JPH0572262A - 半導体デバイスの検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＦＭ検波回路を含む半導体デバイスの同調時
に入力可能な周波数帯域幅を簡単かつ高速で、精度よく
測定する。 【構成】 出力周波数が掃引可能な信号源１１とユニバ
−サルカウンタ１５と測定装置１８とで構成される。被
測定半導体デバイス１４の入力端子に入力信号を信号源
１１よりその周波数を掃引しながら供給し、被測定半導
体デバイス１４のＦＭ検波出力検出回路１３の出力をユ
ニバ−サルカウンタ１５に結合する。回路１３の出力
は、被測定半導体デバイス１４のＦＭ検波同調時に入力
可能な周波数が入力されたにときのみハイレベル電圧と
なり、それ以外のときにはローレベル電圧となるため、
その出力はパルス波形として検出できる。このパルス幅
と周波数帯域幅が同期していることを利用して、まずパ
ルス幅を測定し、測定装置内のＡＤ変換器１６によりＡ
Ｄ変換をし、測定装置内のＣＰＵ１７によりパルス幅測
定値を周波数帯域幅へ変換し、良否を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＦＭ検波回路を含む半
導体デバイスへの、ＦＭ検波同調時に入力可能な信号の
周波数帯域幅を容易に測定できる方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＦＭ検波回路を含む半導体デバイ
スでは、被測定半導体デバイスの入力端子に入力信号が
入力され、同時に同調した場合、ＦＭ検波出力信号が出
力されているかどうかを検出する回路が内部に含まれて
いる。ＦＭ検波回路の出力は被測定半導体デバイスへの
入力信号周波数に対してパルス状出力が検出される。同
調時に入力可能な周波数が入力されている時にハイレベ
ル電圧となる。

【０００３】従来の検査方法は、検査規格を充分満足す
るかどうかを判断するのに周波数帯域幅の検査規格値の
上限値、下限値、及びそれらの中間値の入力周波数信号
を入力して、被測定半導体デバイスのＦＭ検波回路の出
力レベルがハイレベル電圧又はローレベル電圧になるこ
とを判定するだけの簡易な方法であった。

【０００４】以下に従来のＦＭ検波回路を含む半導体デ
バイスの同調時に入力可能な周波数帯域幅の検査方法に
ついて説明する。

【０００５】図３は従来のＦＭ検波回路を含む半導体デ
バイスの同調時に入力可能な周波数帯域幅の検査方法の
構成図であり、１１は入力信号源、１４は被測定半導体
デバイス、１６はアナログ・ディジタル（ＡＤ）変換
器、１７は測定装置内ＣＰＵ、１９は直流（ＤＣ）レベ
ル測定器である。

【０００６】以上のように構成された検査回路におい
て、以下にその動作を説明する。まず入力信号源１１よ
り周波数帯域幅の規格値の下限値の入力信号を被測定半
導体デバイス１４の入力端子に入力する。被測定半導体
デバイス１４に入力された信号は被測定半導体デバイス
１４内のＦＭ検波回路１２で検波され、次段のＦＭ検波
出力検出回路１３に入力される。このＦＭ検波出力検出
回路１３によりＦＭ検波出力とある基準レベルを比較
し、同調時のＦＭ検波出力がＦＭ検波出力検出回路１３
に入力されているときにハイレベル電圧となる。このＦ
Ｍ検波回路１２の出力レベルをＤＣレベル測定器で測定
し、ＡＤ変換器１６によりＡＤ変換を行ない、測定装置
内ＣＰＵ１７に取込み、測定レベルがローレベル電圧で
あることを判定する。

【０００７】以下同じように周波数帯域幅の規格値の中
間値、周波数帯域幅の規格値の上限値についても周波数
で入力信号を入力し、随時被測定半導体デバイス１４の
ＦＭ検波回路１２の出力ＤＣレベルを測定し、前記と同
じ方法でそのレベルがハイレベル電圧、またはローレベ
ル電圧のいずれかであることを判定する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法による構成では３点での周波数入力時のＦＭ検波
回路１２の出力ＤＣレベルの測定を行なうだけであった
ので、ＦＭ検波同調時に入力可能な周波数帯域幅を簡易
的に判定しているだけであり、被測定半導体デバイス１
４の同調時における入力可能な周波数帯域幅がどのくら
いあるのかがわからず、保証品位が良くないという問題
点を有していた。

【０００９】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、ＦＭ検波回路を含む半導体デバイスの同調時に入力
可能な周波数帯域幅を高速かつ高精度に測定する検査方
法を提供することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の検査方法では出力周波数を掃引することがで
きる信号源より被測定半導体デバイスの入力端子に信号
を入力し、パルス幅測定手段を用いて被測定半導体デバ
イスのＦＭ検波出力検出回路の出力信号パルス幅を測定
するという構成を有している。

【００１１】

【作用】この構成によって入力信号源より入力信号の周
波数を掃引しながら被測定半導体デバイスに入力し、パ
ルス幅測定手段により被測定半導体デバイスのＦＭ検波
出力検出回路の出力パルス幅を測定する。前記出力パル
ス幅は図２に示すように同調時に入力可能な周波数帯域
幅に同期しており、入力可能な周波数が入力された時の
みハイレベル電圧になる。信号源の掃引速度により単位
時間当りに変化する周波数が決るため、前記パルス幅測
定値をもとに周波数帯域幅へ変換できるものである。な
お前記入力信号源の掃引速度は一定でなおかつ精度が良
いものとする。この方法により周波数帯域幅を簡単に高
速かつ高精度で検査することが可能となる。

【００１２】

【実施例】以下本発明の第一の実施例について、図面を
参照しながら説明する。

【００１３】図１は本発明の一実施例における半導体デ
バイスの検査方法を具体化した構成図である。図１にお
いて、１１は入力信号源、１２は被測定半導体デバイス
１４内のＦＭ検波回路、１３は被測定半導体デバイス１
４内のＦＭ検波出力検出回路、１５はユニバーサルカウ
ンタ、１６は測定装置１８内のＡＤ変換器、１７は測定
装置１８内のＣＰＵである。

【００１４】以上のように構成された本実施例の半導体
デバイスの検査方法について、以下にその動作を説明す
る。

【００１５】まず、入力信号源１１より被測定半導体デ
バイス１４の入力端子に入力信号であるＦＭ変調波を入
力する。ただし、入力信号は同一レベルで、かつ周波数
をＸマイクロ秒間にＹＫＨｚの割合で掃引させながら入
力する。

【００１６】次に被測定半導体デバイス１４のＦＭ検波
出力検出回路１３の出力端子をユニバーサルカウンタ１
５に接続する。この時、ＦＭ検波出力検出回路１３から
出力される信号を図２に示す。

【００１７】ユニバーサルカウンタ１５は、図２に示さ
れたパルス波形のパルス幅を測定する。このパルス幅
は、ＦＭ検波同調時の被測定半導体デバイス１４に入力
できる周波数帯域幅に同期している。このため、周波数
帯域幅を測定するのに代わってパルス幅を測定してい
る。

【００１８】なお、このパルス幅をユニバーサルカウン
タ１５で測定する際、出力レベルのあるスレッシュホー
ルドレベルを設定して、スレッシュホールドレベルの出
力レベルに対応するパルス波形の立ち上がりのポイント
Ａと立ち下がりのポイントＢよりパルス幅を算出してい
る。

【００１９】また、スレッシュホールドレベルは測定装
置１８内のＣＰＵ１７から転送される命令によって制御
されている。このため、スレッシュホールドレベルは自
由に変更することができる。このようにＣＰＵ１７によ
ってスレッシュホールドレベルを制御することができる
と、被測定半導体デバイス１４でもたらされるばらつき
に対しても、すみやかに対応することができる。

【００２０】ユニバーサルカウンタ１５の出力は測定装
置１８内のＣＰＵ１７に送られ、さらにＡＤ変換器１６
の入力端子に接続される。ユニバーサンルカウンタ１５
によって測定されたパルス幅をＡＤ変換器１６によって
ＡＤ変換する。ＡＤ変換されたパルス幅のデータは測定
装置１８内のＣＰＵ１７に取り込まれる。

【００２１】ＣＰＵ１７に取込まれたパルス幅のデータ
に基づいて、下記に示す演算をＣＰＵ１７で行なうこと
により周波数帯域幅に変換させる。

【００２２】 周波数帯域幅＝（パルス幅）×（掃引速度） ＝｛（パルス幅）／Ｘ｝×Ｙ ＣＰＵ１７内で演算した結果を検査規格値と比較し、良
品、不良品の判定を行なう。

【００２３】以上のように本実施例によれば、被測定半
導体デバイス１４のＦＭ検波回路１２の出力と、ＦＭ検
波同調時に被測定半導体デバイス１４に入力できる周波
数帯域幅が同期していることに着目し、さらに被測定半
導体デバイスへの入力信号の周波数を掃引しながら入力
ことにより、ＦＭ検波の同調時に入力可能となる周波数
帯域幅をＦＭ検波回路１２から出力されるパルス幅に置
き換えて測定できる。このため、ＦＭ検波回路１２を含
む被測定半導体デバイス１４の同調時に入力可能となる
周波数帯域幅を簡単かつ高速で、精度よく測定すること
ができる。

【００２４】なお、本実施例では、被測定半導体デバイ
ス１４からの出力パルスをユニバーサルカウンタ１５で
直接測定したが、被測定半導体デバイス１４のＦＭ検波
回路１２の出力端子とユニバーサルカウンタ１５の間に
ＦＭ検波出力検出回路１３を接続てもよい。ＦＭ検波出
力検出回路１３を接続するとＦＭ検波回路１２から出力
される出力パルスと、ある基準電圧値との比較を行な
い、出力パルスがローレベル電圧からハイレベル電圧に
変化する点、あるいはハイレベル電圧からローレベル電
圧へ変化する点をより精度よく検出することができる。
このためユニバーサルカウンタ１５の測定誤動作を無く
すことができる。さらに、被測定半導体デバイス１４か
ら出力される出力パルスにたとえチャタリングの影響を
受けて出力パルスに変動が生じても、安定してユニバー
サルカウンタ１５を動作させることができる。

【００２５】

【発明の効果】本発明は掃引が行える入力信号源を使用
して被測定半導体デバイスに周波数を掃引させながら入
力することにより、被測定半導体デバイス内のＦＭ検波
出力検出回路の出力パルス幅と被測定半導体デバイスの
同調時に入力可能な周波数帯域幅が同期していることを
活用し、周波数帯域幅をパルス幅に置き換えて測定する
ことでＦＭ検波回路を含む半導体デバイスの同調時に被
測定半導体デバイスへ入力可能な周波数帯域幅を簡単か
つ高速、高精度に測定することができる。さらに入力信
号源の掃引速度を変更することにより、測定する周波数
帯域幅を自由に置き換えて測定できるという効果を得る
ことができ、ＦＭ検波回路を含む半導体デバイスの同調
時に入力可能な周波数帯域幅を測定する検査方法として
より優れたものを実現できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における半導体デバイスの検
査方法の構成を示す図

【図２】ＦＭ検波回路の出力レベルと入力信号周波数の
関係を示す図

【図３】従来の半導体デバイスの検査方法の構成を示す
図

【符号の説明】

１１ 入力信号源 １２ ＦＭ検波回路 １３ ＦＭ検波出力検出回路 １４ 被測定半導体デバイス １５ ユニバーサルカウンタ １６ ＡＤ変換器 １７ ＣＰＵ １８ 測定装置 １９ ＤＣレベル測定器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】出力周波数が掃引可能な信号源から出力を
   被測定半導体デバイスに供給し、前記被測定半導体デバ
   イス内のＦＭ検波回路より出力されるパルス幅から前記
   被測定半導体デバイスのＦＭ検波の同調時に入力するこ
   とのできる周波数帯域幅を測定することを特徴とする半
   導体デバイスの検査方法。