JPH06101552B2 - 光電変換装置 - Google Patents

光電変換装置

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JPH06101552B2
JPH06101552B2 JP62160508A JP16050887A JPH06101552B2 JP H06101552 B2 JPH06101552 B2 JP H06101552B2 JP 62160508 A JP62160508 A JP 62160508A JP 16050887 A JP16050887 A JP 16050887A JP H06101552 B2 JPH06101552 B2 JP H06101552B2
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photoelectric conversion
electrodes
electrode
individual
conversion device
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敏宏 雑賀
石井　　隆之
克彦 山田
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144—Devices controlled by radiation
    • H01L27/1446—Devices controlled by radiation in a repetitive configuration
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
    • H04N1/19—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays
    • H04N1/191—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa using multi-element arrays the array comprising a one-dimensional array, or a combination of one-dimensional arrays, or a substantially one-dimensional array, e.g. an array of staggered elements
    • H04N1/192—Simultaneously or substantially simultaneously scanning picture elements on one main scanning line
    • H04N1/193—Simultaneously or substantially simultaneously scanning picture elements on one main scanning line using electrically scanned linear arrays, e.g. linear CCD arrays
    • H04N1/1931—Simultaneously or substantially simultaneously scanning picture elements on one main scanning line using electrically scanned linear arrays, e.g. linear CCD arrays with scanning elements electrically interconnected in groups

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はファクシミリ、イメージスキャナ等に用いられ
る光電変換装置に関する。
［従来の技術］ 近年、ファクシミリ、イメージリーダ等の小型、高性能
化のために、光電変換装置として、等倍光学系をもつ長
尺ラインセンサの開発が行われている。従来、この種の
ラインセンサは一例のアレイ状に配置された各光電変換
素子に対して、それぞれスイッチ素子等で構成された信
号処理用のIC（集積回路）を接続して構成している。し
かしながら、その光電変換素子の個数はファクシミリG3
規格に準ずるとA4サイズで1728個も必要となり、多数の
信号処理用のICが必要となる。このため、実装工数も増
え、製造コスト、並びに信頼性で満足なものは得られて
いない。一方、信号処理用のICの個数を減らし、かつ実
装工数を減らす構成としては従来からマトリックス配線
による構成が採用されている。
第３図にマトリックス配線された光電変換装置のブロッ
ク図を示す。第３図において、31は光電変換素子部、32
は走査部、33は信号処理部、34はマトリックス配線部で
ある。
また、35は個別電極、36は共通電極である。
上記第３図の構成の光電変換装置に於ては、36の共通電
極の配線がセンサ基板の長手方向に引き回されるため線
間に生じる静電容量が大きくなり、このため、信号クロ
ストークが生じるという問題点があった。この問題を解
決するために、従来は第４図に示されるように共通電極
の配線間に分離用の電極37を配線し共通電極の配線間に
生じていた静電容量を減じ信号のクロストークを防いで
いた。
なお、第４図で白丸で示した部分は分離電極と個別電極
との交差部分38を示す。また、第５図は第４図のマトリ
ックス部の部分拡大図であり、39は個別電極と共通電極
との接続用コンタクトホールである。
［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、第４図の光電変換装置において、共通線
間の信号クロストークの発生は防止することができた
が、信号バラツキが発生するという問題点があった。
すなわち、第４図に示されるように個別電極と共通電極
の交差部38の数がそれぞれの個別電極において異なり、
各共通電極36とグランド40との間の静電容量が配線によ
り異なる値を持つため、信号出力に大きなバラツキが生
じていた。上記問題点を解決するために、共通配線36に
補正用のコンデンサを形成しても絶縁層の膜厚分布が不
均一のため個々の光電変換素子について完全に信号出力
のバラツキをおさえることは困難であった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は一次元状に配列された複数の光電変換素子と、
前記複数の光電変換素子に接続された複数の個別電極
と、前記複数の個別電極のうち少なくとも２つに共通接
続された共通線の複数と、前記複数の共通線間に各々設
けられ所定の電位に保持される分離電極と、を有し、前
記個別電極と前記分離電極とが上下に交差する交差部の
数が各個別電極について同数であることを特徴とする光
電変換装置に要旨が存在する。
［作用］ 以上の構成によれば、各個別電極と分離電極との交差部
を各個別電極について同数とし、かつ空間的に均一に分
布されるように配置することにより、信号バラツキの少
ない光電変換装置とすることができる。
［実施例］ 第１図には本発明の好適な実施例の１つず示される。第
１図に示すごとく、個別電極５は各々同じ長さに引き出
され共通電極６および分離電極７もそれぞれ同じ長さで
マトリックス配線される。また第１図中白丸で示された
８は個別電極５と分離電極７との交差部である。この交
差部８の数は個別電極５でそれぞれにおいて同数として
いる。10は分離電極の電位であり、通常はグランド電位
に保たれる。
第２図に第１図で示したマトリックス配線部の部分拡大
図を示す。５は個別電極、６は共通電極、７は分離電
極、８は交差部、９は個別電極５と共通電極６とのコン
タクト部である。
第１図、第２図に示されるように本発明においては、個
別電極５と分離電極７との交差部８に生じる容量は個別
電極５それぞれについて同数となる。また、共通電極６
の容量としてみた場合、交差部８が光電変換素子基板の
長尺方向にわたり均一に配置されているため、絶縁層の
膜厚分布が長尺方向に分布していても各共通電極６の容
量は一定に保たれ、信号バラツキの発生する恐れがな
い。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明においては個別電極と分離電
極の交差部の数を個別電極それぞれについて同数となる
ように配置することにより、（１）各共通電極の容量バ
ラツキがなくなり、信号出力の均一性が向上する。
（２）光電変換装置基板の長尺方向にわたり交差部の容
量が加算されるため、絶縁層の膜厚分布、パターニング
のムラ等の信号バラツキに対する影響が低減される。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の光電変換装置の回路図であり、第２図
は第１図に示した光電変換装置のマトリックス部の部分
拡大図である。また、第３図および第４図は従来の光電
変換第２の回路図であり、第５図は第４図の光電変換の
マトリックス部の部分拡大図である。 1,31……光電変換素子部、2,32……走査部、3,33……信
号処理部、4,34……マトリックス配線部、5,35……個別
電極、6,36……共通電極、7,37……分離電極、8,38……
交差部、9,39……コンタクト部、10,40……グランド。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 克彦 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−67864（ＪＰ，Ａ)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】一次元状に配列された複数の光電変換素子
    と、前記複数の光電変換素子に接続された複数の個別電
    極と、前記複数の個別電極のうち少なくとも２つに共通
    接続された共通線の複数と、前記複数の共通線間に各々
    設けられ所定の電位に保持される分離電極と、を有し、
    前記個別電極と前記分離電極とが上下に交差する交差部
    の数が各個別電極について同数であることを特徴とする
    光電変換装置。
  2. 【請求項２】前記複数の個別電極の長さが一定であるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項に記載の光電
    変換装置。
JP62160508A 1987-06-26 1987-06-26 光電変換装置 Expired - Lifetime JPH06101552B2 (ja)

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JPS645173A JPS645173A (en) 1989-01-10
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