JPH0572053A - 温度検出装置 - Google Patents
温度検出装置Info
- Publication number
- JPH0572053A JPH0572053A JP26258591A JP26258591A JPH0572053A JP H0572053 A JPH0572053 A JP H0572053A JP 26258591 A JP26258591 A JP 26258591A JP 26258591 A JP26258591 A JP 26258591A JP H0572053 A JPH0572053 A JP H0572053A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- parallel
- voltage
- temperature
- resistance value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度検出素子に流れる電流変化を小さくする
ことにより、消費電力による測定誤差の小さい温度検出
装置を得ることを目的とする。 【構成】 サーミスタ１と補正抵抗２を並列に接続した
並列抵抗回路２Ａに、一定の電流を流す定電流回路１
７，１９を設け、サーミスタ１の消費電力の変化を小さ
くし、自己発熱による測定誤差を低減した。
ことにより、消費電力による測定誤差の小さい温度検出
装置を得ることを目的とする。 【構成】 サーミスタ１と補正抵抗２を並列に接続した
並列抵抗回路２Ａに、一定の電流を流す定電流回路１
７，１９を設け、サーミスタ１の消費電力の変化を小さ
くし、自己発熱による測定誤差を低減した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、恒温槽，熱帯魚用水
槽，冷蔵庫，各種空調機等に用いられる温度検出装置に
関するものである。
槽，冷蔵庫，各種空調機等に用いられる温度検出装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の温度検出装置を示す回路図
であり、図において、１は温度変化に応じて抵抗値が変
化する温度検出素子として用いられるサーミスタで、Ｒ
１はこのサーミスタ１の抵抗値を表わす。また、サーミ
スタ１の抵抗値Ｒ１は温度変化に対して指数関数的に変
化するため、サーミスタ１に並列に抵抗値Ｒ２をもつ補
正抵抗２を接続し、直線近似を行なう。２Ａはサーミス
タ１と補正抵抗２の並列抵抗回路を示し、その合成抵抗
値をＲa とする。
であり、図において、１は温度変化に応じて抵抗値が変
化する温度検出素子として用いられるサーミスタで、Ｒ
１はこのサーミスタ１の抵抗値を表わす。また、サーミ
スタ１の抵抗値Ｒ１は温度変化に対して指数関数的に変
化するため、サーミスタ１に並列に抵抗値Ｒ２をもつ補
正抵抗２を接続し、直線近似を行なう。２Ａはサーミス
タ１と補正抵抗２の並列抵抗回路を示し、その合成抵抗
値をＲa とする。
【０００３】３は抵抗値Ｒ３をもつ分圧抵抗であり、こ
の分圧抵抗３はＶD−ＶS 間の電圧を分圧し、検出電圧
ＶO を得る。４はインピーダンス変換を行う演算増幅器
であり、５は検出電圧ＶO を出力電圧Ｖに増幅する演算
増幅器である。６，７は演算増幅器５のゲインを決定す
る抵抗であり、８はその接地側の抵抗である。９は抵
抗、１０は可変抵抗であり、抵抗９と可変抵抗１０でオ
フセット電圧を調整する。
の分圧抵抗３はＶD−ＶS 間の電圧を分圧し、検出電圧
ＶO を得る。４はインピーダンス変換を行う演算増幅器
であり、５は検出電圧ＶO を出力電圧Ｖに増幅する演算
増幅器である。６，７は演算増幅器５のゲインを決定す
る抵抗であり、８はその接地側の抵抗である。９は抵
抗、１０は可変抵抗であり、抵抗９と可変抵抗１０でオ
フセット電圧を調整する。
【０００４】次に動作について説明する。サーミスタ単
体の温度−抵抗特性から、抵抗値Ｒ１は式（１）（ＪＩ
Ｓ Ｃ１６１１−１９７５より）により与えられる。 Ｒ１＝Ｒ0 exp Ｂ（１／（ｔ＋273.5)−１／ｔ0 ＋273.5)‥‥‥（１） 但し、Ｒ１は温度ｔ（℃）におけるサーミスタの抵抗値
（Ω） Ｒ0 は温度ｔ0 （℃）におけるサーミスタの抵抗値
（Ω） ＢはサーミスタのＢ定数（Ｋ） ｔは求めたい抵抗値のサーミスタ温度（℃） ｔ0 は初めのサーミスタ温度（℃）である。
体の温度−抵抗特性から、抵抗値Ｒ１は式（１）（ＪＩ
Ｓ Ｃ１６１１−１９７５より）により与えられる。 Ｒ１＝Ｒ0 exp Ｂ（１／（ｔ＋273.5)−１／ｔ0 ＋273.5)‥‥‥（１） 但し、Ｒ１は温度ｔ（℃）におけるサーミスタの抵抗値
（Ω） Ｒ0 は温度ｔ0 （℃）におけるサーミスタの抵抗値
（Ω） ＢはサーミスタのＢ定数（Ｋ） ｔは求めたい抵抗値のサーミスタ温度（℃） ｔ0 は初めのサーミスタ温度（℃）である。
【０００５】また、並列抵抗回路２Ａの合成抵抗値Ｒa
は式（２）により与えられる。 Ｒa ＝Ｒ１・Ｒ２／（Ｒ１＋Ｒ２）‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（２） さらに、測定温度Ｔ１における検出電圧Ｖ0 をＶ01、合
成抵抗値Ｒa をＲa1、測定温度Ｔ２における検出電圧Ｖ
0 をＶ02，合成抵抗値Ｒa をＲa2とすれば、式（３），
式（４）が得られる。 ＶO1＝（ＶD −ＶS ）・Ｒ３／（Ｒa1＋Ｒ３）‥‥‥‥‥‥‥‥（３） ＶO2＝（ＶD −ＶS ）・Ｒ３／（Ｒa2＋Ｒ３）‥‥‥‥‥‥‥‥（４） 抵抗値Ｒ３をもつ分圧抵抗３は、検出電圧ＶO の範囲を
決定する抵抗であり、また、この分圧抵抗３はサーミス
タ１に流れる電流の範囲も決定する。
は式（２）により与えられる。 Ｒa ＝Ｒ１・Ｒ２／（Ｒ１＋Ｒ２）‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（２） さらに、測定温度Ｔ１における検出電圧Ｖ0 をＶ01、合
成抵抗値Ｒa をＲa1、測定温度Ｔ２における検出電圧Ｖ
0 をＶ02，合成抵抗値Ｒa をＲa2とすれば、式（３），
式（４）が得られる。 ＶO1＝（ＶD −ＶS ）・Ｒ３／（Ｒa1＋Ｒ３）‥‥‥‥‥‥‥‥（３） ＶO2＝（ＶD −ＶS ）・Ｒ３／（Ｒa2＋Ｒ３）‥‥‥‥‥‥‥‥（４） 抵抗値Ｒ３をもつ分圧抵抗３は、検出電圧ＶO の範囲を
決定する抵抗であり、また、この分圧抵抗３はサーミス
タ１に流れる電流の範囲も決定する。
【０００６】式（３），式（４）により、温度変化Ｔ１
〜Ｔ２を並列抵抗回路２Ａの合成抵抗値Ｒa1〜Ｒa2に変
換し、さらに検出電圧ＶO1〜ＶO2の電圧変化として得ら
れることが理解できる。この検出電圧ＶO1〜ＶO2を演算
増幅器５にて、所定の出力電圧Ｖの範囲に増幅するもの
である。
〜Ｔ２を並列抵抗回路２Ａの合成抵抗値Ｒa1〜Ｒa2に変
換し、さらに検出電圧ＶO1〜ＶO2の電圧変化として得ら
れることが理解できる。この検出電圧ＶO1〜ＶO2を演算
増幅器５にて、所定の出力電圧Ｖの範囲に増幅するもの
である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来の温度検出装置は
以上のように構成されているので、並列抵抗回路２Ａに
流れる電流ＩD は、分圧抵抗３の抵抗値Ｒ３により決定
され、式（５）により与えられる。 ＩD ＝ＶO ／Ｒ３ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（５） したがって、測定温度Ｔ１における検出電圧ＶO を
ＶO1、測定温度Ｔ２における検出電圧ＶO をＶO2とすれ
ば、並列抵抗回路２Ａに流れる電流変化分ΔＩD は式
（６）となる。 ΔＩD ＝（ＶO2−ＶO1）／Ｒ３ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（６） さらに検出温度Ｔ１における合成抵抗値Ｒa をＲa1、検
出温度Ｔ２における合成抵抗値Ｒa をＲa2とすれば、並
列抵抗回路２Ａの消費電力の増加分ΔＰD は、式（７）
により与えられる。 ΔＰD ＝ΔＩD 2 （Ｒa1−Ｒa2） ＝((ＶO2−ＶO1）／Ｒ３)2・（Ｒa1−Ｒa2） ‥‥‥‥‥（７）
以上のように構成されているので、並列抵抗回路２Ａに
流れる電流ＩD は、分圧抵抗３の抵抗値Ｒ３により決定
され、式（５）により与えられる。 ＩD ＝ＶO ／Ｒ３ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（５） したがって、測定温度Ｔ１における検出電圧ＶO を
ＶO1、測定温度Ｔ２における検出電圧ＶO をＶO2とすれ
ば、並列抵抗回路２Ａに流れる電流変化分ΔＩD は式
（６）となる。 ΔＩD ＝（ＶO2−ＶO1）／Ｒ３ ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（６） さらに検出温度Ｔ１における合成抵抗値Ｒa をＲa1、検
出温度Ｔ２における合成抵抗値Ｒa をＲa2とすれば、並
列抵抗回路２Ａの消費電力の増加分ΔＰD は、式（７）
により与えられる。 ΔＰD ＝ΔＩD 2 （Ｒa1−Ｒa2） ＝((ＶO2−ＶO1）／Ｒ３)2・（Ｒa1−Ｒa2） ‥‥‥‥‥（７）
【０００８】サーミスタ１は自己発熱により、消費電力
１（ｍＷ）につき約１（℃）の誤差を生じ、式（７）か
ら並列抵抗回路２Ａの消費電力は、並列抵抗回路２Ａに
流れる電流変化分ΔＩD の２乗に比例して変化すること
から、サーミスタ１に流れる電流変化の２乗に比例して
サーミスタ１の測定誤差は大きくなる。また、２台の演
算増幅器４，５を使用するため、温度ドリフトの影響が
大きく、出力電圧Ｖの精度が悪くなるなどの問題点があ
った。
１（ｍＷ）につき約１（℃）の誤差を生じ、式（７）か
ら並列抵抗回路２Ａの消費電力は、並列抵抗回路２Ａに
流れる電流変化分ΔＩD の２乗に比例して変化すること
から、サーミスタ１に流れる電流変化の２乗に比例して
サーミスタ１の測定誤差は大きくなる。また、２台の演
算増幅器４，５を使用するため、温度ドリフトの影響が
大きく、出力電圧Ｖの精度が悪くなるなどの問題点があ
った。
【０００９】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、温度検出素子に流れる電流の変
化を小さくすることにより、消費電力による測定誤差の
小さい温度検出装置を得ることを目的とする。
ためになされたもので、温度検出素子に流れる電流の変
化を小さくすることにより、消費電力による測定誤差の
小さい温度検出装置を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係る温度検出
装置は、温度検出素子と補正抵抗を並列に接続した並列
抵抗回路に一定の電流を流す定電流回路を設けたもので
ある。
装置は、温度検出素子と補正抵抗を並列に接続した並列
抵抗回路に一定の電流を流す定電流回路を設けたもので
ある。
【００１１】
【作用】この発明における温度検出装置は、定電流回路
により、温度検出素子と補正抵抗との並列抵抗回路に流
れる電流を一定にするので、温度検出素子に流れる電流
の変化を小さくし、温度検出素子の自己発熱による測定
誤差を小さくする。
により、温度検出素子と補正抵抗との並列抵抗回路に流
れる電流を一定にするので、温度検出素子に流れる電流
の変化を小さくし、温度検出素子の自己発熱による測定
誤差を小さくする。
【００１２】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の一実施例による温度検出装置を
示す回路図であり、図において、１は温度変化に応じて
抵抗値が変化する温度検出素子として用いられるサーミ
スタで、Ｒ１はサーミスタ１の抵抗値を表わす。また、
サーミスタ１の抵抗値Ｒ１は温度変化に対して指数関数
的に変化するため、サーミスタ１に並列に抵抗値Ｒ２を
もつ補正抵抗２を接続し、直線近似を行なう。２Ａはサ
ーミスタ１と補正抵抗２の並列抵抗回路を示し、その合
成抵抗値をＲa とする。
する。図１はこの発明の一実施例による温度検出装置を
示す回路図であり、図において、１は温度変化に応じて
抵抗値が変化する温度検出素子として用いられるサーミ
スタで、Ｒ１はサーミスタ１の抵抗値を表わす。また、
サーミスタ１の抵抗値Ｒ１は温度変化に対して指数関数
的に変化するため、サーミスタ１に並列に抵抗値Ｒ２を
もつ補正抵抗２を接続し、直線近似を行なう。２Ａはサ
ーミスタ１と補正抵抗２の並列抵抗回路を示し、その合
成抵抗値をＲa とする。
【００１３】１１は並列抵抗回路２Ａの抵抗値の変化に
基づいて発生する電圧値を所定の出力電圧Ｖの範囲内に
変換する電圧設定抵抗、１２，１３はＶD −ＶS 間の電
圧を分圧する分圧抵抗、１４は演算増幅器、１５はトラ
ンジスタ、１６は定電流ＩCEの値を決定する抵抗であ
り、これら分圧抵抗１２，１３、演算増幅器１４、トラ
ンジスタ１５、抵抗１６により並列抵抗回路２Ａに一定
の電流を流す定電流回路１７を構成する。
基づいて発生する電圧値を所定の出力電圧Ｖの範囲内に
変換する電圧設定抵抗、１２，１３はＶD −ＶS 間の電
圧を分圧する分圧抵抗、１４は演算増幅器、１５はトラ
ンジスタ、１６は定電流ＩCEの値を決定する抵抗であ
り、これら分圧抵抗１２，１３、演算増幅器１４、トラ
ンジスタ１５、抵抗１６により並列抵抗回路２Ａに一定
の電流を流す定電流回路１７を構成する。
【００１４】次に動作について説明する。定電流回路１
７では、分圧抵抗１２，１３により決定される定電圧Ｖ
P を演算増幅器１４の＋側に加え、演算増幅器１４の出
力をトランジスタ１５のベースに接続し、演算増幅器１
４の−側をトランジスタ１５のエミッタに接続すること
により、演算増幅器１４の＋側と−側が同じ電圧になる
ように働くため、定電圧ＶP と電圧ＶEはほぼ等しくな
る。電圧ＶE が一定になれば、トランジスタ１５に流れ
る電流ＩCEは定電流となり、また、並列抵抗回路２Ａに
流れる電流も定電流となる。
７では、分圧抵抗１２，１３により決定される定電圧Ｖ
P を演算増幅器１４の＋側に加え、演算増幅器１４の出
力をトランジスタ１５のベースに接続し、演算増幅器１
４の−側をトランジスタ１５のエミッタに接続すること
により、演算増幅器１４の＋側と−側が同じ電圧になる
ように働くため、定電圧ＶP と電圧ＶEはほぼ等しくな
る。電圧ＶE が一定になれば、トランジスタ１５に流れ
る電流ＩCEは定電流となり、また、並列抵抗回路２Ａに
流れる電流も定電流となる。
【００１５】ところで、測定温度Ｔ１における出力電圧
ＶをＶ1 、合成抵抗値Ｒa をＲa1、測定温度Ｔ２におけ
る出力電圧ＶをＶ2 、合成抵抗値Ｒa をＲa2とすれば、
式（８），式（９）が得られる。 ＶD −Ｖ1 ＝（Ｒa1＋Ｒ11）・ＩCE ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（８） ＶD −Ｖ2 ＝（Ｒa2＋Ｒ11）・ＩCE ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（９） 式（８），式（９）を整理すれば、式（10），式（11）
が得られる。 ＩCE＝（Ｖ2 −Ｖ1 ）／（Ｒa1−Ｒa2） ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（10） Ｒ11＝（ＶD −Ｖ1 ）・（Ｒa1−Ｒa2）／（Ｖ2 −Ｖ1 ）−Ｒa1 ‥‥‥‥‥（11） 式（10）で、ＩCEは既に説明したように一定であるの
で、温度検出装置の出力電圧Ｖ2 〜Ｖ1 は、サーミスタ
１と補正抵抗２の並列抵抗回路２Ａの合成抵抗値Ｒa1〜
Ｒa2にのみ決定される。また、出力電圧Ｖの範囲を決定
する電圧設定抵抗１１の抵抗値Ｒ11は、式（11）により
決定することができる。
ＶをＶ1 、合成抵抗値Ｒa をＲa1、測定温度Ｔ２におけ
る出力電圧ＶをＶ2 、合成抵抗値Ｒa をＲa2とすれば、
式（８），式（９）が得られる。 ＶD −Ｖ1 ＝（Ｒa1＋Ｒ11）・ＩCE ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（８） ＶD −Ｖ2 ＝（Ｒa2＋Ｒ11）・ＩCE ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（９） 式（８），式（９）を整理すれば、式（10），式（11）
が得られる。 ＩCE＝（Ｖ2 −Ｖ1 ）／（Ｒa1−Ｒa2） ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（10） Ｒ11＝（ＶD −Ｖ1 ）・（Ｒa1−Ｒa2）／（Ｖ2 −Ｖ1 ）−Ｒa1 ‥‥‥‥‥（11） 式（10）で、ＩCEは既に説明したように一定であるの
で、温度検出装置の出力電圧Ｖ2 〜Ｖ1 は、サーミスタ
１と補正抵抗２の並列抵抗回路２Ａの合成抵抗値Ｒa1〜
Ｒa2にのみ決定される。また、出力電圧Ｖの範囲を決定
する電圧設定抵抗１１の抵抗値Ｒ11は、式（11）により
決定することができる。
【００１６】さらに、並列抵抗回路２Ａによる消費電力
の増加分ΔＰD は、式（12）により与えられる。 ΔＰD ＝ＩCE 2 （Ｒa1−Ｒa2） ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（12） したがって、式（７）と比較して並列抵抗回路２Ａの消
費電力は、並列抵抗回路２Ａの合成抵抗値Ｒa によって
のみ依存されるため、並列抵抗回路２Ａを構成するサー
ミスタ１の温度変化に対する電流変化による消費電力の
変動も少なくてすみ、測定誤差を低減することができ
る。
の増加分ΔＰD は、式（12）により与えられる。 ΔＰD ＝ＩCE 2 （Ｒa1−Ｒa2） ‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥（12） したがって、式（７）と比較して並列抵抗回路２Ａの消
費電力は、並列抵抗回路２Ａの合成抵抗値Ｒa によって
のみ依存されるため、並列抵抗回路２Ａを構成するサー
ミスタ１の温度変化に対する電流変化による消費電力の
変動も少なくてすみ、測定誤差を低減することができ
る。
【００１７】さらに、本実施例では、演算増幅器を１台
のみとしたので、温度ドリフトの影響が少なく、出力電
圧Ｖの精度を高めることができる。また、低インピーダ
ンスになるので、次段回路（図示せず）に流入する電流
は少なくてすみ、並列抵抗回路２Ａと抵抗１１の電圧降
下は変らず測定精度を低下させることはない。したがっ
て｜Ｖ1 −Ｖ2 ｜の値が小さくてもバッファ回路は必要
としない。
のみとしたので、温度ドリフトの影響が少なく、出力電
圧Ｖの精度を高めることができる。また、低インピーダ
ンスになるので、次段回路（図示せず）に流入する電流
は少なくてすみ、並列抵抗回路２Ａと抵抗１１の電圧降
下は変らず測定精度を低下させることはない。したがっ
て｜Ｖ1 −Ｖ2 ｜の値が小さくてもバッファ回路は必要
としない。
【００１８】実施例２．図２はこの発明の他の実施例に
よる温度検出装置を示す回路図であり、図において、１
８は一定電流を流す定電流ダイオードであり、抵抗１６
と定電流ダイオード１８で定電流回路１９を構成する。
このような構成としても、上記実施例１と同様な効果が
得られる。
よる温度検出装置を示す回路図であり、図において、１
８は一定電流を流す定電流ダイオードであり、抵抗１６
と定電流ダイオード１８で定電流回路１９を構成する。
このような構成としても、上記実施例１と同様な効果が
得られる。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば温度検
出素子と補正抵抗を並列に接続した並列抵抗回路に一定
の電流を流す定電流回路を設けた構成としたので、温度
検出素子に流れる電流の変化を小さくすることにより、
消費電力による測定誤差の小さい温度検出装置が得られ
る効果がある。
出素子と補正抵抗を並列に接続した並列抵抗回路に一定
の電流を流す定電流回路を設けた構成としたので、温度
検出素子に流れる電流の変化を小さくすることにより、
消費電力による測定誤差の小さい温度検出装置が得られ
る効果がある。
【図１】この発明の一実施例による温度検出装置を示す
回路図である。
回路図である。
【図２】この発明の他の実施例による温度検出装置を示
す回路図である。
す回路図である。
【図３】従来の温度検出装置を示す回路図である。
【符号の説明】 １ サーミスタ（温度検出素子） ２ 補正抵抗 ２Ａ 並列抵抗回路 １１ 電圧設定抵抗 １７，１９ 定電流回路
Claims (1)
- 【請求項１】 温度変化に応じて抵抗値が変化する温度
検出素子に、該温度検出素子の抵抗値の変化を直線的に
近似する補正抵抗を並列に接続した並列抵抗回路と、上
記並列抵抗回路の抵抗値の変化に基づいて発生する電圧
値を所定の電圧範囲内に変換する電圧設定抵抗と、上記
並列抵抗回路に一定の電流を流す定電流回路とを備えた
温度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26258591A JPH0572053A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 温度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26258591A JPH0572053A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 温度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572053A true JPH0572053A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17377855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26258591A Pending JPH0572053A (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 温度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572053A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012515343A (ja) * | 2009-01-19 | 2012-07-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ゼロ熱流束センサ及びそれを用いる方法 |
| US9325083B2 (en) | 2011-07-26 | 2016-04-26 | Autonetworks Technologies, Ltd. | Electric wire with terminal and manufacturing method thereof |
| US10676370B2 (en) | 2017-06-05 | 2020-06-09 | Axcelis Technologies, Inc. | Hydrogen co-gas when using aluminum iodide as an ion source material |
-
1991
- 1991-09-17 JP JP26258591A patent/JPH0572053A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012515343A (ja) * | 2009-01-19 | 2012-07-05 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | ゼロ熱流束センサ及びそれを用いる方法 |
| US8945020B2 (en) | 2009-01-19 | 2015-02-03 | Koninklijke Philips N.V. | Zero heat flux sensor and method of use |
| US9325083B2 (en) | 2011-07-26 | 2016-04-26 | Autonetworks Technologies, Ltd. | Electric wire with terminal and manufacturing method thereof |
| US10676370B2 (en) | 2017-06-05 | 2020-06-09 | Axcelis Technologies, Inc. | Hydrogen co-gas when using aluminum iodide as an ion source material |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6144242B2 (ja) | ||
| TWI727435B (zh) | 熱感測器與溫度量測方法 | |
| TWI409610B (zh) | 溫度係數調整電路及溫度補償電路 | |
| KR102347289B1 (ko) | 저온 에러 열 센서 | |
| JPH07141039A (ja) | 温度補償電圧発生回路 | |
| JPH0572053A (ja) | 温度検出装置 | |
| JPH09105681A (ja) | 温度測定回路 | |
| JP2561023B2 (ja) | 高周波信号レベル検出回路および高周波信号レベル検出方法 | |
| JP5437110B2 (ja) | Ｆｅｔ用自動バイアス調整回路 | |
| JP2677923B2 (ja) | 発熱抵抗体式空気流量計 | |
| JP2001343439A (ja) | 高周波キャリア型磁気センサ | |
| JP3060607B2 (ja) | 熱線式流量計 | |
| JP3060608B2 (ja) | 熱線式流量計 | |
| JPS5844330Y2 (ja) | 駆動回路 | |
| JP3120478B2 (ja) | 熱線式流量計 | |
| JPH06109510A (ja) | 熱式流量計 | |
| JPH1096703A (ja) | 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路 | |
| JP7306259B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JP2979742B2 (ja) | 熱線式流量計 | |
| JPS63266360A (ja) | 流速検出装置 | |
| JPS6333390B2 (ja) | ||
| JP2023056616A (ja) | ガスセンサ | |
| JPS61294321A (ja) | 温度検知回路 | |
| JPH06208421A (ja) | ガスセンサの温度制御回路 | |
| JPH04294229A (ja) | 温度検出装置 |