JPH059709A

JPH059709A - 透明バリヤーフイルムの製造方法

Info

Publication number: JPH059709A
Application number: JP3162989A
Authority: JP
Inventors: Nobuhiko Imai; 伸彦今井; Mamoru Sekiguchi; 守関口; Takashi Miyamoto; 隆司宮本
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1991-07-03
Filing date: 1991-07-03
Publication date: 1993-01-19
Anticipated expiration: 2018-09-22
Also published as: JP3448872B2

Abstract

(57)【要約】【目的】透明プラスチックフィルム上に、薄膜のガスバ
リヤー性のバラツキを生じないアルミニウム酸化物とア
ルミニウム水酸化物の混合薄膜を形成する方法を提供す
る。【構成】透明プラスチックフィルム１を真空系内で連続
的に走行させながら、冷却ロール４の下方に配置された
ソース１００からアルミニウム酸化物を蒸発させる一
方、供給源６１から水蒸気を供給して、このアルミニウ
ム酸化物の気体と水蒸気を混合すると共に、この混合物
に上記透明プラスツクフィルムを接触させてアルミニウ
ム酸化物と水酸化物の混合物から成る薄膜を凝縮させ
る。全工程が真空系内で連続的に完了し、外部の不純物
等によるガスバリヤー性のバラツキが生じない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は透明バリヤーフィルムの
製造方法に関する。更に詳しくはアルミニウム酸化物と
アルミニウム水酸化物の混合物の薄膜を有する透明バリ
ヤーフィルムを再現性良く製造する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】アルミニウム酸化物の薄膜がガスバリヤ
ー性に優れていることは良く知られており、例えば特開
昭５８−２１７３４４号公報に記載されている。

【０００３】しかし、アルミニウム酸化物の薄膜は多孔
質であるため、そのガスバリヤー性も十分なものではな
かった。このガスバリヤー性を向上するため、アルミニ
ウム酸化物の薄膜を湿熱処理する方法が特開昭６３−２
２２８４９号公報、特開昭６３−２２３１６３号公報に
記載されている。

【０００４】この方法によれば、真空系内で金属アルミ
ニウムを蒸発させ、気体状の金属アルミニウムと酸素等
の酸化性ガスと反応させてアルミニウム酸化物の薄膜を
製膜したり、あるいはアルミニウム酸化物を蒸発させて
その薄膜を製膜した長尺のプラスチックフィルムを、４
０℃、８０％Ｒ．Ｈ．等の高温多湿下に保存したり、室
温〜４０℃の水に浸漬して水分を吸着した後４０〜８０
℃に加熱処理する。湿熱処理によりアルミニウム水酸化
物が生じ、封孔される結果、ガスバリヤー性が向上す
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アルミ
ニウム酸化物の薄膜の形成された長尺のプラスチックフ
ィルムを巻取り状態から巻き戻してかかる湿熱処理を行
うと薄膜が傷ついたり、不純物が混入してそのガスバリ
ヤー性等の物性を損なうことが多い。また巻取り状態の
まま湿熱処理を行うことも可能であるが、巻芯に近い部
分の薄膜と巻取り外周に近い部分の薄膜との間で処理ム
ラが生じ易く、従ってやはりガスバリヤー性等の物性に
バラツキが生じることを避けることができなかった。

【０００６】そこで、本発明はアルミニウム水酸化物の
薄膜に起因するガスバリヤー性を有するフィルムであっ
て、しかもガスバリヤー性にバラツキの生じない透明バ
リヤー性フィルムの製造方法を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、長尺の透明プラスチックフ
ィルムを真空系内で連続的に走行させながら、その表面
をアルミニウム酸化物と水蒸気の混合ガスと接触させて
アルミニウム酸化物とアルミニウム水酸化物の混合物か
ら成る透明でガスバリヤー性の薄膜を形成させることを
特徴とする透明バリヤーフィルムの製造方法を提供す
る。

【０００８】また、同じ目的を達成するため、請求項２
記載の発明は、長尺の透明プラスチックフィルムを真空
系内で連続的に走行させながら、その表面をアルミニウ
ム酸化物のガスと接触させて透明なアルミニウム酸化物
の薄膜を形成した後、水蒸気と接触させて水和して、ア
ルミニウム酸化物とアルミニウム水酸化物成る透明でガ
スバリヤー性の混合物の薄膜を形成させることを特徴と
する透明バリヤーフィルムの製造方法を提供する。

【０００９】さらに、同じ目的を達成するため、請求項
３記載の発明は、長尺の透明プラスチックフィルムを真
空系内で連続的に走行させながら、その表面をアルミニ
ウム酸化物と水蒸気の混合ガスと接触させてアルミニウ
ム酸化物とアルミニウム水酸化物の混合物から成る透明
でガスバリヤー性の薄膜を形成させた後、水蒸気と接触
させて水和することを特徴とする透明バリヤーフィルム
の製造方法を提供する。

【００１０】以下図面を参照して本発明を説明する。図
１は本発明の製造方法に使用する装置の説明図である。
図２は本発明の製造方法に係るアルミニウム酸化物の生
成工程を示す説明図である。

【００１１】本発明に係る透明プラスチックフィルムは
薄膜の支持体となるものである。薄膜の透明性を生かす
点から透明であることを必要とする。ガスバリヤー性の
バラツキのない薄膜製膜のため、また特に請求項２記載
の発明にあってはアルミニウム酸化物の薄膜製膜に連続
して実質的に一工程でアルミニウム酸化物とアルミニウ
ム水酸化物の混合物から成る薄膜を形成するため、連続
走行可能な長尺のフィルムであることを要する。このよ
うな長尺のプラスチックフィルムは巻取りの形で供給さ
れる。

【００１２】かかるプラスチックフィルムとしては、ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン等のポリオレ
フィン；ポリスチレン；ポリエチレンテレフタレート、
ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−
ナフタレートなどのポリエステル；ナイロン−６、ナイ
ロン−１２、芳香族ポリアミド等のポリアミド；ポリカ
ーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポ
リイミド等が使用できる。またこれらを構成するモノマ
ーの共重合体または他のモノマーとの共重合体であって
も良い。また、フィルムは公知の添加剤、例えば帯電防
止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、着色剤等を含むも
のであっても良い。プラスチックフィルムは、強度、伸
度、熱特性、寸法安定性等の点で延伸したフィルムが好
ましいが、未延伸のものであっても良い。

【００１３】透明プラスチックフィルムの厚さに制限は
ないが、３〜４００μｍの範囲のフィルムが使用でき
る。機械的強度とフレキシビリティの点から５〜２００
μｍの範囲のフィルムが好ましい。

【００１４】アルミニウム酸化物とアルミニウム水酸化
物の混合物から成る薄膜の製膜もしくはアルミニウム酸
化物の薄膜の製膜に先立ち、透明プラスチックフィルム
の薄膜製膜面に、コロナ放電処理、火炎処理、プラズマ
処理、グロー放電処理などの表面処理を施しても良い。
公知のアンカーコート処理を施しても良い。請求項１記
載の発明にあっては、真空系内でこの透明プラスチック
フィルム表面をアルミニウム酸化物と水蒸気の混合ガス
と接触させてアルミニウム酸化物とアルミニウム水酸化
物の混合物から成る透明でガスバリヤー性の薄膜を形成
させる。

【００１５】この方法は、例えば、図１に示す装置を使
用して行うことができる。図１において、装置全体はポ
ンプ１１の排気により１０^-4〜１０^-6Ｔｏｒｒ．の真空
度に維持されている。長尺の透明プラスチックフィルム
は巻出しロール１に巻き取られており、連続的に巻き出
されて、順次ダンサーロール２、エキスパンダーロール
３を経て冷却ロール４の位置で、この冷却ロール４を抱
くように走行しながら、その表面にアルミニウム酸化物
とアルミニウム水酸化物の混合物から成る蒸気が接触
し、この蒸気は冷却されて長尺の透明プラスチックフィ
ルム表面に凝縮し、この混合物から成る薄膜が製膜され
る。

【００１６】薄膜形成原料はアルミニウム酸化物と水蒸
気で、アルミニウム酸化物は冷却ロール４直下に配置さ
れたソース１００から供給される。ソース１００に収容
されたアルミニウム酸化物は、電子線照射や抵抗加熱等
の方法により加熱され、蒸発して気体状態となり、冷却
ロール４方向に移動する。一方、水蒸気は供給源６１か
らマスフロコントローラー７１によりその流量を制御
し、蒸発した気体状態のアルミニウム酸化物に接触する
位置に供給される。気体状態のアルミニウム酸化物は水
蒸気と接触して互いに反応し、アルミニウム水酸化物を
生じる。こうして生じたアルミニウム水酸化物と未反応
のアルミニウム酸化物の混合物の蒸気は、上述のよう
に、冷却ロール４の位置で、この冷却ロール４に冷却さ
れた透明プラスチックフィルムの表面に接触して冷却さ
れ、その表面に凝縮してアルミニウム酸化物とアルミニ
ウム水酸化物の混合物の薄膜を生成する。なお、水蒸気
は、安定供給を確保するため、アルゴン等の不活性のガ
スをキャリャガスとして、これと水蒸気を混合して供給
する方法が好ましい。

【００１７】こうして製膜された透明プラスチックフィ
ルムは再びエキスパンダーロール３、ダンサーロール２
を経て巻取りロール９に巻き取られる。

【００１８】なお、加熱されて気体状態となったアルミ
ニウム酸化物は、水蒸気と接触させる前に、酸素プラズ
マと接触させて、その酸化度を向上させることができ
る。図２はこの方法を示すもので、ソース１００から蒸
発したアルミニウム酸化物の蒸気に、高純度酸素ガス供
給源３００からマスフロコントローラー４００を介して
供給された高純度酸素ガスを供給し、この位置に設けら
れた高周波コイル７００によりプラズマ状態に変えられ
る。高周波コイル７００には電源５００からマッチング
ボックス６００を介して１３．５６ＭＨｚの高周波電力
が供給され、この電力により酸素ガスをプラズマ状態に
変化させる。高純度酸素ガスから生じた酸素プラズマ
は、生じるとともにアルミニウム酸化物の蒸気と反応し
て、その酸化度を向上する。酸化度の向上したアルミニ
ウム酸化物は、上述の通り、次いで水蒸気と接触し、さ
らに冷却ロール４上の冷却された透明プラスチックフィ
ルムと接触して凝縮し、薄膜を生成する。

【００１９】請求項２記載の発明もまた図１記載の装置
により実施することができる。すなわち、巻き出しロー
ル１から巻き出され、ダンサーロール２やエキスパンダ
ーロール３を介して冷却ロール４上に供給された透明プ
ラスチックフィルム表面にまずアルミニウム酸化物の薄
膜を製膜する。このアルミニウム酸化物の薄膜は、図１
に記載するように、ソース１００に収容されたアルミニ
ウム酸化物を電子線照射や抵抗加熱等の方法により加熱
し、蒸発して気体状態となったアルミニウム酸化物を冷
却ロール４方向に透明プラスチックフィルム表面に凝縮
させることによりアルミニウム酸化物の薄膜を製膜する
ことができる。この場合には、マスフロコントローラー
７１により水蒸気の供給を行わない。

【００２０】アルミニウム酸化物の製膜された透明プラ
スチックフィルムは、次いでグロー放電領域５を通過す
る。グロー放電領域５においては、供給源６２からマス
フロコントローラー７２を介して水蒸気またはアルゴン
ガス等の不活性ガスから成るキャリャガスと混合された
水蒸気が供給され、グロー放電することによりこの水蒸
気にエネルギーを供給して上記アルミニウム酸化物の薄
膜を水和する。

【００２１】また、グロー放電処理の後、もしくはグロ
ー放電に代えて、イオンボンバード領域８においてアル
ミニウム酸化物やアルミニウム酸化物とアルミニウム水
酸化物の混合物の薄膜にイオンボンバード処理を施すこ
とにより、このアルミニウム酸化物を水和することもで
きる。このイオンボンバード処理に用いられるイオン
は、供給源６３からマスフロコントローラー７３を通じ
て供給された水蒸気またはアルゴンガス等の不活性ガス
から成るキャリャガスと混合された水蒸気を、イオンボ
ンバード領域８に配置された電極から供給された電圧３
００〜４００Ｖ、電流値５００〜５３０ｍＡのエネルギ
ーでイオン化したもので、発生したイオンを上記薄膜に
衝突させることにより、薄膜中のアルミニウム酸化物の
水和が可能となる。

【００２２】また、請求項３記載の発明は、ソース１０
０から蒸発した気体状態のアルミニウム酸化物に供給源
３００から供給された水蒸気、アルゴンガス等の不活性
ガスから成るキャリャガスと混合された水蒸気、または
水蒸気と酸素ガスの混合ガスのプラズマを接触させて水
和してアルミニウム水酸化物とアルミニウム酸化物の混
合物の蒸気を発生させ、この混合物を走行する透明プラ
スチックフィルム上に凝縮させて薄膜を製膜した後、さ
らにこのフィルムをグロー放電領域５を通過させ、供給
源６２から供給された水蒸気によりさらにアルミニウム
水酸化物とアルミニウム酸化物の混合物の水和度を高
め、混合物の薄膜中のアルミニウム水酸化物の比率を増
大する。この方法によれば、請求項１もしくは請求項２
記載の発明にくらべてもなおガスバリヤー性等の物性を
安定して制御することができ、常に一定の物性を有する
透明バリヤーフィルムを製造することができる。

【００２３】請求項１〜３のいずれの発明によって得ら
れる薄膜もアルミニウム酸化物とアルミニウム水酸化物
の混合物から成る。薄膜はＡｌ₂Ｏ₃とＡｌ（ＯＨ）₃
の混合物から成ることが望ましいが、この他ＡｌＯ、Ａ
ｌ₂Ｏ₂、Ａｌ（ＯＨ）、Ａｌ（ＯＨ）₂等を含むこと
が通常である。この混合物薄膜は３００〜３０００Åの
厚さを有することが望ましい。３００Å未満ではガスバ
リヤー性が十分でない。３０００Åを越えると混合物薄
膜が固くなり、透明ガスバリヤーフィルムのフレキシビ
リティが損なわれ、屈曲により混合物薄膜にクラックが
生じ易い。クラックの発生によりガスバリヤー性の劣
化、バラツキを生じる結果となる。

【００２４】また、得られた透明バリヤーフィルムの混
合物薄膜面にヒートシール性樹脂層を設けた積層材料と
することによりフレキシビリティ、透明性、ガスバリヤ
ー性を有する包装材料として使用することができる。こ
のヒートシール性樹脂層としては、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等の一般に
用いられているポリオレフィンまたはオレフィン共重合
体が使用でき、積層はこのヒートシール性樹脂から成る
フィルムを接着剤を介して透明バリヤーフィルムの混合
物薄膜面に積層しても良いし、このヒートシール性樹脂
を押し出し機内部で溶融して透明バリヤーフィルムの混
合物薄膜面に押し出しコーティングして積層しても良
い。

【００２５】

【作用】請求項１〜３記載のいずれの発明によっても、
透明プラスチックフィルム表面には、その表面が外気に
触れることなく、真空系内でアルミニウム酸化物とアル
ミニウム水酸化物の混合物から成る薄膜が形成できる。
また、この混合物薄膜は、走行する透明プラスチックフ
ィルムに、走行するに従って順次形成されるため、巻き
出し部分と巻き芯近くのフィルムの処理条件が一定とな
り、均一で安定した物性のアルミニウム酸化物とアルミ
ニウム水酸化物の混合物から成る薄膜の製膜が可能とな
る。得られた薄膜は金属アルミニウムを含まず、透明性
に優れたものである。また、この混合物薄膜は多孔質の
アルミニウム酸化物の微細孔やクラック等の膜欠陥をア
ルミニウム水酸化物が封じたり補う構造を有する緻密な
薄膜で、２．４Å程度の酸素分子や水蒸気分子の透過を
防止する。こうして、均一で安定した物性の透明バリヤ
ーフィルムの製造が可能となる。

【００２６】

【実施例】以下図面を参照して実施例を説明する。＜実施例１＞装置は図１及び図２に示すものを使用し
た。ソース１００に純度９９．８％のＡｌ₂Ｏ₃を配置
し、透明プラスチックフィルムの巻出しロールとしては
厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートを使用し、
装置全体を９×１０^-6Ｔｏｒｒ．の真空度まで排気し
た。次いで、このポリエチレンテレフタレートフィルム
を、図１に示すように、ダンサーロール２、エキスパン
ダーロール３、冷却ロール４、エキスパンダーロール
３、ダンサーロール２の順に走行させ、、巻取りロール
９に巻き取った。

【００２７】冷却ロール４の直下に配置された上記ソー
ス１００を電子ビームにより加熱し、Ａｌ₂Ｏ₃を加熱
蒸発させる一方、供給源６１からマスフロコントローラ
ー７１を介して水蒸気とアルゴンが８０：２０の組成か
ら成るガスをソース１００と冷却ロール４の間に供給し
た。

【００２８】なお、ポリエチレンテレフタレートフィル
ムの走行速度は、水晶発振式モニターによりモニタリン
グして、この上に製膜される混合物薄膜の厚み３０Å／
ｓｅｃとなるように調節し、混合物薄膜の厚みが１００
０Åとなるまで薄膜形成した。また、製膜中、装置内は
常時８×１０^-5Ｔｏｒｒ．の真空度に維持した。得られ
た透明バリヤーフィルムの酸素透過率、水蒸気透過率、
光線透過率を、ポリエチレンテレフタレートの走行方向
に沿って１０ケ所測定し、その最大値と最小値をデータ
として採用した。なお、酸素透過率（ｃｃ／ｍ2 ・ｄａ
ｙ・ａｔｍ）はＭＯＣＯＮＯＸＴＲＡＮ−１０／５０
Ａ（ＭＯＣＯＮ社製）で２５℃、１００％Ｒ．Ｈ．の条
件で測定し、水蒸気透過率（ｇ／ｍ2 ・ｄａｙ）はＭＯ
ＣＯＮＤＡＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ６（ＭＯＣＯＮ社製）
で４０℃、９０％Ｒ．Ｈ．の条件で測定し、光線透過率
（％−５５０ｎｍ）は島津マルチパーパス実用上の効果
分光光度計で測定した。この結果を表１に示す。

【００２９】＜実施例２＞冷却ロール４位置でポリエチ
レンテレフタレートフィルム上に混合物薄膜を製膜した
後、イオンボンバード領域８で水蒸気とアルゴンを８
０：２０の率で混合したガスを使用し、イオンボンバー
ド処理を施した他は実施例１と同様に透明バリヤーフィ
ルムを製造した。酸素透過率、水蒸気透過率、光線透過
率の測定データを表１に示す。

【００３０】＜実施例３＞装置は図１及び図２に示すも
のを使用した。ソース１００に純度９９．８％のＡｌ₂
Ｏ₃を配置し、透明プラスチックフィルムの巻出しロー
ルとしては厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレート
を使用し、装置全体を９×１０^-6の真空度まで排気し
た。次いで、このポリエチレンテレフタレートフィルム
を、図１に示すように、ダンサーロール２、エキスパン
ダーロール３、冷却ロール４、エキスパンダーロール
３、ダンサーロール２の順に走行させ、、巻取りロール
９に巻き取った。冷却ロール４の直下に配置された上記
ソース１００を電子ビームにより加熱し、Ａｌ₂Ｏ₃を
加熱蒸発させ、冷却ロール４上でポリエチレンテレフタ
レートフィルム上にＡｌ₂Ｏ₃の薄膜を製膜した。

【００３１】次いで、グロー放電領域５において、供給
源６２からマスフロコントローラー７２を介して水蒸気
とアルゴンを８０：２０の率で混合した混合ガスを供給
し、１ｋＶ、０．２Ａの条件でグロー放電することによ
りこの水蒸気にエネルギーを供給して上記アルミニウム
酸化物の薄膜を水和した。

【００３２】ポリエチレンテレフタレートフィルムの走
行速度は、水晶発振式モニターによりモニタリングし
て、この上に製膜される混合物薄膜の厚み３０Å／ｓｅ
ｃとなるように調節し、混合物薄膜の厚みが１０００Å
となるまで薄膜形成した。また、製膜中、装置内は常時
８×１０^-5Ｔｏｒｒ．の真空度に維持した。酸素透過
率、水蒸気透過率、光線透過率の測定データを表１に示
す。

【００３３】＜実施例４＞装置は図１及び図２に示すも
のを使用した。ソース１００に純度９９．８％のＡｌ₂
Ｏ₃を配置し、透明プラスチックフィルムの巻出しロー
ルとしては厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレート
を使用し、装置全体を９×１０^-6Ｔｏｒｒ．の真空度ま
で排気した。

【００３４】次いで、このポリエチレンテレフタレート
フィルムを、図１に示すように、ダンサーロール２、エ
キスパンダーロール３、冷却ロール４、エキスパンダー
ロール３、ダンサーロール２の順に走行させ、、巻取り
ロール９に巻き取った。冷却ロール４の直下に配置され
た上記ソース１００を電子ビームにより加熱し、Ａｌ₂
Ｏ₃を加熱蒸発させる一方、供給源３００からマスフロ
コントローラー４００を介して高純度酸素ガスをソース
１００と冷却ロール４の間に配置された高周波コイル７
００に供給し、この高周波コイル７００に電源５００か
らマッチングボックス６００を介して１３．５６ＭＨ
ｚ、１ＫＷの高周波電力を供給して酸素プラズマを発生
させ、この酸素プラズマを上記Ａｌ₂Ｏ₃に接触させ
た。なお、プラズマ発生位置の真空度は３×１０^-4Ｔｏ
ｒｒ．である。

【００３５】また、冷却ロール４の直下に配置された上
記ソース１００を電子ビームにより加熱し、Ａｌ₂Ｏ₃
を加熱蒸発させる一方、供給源６１からマスフロコント
ローラー７１を介して水蒸気とアルゴンが８０：２０の
組成から成るガスを高周波コイル７００と冷却ロール４
の間に供給した。

【００３６】次いで、グロー放電領域５において、供給
源６２からマスフロコントローラー７２を介して水蒸気
とアルゴンを８０：２０の率で混合した混合ガスを供給
し、１ｋＶ、０．２Ａの条件でグロー放電することによ
りこの水蒸気にエネルギーを供給して上記アルミニウム
酸化物の薄膜を水和した。

【００３７】さらにイオンボンバード領域８において水
蒸気とアルゴンを８０：２０の率で混合したガスを使用
し、イオンボンバード処理を施した。

【００３８】ポリエチレンテレフタレートフィルムの走
行速度は、水晶発振式モニターによりモニタリングし
て、この上に製膜される混合物薄膜の厚み３０Å／ｓｅ
ｃとなるように調節し、混合物薄膜の厚みが１０００Å
となるまで薄膜形成した。また、製膜中、装置内は常時
８×１０^-5Ｔｏｒｒ．の真空度に維持した。酸素透過
率、水蒸気透過率、光線透過率の測定データを表１に示
す。

【００３９】＜比較例１＞装置は図１及び図２に示すも
のを使用した。ソース１００に純度９９．８％のＡｌ₂
Ｏ₃を配置し、透明プラスチックフィルムの巻出しロー
ルとしては厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレート
を使用し、装置全体を９×１０^-6Ｔｏｒｒ．の真空度ま
で排気した。

【００４０】次いで、このポリエチレンテレフタレート
フィルムを、図１に示すように、ダンサーロール２、エ
キスパンダーロール３、冷却ロール４、エキスパンダー
ロール３、ダンサーロール２の順に走行させ、、巻取り
ロール９に巻き取った。冷却ロール４の直下に配置され
た上記ソース１００を電子ビームにより加熱し、Ａｌ₂
Ｏ₃を加熱蒸発させ、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上にアルミニウム酸化物の薄膜を製膜した。

【００４１】このフィルムを巻取り状態のまま４０℃、
８０％の条件下に１週間放置し、１００℃の熱風乾燥機
で３０分間乾燥した。得られたフィルムの酸素透過
率、水蒸気透過率、光線透過率の測定データを表１に示
す。

【００４２】＜比較例２＞装置は図１及び図２に示すも
のを使用した。ソース１００に純度９９．８％のＡｌ₂
Ｏ₃を配置し、透明プラスチックフィルムの巻出しロー
ルとしては厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレート
を使用し、装置全体を９×１０^-6Ｔｏｒｒ．の真空度ま
で排気した。

【００４３】次いで、このポリエチレンテレフタレート
フィルムを、図１に示すように、ダンサーロール２、エ
キスパンダーロール３、冷却ロール４、エキスパンダー
ロール３、ダンサーロール２の順に走行させ、、巻取り
ロール９に巻き取った。冷却ロール４の直下に配置され
た上記ソース１００を電子ビームにより加熱し、Ａｌ₂
Ｏ₃を加熱蒸発させ、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上にアルミニウム酸化物の薄膜を製膜した。

【００４４】このフィルムを沸騰水中に３０秒間浸漬し
た。得られたフィルムの酸素透過率、水蒸気透過率、光
線透過率の測定データを表１に示す。

【００４５】

【表１】

【００４６】

【効果】以上のように本発明によればアルミニウム水酸
化物の薄膜に起因するガスバリヤー性を有するフィルム
であって、しかもガスバリヤー性にバラツキの生じない
透明バリヤー性フィルムの製造方法を得ることができ
る。

【００４７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法に使用する装置の説明図。

【図２】本発明の製造方法に係るアルミニウム酸化物の
生成工程を示す説明図。

【符号の説明】

１巻出しロール１１ポンプ２ダンサーロール３エキスパンダーロール４冷却ロール５グロー放電領域６１供給源６２供給源６３供給源７１マスフロコントローラー７２マスフロコントローラー７３マスフロコントローラー８イオンボンバード領域９巻取りロール１００ソース３００高純度酸素ガス供給源４００マスフロコントローラー５００電源６００マッチングボックス７００高周波コイル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】長尺の透明プラスチックフィルムを真空系
内で連続的に走行させながら、その表面をアルミニウム
酸化物と水蒸気の混合ガスと接触させてアルミニウム酸
化物とアルミニウム水酸化物の混合物から成る透明でガ
スバリヤー性の薄膜を形成させることを特徴とする透明
バリヤーフィルムの製造方法。
【請求項２】長尺の透明プラスチックフィルムを真空系
内で連続的に走行させながら、その表面をアルミニウム
酸化物のガスと接触させて透明なアルミニウム酸化物の
薄膜を形成した後、水蒸気と接触させて水和して、アル
ミニウム酸化物とアルミニウム水酸化物成る透明でガス
バリヤー性の混合物の薄膜を形成させることを特徴とす
る透明バリヤーフィルムの製造方法。
【請求項３】長尺の透明プラスチックフィルムを真空系
内で連続的に走行させながら、その表面をアルミニウム
酸化物と水蒸気の混合ガスと接触させてアルミニウム酸
化物とアルミニウム水酸化物の混合物から成る透明でガ
スバリヤー性の薄膜を形成させた後、水蒸気と接触させ
て水和することを特徴とする透明バリヤーフィルムの製
造方法。