JPS638565A - 半導体加速度検出装置 - Google Patents
半導体加速度検出装置Info
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- JPS638565A JPS638565A JP61151990A JP15199086A JPS638565A JP S638565 A JPS638565 A JP S638565A JP 61151990 A JP61151990 A JP 61151990A JP 15199086 A JP15199086 A JP 15199086A JP S638565 A JPS638565 A JP S638565A
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- acceleration detection
- substrate
- detection signal
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体加速度検出装置に係り、特にその加
速度検出信号発生部とトランジスタ回路部との混成集積
回路による一体化に関するものである。
速度検出信号発生部とトランジスタ回路部との混成集積
回路による一体化に関するものである。
Ｍ２図は従来の加速度検出装置を示す口ｒ面図であり、
図において、（１）はカロ速度を検出するカンチレバー
ビーム、（２）はカンチレバービーム（１１ＶＣ７ＪＯ
速度を検出できるように取付けるシリコン台座、（３）
はカンチレバービーム（１）とシリコン台座（２）ヲ収
める容器であシ、シリコン台座（２）と接合されている
。
図において、（１）はカロ速度を検出するカンチレバー
ビーム、（２）はカンチレバービーム（１１ＶＣ７ＪＯ
速度を検出できるように取付けるシリコン台座、（３）
はカンチレバービーム（１）とシリコン台座（２）ヲ収
める容器であシ、シリコン台座（２）と接合されている
。
（４）は一端がカンチレバービーム（１）の端子に接続
されるワイヤーで、外部と出力信号や基準電圧を授受し
ている。（５）はカンチレバービーム（１）の加速度検
出部であり抵抗が拡散されている。
されるワイヤーで、外部と出力信号や基準電圧を授受し
ている。（５）はカンチレバービーム（１）の加速度検
出部であり抵抗が拡散されている。
次に動作について説明する。カンチレバービーム（１）
に季直に加速度が加わると、カンチレバービーム（１）
は一端をシリコン台座に固定されているため、他の一方
に応力が加わる○これによりカンチレバービーム（１）
上の加速度検出部（５）で信号が発生される。信８は外
部増幅回路に送られ、そこで増幅される。
に季直に加速度が加わると、カンチレバービーム（１）
は一端をシリコン台座に固定されているため、他の一方
に応力が加わる○これによりカンチレバービーム（１）
上の加速度検出部（５）で信号が発生される。信８は外
部増幅回路に送られ、そこで増幅される。
従来の加速度検出装置ｆは以上のように構成されている
のでカンチレバービーム（１）の加速度検出部（５）に
より検出される信号たけでは出力は十分に得られず、増
幅回路を別に必要としている。すなわち、加速度検出信
号発生部と信号増幅部との２種類が必要とな夛、取扱い
が困難であシ、また組立工程も２種類を別々に流すため
、時間がかかるなどの問題点があったｅ この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、加速度検出信号発生部と他のトランジスタ回
路部とを一体に取扱えるとともに、組立作業工程を削減
できる半導体加速度検出装置を得ること全目的としてい
る。
のでカンチレバービーム（１）の加速度検出部（５）に
より検出される信号たけでは出力は十分に得られず、増
幅回路を別に必要としている。すなわち、加速度検出信
号発生部と信号増幅部との２種類が必要とな夛、取扱い
が困難であシ、また組立工程も２種類を別々に流すため
、時間がかかるなどの問題点があったｅ この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、加速度検出信号発生部と他のトランジスタ回
路部とを一体に取扱えるとともに、組立作業工程を削減
できる半導体加速度検出装置を得ること全目的としてい
る。
この発明に係る半導体加速度検出装置は、回路バター７
を備えた厚膜抵抗基板上に加速度検出信号発生部と他の
トランジスタ回路部とを一体化したものである。
を備えた厚膜抵抗基板上に加速度検出信号発生部と他の
トランジスタ回路部とを一体化したものである。
この自明においては、加速度検出信８箔生部と他のトラ
ンジスタ回路とを一体化したことにより、取扱いが良く
なるとともに、組立作業工程も削減される。
ンジスタ回路とを一体化したことにより、取扱いが良く
なるとともに、組立作業工程も削減される。
５ｇ１図はこの発明の一実施例を示す断面図であシ、第
２図と同一符号は同−又は相当部分を示す０（６）はア
ルミニウム（アルミと略称）台で、ワイヤー（４） ｔ
”介してカンチレバービーム（１）の加速度検出部（５
）から発生した信号や基準電圧を授受している。
２図と同一符号は同−又は相当部分を示す０（６）はア
ルミニウム（アルミと略称）台で、ワイヤー（４） ｔ
”介してカンチレバービーム（１）の加速度検出部（５
）から発生した信号や基準電圧を授受している。
（７） Ｆｉ演算増幅器（オペアンプと略称）で、加速
度検出Ｍ９ｔ−増幅、補償している。（８）はオペアン
プ（７）を保護するゲルであり、（９）はゲル（８）が
拡がるのを防止するリング状の容器、αＱは回路パター
ンを備え九アルミナ回路基板で、アルミ台（６）やオペ
アンプ（７）やシリコン台座（２）等が接続されている
。
度検出Ｍ９ｔ−増幅、補償している。（８）はオペアン
プ（７）を保護するゲルであり、（９）はゲル（８）が
拡がるのを防止するリング状の容器、αＱは回路パター
ンを備え九アルミナ回路基板で、アルミ台（６）やオペ
アンプ（７）やシリコン台座（２）等が接続されている
。
この実施例の動作自体は従来装置と同様である。
以上のように、との発明によれは、Ｉ！２回路パターン
を備えた厚膜抵抗基板上に加速度検出信号発生部と池の
トランジスタ回路部を一体化したことにより、取扱いが
良くなるとともに、組立作業工程において時間が著しく
短縮できる。
を備えた厚膜抵抗基板上に加速度検出信号発生部と池の
トランジスタ回路部を一体化したことにより、取扱いが
良くなるとともに、組立作業工程において時間が著しく
短縮できる。
装置を示す断面図、４２図は従来の加速度検出装置を示
す断面図である。
す断面図である。
因において、（１）はカンチレバービーム、（２）は取
付台Ｃシリコン台座）、（５）は加速度検出部、（７）
は演算増幅器、ａｈＦｉ回路基板である。
付台Ｃシリコン台座）、（５）は加速度検出部、（７）
は演算増幅器、ａｈＦｉ回路基板である。
Claims (1)
- （１）半導体加速度検出素子を構成するカンチレバービ
ームが取付けられた取付台と、 上記カンチレバービームからの検出信号を処理する回路
パターンを有する回路基板とを備え、上記取付台を上記
回路基板上に一体に装着したことを特徴とする半導体加
速度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61151990A JPS638565A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 半導体加速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61151990A JPS638565A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 半導体加速度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS638565A true JPS638565A (ja) | 1988-01-14 |
Family
ID=15530649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61151990A Pending JPS638565A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | 半導体加速度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS638565A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6425062A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Sumitomo Electric Industries | Acceleration detecting apparatus |
| JPH01120666U (ja) * | 1988-02-01 | 1989-08-16 | ||
| EP1696206A1 (en) * | 2005-02-28 | 2006-08-30 | Sony Corporation | Method for manufacturing vibrating gyrosensor and vibrating element |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS536082A (en) * | 1976-07-06 | 1978-01-20 | Sundstrand Data Control | Acceleration meter |
| JPS618630A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動センサ |
| JPS6197572A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサの製造方法 |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP61151990A patent/JPS638565A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS536082A (en) * | 1976-07-06 | 1978-01-20 | Sundstrand Data Control | Acceleration meter |
| JPS618630A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 振動センサ |
| JPS6197572A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体加速度センサの製造方法 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6425062A (en) * | 1987-07-21 | 1989-01-27 | Sumitomo Electric Industries | Acceleration detecting apparatus |
| JPH01120666U (ja) * | 1988-02-01 | 1989-08-16 | ||
| JPH0650776Y2 (ja) * | 1988-02-01 | 1994-12-21 | 住友電気工業株式会社 | 加速度検出器 |
| EP1696206A1 (en) * | 2005-02-28 | 2006-08-30 | Sony Corporation | Method for manufacturing vibrating gyrosensor and vibrating element |
| US7723901B2 (en) | 2005-02-28 | 2010-05-25 | Sony Corporation | Vibrating gyrosensor and vibrating element |
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