JPH0580575A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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Publication number
JPH0580575A
JPH0580575A JP24303491A JP24303491A JPH0580575A JP H0580575 A JPH0580575 A JP H0580575A JP 24303491 A JP24303491 A JP 24303491A JP 24303491 A JP24303491 A JP 24303491A JP H0580575 A JPH0580575 A JP H0580575A
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JP
Japan
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film
recording medium
magnetic
thickness
magnetic recording
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Pending
Application number
JP24303491A
Other languages
English (en)
Inventor
Haruki Yamane
治起 山根
Kiminori Maeno
仁典 前野
Kayoko Sato
佳代子 佐藤
Masanobu Kobayashi
政信 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】残留磁束密度が高く、保磁力が大きく、しかも
低キュリー温度を有する材料で作られ、高密度記録に適
した垂直記録用の磁気記録媒体を提供する。 【構成】ステンレス基板8の上に多層膜9を形成してお
り、該多層膜9は垂直磁化膜として形成されるCo層と
Au層を交互に積層したCo/Au人工格子膜とAu薄
膜を相互に積層して形成される。上記Co/Au人工格
子膜は、Co層厚dCoを3Å≦dCo≦30Åとし、Au
層厚dAuを6Å≦dAu≦60Åの範囲とする。また、上
記Co/Au人工格子膜の膜厚T1 を10Å≦T1 ≦1
000Åとし、Au薄膜の膜厚T2 を10Å≦T2 ≦1
000Åとしている。このようにすることによって、保
磁力及び残留磁束密度を向上させることができるととも
に、キュリー温度を低下させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気潜像を形成するの
に適した磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、磁気記録媒体は、例えば熱磁気プ
リンティングに用いられており、その場合、記録用磁気
ドラムに磁気潜像が形成され、これを磁気的に現像して
可視像を得るようにしている(「マグネトグラフィプリ
ンタ」今村舜仁著、大野信編集、CMC「ノンインパク
トプリンティング」第15章P.159〜P.168、
1986参照)。
【0003】上記熱磁気プリンティングによって印刷を
行う従来の熱磁気プリンタについて説明する。図3は従
来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図である。図におい
て、記録用磁気ドラム1は矢印A方向に回転する。該記
録用磁気ドラム1面上には磁気潜像を形成するための磁
気記録媒体としてCrO2 薄膜などが形成されている。
【0004】印刷プロセスにおいて、まず消磁手段2が
磁気記録媒体を一定方向に磁化する。次に、磁気記録手
段3が所定の磁気潜像を形成し、現像手段4が磁気潜像
上にトナーを付着させることによって、磁気潜像は可視
像化される。ここで、トナーは磁気記録媒体面上の漏れ
磁界による磁力線と磁気記録媒体面とが交差する部分に
付着し、その結果、磁気潜像は可視像化される。
【0005】その後、転写手段5及び定着手段6は、可
視像を用紙上に転写し、定着する。最後にクリーニング
手段7は磁気記録媒体上の残留トナーを除去し、印刷プ
ロセスを終了する。ところで、上記磁気記録媒体上に磁
気潜像を形成する方法としてはサーマルヘッドを用いる
方法やレーザビーム光照射によって加熱する方法があ
る。また、磁気記録媒体の磁化方向は、主として磁気記
録媒体の表面に沿う方向(面内記録の場合)と磁気記録
媒体の表面に対し垂直の方向(垂直記録の場合)とがあ
り、高解像度を必要とする場合には垂直記録が用いられ
る。垂直記録に用いられる磁気記録媒体は、希土類元素
と鉄族元素との合金膜、すなわちRE−TM合金膜又は
Co−Cr合金膜で形成される。上記RE−TM合金膜
は熱すなわち光を照射することによって磁気潜像を形成
するのに適しており、熱磁気記録法を用いた光磁気ディ
スクに用いられ、またCo−Cr合金膜は信号磁界を与
えることによって磁気潜像を形成するのに適しており、
磁気ヘッド記録法を用いた磁気ディスクに多く用いられ
ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の磁気記録媒体において、Co−Cr合金膜で形成し
た場合はキュリー温度が高いため熱磁気記録が困難とな
り、RE−TM合金膜で形成した場合は残留磁束密度が
低いためトナーの付着力が不十分となる。上述したよう
に、磁気記録媒体の表面に対し垂直の方向に磁化させて
形成される垂直記録用の垂直磁化膜を用いると、原理的
には記録の安定性が高く高解像度を得ることができ、低
消費電力で作動させることができるが、垂直磁化膜を安
価な材料で形成することができない。
【0007】本発明は、上記従来の磁気記録媒体の問題
点を解決して、残留磁束密度が高く、保磁力が大きく、
しかも低キュリー温度を有する材料で作られ、高密度記
録に適した垂直記録用の磁気記録媒体を提供することを
目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】そのために、本発明の磁
気記録媒体においては、基板の上に多層膜を形成してお
り、該多層膜は垂直磁化膜として形成される人工格子膜
と非磁性薄膜を相互に積層して形成される。そして、上
記人工格子膜は、Co層とAu層を交互に積層したCo
/Au人工格子膜で構成される。
【0009】上記人工格子膜は、Co層厚dCoを 3Å≦dCo≦30Å とし、Au層厚dAuを 6Å≦dAu≦60Å の範囲とする。
【0010】また、上記人工格子膜の膜厚T1 を 10Å≦T1 ≦1000Å とし、非磁性薄膜の膜厚T2 を 10Å≦T2 ≦1000Å としている。
【0011】
【作用】本発明によれば、上記のように基板の上に多層
膜を形成しており、該多層膜は垂直磁化膜として形成さ
れる人工格子膜と非磁性薄膜を相互に積層して形成され
る。そして、上記人工格子膜は、Co層とAu層を交互
に積層したCo/Au人工格子膜で構成される。
【0012】この場合、高周波スパッタ装置においてタ
ーゲットにCoとAuを使用する多元式の高周波スパッ
タ法によって人工格子膜を形成する。また、非磁性薄膜
はターゲットにAuを使用して同じ高周波スパッタ装置
で形成することができるが、他の非磁性材料を使用する
ことも可能である。上記人工格子膜は、Co層厚dCoを 3Å≦dCo≦30Å とし、Au層厚dAuを 6Å≦dAu≦60Å の範囲とする。
【0013】また、上記人工格子膜の膜厚T1 を 10Å≦T1 ≦1000Å とし、非磁性薄膜の膜厚T2 を 10Å≦T2 ≦1000Å としている。
【0014】このようにすることによって、保磁力及び
残留磁束密度を向上させることができるとともに、キュ
リー温度を低下させることができる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図1は本発明の磁気記録媒体を
示す図、図2は多層膜の断面図である。図1の(A)は
磁気記録媒体の断面を、(B)は記録用磁気ドラムの断
面を示している。
【0016】図において、板厚が数十〜数百μmの曲折
自在なステンレス基板8上に、高周波(RF)スパッタ
法を用いて多重構造の多層膜9を被覆することによって
磁気記録媒体10が形成される。上記多層膜9は、図2
に示すように垂直磁化膜、すなわち0.1〜数十μmの
膜厚を有する極薄状態のCo/Au人工格子膜9aと、
非磁性薄膜であるAu薄膜9bとを交互に積層して構成
される。そして、上記磁気記録媒体10はシート状に形
成され、記録用磁気ドラム芯材11上に巻き付けられ
る。
【0017】図4は本発明の磁気記録媒体を製造するた
めの高周波スパッタ装置の概略図である。図の(A)は
正面図、(B)は平面図を示している。図において、8
は回転板22上に配設され、多元式の高周波スパッタ法
によって多層膜9が形成されるステンレス基板である。
24は上記ステンレス基板8に対向して配設されるCo
ターゲットであり、25は同様にステンレス基板8に対
向して配設されるAuターゲットである。上記Coター
ゲット24及びAuターゲット25と上記回転板22と
の間にスパッタ用の高周波電源26, 27が接続され
る。また、Coターゲット24とAuターゲット25間
にはしきり板28が配設される。
【0018】上記構成の電圧印加型で多元式の高周波ス
パッタ装置においては、回転板22が高速回転させら
れ、Coターゲット24とAuターゲット25上をステ
ンレス基板8が通過すると、該ステンレス基板8上にC
o/Au人工格子膜9aが形成される。そして、Auタ
ーゲット25のみに高周波電圧を印加することによっ
て、Au薄膜9bを形成することができる。
【0019】ここで、スパッタ条件は、 バックグラウンド真空度 :PBG=1.0×10-6To
rr以下 アルゴンガス圧 :PAr=3.0×10-3To
rr 投入電力 :高周波300〜700W ステンレス基板8の回転数:r=7rpm である。
【0020】図2において、Co/Au人工格子膜9a
を構成するCo層厚dCoは 3Å≦dCo≦30Å であり、Au層厚dAuは 6Å≦dAu≦60Å である。
【0021】また、Co/Au人工格子膜9aの膜厚T
1 は 10Å≦T1 ≦1000Å であり、Au薄膜9bの膜厚T2 は 10Å≦T2 ≦1000Å である。
【0022】次に、上記構成の磁気記録媒体10を用い
て熱磁気記録を行った結果について説明する。この実験
においては、Co層厚dCoが15Å、Au層厚dAuが3
0ÅとなるようにCo層とAu層を交互に積層してCo
/Au人工格子膜9a全体の膜厚T1 を500Åとして
垂直磁化膜を形成した。また、非磁性薄膜としてAu薄
膜9bの膜厚T2 を100Åとし、多層膜9全体の膜厚
を3.0μmとした。
【0023】図5は本発明の磁気記録媒体の磁化曲線を
示す図である。図に示すように、磁気記録媒体10を評
価したところ、保磁力Hc は1300Oe程度、残留磁
束密度Mr は2500Gauss程度となり、磁性体で
あるトナーの吸着に必要とされる十分な磁気力を発生す
る。また、キュリー温度は200°C程度となる。
【0024】図6はCo/Au人工格子膜の膜厚と残留
磁束密度及び保磁力の関係図である。図に示すように、
Co/Au人工格子膜9aの膜厚T1 が非常に小さい場
合には角形比は1であるために残留磁束密度Mr は高い
が、膜厚T1 が1000Å程度以上では角形比が1より
小さくなり残留磁束密度Mr は低下してしまう。さら
に、保磁力Hc も膜厚T1 が増加するとともに小さくな
ってしまう。また、Co/Au人工格子膜9aのCo層
厚dCoが3Å未満又は30Åより大きい場合は、膜面内
に容易軸を持つ磁化膜が形成されてしまい垂直磁気記録
はできなくなる。
【0025】次に、Au薄膜9bの膜厚T2 を変化させ
た場合の磁気特性について説明する。図7は本発明の磁
気記録媒体における他の多層膜の磁化曲線を示す図、図
8は本発明の磁気記録媒体における更に他の多層膜の磁
化曲線を示す図である。膜厚T1 が10ÅのCo/Au
人工格子膜9aと膜厚T2 が10ÅのAu薄膜9bとの
多層膜9の場合図7のような、膜厚T1 が10ÅのCo
/Au人工格子膜9aと膜厚T2 が8.5ÅのAu薄膜
9bとの多層膜9の場合図8のような磁化曲線が得られ
る。図に示すように、膜厚T1 が10Åの場合には角形
比は1であるが、膜厚T2 が8.5Åの場合には各層の
Co/Au人工格子膜9a間に交換相互作用が働き、角
形比は1より小さくなり残留磁束密度Mr が低下してい
るのが分かる。
【0026】また、他の実施例として、非磁性薄膜にP
tやPdを使用して多層膜9を作成して実験を行ったと
ころ上記実施例と同様の結果が得られた。さらに、非磁
性薄膜としてAu、Pd、Ptのほかに、例えばAl、
Si、Ti、Mo、Ag、Ta、Wのような材料を使用
することもできる。なお、本発明は上記実施例に限定さ
れるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形す
ることが可能であり、これらを本発明の範囲から排除す
るものではない。
【0027】例えば、磁気記録媒体10を応用した例と
して熱磁気プリンタを示しているが、熱及び光を照射す
ることによって記録を行う他の記録装置にも応用するこ
とができる。また、垂直磁化膜の全体の膜厚を0.1〜
数十μmとし、ステンレス基板8の板厚を数十〜数百μ
mとしているが、これらの厚さは用途に応じて変化させ
ることができる。
【0028】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、基板の上に多層膜を形成しており、該多層膜は垂
直磁化膜として形成される人工格子膜と非磁性薄膜を相
互に積層して形成される。そして、上記人工格子膜は、
Co層とAu層を交互に積層したCo/Au人工格子膜
で構成される。
【0029】したがって、磁気記録媒体はキュリー温度
が低く、残留磁束密度が高く、かつ、保磁力が大きくな
り、垂直記録を行う場合の磁気記録密度を高くすること
ができる。そして、例えば熱磁気プリンタにこれを用い
た場合、高解像度を得ることができ、消費電力を低減す
ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気記録媒体を示す図である。
【図2】多層膜の断面図である。
【図3】従来の熱磁気プリンタの印刷プロセス図であ
る。
【図4】本発明の磁気記録媒体を製造するための高周波
スパッタ装置の概略図である。
【図5】本発明の磁気記録媒体の磁化曲線を示す図であ
る。
【図6】Co/Au人工格子膜の膜厚と残留磁束密度及
び保磁力の関係図である。
【図7】本発明の磁気記録媒体における他の多層膜の磁
化曲線を示す図である。
【図8】本発明の磁気記録媒体における更に他の多層膜
の磁化曲線を示す図である。
【符号の説明】
8 ステンレス基板 9 多層膜 9a Co/Au人工格子膜 9b Au薄膜 10 磁気記録媒体 11 記録用磁気ドラム芯材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 政信 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a)基板と、 (b)該基板上に形成される多層膜とから成り、 (c)該多層膜は、垂直磁化膜として形成される人工格
    子膜と非磁性薄膜を相互に積層して形成され、 (d)上記人工格子膜が、Co層とAu層を交互に積層
    したCo/Au人工格子膜であることを特徴とする磁気
    記録媒体。
  2. 【請求項2】 上記人工格子膜は、Co層厚dCoが 3Å≦dCo≦30Å であり、Au層厚dAuが 6Å≦dAu≦60Å である請求項1記載の磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】 上記人工格子膜の膜厚T1 が 10Å≦T1 ≦1000Å であり、非磁性薄膜の膜厚T2 が 10Å≦T2 ≦1000Å である請求項1又は2記載の磁気記録媒体。
JP24303491A 1991-09-24 1991-09-24 磁気記録媒体 Pending JPH0580575A (ja)

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JP24303491A JPH0580575A (ja) 1991-09-24 1991-09-24 磁気記録媒体

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011040535A1 (ja) 2009-09-30 2011-04-07 東レ株式会社 C型肝炎ウイルスワクチン組成物

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0567322A (ja) * 1991-03-04 1993-03-19 Toshiba Corp 垂直磁化膜及び磁気記録媒体

Patent Citations (1)

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Date Code Title Description
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19980303