JPH0592580U - 真空容器のゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】真空容器のゲートバルブの機構の単純化、小型
化、省スペース化を図る。 【構成】搬入出口に、該搬入出口を閉塞可能な断面半月
状部を具備する弁体９を回転自在に設け、弁体を回転さ
せることで、弁体の半月状部で開口部５を閉塞し、或は
該半月状部と開口部とを干渉しない状態とすることで、
開口部を開放する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体製造装置等に於ける真空容器の搬入出口を開閉するゲートバ ルブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

先ず、図４に於いて示される従来の真空容器のゲートバルブについて説明する 。

【０００３】 ゲートバルブ１は真空容器２外部に気密に設けられており、該ゲートバルブ１ は主に弁箱３と弁体４から成り、前記真空容器２に搬入、搬出される半導体製造 用基板の搬入出口を開閉する。

【０００４】 前記弁箱３には、基板（図示せず）の搬入出口となる開口部５が設けられ、該 開口部５は前記弁体４によって開閉される。

【０００５】 該弁体４には、前記弁箱３の開口部５への密着性を高める為のＯリング６が装 着されており、該弁体４本体は弁箱３の中に収納されると共に、図示しない駆動 機構によって上下移動可能、且前記開口部５に対して前後移動可能となっている 。

【０００６】 次に、ゲートバルブ１の開閉の作動を説明する。

【０００７】 前記弁体４は前記した様に上下移動、前後移動が可能となっている。前記弁箱 ３に設けられた開口部５を閉状態にする時は、該弁体４が上昇し、更に上昇完了 後前進し、開口部５を閉塞し、前記Ｏリング６が開口部５を密閉する。開口部５ を開状態にする時は、該弁体４が後退し、更に下降し、前記開口部５を開放する 。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

ところが上記した従来のゲートバルブ１では、弁箱３に設けられた開口部５の 開閉を行う弁体４が、上下、及び前後の２方向に移動する構造である為に、支持 部、駆動部共機構的に複雑になり、弁体４の上下移動、前後移動に見合った所要 スペース、特に弁体４が基板の搬送路より完全に退去するだけのスペースを確保 しなければならず、ゲートバルブ１自体が大型化するのを避けられないという問 題があった。

【０００９】 本考案は斯かる実情に鑑み、機構の単純化と形状の小型化を図り、装置設置場 所の省スペース化を実現し得るゲートバルブを提供しようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、搬入出口に、該搬入出口を閉塞可能な断面半月状部を具備する弁体 を回転自在に設けたことを特徴とするものである。

【００１１】

【作用】

弁体を回転させることで、弁体の半月状部で開口部を閉塞し、或は該半月状部 と開口部とを干渉しない状態とすることで、開口部を開放する。

【００１２】

【実施例】

以下、図面に基づき本考案の一実施例を説明する。

【００１３】 尚、図１〜３中、図４中で示したものと同一のものには同符号を付してある。

【００１４】 ゲートバルブ７は、主に弁座８、弁体９から成り、真空容器２に固着された前 記弁座８は、開口部５を有する取付金具１０と該開口部５の周囲に取付けられた ゴム製シール材１１を具備する。

【００１５】 又、前記弁体９は略円柱を水平にした形状をしており、胴の部分には前記開口 部５と合致するスリット孔１２が穿設され、該スリット孔１２を挾んで半月状部 が形成される。更に、前記弁体９の左右両端には軸部１３が延設され、それぞれ の軸部１３には軸受１４が設けられ、該軸部１３は前記軸受１４を介して前記真 空容器２に固着されたブラケット１５に支持される様になっている。又、特に図 示していないが前記弁体９にはエアシリンダ等の開閉駆動部が連結され、少なく とも９０°回転可能となっている。

【００１６】 次に、ゲートバルブ７の開閉の作動を説明する。

【００１７】 前記開口部５を閉状態にする時は、前記弁体９をスリット孔１２が前記開口部 ５に対して垂直になる様回転させる。その時、前記半月状部が開口部５を閉塞し 、又、前記弁座８と前記弁体９との間に前記ゴム製シール材１１が介在する為、 開口部５を密封することができる。開口部５を開状態にする時は、前記弁体９を スリット孔１２が前記開口部５に合致する様回転させる。その時、該スリット孔 １２、前記開口部５は導入出口となり、真空容器２内外へ基板１６の搬入、搬出 を行うことができる。

【００１８】 尚、弁体９と軸部１３について、両者の軸心を偏心させ、弁体９により開口部 ５を閉塞した際に偏心量分だけ弁体９がゴム製シール材１１に押圧される様にし てもよく、更にスリット孔１２を穿設する代わりに開口部５を閉塞する半月状の 部分を残し、スリット孔１２部分が含まれる様削除した形状としてもよい。

【００１９】

【考案の効果】

以上述べた如く本考案によれば、従来弁体の上下移動、前後移動により開口部 を開閉する為に機構的にも複雑で、形状的にも大型になっていたゲートバルブを 、弁体を回転させることによってのみ開口部を開閉することができるので、構造 が単純となり、製作費の低減が可能で、而も小型化が可能となり、設置スペース も削減でき、他機構のメンテナンスも容易に行うことができるという優れた効果 を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す斜視説明図である。

【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。

【図３】同前一実施例の側面図である。

【図４】従来例を示す斜視説明図である。

【符号の説明】

５ 開口部 ９ 弁体

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬入出口に、該搬入出口を閉塞可能な断
   面半月状部を具備する弁体を回転自在に設けたことを特
   徴とする真空容器のゲートバルブ。