JPH0432051A

JPH0432051A - 熱磁気記録媒体の製造装置

Info

Publication number: JPH0432051A
Application number: JP13713590A
Authority: JP
Inventors: Kiminori Maeno; 仁典前野; Masanobu Kobayashi; 小林　政信; Haruki Yamane; 治起山根; Kayoko Oishi; 大石　佳代子
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1990-05-29
Filing date: 1990-05-29
Publication date: 1992-02-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、熱磁気プリンタにおいて磁気潜像を形成する
のに適した磁気記録媒体の製造装置に関するものである
。

（従来の技術）従来、熱磁気記録媒体は、例えば熱磁気プリンタに用い
られており、その場合熱磁気記録媒体に磁気潜像が形成
され、これを磁気的に現像して可視像を得るようにして
いる（「マグネトグラフィプリンタ」今村舜仁著、大野
信編集、ＣＭＣｒノンインパクトプリンティング」第１
５章Ｐ、１５９〜Ｐ。

１６８．１９８６参照）。

第２図は従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である
。

図において、記録用磁気ドラム１は矢印Ａ方向に回転す
る。該記録用磁気ドラム１面上には磁気潜像を形成する
ための熱磁気記録媒体であるＣｒ０ｇ薄膜等が設けられ
ている。

印刷プロセスにおいて、まず消磁手段２が磁気記録媒体
を一定方向に磁化する０次に、磁気記録手段３が所定の
磁気潜像を形成し、現象手段４が磁気潜像上にトナーを
付着させることにより、磁気潜像は可視像化される。こ
こで、トナーは磁気記録媒体面上の洩れ磁界による磁力
線と磁気記録媒体面とが交差する部分に付着し、その結
果、磁気潜像は可視像化される。

その後、転写手段５及び定着手段６は、可視像を用紙上
に転写、定着する。最後にクリーニング手段７は磁気記
録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プロセスを終了す
る。

ところで、上記磁気記録媒体上に磁気潜像を記録する方
法としてはサーマルヘッドを用いる方法やレーザビーム
光照射により加熱する方法がある。

また、磁気記録媒体の磁化方向は、主として記録媒体面
に沿う方向（面内記録法）と記録媒体の面に対し垂直で
ある方向（垂直記録法）とがあり、高解像度を必要とす
る場合には垂直記録法が用いられる。垂直記録用紙の磁
気記録媒体としては、希土類元素と鉄族元素との合金膜
、すなわちＲＥＴＭ合金膜及びＣｏ−Ｃｒ合金膜がある
。ＲＥ−７Ｍ合金膜は熱磁気記録法を用いた光磁気ディ
スクに、またＣｏ−Ｃｒ合金膜は磁気ヘッド記録法を用
いた磁気ディスクに多く用いられている。

また、ＰＬ−Ｃｏ人工格子やＰｄ−Ｃｏ人工格子等の薄
膜も垂直記録用の磁気記録媒体として使用される。

人工格子により磁気記録媒体を製造する場合、般にｌ’
１ＢＥ（分子ビームエピタキシ）や多元スパッタ装置が
使用される。

第３図は従来の多元スパッタ装置の概略図、第３図（Ａ
）は従来の多元スパッタ装置の正面図、第３図（Ｂ）は
従来の多元スパッタ装置の平面図である。

図において、１１は回転板１２の上に配設され、スパッ
タリングによって人工格子膜が形成される基板である。

上記回転板１２はアースに接続されている。

１３は上記基板１１に対向して配設されるターゲットで
あり、Ｃｏ部分１３ａとＰｔ　（又はＰｂ）部分１３ｂ
で構成される。各部分１３ａ、　１３ｂは径が１５０閣
の大きさであり、スパッタ用電源１４ａ、　１４ｂが接
続される。

また、各部分１３ａ、　１３ｂと基板１１間の距離は８
０閣にしである。

上記構成の多元スパッタ装置においては、回転板１２が
回転するのに伴い、ターゲット１３の二つの部分１３ａ
、１３ｂ上を基板１１が回転することになり、該基板１
１の上にＰｔ　（又はＰｂ）とＣｏが周期的に積層され
、人工格子が形成される。

第４図は人工格子膜の断面図である。

図に示すように、Ｐｔ　（又はＰｂ）とＣｏの層が交互
に積層され、人工格子膜９が形成される。

この場合、００部分１３ａに投入する電力、ｐｔ　（又
はＰｂ）部分１３ｂに投入する電力及び基板１１の回転
数（通過速度）によって、基板１１上に形成される膜の
積層周期及び各層の膜厚が決定される。

第５図は従来の他の多元スパッタ装置の概略図、第５図
（Ａ）は従来の他の多元スパッタ装置の正面図、第５図
（Ｉｔ）は従来の他の多元スパッタ装置の側面図である
。

図において、１５はターゲットでありＰｔ部分１５ａと
Ｃｏ部分１５ｂからなる。各部分１５ａ、　１５ｂはス
パッタ用電源１６ａ、　１６ｂに接続されている。また
、１７は上記ターゲット１５に対向して配設される基板
であり画部分１５ａ、　１５ｂ間を往復移動する。

（発明が解決しようとするＲＢ）しかしながら、上記構成の熱磁気記録媒体の製造装置に
おいて、ターゲット１３．１５の部分１３ａ、１３ｂ（
又は１５ａ、１５ｂ）ごとにスパッタ用電源１４ａ、１
４ｂ（又は１６ａ、　１６ｂ）が必要となる。

また、ターゲラ目３．工５が二つの部分で構成されるた
めにスパッタ用電源１４ａ、１４ｂ（又は１６ａ、１６
ｂ）のパワーコントロールや回転板１２の回転数の制御
が必要となり、装置が大型、かつ複雑になってしまう。

本発明は、上記従来の熱磁気記録媒体の製造装置の問題
点を解決して、装置が複雑、かつ大型になることがない
熱磁気記録媒体の製造装置を折倒することを目的とする
。

（課題を解決するための手段）そのために、本発明の熱磁気記録媒体の製造装置におい
ては、表面に人工格子の膜が形成される基板と、該基板
を周期的に移動させる回転板、往復板等の移動手段を有
している。

そして、上記基板に対向して間隔を置いてターゲットが
配設され、スパッタ用電源に接続される。

上記ターゲットは、二つに分割されたＣｏ部分とｐｔ又
はｐｂ部分を電気的に接触させて接合し、かつ共通のス
パッタ用電源に接続している。

（作用）本発明によれば、上記のように表面に人工格子の膜を形
成する基板と、該基板を周期的に移動させる移動手段を
有しているので、該移動手段を駆動することによって基
板上にスパッタリングした場合、複数の層からなる積層
構造を形成することができる。

また、上記基板に対向して間隔を置いてターゲットを配
設し、上記ターゲットを二つに分割された部分を電気的
に接触させて接合して形成し、かつ共通のスパッタ用電
源に接続しているので、該スパッタ用電源を制御してタ
ーゲットに電力を投入することによって、基板上に交互
に層を形成することができる。

（実施例）以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の熱磁気記録媒体の製造装置の概略図、
第１図（Ａ）は熱磁気記録媒体の製造装置の正面図、第
１図（Ｂ）は熱磁気記録媒体の製造装置の平面図である
。

図において、１１は回転板１２の上に配設されスパッタ
リングによって人工格子膜が形成される基板である。上
記回転板１２はアースに接続されている。

２１は上記基板１１に対向して配設されるターゲットで
あり、Ｃｏ部分２１ａとｐｔ　＜又はＰｂ）部分２１ｂ
が半円形状を有していて、両者が電気的に接触させられ
て接合されて円形になっている。ターゲット２１の径は
１５０■の大きさであり、Ｃｏ部分２１ａ　とＰ【（又
はＰｂ）部分２１ｂの共通のスパッタ用電源２２が接続
される。また、ターゲラ１−２１と基板１１間の距離は
８０ｍとされる。

上記構成の多元スパッタ装置においては、回転板１２が
回転するのに伴い、ターゲット２１の二つの部分２１ａ
、２１ｂ上を基板１１が回転することになり、該基板１
１の上に人工格子が形成される。

この場合、基Ｆｊ、１１に形成される膜の積層周期及び
各層の膜厚は、Ｃｏ部分２１ａの面積、Ｐｔ　（又はＰ
ｂ）部分２１ｂの面積及び基板１１の回転数（通過速度
）によって決定される。

したがって、スパッタ用電源２２が一つあればよく、ス
パッタ装置を小型化することができる。

次に、上記構成の熱磁気記録媒体の製造装置によって製
造した人工格子の特性について説明する。

ターゲット２１に接続されたスパッタ用電源２２に投入
される電力を５ｏｏｈ、Ａｒガス圧を５０＋＊Ｔｏｒｒ
　、基板１１の回転数を５ｒｐｍ、　ｐｔ部分２１ｂと
Ｃｏ部分２１ａの面積比を１：１としてＰｔ−Ｃｏ人工
格子膜を製造すると、膜はＰｔが１３人、ＣＯが５人で
周期的に積層し、膜の磁気特性は保持力が１．１ｋＯｅ
、キュリー温度が約２５０°Ｃ１残留磁束密度が１００
ＯＧ以上となる。

一方、従来の熱磁気記録媒体の製造装置で同様の膜を製
造するには、第３図に示すような多元スパッタ装置を使
用し、ｐｔ部分１３ｂへの投入電力を９００ｊｌ、Ｃｏ
部分１３ａへの投入電力を５００−１基板１１の回転数
を６ｒｐＩｌ、Ａｒガス圧を３　ｍＴｏｒｒとしなけれ
ばならない。

また、本発明の熱磁気記録媒体の製造装置において投入
電力を６００Ｌ　Ａｒガス圧を５０（至）Ｔｏｒｒ　、
基板１１の回転数を５ｒｐｍ、　Ｐｄ部分２１ｂとＣｏ
部分２１　（ａ）の面積比を１．２　：ｏ、ｓにしてＰ
ｄ−Ｃｏ人工格子膜を製造すると、膜はＰｄが１６人、
Ｃｏが４人で周期的に積層し、膜の磁気特性は保持力１
．０ｋＯｅ、キュリー温度が約３００°Ｃ残留磁束密度
が１００ＯＧ以上となる。

一方、従来の熱磁気記録媒体の製造装置で同様の膜を作
成するためには、多元スパッタ装置を使用し、Ｐｄ部分
１３ｂへの投入電力を１００ＯＷ　、Ｃｏ部分１３ａへ
の投入電力を４００Ｗ、基板１１の回転数を６ｒｐｍ、
Ａｒガス圧を３ｍＴｏｒｒにしなければならなし１゜な
お、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これら
を本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果）以上詳細に説明したように、本発明によれば、表面に人
工格子の膜が形成される基板と、該基板を周期的に移動
させる移動手段を有しており、上記基板に対向して間隔
を置いてターゲットを配設し、上記ターゲットを、二つ
に分割された部分を電気的に接触させて接合して形成し
、かつ共通のスパッタ用電源に接続しているので、該ス
パッタ用電源を制御してターゲットに電力を投入するこ
とによって、基板上に交互に人工格子の多層膜を形成す
ることができる。

したがって、多元スパッタ装置を使用する必要がなく、
しかも電源の切換え等の操作が不要となる。

その結果、熱磁気記録媒体の製造装置が小型化するだけ
でなく、プロセス数を少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の熱磁気記録媒体の製造装置の概略図、
第１図（Ａ）は熱磁気記録媒体の製造装置の正面図、第
１図（Ｂ）は熱磁気記録媒体の製造装置の平面図、第２
図は従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図、第３図は
従来の多元スパッタ装置の概略図、第３図（Ａ）は従来
の多元スバ・２夕装置の正面図、第３図（Ｂ）は従来の
多元スパッタ装置の平面図、第４図は人工格子膜の断面
図、第５図は従来の他の多元スパッタ装置の概略図、第
５図（Ａ）は従来の他の多元スパッタ装置の正面図、第
５図（Ｂ）は従来の他の多元スパッタ装置の側面図であ
る。１１・・・基板、１２・・・回転板、２１・・・ターゲ
ット、２１ａ・・・Ｃｏ部分、２１ｂ・・・Ｐｔ（Ｐｂ
）部分、２２・・・スパッタ用電源。特許出願人　沖電気工業株式会社代理人　弁理士　川　合　　誠（外１名）従身）熱磁気
プリンタっ卯希］ブ亡ヤズ図第２図第１図従牙がり示ズバソク麓宣、鷹睨第図久丁堀屑、Ｗｒ面図第図

Claims

【特許請求の範囲】（ａ）表面に人工格子の膜が形成される基板と、（ｂ）
該基板を周期的に移動させる手段と、（ｃ）上記基板に
対向して間隔を置いて配設され、スパッタ用電源に接続
されるターゲットを有しており、（ｄ）上記ターゲットは、二つに分割された部分を電気
的に接触させて接合し、かつ共通のスパッタ用電源に接
続されたことを特徴とする熱磁気記録媒体の製造装置。