JPH0486269A - 磁気記録媒体及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気潜像を形成するのに適した磁気記録媒体
及びその製造装置に関するものである。

（従来の技術） 従来、磁気プリンタドラム用材料は、例えば熱磁気プリ
ンタに用いられており、その場合磁気記録媒体に磁気潜
像が形成され、これを磁気的に現像して可視像を得るよ
うにしている（「マグネトグラフィプリンタ」今村舜仁
著、大野信編集、０ＭＣｒノンインパクトプリンティン
グ」第１５章Ｐ。

１５９〜Ｐ、１６８．１９８６参照）。

第６図は従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である
。

図において、記録用磁気ドラム１は矢印Ａ方向に回転す
る。該記録用磁気ドラム１面上には磁気潜像を形成する
ための磁気記録媒体であるＣｒＯ□薄膜等が設けられて
いる。

印刷プロセスにおいて、まず消磁手段２が磁気記録媒体
を一定方向に磁化する。次に、ｆ〃気記録手段３が所定
の磁気潜像を形成し、現像１段４が磁気潜像」−にトナ
ーを付着させることにより、磁気潜像は可視像化される
。ごごで、Ｉ−ナーは磁気記録媒体面上の洩れ磁弄によ
る磁力線と磁気記録媒体面とが交差する部分に付着し、
その結果、磁気潜像は可視像化される。

その後、転写手段５及び定着手段６４：、１：、　’ｉ
’ｉＪ視像を用紙十に転写、定着する。最後にクリーニ
ング手段７は磁気記録媒体上の残留［・ナーを除去し、
印刷プＩコセスを終了する。

ところで、上記磁気記録媒体上に磁気潜像を記録する方
法としてはザーマルヘッドを用いる方法やレーザビーム
光照射により加熱する方法がある。

また、磁気記録媒体の磁化方向は、主として記録媒体面
に沿う方向（面内記録法）と記録媒体の面に対し垂直で
ある方向（垂直記録法）とがあり、高解像度を必要とす
る場合には垂直記録法が用いられる。垂直記録用の磁気
記録媒体は、希土類元素と鉄族元素との合金膜、ずなわ
ち肝−ＴＭ合金膜又はＣｏ−Ｃｒ合金膜で形成される。

ＲＩＥ−ＴＭ合金膜は磁気記録法を用いた光磁気ディス
クに、またＣｏ−Ｃｒ合金膜は磁気ヘッド記録法を用い
た磁気ディスクに多く用いられている。

さらに、最近では、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜やＣｏ／ｐｄ
人工格子膜等の薄膜、またこれら人工格子膜を多重構造
にした多層膜も垂直磁化膜として利用することができる
ようになっている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記構成の磁気記録媒体において、Ｃｏ
−Ｃｒ合金膜で形成した場合はキューり点が高いため熱
磁気記録が困難となり、Ｉ？Ｅ−ＴＭ合金膜で形成した
場合は残留磁束密度が小さいためトナーの付着力が不十
分となる。

また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜やＣｏ／Ｐｄ人工格子膜の
場合、全膜厚が数百穴の極薄状態においては磁気ヒステ
リシス曲線の角形比は１であるが、全膜厚が数千人にな
ると角形比は１以下となり磁気記録に必要な残留磁束密
度が得られず、さらに保磁力も２０００ｅ程度で小さい
。また、人工格子膜を用いた多重構造多層膜の場合、角
形比は１となり保磁力も２００００ｅ程度であって磁気
記録媒体として有効であるが、作成方法が複雑であり作
成時間も長い このように、垂直記録用の垂直磁化膜を用いた熱磁気プ
リンタは、原理的には記録の安定性が高く高解像度を得
ることができ、低消費電力で作動するなどの特徴がある
ものの、垂直磁化膜として適当な材料がなく、さらに磁
気特性を向上しようとした場合、膜の構造が複雑化して
膜作成が困難になる。

本発明は、上記従来の磁気記録媒体及びその製造装置の
問題点を解決して残留磁束密度及び保磁力を十分に高く
し、しかもキューり温度を低くするとともに、膜の作成
が容易である垂直記録用の磁気記録媒体及びその製造装
置を提供することを目的とする。

（課題を解決するだめの手段） そのために、本発明の磁気記録媒体の製造装置において
は、基板と、該基板と間隔をおいて配設されるＣｏター
ゲッ１−及びｐｔ（又はＰｄ）ターゲットとを有してお
り、基板が周期的に移動させられて上記両ターゲットに
交互に対向させられ人工格子膜を形成するようになって
いる。

に記両ターゲッ）・と基板間にはスパッタ用の高周波電
源が接続されるとともに、上記基板にはプラス電圧が印
加される。

また、製造装置によって作成された磁気記録媒体はＣｏ
／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜を有してい
る。そして、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜の場合Ｃｏ層厚ｄ。

。が １人≦ｄｃｏ≦１５人 であり、ｐｔ層厚ｄｒｔが ２人≦ｄｒｔ≦３０人 である。

また、Ｃｏ／Ｐｄ人工格子膜の場合Ｃｏ層厚ｄＣｏが１
Å≦ｄＣｏ≦１５人 であり、Ｐｄ層厚ｄｒｄが ２人≦ｄ、≦３０人 である。

（作用） 本発明によれば、Ｌ記のように基板と、該基板と間隔を
おいて配設されるＣｏターゲット及びｐｔ（又はＰｄ）
ターゲソ１−とを存しており、基板が周期的に移動させ
られて上記両ターゲノ）・に交互に対向させられ人工格
子膜が形成されるとともに、上記両ターゲン１□と基板
間にはスパッタ用の高周波電源が接続され、上記基板に
はプラス電圧が印加される。

したがって、基板の上に層厚ｄ、。が １人≦ｄ、。６１５人 のＣｏ層と、層厚ｄｐｔ（又は層厚ｄ□）が２人≦ｄｒ
ｔ（又はｄ、４）６３０人 のｐｔ層（又はＰｄ層）が交互に積層されＣｏ／Ｐｔ人
工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）が形成される。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の磁気記録媒体を示す図、第１図（八）
は磁気記録媒体の断面図、第１図（Ｂ）は記録用磁気ド
ラムの断面図である。

図において、１７さが数十〜数百ミクロンの曲折自在な
ステンレス基板８上にプラス電圧を印加して、ＲＦスパ
ッタ法を用いて垂直磁化膜、すなわち数百ミクロンの膜
厚を有するＣｏ／Ｐｔ人工格子膜１０が積層されて磁気
記録媒体１１が形成される。該磁気記録媒体１１はシー
ト状に形成され、記録用磁気ドラム芯材１２上に巻き付
けられる。

第２図は本発明の磁気記録媒体の人工格子膜の断面図で
ある。

図に示すように、Ｃｏ層とｐｔ層が交互に又は００層と
Ｐｄ層が交互に積層される。

第３図は本発明の磁気記録媒体の製造装置の概略図、第
３図（Ａ）は同正面図、第３図（Ｂ）は同平面図である
。

図において、２１は回転板２２上に配設され、スパツタ
リングによって人工格子膜が形成される基板である。上
記回転板２２は基板印加用電源２３によってプラス電圧
が印加されている。

２４は上記基板２１に対向して配設されるＣｏターゲッ
トであり、２５は同様に基板２１に対向して配設される
Ｐｔ　（又はＰｄ）ターゲットである。

Ｃｏターゲット２４及びＰＬ　（又はＰｄ）　　ターゲ
ット２５と上記回転板２２との間にスパッタ用の高周波
（ＲＦ）電ａ２６．２７が接続される。また、Ｃｏター
ゲット２４とＰＬ　（又はＰｄ）　ターゲット２５間に
はしきり板２８が配設される。

上記構成の電圧印加型のＲＦ多元スパッタ装置において
は、回転板２２が回転するのに伴い、Ｃｏタゲソト２４
とｐｔ　＜又はＰｄ）　ターゲット２５」二を基板２１
が回転することになり、該基板２１上にｐｔ　＜又はＰ
ｄ）とＣｏが周期的に積層され、人工格子膜が形成され
る。

上記Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜１０のＣｏ層厚（ｄＣ，）は
１Å≦ｄＣｏ≦１５Åであり、Ｐｔ層厚（ｄ　ｒｔ）は
２人≦ｄｏｔ≦３０人である。

次に上記構成の磁気記録媒体を用いて磁気特性評価を行
った結果について説明する。この実験には、Ｃｏ／Ｐｔ
人工格子膜１０としてＣｏ層厚ａＣＯが５人、ｐｔ層厚
ｄｏｔが１５人となるように周期約６こ積層したものを
用い、基板印加電圧は５０Ｖとした。この磁気記録媒体
１１を評価したところ、保磁力は５０００ｅ以上で角形
比は０．５程度となる。

第４図は基板印加電圧と磁気特性の関係図である。

基板印加電圧を高くすることより磁気特性が向」二する
ことが分かる。

第５図は本発明の他の磁気記録媒体を示す図、第５図（
八）は磁気記録媒体の断面図、第５図（［１）は記録用
磁気ドラムの断面図である。

図において、厚さが数十〜数百ミクロンの曲折自在なス
テンレス基板８上にプラス電圧を印加して、ＲＦスパッ
タ法を用いて垂直磁化膜、すなわち数百ミクロンの膜厚
を有するＣｏ／Ｐｄ人工格子膜１４が積層されて磁気記
録媒体１５が形成される。該磁気記録媒体１５はシート
状に形成され、記録用磁気トラム芯材１２上−巻き付け
られる。

上記Ｃｏ／Ｐｄ人工格子膜１４のＣＯ層厚（ｄ　ｃｏ）
は１人≦ａＣＯ≦１５人であり、ＰｄＪｇ厚（ａ＋、、
＋）は２人≦ｄＰｄ≦３０人である。

次に上記構成の磁気記録媒体１５を用いて磁気特性評価
を行った結果について説明する。この実験には、Ｃｏ／
Ｐｄ人工格子膜１４としてＣｏ層厚ｄｃｏが５人、Ｐｄ
層厚ｄＰｄが１５人となるように周期的に積層したもの
を用い、基板印加電圧は５０Ｖとした。この磁気記録媒
体１５を評価したところ、保磁力ば５０００ｅ以−Ｌで
角形比は０．５程度となる。また、基板印加電圧と磁気
特性の関係は第４図のＣｏ／Ｐｔ人工格子膜１０の場合
と同様であった。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

例えば、上記実施例においては、磁気記録媒体１１１５
の基板としてステンレス基板８を用いているが、非磁性
体であるポリイミド樹脂基板を利用してもよい。

また、磁気記録媒体１１．１５を応用した例として熱磁
気プリンタを示しているが、熱及び光の照射により記録
を行う他の記録装置にも応用することができる。また、
人工格子膜１０．１４の膜厚を数百ミクロンとし、ステ
ンレス基板８の板厚を数十〜数百ミクロンとしているが
、これらの厚さは用途に応じて変化させることができる
。

（発明の効果） 以上詳細に説明したように、本発明によれば、基板と、
該基板と間隔をおいて配設されるＣｏターゲット及びｐ
ｔ（又はＰｄ）ターゲットとを有しており、基板が周期
的に移動させられ、上記両ターゲッ１−に交互に対向さ
せられて人工格子膜が形成されるとともに、」二記両タ
ーゲシＩ・と基板間にはスパッタ用の高周波電源が接続
され、上記基板にはプラス電圧が印加されて、基板上に
層厚ｄＣｏが１人≦ａＣＯ≦１５人 のＣｏ層と、層厚ｄｐｔ（又は層厚ｄ□）が２人≦ｄｒ
ｔ（又はｄＰｄ）≦３０人 Ｏｐｔ層（又はＰｄ層）が交互に積層されＣｏ／Ｐｔ人
工格子膜（又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜）が形成される。

したがって、キューリ点が低くかつ残留磁束密度が高く
、ざらに保磁力が高い垂直磁化膜を得ることができる。

また、Ｃｏ／Ｐｔ人工格子膜又はＣｏ／Ｐｄ人工格子膜
の作成時において基板にプラスの電圧を印加するのみで
あるため、膜の構造は単純で作成も簡単であり、さらに
垂直記録を行う磁気記録法に用いることが可能となり高
い磁気記録密度を得ることができる。そして、例えば熱
磁気プリンタにこれを用いた場合、解像度を高くし消費
電力を低減することができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の磁気記録媒体を示す図、第１図（Δ）
は磁気記録媒体の断面図、第１図（Ｂ）は記録用磁気ド
ラムの断面図、第２図は本発明の磁気記録媒体の人工格
子膜の断面図、第３図は本発明の磁気記録媒体の製造装
置の概略図、第３図（Ａ）は同正面図、第３図（Ｂ）は
同平面図、第４図は基板印加電圧と磁気特性の関係図、
第５図は本発明の他の磁気記録媒体を示す図、第５図（
八）は磁気記録媒体の断面図、第５図（Ｂ）は記録用磁
気ドラｌ、の断面閲、第６図は従来の熱磁気プリンタの
印刷プロセス図である。 ８・・ステンレス基板、１０・・・Ｃｏ／ＰＬ人工格子
膜、１１１５・・・磁気記録媒体、１２・・・記録用磁
気ドラム芯材、］４・・・Ｃｏ／Ｐｄ人工格子膜、２１
・・・基板、２２・・・回転板、２３・・・基板印加用
電源、２４・・・Ｃｏターゲット、２５・・・ｐｔ　（
又はＰｄ）　ターゲット、２６．２７・・・高周波（Ｉ
ＩＦ）電源、２８・・・しきり板。 特許出願人　沖電気工業株式会社

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）（ａ）基板と、 （ｂ）該基板と間隔をおいて配設されるＣｏターゲット
   及びＰｔターゲットと、 （ｃ）基板を周期的に移動させ、上記両ターゲットに交
   互に対向させて基板上に人工格子膜を形成する手段と、 （ｄ）上記両ターゲットと基板間に接続されるスパッタ
   用の高周波電源と、 （ｅ）上記基板に接続され、プラス電圧を印加する電源
   を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
2. （２）上記請求項１に記載された製造装置によって作成
   されたＣｏ／Ｐｔ人工格子膜を有しており、該人工格子
   膜はＣｏ層厚ｄ＿Ｃ＿ｏが １Å≦ｄ＿Ｃ＿ｏ≦１５Å であり、Ｐｔ層厚ｄ＿Ｐ＿ｔが ２Å≦ｄ＿Ｐ＿ｔ≦３０Å である磁気記録媒体。
3. （３）（ａ）基板と、 （ｂ）該基板と間隔をおいて配設されるＣｏターゲット
   及びＰｄターゲットと、 （ｃ）上記基板を周期的に移動させ、上記両ターゲット
   に交互に対向させて人工格子膜を形成する手段と、 （ｄ）上記両ターゲットと基板間に接続されるスパッタ
   用の高周波電源と、 （ｅ）上記基板に接続され、プラス電圧を印加する電源
   を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
4. （４）上記請求項３に記載された製造装置によって作成
   されたＣｏ／Ｐｄ人工格子膜を有しており、該人工格子
   膜はＣｏ層厚ｄ＿Ｃ＿ｏが １Å≦ｄ＿Ｃ＿ｏ≦１５Å であり、Ｐｄ層厚ｄ＿Ｐ＿ｄが ２Å≦ｄ＿Ｐ＿ｄ≦３０Å である磁気記録媒体。