JPH0580075A - 加速度センサ - Google Patents

加速度センサ

Info

Publication number
JPH0580075A
JPH0580075A JP3243299A JP24329991A JPH0580075A JP H0580075 A JPH0580075 A JP H0580075A JP 3243299 A JP3243299 A JP 3243299A JP 24329991 A JP24329991 A JP 24329991A JP H0580075 A JPH0580075 A JP H0580075A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
output
acceleration sensor
piezoelectric element
terminal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3243299A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2900658B2 (ja
Inventor
Muneharu Yamashita
宗治 山下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP24329991A priority Critical patent/JP2900658B2/ja
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to EP94120004A priority patent/EP0646798B1/en
Priority to DE69232272T priority patent/DE69232272T2/de
Priority to SG1996001191A priority patent/SG45196A1/en
Priority to DE69232273T priority patent/DE69232273T2/de
Priority to EP94120005A priority patent/EP0646799B1/en
Priority to DE69211269T priority patent/DE69211269T2/de
Priority to EP92116187A priority patent/EP0534366B1/en
Priority to US07/950,478 priority patent/US5438859A/en
Publication of JPH0580075A publication Critical patent/JPH0580075A/ja
Priority to US08/392,084 priority patent/US5517845A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2900658B2 publication Critical patent/JP2900658B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Air Bags (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 故障診断機能が付加された加速度センサを提
供する。 【構成】 本発明にかかる加速度センサは、加速度Gに
対応した信号を出力する圧電体素子1と、出力された信
号のインピーダンス変換手段2と、不必要な信号を除去
するフィルタ手段3と、必要な信号を増幅する増幅手段
4とを備えるとともに、外部から入力されるタイミング
信号の周期に同期した交流信号を出力する交流信号出力
手段10を具備しており、該交流信号出力手段10と前
記圧電体素子1との間には、コンデンサ11が介装され
ていることを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、主として車載用エアバ
ック装置に組み込んで用いられる加速度センサにかか
り、詳しくは、これに故障診断機能を付加する技術に関
する。
【0002】
【従来の技術】従来から、この種の加速度センサとして
は、図5の原理ブロック図で示すように、加わった加速
度Gの方向及び大きさに対応した信号を出力する圧電体
素子1と、これから出力された信号のインピーダンス変
換手段2と、不必要な信号を除去するフィルタ手段3
と、必要な信号を増幅する増幅手段4とを備えたものが
ある。そして、この加速度センサから出力された電圧信
号は、マイクロ・コンピュータからなる制御手段5に取
り込まれるようになっており、この制御手段5は取り込
んだ電圧信号に基づいて車載用エアバック装置(図示し
ていない)に必要な動作を行わせるようになっている。
なお、ここで、圧電体素子1としては、焦電電圧が少な
くて済むシリーズバイモルフ構造のものが用いられてお
り、図示していないが、この圧電体素子1は支持台によ
って片持梁状に支持されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、車載用エア
バック装置に組み込んで用いられる加速度センサは非常
に高い信頼性が求められるものであり、その故障は速や
かに発見される必要がある。ところが、従来、加速度セ
ンサそのものには故障診断機能が付加されておらず、別
途設けられた外部故障診断装置の動作によって加速度セ
ンサの故障診断を行うのが一般的となっていた。
【0004】本発明は、このような現状に鑑みて創案さ
れたものであって、故障診断機能が付加された加速度セ
ンサを提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる加速度セ
ンサは、このような目的を達成するために、加速度に対
応した信号を出力する圧電体素子と、出力された信号の
インピーダンス変換手段と、不必要な信号を除去するフ
ィルタ手段と、必要な信号を増幅する増幅手段とを備え
るとともに、外部から入力されるタイミング信号の周期
に同期した交流信号を出力する交流信号出力手段を具備
しており、該交流信号出力手段と前記圧電体素子との間
にはコンデンサが介装されていることを特徴とするもの
である。
【0006】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0007】図1は本実施例にかかる加速度センサの構
成を示す原理ブロック図、図2は電気回路図であり、図
3及び図4は加速度センサの実体構成を簡略化して示す
一部破断平面図及び側断面図である。なお、これらの図
において、図5と互いに同一となる部品、部分には同一
符号を付している。
【0008】図1及び図2で示すように、本実施例にか
かる加速度センサは、加速度Gに対応した信号を出力す
る圧電体素子1と、出力された信号のインピーダンス変
換手段2と、不必要な信号を除去するフィルタ手段3
と、必要な信号を増幅する増幅手段4とを備えるととも
に、外部から入力されるタイミング信号の周期に同期し
た交流信号を出力する交流信号出力手段10を具備して
おり、この交流信号出力手段10と圧電体素子1との間
には、コンデンサ11が直列接続状態で介装されてい
る。そして、この加速度センサから出力された電圧信号
は、マイクロ・コンピュータからなる測定・演算手段1
7及び制御手段5に取り込まれるようになっている。
【0009】さらに、この加速度センサを構成する圧電
体素子1はシリーズバイモルフ構造とされたものであ
り、図3及び図4で示すように、この圧電体素子1は支
持台12上の所定位置に片持梁状として取り付けられて
いる。また、インピーダンス変換手段2、フィルタ手段
3、増幅手段4及び交流信号出力手段10、コンデンサ
11のそれぞれはハイブリッドIC13内に組み込まれ
ており、このハイブリッドIC13は支持台12上に接
着剤(図示していない)を用いて固定されている。な
お、圧電体素子1と、ハイブリッドIC13に設けられ
た各手段の電極と、支持台12を貫通する外部接続端子
14の内端部とは、リード線15を介してそれぞれ接続
されている。さらに、この支持台12上に配設された各
種部品はキャップ16によって気密状に封止されてお
り、このキャップ16内には酸化防止用の不活性ガス
(窒素ガス)が封入されている。
【0010】つぎに、加速度センサにおける故障診断動
作を図1に基づいて説明する。
【0011】この加速度センサの故障診断は車載用エア
バック装置が搭載された自動車の運行直前時などに行わ
れるものであり、例えば、自動車のエンジンが始動した
際には、制御手段5から加速度センサに対する故障診断
動作の指示が出される。
【0012】故障診断動作が指示されると、まず、フィ
ルタ手段3の通過帯域内にある周波数f1とされたタイ
ミング信号が、交流信号出力手段10に接続された入力
端子Aに向かって出力される。そして、この入力端子A
を通じてタイミング信号が入力した交流信号出力手段1
0からはタイミング信号の周期に同期した交流信号が出
力されることになり、この交流信号はコンデンサ11を
介して圧電体素子1に加わることになる。ここで、圧電
体素子1はある容量値を有しているから、その容量値を
1とし、コンデンサ11の容量値をC2、交流信号出力
手段10から出力される交流信号の電圧をV1とする
と、インピーダンス変換手段2に加わる電圧V2は、 V2=V1・C2/(C1+C2)…… で表されることになる。
【0013】そして、この電圧信号はインピーダンス変
換されてフィルタ手段3を通過し、増幅手段4によって
増幅されたうえ、この増幅手段4に接続された出力端子
Bから電圧信号V3として出力される。なお、このと
き、交流信号出力手段10は、周波数f1のタイミング
信号が入力されることによって出力端子Bから一定値の
電圧信号V3が出力されることになるよう予め調整され
ている。さらに、この出力端子Bから出力された電圧信
号V3は、マイクロ・コンピュータに組み込まれた測定
・演算手段17に取り込まれる。
【0014】出力端子Bから電圧信号V3が出力される
と、引き続き、フィルタ手段3の通過帯域外にある周波
数f2のタイミング信号が入力端子Aを通じて交流信号
出力手段10に入力されて上記と同様の動作が繰り返し
て行われたのち、出力端子Bからはフィルタ手段3で減
衰され、かつ、増幅手段4によって増幅された電圧信号
4が出力される。そして、この電圧信号V4も、測定・
演算手段17に取り込まれる。
【0015】さらに、この測定・演算手段17において
は、周波数f1のタイミング信号に対する電圧信号V3
び周波数f2のタイミング信号に対する電圧信号V4それ
ぞれの変動を測定して演算することが行われることによ
り、加速度センサの故障診断が行われる。そして、この
加速度センサにおいては、その構成要素である圧電体素
子1、ハイブリッドIC13、外部接続端子14及びリ
ード線15がシリーズに接続されているから、いずれの
構成要素に異常が生じた場合であっても、電圧信号
3,V4のうちのいずれかが変動することになり、即座
に故障が発見されることになる。
【0016】ところで、一般に、圧電体素子1そのもの
に生じた割れの発見は難しいとされている。しかしなが
ら、本実施例にかかる加速度センサにおいては、その圧
電体素子1に割れが生じた場合には容量値C1が変化す
ることになり、上記式によって明らかなように、イン
ピーダンス変換手段2に加わる電圧V2が変化すること
になるから、その結果として電圧信号V3,V4が変動す
ることになり、圧電体素子1の割れを確実に発見できる
という利点がある。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる加
速度センサによれば、外部から入力されるタイミング信
号の周期に同期した交流信号を出力する交流信号出力手
段及びこれと加速度に対応した信号を出力する圧電体素
子との間に介装されたコンデンサを設けることによって
加速度センサの故障診断を行うことができ、従来例のよ
うな外部故障診断装置を設ける必要がなくなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例にかかる加速度センサの構成を示す原
理ブロック図である。
【図2】本実施例にかかる加速度センサの電気回路図で
ある。
【図3】本実施例にかかる加速度センサの実体構成を簡
略化して示す一部破断平面図である。
【図4】本実施例にかかる加速度センサの実体構成を簡
略化して示す側断面図である。
【図5】従来例にかかる加速度センサの構成を示す原理
ブロック図である。
【符号の説明】
1 圧電体素子 2 インピーダンス変換手段 3 フィルタ手段 4 増幅手段 10 交流信号出力手段 11 コンデンサ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加速度(G)に対応した信号を出力する
    圧電体素子(1)と、出力された信号のインピーダンス
    変換手段(2)と、不必要な信号を除去するフィルタ手
    段(3)と、必要な信号を増幅する増幅手段(4)とを
    備えるとともに、外部から入力されるタイミング信号の
    周期に同期した交流信号を出力する交流信号出力手段
    (10)を具備しており、 該交流信号出力手段(10)と前記圧電体素子(1)と
    の間には、コンデンサ(11)が介装されていることを
    特徴とする加速度センサ。
JP24329991A 1991-09-24 1991-09-24 加速度センサ Expired - Lifetime JP2900658B2 (ja)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24329991A JP2900658B2 (ja) 1991-09-24 1991-09-24 加速度センサ
EP92116187A EP0534366B1 (en) 1991-09-24 1992-09-22 Acceleration sensor
SG1996001191A SG45196A1 (en) 1991-09-24 1992-09-22 Acceleration sensor
DE69232273T DE69232273T2 (de) 1991-09-24 1992-09-22 Beschleunigungsmessaufnehmer
EP94120005A EP0646799B1 (en) 1991-09-24 1992-09-22 Acceleration sensor
DE69211269T DE69211269T2 (de) 1991-09-24 1992-09-22 Beschleunigungsmessaufnehmer
EP94120004A EP0646798B1 (en) 1991-09-24 1992-09-22 Acceleration sensor
DE69232272T DE69232272T2 (de) 1991-09-24 1992-09-22 Beschleunigungsmessaufnehmer
US07/950,478 US5438859A (en) 1991-09-24 1992-09-24 Acceleration sensor having fault diagnosing device
US08/392,084 US5517845A (en) 1991-09-24 1995-02-22 Acceleration sensor having fault diagnosing device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24329991A JP2900658B2 (ja) 1991-09-24 1991-09-24 加速度センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0580075A true JPH0580075A (ja) 1993-03-30
JP2900658B2 JP2900658B2 (ja) 1999-06-02

Family

ID=17101773

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24329991A Expired - Lifetime JP2900658B2 (ja) 1991-09-24 1991-09-24 加速度センサ

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2900658B2 (ja)
SG (1) SG45196A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005526228A (ja) * 2001-08-27 2005-09-02 ローズマウント インコーポレイテッド 圧電センサの診断
US7168321B2 (en) 2005-04-26 2007-01-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Vibration-type piezoelectric acceleration sensor element and vibration-type piezoelectric acceleration sensor therewith
US7587941B2 (en) 2004-03-02 2009-09-15 Panasonic Corporation Vibration piezoelectric acceleration sensor
JP2022068766A (ja) * 2020-10-22 2022-05-10 横河電機株式会社 診断装置及び診断方法、並びにフィールド機器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005526228A (ja) * 2001-08-27 2005-09-02 ローズマウント インコーポレイテッド 圧電センサの診断
US7587941B2 (en) 2004-03-02 2009-09-15 Panasonic Corporation Vibration piezoelectric acceleration sensor
US7168321B2 (en) 2005-04-26 2007-01-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Vibration-type piezoelectric acceleration sensor element and vibration-type piezoelectric acceleration sensor therewith
JP2022068766A (ja) * 2020-10-22 2022-05-10 横河電機株式会社 診断装置及び診断方法、並びにフィールド機器

Also Published As

Publication number Publication date
SG45196A1 (en) 1998-01-16
JP2900658B2 (ja) 1999-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0534366B1 (en) Acceleration sensor
EP0525549A2 (en) Acceleration sensor with self-test, and circuit therefor
JP3274034B2 (ja) 半導体加速度検出装置
JPH0580075A (ja) 加速度センサ
JPH09162661A (ja) 増幅回路
JP2833365B2 (ja) 加速度センサ
JPH08320356A (ja) 部分放電検出装置
JPH0293370A (ja) 加速度センサ
JP3750679B2 (ja) 外力検知センサ装置
JPH0194258A (ja) 診断装置
JPH05119055A (ja) 振動センサ
JP3139282B2 (ja) 加速度センサ
JP3097464B2 (ja) 加速度センサ
JPS6276472A (ja) ガス絶縁電気機器の異常検出装置
JPH05232134A (ja) 加速度センサ及びその出力ゲイン調整方法
JPS5967433A (ja) 温度圧力検出装置
US20230194564A1 (en) Inertial detection circuit, inertial sensor, and inertial detection method
JP2705426B2 (ja) 加速度センサ
JPS63255664A (ja) 半導体センサ増幅回路
JPH10123171A (ja) 三軸加速度センサの診断方法及び三軸加速度センサの自己診断装置
JPH085690A (ja) 絶縁体中の空間電荷測定方法
JPH0280967A (ja) 加速度センサ
SU781925A1 (ru) Устройство дл записи информации
JP2002228451A (ja) 振動ジャイロおよび振動ジャイロの自己診断方法
JPH05256868A (ja) 加速度センサ

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090319

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090319

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100319

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110319

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110319

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319

Year of fee payment: 13

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319

Year of fee payment: 13