸ軸、Ｙ軸を採り、その水平面に垂直
方向にＺ軸を採るとき、Ｘ軸及びＹ軸方向に関する自由
度を有するとともに、どの位置でもＺ軸に関して回転で
きる自由度を有する。しかも弾発付勢された自動調心用
係合ピン６の作用によって自動調心復帰自在である。こ
れにより、ホルダー２とキャップＫの雄雌嵌合が開口縁
の若干のテーパ部分を介して行われるものであれば、キ
ャップＫに対してキャップ収容孔が同心状態から若干ず
れた状態でホルダー２を当該キャップＫ上に位置させて
も、ツール基体１をホルダー２を介して当該キャップＫ
に押付ければ、その押付け反力がホルダー２を介してス
ラストベアリング３に伝わる。これによってホルダー２
は、ツール基体１に対して同芯状態から若干回転しつつ
偏心状態になり、キャップＫに対しては自動調心が行わ
れ、該キャップＫをホルダー２のキャップ収容孔に円滑
に導き入れて把持することができる。特に図示はしてい
ないが、把持される前のキャップＫは前後左右方向に位
置規制された状態で整列されている。キャップＫはホル
ダー２に吸引把持されるとその位置規制が解除され、ホ
ルダー２がツール基体１に対して自動調心的に復帰し、
キャップＫもツール基体１に対して同心状態に修正され
る。そして、ロボットなどの作動端Ｍの動きと一体的に
キャップＫが搬送され、第１図の状態で示されるよう
に、キャップＫがワークＷの突端に雄雌嵌合されること
になる。この場合も、キャップＫとワークＷの突端との
雄雌嵌合が若干のテーパ部分を介して行われるものであ
れば、上記と同様に、ワークＷの突端に対するキャップ
Ｋの押付け反力がホルダー２を介してスラストベアリン
グ３に伝わるので、キャップＫの開口部を当該突端との
同心状態から若干ずれて位置させても、該キャップＫを
ワークＷの突端に押付ければ、ホルダー２がツール基体
１に対して同心状態から若干偏心状態に移動して、キャ
ップＫがワークＷの突端に自動心合せされて、両者は円
滑に嵌合される。
ツール基体１に対する水平面内の自由度は３である。す
なわち、水平面にＸ軸、Ｙ軸を採り、その水平面に垂直
方向にＺ軸を採るとき、Ｘ軸及びＹ軸方向に関する自由
度を有するとともに、どの位置でもＺ軸に関して回転で
きる自由度を有する。しかも弾発付勢された自動調心用
係合ピン６の作用によって自動調心復帰自在である。こ
れにより、ホルダー２とキャップＫの雄雌嵌合が開口縁
の若干のテーパ部分を介して行われるものであれば、キ
ャップＫに対してキャップ収容孔が同心状態から若干ず
れた状態でホルダー２を当該キャップＫ上に位置させて
も、ツール基体１をホルダー２を介して当該キャップＫ
に押付ければ、その押付け反力がホルダー２を介してス
ラストベアリング３に伝わる。これによってホルダー２
は、ツール基体１に対して同芯状態から若干回転しつつ
偏心状態になり、キャップＫに対しては自動調心が行わ
れ、該キャップＫをホルダー２のキャップ収容孔に円滑
に導き入れて把持することができる。特に図示はしてい
ないが、把持される前のキャップＫは前後左右方向に位
置規制された状態で整列されている。キャップＫはホル
ダー２に吸引把持されるとその位置規制が解除され、ホ
ルダー２がツール基体１に対して自動調心的に復帰し、
キャップＫもツール基体１に対して同心状態に修正され
る。そして、ロボットなどの作動端Ｍの動きと一体的に
キャップＫが搬送され、第１図の状態で示されるよう
に、キャップＫがワークＷの突端に雄雌嵌合されること
になる。この場合も、キャップＫとワークＷの突端との
雄雌嵌合が若干のテーパ部分を介して行われるものであ
れば、上記と同様に、ワークＷの突端に対するキャップ
Ｋの押付け反力がホルダー２を介してスラストベアリン
グ３に伝わるので、キャップＫの開口部を当該突端との
同心状態から若干ずれて位置させても、該キャップＫを
ワークＷの突端に押付ければ、ホルダー２がツール基体
１に対して同心状態から若干偏心状態に移動して、キャ
ップＫがワークＷの突端に自動心合せされて、両者は円
滑に嵌合される。
第１図においてホルダー２の回転は比較的ばね定数の小
さなコイルばね8,8によりある程度規制されている。こ
れは、キャップＫやワークＷの突端の断面形状が矩形で
あるような場合に、ホルダー２が過剰に回動しないよう
にして、僅かなテーパー面だけで位置ずれを修正して雄
雌嵌合できるようにするための考慮である。例えば、角
キャップの嵌合に適用する場合である。さらにまた、ホ
ルダー２には例えば２本の位置決めピン９が垂設固定さ
れている。これに対応してワークＷにも位置決め孔10が
２個穿設されている。前記位置決めピン９が位置決め孔
10のテーパ部に当って案内作用を受けると、ホルダー２
が移動しキャップＫをワークＷの突端に対してきわめて
正確に同心状態に位置決めできる。これは、キャップの
開口部又はワークの突端のテーパー部分が極めて小さい
場合、或は正確に位置決めした状態を保って嵌合開始さ
せる必要がある場合に効果的である。
さなコイルばね8,8によりある程度規制されている。こ
れは、キャップＫやワークＷの突端の断面形状が矩形で
あるような場合に、ホルダー２が過剰に回動しないよう
にして、僅かなテーパー面だけで位置ずれを修正して雄
雌嵌合できるようにするための考慮である。例えば、角
キャップの嵌合に適用する場合である。さらにまた、ホ
ルダー２には例えば２本の位置決めピン９が垂設固定さ
れている。これに対応してワークＷにも位置決め孔10が
２個穿設されている。前記位置決めピン９が位置決め孔
10のテーパ部に当って案内作用を受けると、ホルダー２
が移動しキャップＫをワークＷの突端に対してきわめて
正確に同心状態に位置決めできる。これは、キャップの
開口部又はワークの突端のテーパー部分が極めて小さい
場合、或は正確に位置決めした状態を保って嵌合開始さ
せる必要がある場合に効果的である。
第２図には本発明に係る自動調心嵌合ツールＴを２個備
えた産業用の専用機が示される。同図において符号Cy1,
Cy2はエアーシリンダ装置であり、符号Ｆはフレームで
あり、符号Ｇは反力受け専用ガイドであり、２個の自動
調心嵌合ツールＴはエアーシリンダ装置Cy2に取付けら
れている。該専用機は、パレットP1に２個一組で乗せら
れ第１コンベアC1上を送られてくるワークピースやキャ
ップＫを２個の自動調心嵌合ツールＴで同時に把持し、
パレットP2に乗せられ第２コンベアC2上を送られてくる
ワークＷの２個のパイプの出入口に対して一回で雄雌嵌
合させるようになっている。
えた産業用の専用機が示される。同図において符号Cy1,
Cy2はエアーシリンダ装置であり、符号Ｆはフレームで
あり、符号Ｇは反力受け専用ガイドであり、２個の自動
調心嵌合ツールＴはエアーシリンダ装置Cy2に取付けら
れている。該専用機は、パレットP1に２個一組で乗せら
れ第１コンベアC1上を送られてくるワークピースやキャ
ップＫを２個の自動調心嵌合ツールＴで同時に把持し、
パレットP2に乗せられ第２コンベアC2上を送られてくる
ワークＷの２個のパイプの出入口に対して一回で雄雌嵌
合させるようになっている。
＜発明の効果＞ 本発明に係る自動調心嵌合ツールは、遠心方向に弾発付
勢された複数の自動調心用係合ピンからの自動調心的な
力に抗してホルダーがツール基体に対し相対的な回動並
びに水平方向移動可能にされ且つ自動調心的に状態復帰
可能にされる構成であるから、キャップまたはワークピ
ースに対して押付反力による自動心合せができ、キャッ
プまたはワークピースを円滑に把持でき、さらにまた続
いて行うべき、瓶の口またはワークにキャップ或はワー
クピースを嵌合させる場合にも自動調心復帰した状態か
ら該瓶の口または所要のワークの凹部もしくは凸部に対
して再び自動心合せでき、円滑な嵌合操作を実現するこ
とができるという効果がある。
勢された複数の自動調心用係合ピンからの自動調心的な
力に抗してホルダーがツール基体に対し相対的な回動並
びに水平方向移動可能にされ且つ自動調心的に状態復帰
可能にされる構成であるから、キャップまたはワークピ
ースに対して押付反力による自動心合せができ、キャッ
プまたはワークピースを円滑に把持でき、さらにまた続
いて行うべき、瓶の口またはワークにキャップ或はワー
クピースを嵌合させる場合にも自動調心復帰した状態か
ら該瓶の口または所要のワークの凹部もしくは凸部に対
して再び自動心合せでき、円滑な嵌合操作を実現するこ
とができるという効果がある。
第１図は本発明の実施例に係る自動調心嵌合ツールの縦
断面図、 第２図は本発明に係る自動調心嵌合ツールを備えた専用
機の正面図である。 Ｍ……産業用のロボットまたは専用機、 Ｋ……キャップ（ワークピース）、 Ｗ……ワークの突端（パイプ用の出入口）、 Ｔ……自動調心嵌合ツール、 １……ツール基体、 2a……把持手段、 ２……ホルダー、 ３……スラストベアリング、 ５……凹部、 ６……自動調心用係合ピン、 ７……弾性体、
断面図、 第２図は本発明に係る自動調心嵌合ツールを備えた専用
機の正面図である。 Ｍ……産業用のロボットまたは専用機、 Ｋ……キャップ（ワークピース）、 Ｗ……ワークの突端（パイプ用の出入口）、 Ｔ……自動調心嵌合ツール、 １……ツール基体、 2a……把持手段、 ２……ホルダー、 ３……スラストベアリング、 ５……凹部、 ６……自動調心用係合ピン、 ７……弾性体、
Claims (1)
- 【請求項１】産業用ロボット又は専用機の作動端に固定
されるツール基体と、該ツール基体の下に配置され、ワ
ークピース又はキャップの突端を開口部に被嵌して把持
する把持手段を下端に有するホルダーとを備え、 前記ツール基体は軸部を有し、前記ホルダーは、該軸部
をその外周面から所定距離だけ離隔させて収容する円筒
内周面が形成され且つ当該円筒内周面と軸部との間隙が
許容する範囲内で相対的な回動並びに水平方向移動可能
に前記軸部に係合して連結されるハウジング部を有し、 前記軸部の下端とハウジング部との間には、前記ホルダ
ーから上向きに作用されるスラスト荷重を支えるベアリ
ング手段を設け、 前記軸部の外周面に等間隔で複数個の凹部を形成し、夫
々の凹部には突出方向に弾発付勢された自動調心用係合
ピンを収容し、同ピンの突端をこれに対向する前記ハウ
ジング部の円筒内周面に当接させて、ホルダーの前記開
口部と軸部との同心状態を弾発的に規制し、 且つ、前記ホルダーの外周部と前記作動端とをコイルば
ねで連結して、前記ハウジング部を介して軸部に連結さ
れたホルダーの回動位置を弾発的に規制し、 更に、前記ホルダーには位置決め孔に係合してホルダー
の開口部を所定位置に向けて案内する位置決めピンを垂
設固定して、成るものであることを特徴とする自動調心
嵌合ツール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244851A JPH06102313B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 自動調心嵌合ツ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244851A JPH06102313B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 自動調心嵌合ツ−ル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62102990A JPS62102990A (ja) | 1987-05-13 |
| JPH06102313B2 true JPH06102313B2 (ja) | 1994-12-14 |
Family
ID=17124919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60244851A Expired - Lifetime JPH06102313B2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | 自動調心嵌合ツ−ル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06102313B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7420381B2 (en) | 2004-09-13 | 2008-09-02 | Cascade Microtech, Inc. | Double sided probing structures |
| US7492172B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US9429638B2 (en) | 2008-11-21 | 2016-08-30 | Cascade Microtech, Inc. | Method of replacing an existing contact of a wafer probing assembly |
Families Citing this family (4)
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|---|---|---|---|---|
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| JP2506825Y2 (ja) * | 1990-11-28 | 1996-08-14 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置用吸着式搬送装置 |
| JP2008036721A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Denso Corp | チャック装置 |
| JP7334477B2 (ja) * | 2019-05-31 | 2023-08-29 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 組立装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5877482A (ja) * | 1981-10-07 | 1983-05-10 | 富士通フアナツク株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS609698A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-18 | 三菱電機株式会社 | 産業用ロボツトのハンド装置 |
| JPS61279490A (ja) * | 1985-06-05 | 1986-12-10 | キヤノン株式会社 | ロボツトハンドのコンプライアンス装置 |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP60244851A patent/JPH06102313B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62102990A (ja) | 1987-05-13 |
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