JPH0580574A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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Publication number
JPH0580574A
JPH0580574A JP24303391A JP24303391A JPH0580574A JP H0580574 A JPH0580574 A JP H0580574A JP 24303391 A JP24303391 A JP 24303391A JP 24303391 A JP24303391 A JP 24303391A JP H0580574 A JPH0580574 A JP H0580574A
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JP
Japan
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artificial lattice
recording medium
film
magnetic recording
lattice film
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP24303391A
Other languages
English (en)
Inventor
Haruki Yamane
治起 山根
Kiminori Maeno
仁典 前野
Kayoko Sato
佳代子 佐藤
Masanobu Kobayashi
政信 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】残留磁束密度が高く、保磁力が大きく、しかも
低キュリー温度を有する材料で作られ、高密度記録に適
した垂直記録用の磁気記録媒体を提供する。 【構成】ステンレス基板8の上に人工格子膜を積層して
成る垂直磁化膜を有しており、上記人工格子膜が、Co
層とAu層を交互に積層したCo/Au人工格子膜10
で形成されている。上記Co/Au人工格子膜10は、
Co層厚dCoを3Å≦dCo≦30Åとし、Au層厚dAu
を6Å≦dAu≦60Åとする。したがって、保磁力及び
残留磁束密度を向上させることができるとともに、キュ
リー温度を低下させることができる。上記Co/Au人
工格子膜10は、高周波スパッタ法によって形成され、
Co/Au人工格子膜10を作成した後に大気中で熱処
理が施される。上記熱処理の温度Tは100°C≦T≦
350°Cであり、かつ、熱処理時間が1分以上とす
る。したがって、熱処理後には、磁気特性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気潜像を形成するの
に適した磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、磁気記録媒体は、例えば熱磁気プ
リンティングに用いられており、その場合、記録用磁気
ドラムに磁気潜像が形成され、これを磁気的に現像して
可視像を得るようにしている(「マグネトグラフィプリ
ンタ」今村舜仁著、大野信編集、CMC「ノンインパク
トプリンティング」第15章P.159〜P.168、
1986参照)。
【0003】上記熱磁気プリンティングによって印刷を
行う従来の熱磁気プリンタについて説明する。図3は従
来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である。図におい
て、記録用磁気ドラム1は矢印A方向に回転する。該記
録用磁気ドラム1面上には磁気潜像を形成するための磁
気記録媒体としてCrO2 薄膜などが形成されている。
【0004】印刷プロセスにおいて、まず消磁手段2が
磁気記録媒体を一定方向に磁化する。次に、磁気記録手
段3が所定の磁気潜像を形成し、現像手段4が磁気潜像
上にトナーを付着させることによって、磁気潜像は可視
像化される。ここで、トナーは磁気記録媒体面上の漏れ
磁界による磁力線と磁気記録媒体面とが交差する部分に
付着し、その結果、磁気潜像は可視像化される。
【0005】その後、転写手段5及び定着手段6は、可
視像を用紙上に転写し、定着する。最後にクリーニング
手段7は磁気記録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プ
ロセスを終了する。ところで、上記磁気記録媒体上に磁
気潜像を形成する方法としてはサーマルヘッドを用いる
方法やレーザビーム光照射によって加熱する方法があ
る。また、磁気記録媒体の磁化方向は、主として磁気記
録媒体の表面に沿う方向(面内記録の場合)と磁気記録
媒体の表面に対し垂直の方向(垂直記録の場合)とがあ
り、高解像度を必要とする場合には垂直記録が用いられ
る。垂直記録に用いられる磁気記録媒体は、希土類元素
と鉄族元素との合金膜、すなわちRE−TM合金膜又は
Co−Cr合金膜で形成される。上記RE−TM合金膜
は熱すなわち光を照射することによって磁気潜像を形成
するのに適しており、熱磁気記録法を用いた光磁気ディ
スクに用いられ、またCo−Cr合金膜は信号磁界を与
えることによって磁気潜像を形成するのに適しており、
磁気ヘッド記録法を用いた磁気ディスクに多く用いられ
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の磁気記録媒体において、Co−Cr合金膜で形成し
た場合はキュリー温度が高いため熱磁気記録が困難とな
り、RE−TM合金膜で形成した場合は残留磁束密度が
低いためトナーの付着力が不十分となる。上述したよう
に、磁気記録媒体の表面に対し垂直の方向に磁化させて
形成される垂直記録用の垂直磁化膜を用いると、原理的
には記録の安定性が高く高解像度を得ることができ、低
消費電力で作動させることができるが、垂直磁化膜を安
価な材料で形成することができない。
【0007】本発明は、上記従来の磁気記録媒体の問題
点を解決して、残留磁束密度が高く、保磁力が大きく、
しかも低キュリー温度を有する材料で作られ、高密度記
録に適した垂直記録用の磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明の磁
気記録媒体においては、基板の上に人工格子膜を積層し
て成る垂直磁化膜を有しており、上記人工格子膜が、C
o層とAu層を交互に積層したCo/Au人工格子膜で
形成されている。上記基板上にCo/Au人工格子膜を
作成した後に大気中で熱処理が施される。
【0009】上記熱処理の温度Tは 100°C≦T≦350°C であり、かつ、熱処理時間が1分以上とする。また、上
記Co/Au人工格子膜は、Co層厚dCoを 3Å≦dCo≦30Å とし、Au層厚dAuを 6Å≦dAu≦60Å とする。
【0010】
【作用】本発明によれば、上記のように基板の上に人工
格子膜を積層して成る垂直磁化膜を有しており、上記人
工格子膜が、Co層とAu層を交互に積層したCo/A
u人工格子膜で形成されている。上記Co/Au人工格
子膜は、Co層厚dCoを 3Å≦dCo≦30Å とし、Au層厚dAuを 6Å≦dAu≦60Å としている。したがって、保磁力及び残留磁束密度を向
上させることができるとともに、キュリー温度を低下さ
せることができる。
【0011】上記Co/Au人工格子膜は、高周波スパ
ッタ法によって形成され、Co/Au人工格子膜を作成
した後に大気中で熱処理が施される。上記熱処理の温度
Tは 100°C≦T≦350°C であり、かつ、熱処理時間が1分以上とする。
【0012】したがって、熱処理後には、磁気特性が向
上する。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図1は本発明の磁気記録媒体を
示す図である。図の(A)は磁気記録媒体の断面を、
(B)は記録用磁気ドラムの断面を示している。図にお
いて、板厚が数十〜数百μmの曲折自在なステンレス基
板8上に、高周波(RF)スパッタ法を用いて垂直磁化
膜、すなわち0.1〜数十μmの膜厚を有するCo/A
u人工格子膜10が積層され、磁気記録媒体11が形成
される。該磁気記録媒体11はシート状に形成され、記
録用磁気ドラム芯材12上に巻き付けられる。
【0014】図4は本発明の磁気記録媒体を製造するた
めの高周波スパッタ装置の概略図である。図の(A)は
正面図、(B)は平面図を示している。図において、8
は回転板22上に配設され、多元式の高周波スパッタ法
によってCo/Au人工格子膜10が形成されるステン
レス基板である。24は上記ステンレス基板8に対向し
て配設されるCoターゲットであり、25は同様にステ
ンレス基板8に対向して配設されるAuターゲットであ
る。上記Coターゲット24及びAuターゲット25と
上記回転板22との間にスパッタ用の高周波電源26,
27が接続される。また、Coターゲット24とAuタ
ーゲット25間にはしきり板28が配設される。
【0015】上記構成の電圧印加型で多元式の高周波ス
パッタ装置においては、回転板22が高速回転させら
れ、Coターゲット24とAuターゲット25上をステ
ンレス基板8が通過すると、該ステンレス基板8上にC
o/Au人工格子膜10が形成される。ここで、スパッ
タ条件は、 バックグラウンド真空度 :PBG=1.0×10-6To
rr以下 アルゴンガス圧 :PAr=3.0×10-3To
rr 投入電力 :高周波300〜700W ステンレス基板8の回転数:r=7rpm である。
【0016】図2は人工格子膜の断面図である。図にお
いて、Co/Au人工格子膜10を構成するCo層厚d
Coは 3Å≦dCo≦30Å であり、Au層厚dAuは 6Å≦dAu≦60Å である。
【0017】次に、上記構成の磁気記録媒体11を用い
て磁気記録を行った結果について説明する。この実験に
は、Co/Au人工格子膜10としてCo層厚dCoが1
5Å、Au層厚dAuが30ÅとなるようにCoとAuを
周期的に積層して全体の膜厚を2.5μmとしたものを
用いている。図5は本発明の磁気記録媒体における人工
格子膜の磁化曲線を示す図である。
【0018】図に示すように、磁気記録媒体11を評価
したところ、保磁力Hc は800Oe程度、残留磁束密
度Mr は1000Gauss程度となり、磁性体である
トナーの吸着に必要とされる十分な磁気力を発生する。
また、キュリー温度は200°C程度となる。本発明の
磁気記録媒体11を評価するために、Co/Au人工格
子膜10としてCo層厚dCoが35Å、Au層厚dAu
65Åのもの、及びCo層厚dCoが2.5Å、Au層厚
Auが5.5Åのものを作成した。この場合、膜面内に
容易軸を有する磁化膜となってしまい、垂直磁気記録を
行うことができない。
【0019】上記実施例においては、磁気記録媒体11
の応用例として熱磁気プリンタを示しているが、熱及び
光の照射によって記録を行う他の記録装置にも応用する
ことができる。また、垂直磁化膜の全膜厚を0.1〜数
十μmとし、ステンレス基板8の板厚を数十〜数百μm
としたが、これらの厚さは用途に応じて変化させること
ができる。
【0020】次に、本発明の第2の実施例について説明
する。第2の実施例においては、上記実施例と同様にC
o/Au人工格子膜10としてCo層厚dCoが15Å、
Au層厚dAuが30ÅとなるようにCoとAuを周期的
に積層して全体の膜厚を2.5μmとし、成膜後に大気
中において熱処理温度Tが250°Cで熱処理時間tが
30分間の熱処理が行われる。
【0021】図6は本発明の磁気記録媒体における人工
格子膜の熱処理前後の磁化曲線を示す図である。図の
(a)は熱処理前の磁化曲線を、(b)は熱処理後の磁
化曲線を示している。図に示すように、磁気記録媒体1
1を評価したところ、熱処理前においては保磁力Hc
800Oe程度、残留磁束密度Mr は1000Gaus
s程度であるのに対し、熱処理後においては保磁力Hc
は1600Oe程度、残留磁束密度M r は1800Ga
uss程度となり、磁性体であるトナーの吸着に必要と
される十分な磁気力を発生する。また、キュリー温度は
200°C程度となる。
【0022】図7は熱処理温度による残留磁束密度及び
保持力の変化を示す図である。この場合、熱処理時間t
はすべて30分である。この図により、熱処理温度Tが
100〜350°Cの熱処理によって磁気特性が向上
し、熱処理温度Tが250°Cにおいて最も良い値を示
すことが分かる。図8は熱処理温度を変化させた場合の
熱処理時間と残留磁束密度の関係図である。
【0023】この図により、熱処理時間tが1分以上の
熱処理を行うことによって磁気特性が徐々に向上し、熱
処理時間tが30分程度以上では一定となることが分か
る。本実施例においては磁気記録媒体11の基板として
ステンレス基板8を使用しているが、例えば非磁性体の
ポリイミド樹脂基板を使用してもよい。なお、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に
基づいて種々変形することが可能であり、これらを本発
明の範囲から排除するものではない。
【0024】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、基板の上に人工格子膜を積層して成る垂直磁化膜
を有しており、上記人工格子膜が、Co層とAu層を交
互に積層したCo/Au人工格子膜で形成され、該Co
/Au人工格子膜を作成した後に大気中で熱処理が施さ
れる。
【0025】したがって、磁気記録媒体はキュリー温度
が低く、残留磁束密度が高く、かつ、保磁力が大きくな
り、垂直記録を行う場合の磁気記録密度を高くすること
ができる。そして、例えば熱磁気プリンタにこれを用い
た場合、高解像度を得ることができ、消費電力を低減す
ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気記録媒体を示す図である。
【図2】人工格子膜の断面図である。
【図3】従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図であ
る。
【図4】本発明の磁気記録媒体を製造するための高周波
スパッタ装置の概略図である。
【図5】本発明の磁気記録媒体における人工格子膜の磁
化曲線を示す図である。
【図6】本発明の磁気記録媒体における人工格子膜の熱
処理前後の磁化曲線を示す図である。
【図7】熱処理温度による残留磁束密度及び保持力の変
化を示す図である。
【図8】熱処理温度を変化させた場合の熱処理時間と残
留磁束密度の関係図である。
【符号の説明】
8 ステンレス基板 10 Co/Au人工格子膜(垂直磁化膜) 11 磁気記録媒体 12 記録用磁気ドラム芯材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 政信 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a)基板と、 (b)該基板上に積層される人工格子膜で形成される垂
    直磁化膜とから成り、 (c)上記人工格子膜が、Co層とAu層を交互に積層
    したCo/Au人工格子膜であることを特徴とする磁気
    記録媒体。
  2. 【請求項2】 (a)基板と、 (b)該基板上に積層される人工格子膜で形成され、か
    つ、人工格子膜の作成後に大気中で熱処理を施した垂直
    磁化膜とから成り、 (c)上記人工格子膜が、Co層とAu層を交互に積層
    したCo/Au人工格子膜であることを特徴とする磁気
    記録媒体。
  3. 【請求項3】 上記熱処理の温度Tが 100°C≦T≦350°C であり、かつ、熱処理時間が1分以上である請求項2記
    載の磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】 上記人工格子膜は、Co層厚dCoが 3Å≦dCo≦30Å であり、Au層厚dAuが 6Å≦dAu≦60Å である請求項1又は2記載の磁気記録媒体。
JP24303391A 1991-09-24 1991-09-24 磁気記録媒体 Withdrawn JPH0580574A (ja)

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JP24303391A JPH0580574A (ja) 1991-09-24 1991-09-24 磁気記録媒体

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JP24303391A JPH0580574A (ja) 1991-09-24 1991-09-24 磁気記録媒体

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JPH0580574A true JPH0580574A (ja) 1993-04-02

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ID=17097862

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JP24303391A Withdrawn JPH0580574A (ja) 1991-09-24 1991-09-24 磁気記録媒体

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008096831A1 (ja) * 2007-02-07 2008-08-14 The Research Foundation For Microbial Diseases Of Osaka University 癌の治療剤

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A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19981203