JPH1096703A - 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路 - Google Patents
抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路Info
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- JPH1096703A JPH1096703A JP9204967A JP20496797A JPH1096703A JP H1096703 A JPH1096703 A JP H1096703A JP 9204967 A JP9204967 A JP 9204967A JP 20496797 A JP20496797 A JP 20496797A JP H1096703 A JPH1096703 A JP H1096703A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 周囲温度に影響されない熱伝導パラメータ
（湿度，流速等）のセンシング法、センサ回路を提供す
る。 【解決手段】 ＲSは抵抗体センサ、ＲXは所定温度の抵
抗体センサと等しい抵抗値の基準抵抗、Ｒは同じ値の定
抵抗で、Ａ1，Ａ2は第１及び第２演算増幅器である。増
幅器Ａ1により増幅器Ａ2の出力Ｖｏｕｔを（−ＲS／
Ｒ）倍して得られるυ1とＶｏｕｔ間電圧をＲXとＲで分
割する演算増幅器Ａ2の入力υ2が０か否かを判別する。
υ2＞０だとｉ1が増加しＲSが発熱し、高温になると、
抵抗温度係数が正の場合にＲSは大きくなりＲS＝ＲXに
近づき、バランス点はυ2＝０，ＲS＝ＲXとなる。測定
は、ＲXを低温と高温の２点に設定し、バランス時のｉ1
＝Ｖｏｕｔ／Ｒから、温度にあたるパワーｉ1 2・ＲLを
求める。２点の測定により周囲温度の影響をなくせる。
（湿度，流速等）のセンシング法、センサ回路を提供す
る。 【解決手段】 ＲSは抵抗体センサ、ＲXは所定温度の抵
抗体センサと等しい抵抗値の基準抵抗、Ｒは同じ値の定
抵抗で、Ａ1，Ａ2は第１及び第２演算増幅器である。増
幅器Ａ1により増幅器Ａ2の出力Ｖｏｕｔを（−ＲS／
Ｒ）倍して得られるυ1とＶｏｕｔ間電圧をＲXとＲで分
割する演算増幅器Ａ2の入力υ2が０か否かを判別する。
υ2＞０だとｉ1が増加しＲSが発熱し、高温になると、
抵抗温度係数が正の場合にＲSは大きくなりＲS＝ＲXに
近づき、バランス点はυ2＝０，ＲS＝ＲXとなる。測定
は、ＲXを低温と高温の２点に設定し、バランス時のｉ1
＝Ｖｏｕｔ／Ｒから、温度にあたるパワーｉ1 2・ＲLを
求める。２点の測定により周囲温度の影響をなくせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、抵抗体によるセン
サに関し、より詳細には、測定雰囲気中に設置された抵
抗体センサを周囲温度と平衡を保つ一定の低温度に加熱
したときの電力から周囲温度を求め、同じく一定の高温
度に加熱したときの電力及び以前に求めた周囲温度とか
ら測定雰囲気の熱伝導性（湿度，流速等）に応じて変化
する熱変移を得て、周囲温度の影響を受けることなく雰
囲気の熱伝導性を求めることができるセンサ技術に関す
る。
サに関し、より詳細には、測定雰囲気中に設置された抵
抗体センサを周囲温度と平衡を保つ一定の低温度に加熱
したときの電力から周囲温度を求め、同じく一定の高温
度に加熱したときの電力及び以前に求めた周囲温度とか
ら測定雰囲気の熱伝導性（湿度，流速等）に応じて変化
する熱変移を得て、周囲温度の影響を受けることなく雰
囲気の熱伝導性を求めることができるセンサ技術に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】混合気体を構成する所定の気体濃度は、
該気体の分子量に応じて変化する熱伝導率の差から求め
ることができる。熱伝導性を利用した湿度計は、この原
理に基づいてなされたもので、定電流又は定電圧で加熱
された抵抗体から放熱される放熱量の湿度差によって生
ずる抵抗体の抵抗値変化量から湿度を求めている。ま
た、熱伝導性を利用した気体流速計は、定電流又は定電
圧で加熱された抵抗体の温度が加熱電力による発熱量と
流体流れによる放熱量とつり合う温度となることを利用
したもので、流体の比熱，密度が知られていると、流体
の流速を求めることができる。これらの熱伝導性を利用
した湿度計や流速計は、電力加熱された抵抗体の温度変
化による抵抗値の変化から雰囲気の湿度や流速を求める
ものであるから、雰囲気温度の補正が必要である。この
ため、湿度計や流速計においては、湿度や流体流れ等に
よる熱伝導性の影響を検出する抵抗体の他に、周囲温度
検出用の抵抗体を備えている。
該気体の分子量に応じて変化する熱伝導率の差から求め
ることができる。熱伝導性を利用した湿度計は、この原
理に基づいてなされたもので、定電流又は定電圧で加熱
された抵抗体から放熱される放熱量の湿度差によって生
ずる抵抗体の抵抗値変化量から湿度を求めている。ま
た、熱伝導性を利用した気体流速計は、定電流又は定電
圧で加熱された抵抗体の温度が加熱電力による発熱量と
流体流れによる放熱量とつり合う温度となることを利用
したもので、流体の比熱，密度が知られていると、流体
の流速を求めることができる。これらの熱伝導性を利用
した湿度計や流速計は、電力加熱された抵抗体の温度変
化による抵抗値の変化から雰囲気の湿度や流速を求める
ものであるから、雰囲気温度の補正が必要である。この
ため、湿度計や流速計においては、湿度や流体流れ等に
よる熱伝導性の影響を検出する抵抗体の他に、周囲温度
検出用の抵抗体を備えている。
【０００３】この方式では、周囲温度検出用抵抗と熱伝
導性検出用抵抗とは同じ一定条件で加熱される。しか
し、両抵抗間の特性の違いは避け難く、誤差の原因とな
り、また、周囲温度検出用抵抗は、外気と遮断されてい
るので、外気と接触している熱伝導性検出用抵抗とは熱
応答差があり、高い応答性が要求される計測対象の場合
は、検出誤差が生ずるという問題があった。この問題を
解決するために、本出願人は、先に、一個の抵抗体を用
いて、これを低温と高温の２段の温度で加熱する方式を
提案した。すなわち、抵抗体を低電力で加熱したときの
低温抵抗体は、雰囲気の湿度や流速影響を殆ど受けない
抵抗特性を有し、高電力加熱して高温となった高温抵抗
体は、雰囲気の湿度や流速影響を受けることを利用した
ものである。
導性検出用抵抗とは同じ一定条件で加熱される。しか
し、両抵抗間の特性の違いは避け難く、誤差の原因とな
り、また、周囲温度検出用抵抗は、外気と遮断されてい
るので、外気と接触している熱伝導性検出用抵抗とは熱
応答差があり、高い応答性が要求される計測対象の場合
は、検出誤差が生ずるという問題があった。この問題を
解決するために、本出願人は、先に、一個の抵抗体を用
いて、これを低温と高温の２段の温度で加熱する方式を
提案した。すなわち、抵抗体を低電力で加熱したときの
低温抵抗体は、雰囲気の湿度や流速影響を殆ど受けない
抵抗特性を有し、高電力加熱して高温となった高温抵抗
体は、雰囲気の湿度や流速影響を受けることを利用した
ものである。
【０００４】具体的には、例えば、湿度センサの場合、
抵抗体のセンサを切換スイッチで切り換えた４mAの定電
流パルスで駆動してセンサ両端の低温検出電圧Ｖｓを求
める。しかし、低温検出電圧Ｖｓは周囲温度に正しく比
例した値ではないため、周囲温度Ｔａと対応するように
補正係数Ｋを乗算して乗算値ＫＶｓをホールドしてお
く。次に、８mAの定電流パルスを印加して高温検出電圧
Ｖｐを求めて（Ｖｐ−ＫＶｓ）＝Ｖを演算して湿度Ｖを
求めている。
抵抗体のセンサを切換スイッチで切り換えた４mAの定電
流パルスで駆動してセンサ両端の低温検出電圧Ｖｓを求
める。しかし、低温検出電圧Ｖｓは周囲温度に正しく比
例した値ではないため、周囲温度Ｔａと対応するように
補正係数Ｋを乗算して乗算値ＫＶｓをホールドしてお
く。次に、８mAの定電流パルスを印加して高温検出電圧
Ｖｐを求めて（Ｖｐ−ＫＶｓ）＝Ｖを演算して湿度Ｖを
求めている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】一個の抵抗体のセンサ
を用いてセンサを低温で加熱して周囲温度を求める従来
の方式では、補正係数Ｋを乗算して周囲温度Ｔａに対応
する電圧を求めている。このために、補正係数回路を必
要とし、回路構成が煩雑となり、精度が上がらない。
を用いてセンサを低温で加熱して周囲温度を求める従来
の方式では、補正係数Ｋを乗算して周囲温度Ｔａに対応
する電圧を求めている。このために、補正係数回路を必
要とし、回路構成が煩雑となり、精度が上がらない。
【０００６】本発明は、こうした従来技術における問題
点に鑑みてなされたもので、従来の低温、高温いずれも
定電流パルス駆動したことによる回路構成の煩雑さや、
精度の不充分さを改良し、より簡単な手順及び回路構成
で精度を向上させるため、センサを一定の低温度に加熱
したときのセンサ温度の温度平衡条件から周囲温度を求
め、また、一定の高温度に加熱したときのセンサ温度の
温度平衡条件に関与する周囲温度を打ち消して熱伝導特
性に応じる放熱で生ずる温度変化から周囲温度に影響さ
れない湿度，流速等の熱伝導パラメータを求めるセンサ
技術を提供することを目的とする。
点に鑑みてなされたもので、従来の低温、高温いずれも
定電流パルス駆動したことによる回路構成の煩雑さや、
精度の不充分さを改良し、より簡単な手順及び回路構成
で精度を向上させるため、センサを一定の低温度に加熱
したときのセンサ温度の温度平衡条件から周囲温度を求
め、また、一定の高温度に加熱したときのセンサ温度の
温度平衡条件に関与する周囲温度を打ち消して熱伝導特
性に応じる放熱で生ずる温度変化から周囲温度に影響さ
れない湿度，流速等の熱伝導パラメータを求めるセンサ
技術を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、周囲
温度Ｔａの雰囲気に置かれた抵抗体をセンサとし、該セ
ンサを周囲温度と温度平衡を保つ一定の低温度ＴLとな
るように低電力ＰLで加熱し、該電力ＰLと予め知られた
該センサの温度ＴL時の電力・温度変換係数θLとから、 Ｔａ＝ＴL−ＰL・θL により周囲温度Ｔａを求める第１の過程と、前記センサ
を周囲温度と温度平衡を保ち一定の高温度ＴHとなるよ
うに高電力ＰHで加熱し、該電力ＰHと予め知られた該セ
ンサの温度ＴH時の電力・温度変換係数θH及び前記第１
の過程で求めた周囲温度Ｔａとから、 Ｘ＝ＴH−ＰH・θH−Ｔａ により雰囲気の熱伝導性に応じて変化する熱変移温度Ｘ
を求め、得た熱変移温度Ｘから該雰囲気における湿度，
流速等の熱伝導パラメータを求める第２の過程を含むこ
とを特徴とするものである。
温度Ｔａの雰囲気に置かれた抵抗体をセンサとし、該セ
ンサを周囲温度と温度平衡を保つ一定の低温度ＴLとな
るように低電力ＰLで加熱し、該電力ＰLと予め知られた
該センサの温度ＴL時の電力・温度変換係数θLとから、 Ｔａ＝ＴL−ＰL・θL により周囲温度Ｔａを求める第１の過程と、前記センサ
を周囲温度と温度平衡を保ち一定の高温度ＴHとなるよ
うに高電力ＰHで加熱し、該電力ＰHと予め知られた該セ
ンサの温度ＴH時の電力・温度変換係数θH及び前記第１
の過程で求めた周囲温度Ｔａとから、 Ｘ＝ＴH−ＰH・θH−Ｔａ により雰囲気の熱伝導性に応じて変化する熱変移温度Ｘ
を求め、得た熱変移温度Ｘから該雰囲気における湿度，
流速等の熱伝導パラメータを求める第２の過程を含むこ
とを特徴とするものである。
【０００８】請求項２の発明は、抵抗体センサへの印加
電力を制御することにより該抵抗体センサを所定温度で
動作させ、動作時の抵抗体センサへの印加電力を検出す
るセンサ回路において、前記抵抗体センサを負帰還抵抗
として有する第１の演算増幅器と第２の定抵抗を正帰還
抵抗として有する第２の演算増幅器との間に前記所定温
度での前記抵抗体センサのｎ倍の抵抗値をもつ基準抵抗
を縦続接続し、前記第２の演算増幅器の出力を前記第２
の定抵抗の（１／ｎ）倍の抵抗値をもつ第１の定抵抗を
介して前記第１の演算増幅器へ負帰還し、前記第１の演
算増幅器の正入力端子及び前記第２の演算増幅器の負入
力端子を接地してなることを特徴とするものである。
電力を制御することにより該抵抗体センサを所定温度で
動作させ、動作時の抵抗体センサへの印加電力を検出す
るセンサ回路において、前記抵抗体センサを負帰還抵抗
として有する第１の演算増幅器と第２の定抵抗を正帰還
抵抗として有する第２の演算増幅器との間に前記所定温
度での前記抵抗体センサのｎ倍の抵抗値をもつ基準抵抗
を縦続接続し、前記第２の演算増幅器の出力を前記第２
の定抵抗の（１／ｎ）倍の抵抗値をもつ第１の定抵抗を
介して前記第１の演算増幅器へ負帰還し、前記第１の演
算増幅器の正入力端子及び前記第２の演算増幅器の負入
力端子を接地してなることを特徴とするものである。
【０００９】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、前記基準抵抗又は前記第１の定抵抗又は前記第２の
定抵抗として、定抵抗と該定抵抗に印加する電圧を可変
の設定値に基づき制御する制御回路とを回路要素とし、
該可変の設定値に従い該定抵抗に対し比例関係にある抵
抗値を生成する抵抗可変手段を用いることを特徴とする
ものである。
て、前記基準抵抗又は前記第１の定抵抗又は前記第２の
定抵抗として、定抵抗と該定抵抗に印加する電圧を可変
の設定値に基づき制御する制御回路とを回路要素とし、
該可変の設定値に従い該定抵抗に対し比例関係にある抵
抗値を生成する抵抗可変手段を用いることを特徴とする
ものである。
【００１０】請求項４の発明は、抵抗体センサと抵抗値
が該抵抗体センサの所定温度の抵抗値と等しい基準抵抗
および等しい抵抗値の第１及び第２の定抵抗とからなる
ループ回路を構成し、前記抵抗体センサを負帰還抵抗と
して有する第１の演算増幅器と前記定抵抗と等しい抵抗
値の第３の定抵抗を負帰還抵抗として有する第２の演算
増幅器との間に前記第１の定抵抗を縦続接続し、前記第
１及び第２の演算増幅器の正入力端子を接地し、前記ル
ープ回路における前記第１及び第２演算増幅器それぞれ
の負入力端子への接続点から前記基準抵抗と第２の定抵
抗を介する該ループ回路上の接続点の出力をＶｏｕ
ｔ1、前記第２演算増幅器の出力をＶｏｕｔ2とし、前記
センサの温度をＴ、センサの抵抗温度係数をαとしたと
き、該Ｔを、
が該抵抗体センサの所定温度の抵抗値と等しい基準抵抗
および等しい抵抗値の第１及び第２の定抵抗とからなる
ループ回路を構成し、前記抵抗体センサを負帰還抵抗と
して有する第１の演算増幅器と前記定抵抗と等しい抵抗
値の第３の定抵抗を負帰還抵抗として有する第２の演算
増幅器との間に前記第１の定抵抗を縦続接続し、前記第
１及び第２の演算増幅器の正入力端子を接地し、前記ル
ープ回路における前記第１及び第２演算増幅器それぞれ
の負入力端子への接続点から前記基準抵抗と第２の定抵
抗を介する該ループ回路上の接続点の出力をＶｏｕ
ｔ1、前記第２演算増幅器の出力をＶｏｕｔ2とし、前記
センサの温度をＴ、センサの抵抗温度係数をαとしたと
き、該Ｔを、
【００１１】
【数２】
【００１２】から求めることを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の抵抗体による熱
伝導パラメータセンシング方法の一実施形態のプロセス
を概略的に示す図である。本実施形態において用いるセ
ンサ抵抗体自体は、従来技術の説明に述べた抵抗体と変
わるところがなく、詳述しない。センシングのプロセス
を図１にもとづき説明すると、まず、センサ抵抗体に通
電を開始し（ステップＳ１），予じめ定められている低
温度ＴL（なお、この温度は、センサ抵抗体の置かれる
雰囲気の熱伝導性の影響が無視できる温度に選ぶ）にお
いてセンサ抵抗体が示す抵抗値（参照抵抗値）となるよ
うに通電電流を制御する（ステップＳ２）。この場合
に、抵抗体による発熱により抵抗値が変化するが、周囲
温度と温度平衡を保った状態で参照抵抗値となるように
制御される。ここでは、任意の手段により用意される参
照抵抗値を、検出センサ抵抗と比較し、比較結果として
両者が等しくなるように通電電流を制御し、その時の電
力ＰLを検出する（ステップＳ３）。そして、検出した
電力ＰLより下記（１）式にもとづき周囲温度Ｔａを算
出する（ステップＳ４）。 Ｔａ＝ＴL−ＰL・θL …（１） ここに、θLは、低温度ＴLと同様に、予じめ定められて
おり、温度ＴLにおいて用意される電力・温度変換係数
である。この方法によれば、センサ温度ＴLは周囲温度
等と無関係な一定値に設定できるのでθLが予め高精度
に求められる。
伝導パラメータセンシング方法の一実施形態のプロセス
を概略的に示す図である。本実施形態において用いるセ
ンサ抵抗体自体は、従来技術の説明に述べた抵抗体と変
わるところがなく、詳述しない。センシングのプロセス
を図１にもとづき説明すると、まず、センサ抵抗体に通
電を開始し（ステップＳ１），予じめ定められている低
温度ＴL（なお、この温度は、センサ抵抗体の置かれる
雰囲気の熱伝導性の影響が無視できる温度に選ぶ）にお
いてセンサ抵抗体が示す抵抗値（参照抵抗値）となるよ
うに通電電流を制御する（ステップＳ２）。この場合
に、抵抗体による発熱により抵抗値が変化するが、周囲
温度と温度平衡を保った状態で参照抵抗値となるように
制御される。ここでは、任意の手段により用意される参
照抵抗値を、検出センサ抵抗と比較し、比較結果として
両者が等しくなるように通電電流を制御し、その時の電
力ＰLを検出する（ステップＳ３）。そして、検出した
電力ＰLより下記（１）式にもとづき周囲温度Ｔａを算
出する（ステップＳ４）。 Ｔａ＝ＴL−ＰL・θL …（１） ここに、θLは、低温度ＴLと同様に、予じめ定められて
おり、温度ＴLにおいて用意される電力・温度変換係数
である。この方法によれば、センサ温度ＴLは周囲温度
等と無関係な一定値に設定できるのでθLが予め高精度
に求められる。
【００１４】次にセンサ抵抗体への通電を大きくして、
予じめ定められている高温度ＴH（なお、この温度は、
センサ抵抗体が置かれる雰囲気の熱伝導性がより大きく
影響する温度に選ぶ）で作動し（ステップＳ５）、上記
した低温度作動と同じ要領で高温度作動時の通電による
高電力ＰHを検出する（ステップＳ６）、そして、検出
した電力ＰH、及び上記ステップＳ４により算出した周
囲温度Ｔａより下記（２）式にもとづき熱変移温度Ｘを
算出する（ステップＳ７）。 Ｘ＝ＴH−ＰH・θH−Ｔａ …（２） ここに、θHは、高温度ＴHと同様に、予じめ定められて
おり、温度ＴHにおいて用意される電力・温度変換係数
であり、θHも前述のとおり予め高精度に求められる。
また、算出される熱変移温度Ｘは、高温度においてセン
サ抵抗体が置かれる雰囲気の熱伝導性が影響することに
より生じる変化分に相当する温度である。ステップＳ７
において、周囲温度ＴａをステップＳ４で求めた値で補
っているが、これは、本発明の方法によって１つの抵抗
体センサにより少なくとも２度行われる測定プロセスの
１度のプロセスで周囲温度を求めることによって、周囲
温度が異なる条件にあっても、周囲温度の変化を補償
し、周囲温度に関わらずに雰囲気の熱伝導性を求めるこ
とができることを意味する。この後のステップＳ８とし
て、求めた熱変移温度Ｘが示す熱伝導性に係わる雰囲気
を特定の熱伝導パラメータである、例えば、湿度，流速
に関係付け、すなわち、Ｘと湿度、或いはＸと流速の関
係を実験的に求めておき、その関係にもとづいて湿度，
流速を算出する。
予じめ定められている高温度ＴH（なお、この温度は、
センサ抵抗体が置かれる雰囲気の熱伝導性がより大きく
影響する温度に選ぶ）で作動し（ステップＳ５）、上記
した低温度作動と同じ要領で高温度作動時の通電による
高電力ＰHを検出する（ステップＳ６）、そして、検出
した電力ＰH、及び上記ステップＳ４により算出した周
囲温度Ｔａより下記（２）式にもとづき熱変移温度Ｘを
算出する（ステップＳ７）。 Ｘ＝ＴH−ＰH・θH−Ｔａ …（２） ここに、θHは、高温度ＴHと同様に、予じめ定められて
おり、温度ＴHにおいて用意される電力・温度変換係数
であり、θHも前述のとおり予め高精度に求められる。
また、算出される熱変移温度Ｘは、高温度においてセン
サ抵抗体が置かれる雰囲気の熱伝導性が影響することに
より生じる変化分に相当する温度である。ステップＳ７
において、周囲温度ＴａをステップＳ４で求めた値で補
っているが、これは、本発明の方法によって１つの抵抗
体センサにより少なくとも２度行われる測定プロセスの
１度のプロセスで周囲温度を求めることによって、周囲
温度が異なる条件にあっても、周囲温度の変化を補償
し、周囲温度に関わらずに雰囲気の熱伝導性を求めるこ
とができることを意味する。この後のステップＳ８とし
て、求めた熱変移温度Ｘが示す熱伝導性に係わる雰囲気
を特定の熱伝導パラメータである、例えば、湿度，流速
に関係付け、すなわち、Ｘと湿度、或いはＸと流速の関
係を実験的に求めておき、その関係にもとづいて湿度，
流速を算出する。
【００１５】次に、本発明によるセンサ回路の実施例に
ついて説明する。このセンサ回路は、上記した抵抗体セ
ンサによるセンシング方法の実施にあたってその主要な
部分を占めるところの予定の温度（低温度ＴL，高温度
ＴH）に対応する抵抗値で抵抗体センサを作動させ、そ
の時の通電による電力（低電力ＰL，高電力ＰH）を検出
するために必要な回路と位置付けることができる。図２
は、本発明のセンサ回路の一実施例を示す図である。図
２において、ＲSは抵抗体センサ、ＲXは基準抵抗で、所
定温度における抵抗体センサの抵抗値と、ここでは、等
しい抵抗値をもつものとし、Ｒ1，Ｒ2も、ここでは、い
ずれも等しい値をもつ定抵抗とする。Ａ1，Ａ2は第１及
び第２演算増幅器である。本センサ回路の構成は、抵抗
体センサＲSを負帰還抵抗として有する第１の演算増幅
器Ａ1と第２の定抵抗Ｒ2を正帰還抵抗として有する第２
の演算増幅器Ａ2との間に所定温度での抵抗体センサＲS
と等しい抵抗値をもつ基準抵抗Ｒxを縦続接続し、第２
の演算増幅器Ａ2の出力を第２の定抵抗Ｒ2と等しい抵抗
値をもつ第１の定抵抗Ｒ1を介して第１の演算増幅器Ａ1
へ負帰還し、第１の演算増幅器Ａ1の正入力端子及び第
２の演算増幅器Ａ2の負入力端子を接地してなり、Ｖｏ
ｕｔを出力として検出する。この検出出力電圧Ｖｏｕｔ
からＶｏｕｔ／Ｒ1＝ｉ1として通電電流が求まる。
ついて説明する。このセンサ回路は、上記した抵抗体セ
ンサによるセンシング方法の実施にあたってその主要な
部分を占めるところの予定の温度（低温度ＴL，高温度
ＴH）に対応する抵抗値で抵抗体センサを作動させ、そ
の時の通電による電力（低電力ＰL，高電力ＰH）を検出
するために必要な回路と位置付けることができる。図２
は、本発明のセンサ回路の一実施例を示す図である。図
２において、ＲSは抵抗体センサ、ＲXは基準抵抗で、所
定温度における抵抗体センサの抵抗値と、ここでは、等
しい抵抗値をもつものとし、Ｒ1，Ｒ2も、ここでは、い
ずれも等しい値をもつ定抵抗とする。Ａ1，Ａ2は第１及
び第２演算増幅器である。本センサ回路の構成は、抵抗
体センサＲSを負帰還抵抗として有する第１の演算増幅
器Ａ1と第２の定抵抗Ｒ2を正帰還抵抗として有する第２
の演算増幅器Ａ2との間に所定温度での抵抗体センサＲS
と等しい抵抗値をもつ基準抵抗Ｒxを縦続接続し、第２
の演算増幅器Ａ2の出力を第２の定抵抗Ｒ2と等しい抵抗
値をもつ第１の定抵抗Ｒ1を介して第１の演算増幅器Ａ1
へ負帰還し、第１の演算増幅器Ａ1の正入力端子及び第
２の演算増幅器Ａ2の負入力端子を接地してなり、Ｖｏ
ｕｔを出力として検出する。この検出出力電圧Ｖｏｕｔ
からＶｏｕｔ／Ｒ1＝ｉ1として通電電流が求まる。
【００１６】この回路の動作をより詳細に説明すると、
第１の演算増幅器Ａ1によりＶｏｕｔを（−ＲS／Ｒ1）
倍してυ1が得られる。第１の演算増幅器Ａ1の出力端
（電位υ1）と第２の演算増幅器Ａ2の出力端（電位Ｖｏ
ｕｔ）間電圧をＲXとＲ2で分割し、第２の演算増幅器の
入力端の電位υ2が０Ｖか否かを第２の演算増幅器Ａ2が
判別する。ここに、Ｖｏｕｔを正だとすると ＲX＞ＲSならばυ2＞０ ＲX＜ＲSならばυ2＜０ となる。そして、ダイオードＤによりＶｏｕｔは負にな
り得ないから、υ2＞０だと第２の演算増幅器Ａ2出力は
正の電圧を出力し、それによりｉ1が増加し、ＲSが発熱
する。発熱により高温なると、抵抗温度係数が正の場合
にＲSは大きくなる。こうしてＲSが大きくなり、ＲS＜
ＲXからＲS＝ＲXに近づくことになり、そのバランス点
はυ2＝０，ＲS＝ＲXとなる。実際の測定は、ＲXを低温
ＴLに設定し、ＲS＝ＲXとなって低温ＴLでバランスして
いる時、センサパワーはｉ1 2・ＲLである（ＲLは低温Ｔ
Lにおけるセンサ抵抗）。ｉ1＝Ｖｏｕｔ／Ｒ1だから、
Ｒ1を高精度抵抗にしておき、Ｖｏｕｔを正確に測れ
ば、パワーは正確に求められる。ＲXは抵抗体センサの
所定温度の抵抗値と等しい基準抵抗として用意される
が、熱伝導パラメータを求める本発明のセンシング方法
ではＴLとＴHに相当する２つの抵抗値を与える必要があ
る。この２つの抵抗値は、別々の抵抗を切り換えて用い
るという方法で実施できる（図示せず）。
第１の演算増幅器Ａ1によりＶｏｕｔを（−ＲS／Ｒ1）
倍してυ1が得られる。第１の演算増幅器Ａ1の出力端
（電位υ1）と第２の演算増幅器Ａ2の出力端（電位Ｖｏ
ｕｔ）間電圧をＲXとＲ2で分割し、第２の演算増幅器の
入力端の電位υ2が０Ｖか否かを第２の演算増幅器Ａ2が
判別する。ここに、Ｖｏｕｔを正だとすると ＲX＞ＲSならばυ2＞０ ＲX＜ＲSならばυ2＜０ となる。そして、ダイオードＤによりＶｏｕｔは負にな
り得ないから、υ2＞０だと第２の演算増幅器Ａ2出力は
正の電圧を出力し、それによりｉ1が増加し、ＲSが発熱
する。発熱により高温なると、抵抗温度係数が正の場合
にＲSは大きくなる。こうしてＲSが大きくなり、ＲS＜
ＲXからＲS＝ＲXに近づくことになり、そのバランス点
はυ2＝０，ＲS＝ＲXとなる。実際の測定は、ＲXを低温
ＴLに設定し、ＲS＝ＲXとなって低温ＴLでバランスして
いる時、センサパワーはｉ1 2・ＲLである（ＲLは低温Ｔ
Lにおけるセンサ抵抗）。ｉ1＝Ｖｏｕｔ／Ｒ1だから、
Ｒ1を高精度抵抗にしておき、Ｖｏｕｔを正確に測れ
ば、パワーは正確に求められる。ＲXは抵抗体センサの
所定温度の抵抗値と等しい基準抵抗として用意される
が、熱伝導パラメータを求める本発明のセンシング方法
ではＴLとＴHに相当する２つの抵抗値を与える必要があ
る。この２つの抵抗値は、別々の抵抗を切り換えて用い
るという方法で実施できる（図示せず）。
【００１７】上記したように、センサ回路の実施例に用
いる基準抵抗は、基本的には、ＴL（低温）及びＴH（高
温）の抵抗体センサの抵抗値に合う２つの抵抗を用意す
れば良いが、抵抗体センサのバラツキや使用条件によっ
て精度を出すには、調整する必要があり、そのために用
いる基準抵抗として多数の抵抗値をもった抵抗を用意し
その中から切り換え選択して基準抵抗を設定するという
方法をとることができる。しかしながら、この方法は、
回路構成上、大型化と精度のトレードオフの関係が生じ
る。この不利益を解消する方法として次に示す抵抗可変
手段が提供される。図３は、図２のセンサ回路において
基準抵抗として抵抗可変手段を用いた実施例を示す図で
ある。図３に示すセンサ回路において、抵抗可変手段Ｖ
ＲXは、抵抗可変信号によって任意の等価抵抗値を生成
するもので、この抵抗可変手段ＶＲXを備えることによ
り、所定の低温度及び高温度に相当する基準抵抗を接続
したと同等の動作電圧、或いは電流を端子間に発生さ
せ、本発明のセンサ回路として最適な回路が得られるこ
とになる。この抵抗可変手段をより詳細に説明すると、
この抵抗可変手段は、２端子間に与えられた電圧を任意
倍した電圧が定抵抗（基準抵抗）両端に加わるようにな
され、この基準の定抵抗に流れる電流が２端子の少なく
とも一つに流れるように構成することを基本とする。ま
た、この抵抗可変手段は、入出力の関係が比例関係をな
し、その比例関係を設定により任意に可変とした能動型
４端子コンポーネント（例えば減衰率を可変としたＤ／
Ａコンバータ）の帰還抵抗を高精度の基準抵抗とし、も
う一方の入出力端子間を短絡する（同電位にする）こと
により、２入力端子間に基準抵抗（帰還抵抗）に所定の
比例係数を乗じた等価抵抗を生成するものとして構成で
き、さらに、比例関係の設定を例えばデジタル値で与え
ることにより電子的動作で所望の抵抗に等価な抵抗とし
て機能させ、当該センサとしての回路動作を可能とす
る。こうした抵抗可変手段をセンサ回路に用いることに
より精度上、回路構成上利点が多いが、さらに、抵抗体
センサや測定環境条件の違いに対しても容易に対応する
ことができ、当該センサ回路としてのメリットも大き
い。
いる基準抵抗は、基本的には、ＴL（低温）及びＴH（高
温）の抵抗体センサの抵抗値に合う２つの抵抗を用意す
れば良いが、抵抗体センサのバラツキや使用条件によっ
て精度を出すには、調整する必要があり、そのために用
いる基準抵抗として多数の抵抗値をもった抵抗を用意し
その中から切り換え選択して基準抵抗を設定するという
方法をとることができる。しかしながら、この方法は、
回路構成上、大型化と精度のトレードオフの関係が生じ
る。この不利益を解消する方法として次に示す抵抗可変
手段が提供される。図３は、図２のセンサ回路において
基準抵抗として抵抗可変手段を用いた実施例を示す図で
ある。図３に示すセンサ回路において、抵抗可変手段Ｖ
ＲXは、抵抗可変信号によって任意の等価抵抗値を生成
するもので、この抵抗可変手段ＶＲXを備えることによ
り、所定の低温度及び高温度に相当する基準抵抗を接続
したと同等の動作電圧、或いは電流を端子間に発生さ
せ、本発明のセンサ回路として最適な回路が得られるこ
とになる。この抵抗可変手段をより詳細に説明すると、
この抵抗可変手段は、２端子間に与えられた電圧を任意
倍した電圧が定抵抗（基準抵抗）両端に加わるようにな
され、この基準の定抵抗に流れる電流が２端子の少なく
とも一つに流れるように構成することを基本とする。ま
た、この抵抗可変手段は、入出力の関係が比例関係をな
し、その比例関係を設定により任意に可変とした能動型
４端子コンポーネント（例えば減衰率を可変としたＤ／
Ａコンバータ）の帰還抵抗を高精度の基準抵抗とし、も
う一方の入出力端子間を短絡する（同電位にする）こと
により、２入力端子間に基準抵抗（帰還抵抗）に所定の
比例係数を乗じた等価抵抗を生成するものとして構成で
き、さらに、比例関係の設定を例えばデジタル値で与え
ることにより電子的動作で所望の抵抗に等価な抵抗とし
て機能させ、当該センサとしての回路動作を可能とす
る。こうした抵抗可変手段をセンサ回路に用いることに
より精度上、回路構成上利点が多いが、さらに、抵抗体
センサや測定環境条件の違いに対しても容易に対応する
ことができ、当該センサ回路としてのメリットも大き
い。
【００１８】次に、本発明による他のセンサ回路の実施
例を説明する。図４は、本発明のセンサ温度を求めるセ
ンサ回路の実施例を示す回路図であり、図４中、Ｒ′ｓ
は抵抗温度係数αのセンサ抵抗、Ｒ0は抵抗が所定温度
におけるセンサ抵抗と等しい抵抗値を有する基準抵抗で
ある。図４に示す回路は、センサ抵抗Ｒ′ｓの温度Ｔを
高精度に求める回路で、センサ抵抗Ｒ′ｓ、該センサ抵
抗Ｒ′ｓの基準温度、例えば０℃における抵抗値が等し
い基準抵抗Ｒ0、第１の定抵抗Ｒ10、第１と等しい抵抗
値の第２の低抵抗Ｒ12とからなるループ回路を有してい
る。該ループ回路のセンサ抵抗Ｒ′ｓと基準抵抗Ｒ0と
の接続点は、第１の演算増幅器Ａ1の負入力端子とな
り、第１の演算増幅器Ａ1の正入力端子は接地され、セ
ンサ抵抗Ｒ′ｓは第１の演算増幅器Ａ1の負帰還抵抗と
なっている。ループ回路の第１の定抵抗Ｒ10と第２の定
抵抗Ｒ12との接続点は、第２の演算増幅器Ａ2の負入力
端子となり、該第２の演算増幅器の正入力端子は接地さ
れ、第３の定抵抗Ｒ11（＝Ｒ10）は第２の演算増幅器Ａ
2の負帰還抵抗となっている。
例を説明する。図４は、本発明のセンサ温度を求めるセ
ンサ回路の実施例を示す回路図であり、図４中、Ｒ′ｓ
は抵抗温度係数αのセンサ抵抗、Ｒ0は抵抗が所定温度
におけるセンサ抵抗と等しい抵抗値を有する基準抵抗で
ある。図４に示す回路は、センサ抵抗Ｒ′ｓの温度Ｔを
高精度に求める回路で、センサ抵抗Ｒ′ｓ、該センサ抵
抗Ｒ′ｓの基準温度、例えば０℃における抵抗値が等し
い基準抵抗Ｒ0、第１の定抵抗Ｒ10、第１と等しい抵抗
値の第２の低抵抗Ｒ12とからなるループ回路を有してい
る。該ループ回路のセンサ抵抗Ｒ′ｓと基準抵抗Ｒ0と
の接続点は、第１の演算増幅器Ａ1の負入力端子とな
り、第１の演算増幅器Ａ1の正入力端子は接地され、セ
ンサ抵抗Ｒ′ｓは第１の演算増幅器Ａ1の負帰還抵抗と
なっている。ループ回路の第１の定抵抗Ｒ10と第２の定
抵抗Ｒ12との接続点は、第２の演算増幅器Ａ2の負入力
端子となり、該第２の演算増幅器の正入力端子は接地さ
れ、第３の定抵抗Ｒ11（＝Ｒ10）は第２の演算増幅器Ａ
2の負帰還抵抗となっている。
【００１９】図４に示す回路において、負帰還抵抗Ｒ11
を流れる電流をｉ1、第１の定抵抗Ｒ10を流れる電流を
ｉ2、センサ抵抗Ｒ′ｓを流れる電流をｉ3として整理す
ると、 Ｖｏｕｔ2＝αＴ・Ｖｏｕｔ1 …（３） が得られる。但し、αはセンサ抵抗Ｒ′ｓの抵抗温度係
数、Ｔはセンサ温度である。（３）式より、
を流れる電流をｉ1、第１の定抵抗Ｒ10を流れる電流を
ｉ2、センサ抵抗Ｒ′ｓを流れる電流をｉ3として整理す
ると、 Ｖｏｕｔ2＝αＴ・Ｖｏｕｔ1 …（３） が得られる。但し、αはセンサ抵抗Ｒ′ｓの抵抗温度係
数、Ｔはセンサ温度である。（３）式より、
【００２０】
【数３】
【００２１】すなわち、センサ温度Ｔは、センサ抵抗の
抵抗温度係数αと出力Ｖｏｕｔ1，Ｖｏｕｔ2が定まれ
ば、上記式から求められる。
抵抗温度係数αと出力Ｖｏｕｔ1，Ｖｏｕｔ2が定まれ
ば、上記式から求められる。
【００２２】
請求項１に対応する効果：周囲温度Ｔａの雰囲気内に置
かれた抵抗体をセンサとし、該センサを周囲温度と温度
平衡を保ち、一定の低温度ＴLとなるように停電力ＰLで
加熱し、該電力ＰLと既知の該センサの温度ＴL時の電力
・温度変換係数θLとから、 Ｔａ＝ＴL−ＰL・θL により周囲温度Ｔａを求め、前記センサを周囲温度と温
度平衡を保ち、一定の高温度ＴHとなるように高電力ＰH
で加熱し、該電力ＰHと既知の該センサの温度ＴH時の電
力・温度変換係数θH及び上記で求めた周囲温度Ｔａと
から、 Ｘ＝ＴH−ＰH・θH−Ｔａ により雰囲気の熱伝導性に応じて変化する熱変移温度Ｘ
を得、周囲温度Ｔａの影響を受けない熱変移温度Ｘから
熱伝導パラメータ（湿度，流速等）を求めるので、従来
の定電流又は電圧でセンサを駆動し、検出値に補正係数
を乗算するといった煩雑かつ精度的にも不充分な周囲温
度の補償手順を必要とせず、手順を簡単化し精度良く安
定した熱伝導パラメータの計測を可能とする。
かれた抵抗体をセンサとし、該センサを周囲温度と温度
平衡を保ち、一定の低温度ＴLとなるように停電力ＰLで
加熱し、該電力ＰLと既知の該センサの温度ＴL時の電力
・温度変換係数θLとから、 Ｔａ＝ＴL−ＰL・θL により周囲温度Ｔａを求め、前記センサを周囲温度と温
度平衡を保ち、一定の高温度ＴHとなるように高電力ＰH
で加熱し、該電力ＰHと既知の該センサの温度ＴH時の電
力・温度変換係数θH及び上記で求めた周囲温度Ｔａと
から、 Ｘ＝ＴH−ＰH・θH−Ｔａ により雰囲気の熱伝導性に応じて変化する熱変移温度Ｘ
を得、周囲温度Ｔａの影響を受けない熱変移温度Ｘから
熱伝導パラメータ（湿度，流速等）を求めるので、従来
の定電流又は電圧でセンサを駆動し、検出値に補正係数
を乗算するといった煩雑かつ精度的にも不充分な周囲温
度の補償手順を必要とせず、手順を簡単化し精度良く安
定した熱伝導パラメータの計測を可能とする。
【００２３】請求項２，３に対応する効果：請求項１の
発明を実施するために用いるセンサ回路を提供するもの
で、第１と第２の演算増幅器の間に縦続接続された基準
抵抗を低温（ＴL），高温（ＴH）時の抵抗体センサの抵
抗値を生成するように設定（切り換え）することにより
同一のセンサ回路の出力から周囲温度Ｔａ及び熱変移温
度Ｘを求めることができ、回路構成が簡単で高精度の測
定が可能となる。また、基準抵抗として能動型４端子コ
ンポーネントを備える抵抗可変手段を用いることによ
り、より一層、回路構成の簡単化及び高精度測定が可能
となる。
発明を実施するために用いるセンサ回路を提供するもの
で、第１と第２の演算増幅器の間に縦続接続された基準
抵抗を低温（ＴL），高温（ＴH）時の抵抗体センサの抵
抗値を生成するように設定（切り換え）することにより
同一のセンサ回路の出力から周囲温度Ｔａ及び熱変移温
度Ｘを求めることができ、回路構成が簡単で高精度の測
定が可能となる。また、基準抵抗として能動型４端子コ
ンポーネントを備える抵抗可変手段を用いることによ
り、より一層、回路構成の簡単化及び高精度測定が可能
となる。
【００２４】請求項４に対応する効果：抵抗体センサと
抵抗値が該抵抗体センサの所定温度の抵抗値と等しい基
準抵抗および等しい抵抗値の第１及び第２の定抵抗とか
らなるループ回路を構成し、前記抵抗体センサを負帰還
抵抗として有する第１の演算増幅器と前記定抵抗と等し
い抵抗値の第３の定抵抗を負帰還抵抗として有する第２
の演算増幅器との間に前記第１の定抵抗を縦続接続し、
前記第１及び第２の演算増幅器の正入力端子を接地し、
前記ループ回路における前記第１及び第２演算増幅器そ
れぞれの負入力端子への接続点から前記基準抵抗と第２
の定抵抗を介する該ループ回路上の接続点の出力をＶｏ
ｕｔ1、前記第２演算増幅器の出力をＶｏｕｔ2とし、前
記センサの温度をＴ、抵抗体センサの抵抗温度係数をα
としたとき、該Ｔを、
抵抗値が該抵抗体センサの所定温度の抵抗値と等しい基
準抵抗および等しい抵抗値の第１及び第２の定抵抗とか
らなるループ回路を構成し、前記抵抗体センサを負帰還
抵抗として有する第１の演算増幅器と前記定抵抗と等し
い抵抗値の第３の定抵抗を負帰還抵抗として有する第２
の演算増幅器との間に前記第１の定抵抗を縦続接続し、
前記第１及び第２の演算増幅器の正入力端子を接地し、
前記ループ回路における前記第１及び第２演算増幅器そ
れぞれの負入力端子への接続点から前記基準抵抗と第２
の定抵抗を介する該ループ回路上の接続点の出力をＶｏ
ｕｔ1、前記第２演算増幅器の出力をＶｏｕｔ2とし、前
記センサの温度をＴ、抵抗体センサの抵抗温度係数をα
としたとき、該Ｔを、
【００２５】
【数４】
【００２６】から求めるので、センサ抵抗のバラツキが
ある場合でも、基準抵抗を選ぶことにより、簡単で正確
なセンサ温度が検出できる。
ある場合でも、基準抵抗を選ぶことにより、簡単で正確
なセンサ温度が検出できる。
【図１】 本発明の抵抗体による熱伝導パラメータセン
シング方法の一実施形態のプロセスを概略的に示す図で
ある。
シング方法の一実施形態のプロセスを概略的に示す図で
ある。
【図２】 本発明のセンサ回路の一実施例を示す図であ
る。
る。
【図３】 図２のセンサ回路において基準抵抗として抵
抗可変手段を用いた実施例を示す図である。
抗可変手段を用いた実施例を示す図である。
【図４】 本発明のセンサ温度を求めるセンサ回路の実
施例を示す回路図である。
施例を示す回路図である。
Ａ1…第１の演算増幅器、Ａ2…第２の演算増幅器、
Ｒ1，Ｒ2…定抵抗、Ｒ0…抵抗温度係数がαで所定温度
における基準抵抗、Ｒ10…第１の定抵抗、Ｒ11…第３の
定抵抗、Ｒ12…第２の定抵抗、ＲH…高温加熱時のセン
サ抵抗と等しい抵抗値の基準抵抗（高温抵抗）、ＲL…
低温加熱時のセンサ抵抗と等しい抵抗値の基準抵抗（低
温抵抗）、ＲS…センサ抵抗、Ｒ′S…抵抗温度係数αの
センサ抵抗、ＶＲX…可変抵抗手段。
Ｒ1，Ｒ2…定抵抗、Ｒ0…抵抗温度係数がαで所定温度
における基準抵抗、Ｒ10…第１の定抵抗、Ｒ11…第３の
定抵抗、Ｒ12…第２の定抵抗、ＲH…高温加熱時のセン
サ抵抗と等しい抵抗値の基準抵抗（高温抵抗）、ＲL…
低温加熱時のセンサ抵抗と等しい抵抗値の基準抵抗（低
温抵抗）、ＲS…センサ抵抗、Ｒ′S…抵抗温度係数αの
センサ抵抗、ＶＲX…可変抵抗手段。
Claims (4)
- 【請求項１】 周囲温度Ｔａの雰囲気に置かれた抵抗体
をセンサとし、該センサを周囲温度と温度平衡を保つ一
定の低温度ＴLとなるように低電力ＰLで加熱し、該電力
ＰLと予め知られた該センサの温度ＴL時の電力・温度変
換係数θLとから、 Ｔａ＝ＴL−ＰL・θL により周囲温度Ｔａを求める第１の過程と、前記センサ
を周囲温度と温度平衡を保ち一定の高温度ＴHとなるよ
うに高電力ＰHで加熱し、該電力ＰHと予め知られた該セ
ンサの温度ＴH時の電力・温度変換係数θH及び前記第１
の過程で求めた周囲温度Ｔａとから、 Ｘ＝ＴH−ＰH・θH−Ｔａ により雰囲気の熱伝導性に応じて変化する熱変移温度Ｘ
を求め、得た熱変移温度Ｘから該雰囲気における湿度，
流速等の熱伝導パラメータを求める第２の過程を含むこ
とを特徴とする抵抗体による熱伝導パラメータセンシン
グ方法。 - 【請求項２】 抵抗体センサへの印加電力を制御するこ
とにより該抵抗体センサを所定温度で動作させ、動作時
の抵抗体センサへの印加電力を検出するセンサ回路にお
いて、前記抵抗体センサを負帰還抵抗として有する第１
の演算増幅器と第２の定抵抗を正帰還抵抗として有する
第２の演算増幅器との間に前記所定温度での前記抵抗体
センサのｎ倍の抵抗値をもつ基準抵抗を縦続接続し、前
記第２の演算増幅器の出力を前記第２の定抵抗の（１／
ｎ）倍の抵抗値をもつ第１の定抵抗を介して前記第１の
演算増幅器へ負帰還し、前記第１の演算増幅器の正入力
端子及び前記第２の演算増幅器の負入力端子を接地して
なることを特徴とするセンサ回路。 - 【請求項３】 請求項２記載のセンサ回路において、前
記基準抵抗又は前記第１の定抵抗又は前記第２の定抵抗
として、定抵抗と該定抵抗に印加する電圧を可変の設定
値に基づき制御する制御回路とを回路要素とし、該可変
の設定値に従い該定抵抗に対し比例関係にある抵抗値を
生成する抵抗可変手段を用いることを特徴とするセンサ
回路。 - 【請求項４】 抵抗体センサと抵抗値が該抵抗体センサ
の所定温度の抵抗値と等しい基準抵抗および等しい抵抗
値の第１及び第２の定抵抗とからなるループ回路を構成
し、前記抵抗体センサを負帰還抵抗として有する第１の
演算増幅器と前記定抵抗と等しい抵抗値の第３の定抵抗
を負帰還抵抗として有する第２の演算増幅器との間に前
記第１の定抵抗を縦続接続し、前記第１及び第２の演算
増幅器の正入力端子を接地し、前記ループ回路における
前記第１及び第２演算増幅器それぞれの負入力端子への
接続点から前記基準抵抗と第２の定抵抗を介する該ルー
プ回路上の接続点の出力をＶｏｕｔ1、前記第２演算増
幅器の出力をＶｏｕｔ2とし、前記センサの温度をＴ、
センサの抵抗温度係数をαとしたとき、該Ｔを、 【数１】 から求めることを特徴とするセンサ回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20496797A JP3153787B2 (ja) | 1996-07-31 | 1997-07-30 | 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20146796 | 1996-07-31 | ||
| JP8-201467 | 1996-07-31 | ||
| JP20496797A JP3153787B2 (ja) | 1996-07-31 | 1997-07-30 | 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1096703A true JPH1096703A (ja) | 1998-04-14 |
| JP3153787B2 JP3153787B2 (ja) | 2001-04-09 |
Family
ID=26512801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20496797A Expired - Fee Related JP3153787B2 (ja) | 1996-07-31 | 1997-07-30 | 抵抗体による熱伝導パラメータセンシング方法及びセンサ回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3153787B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011123076A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Siemens Ag | 二酸化炭素センサ及びガス測定値を発生させるための付属する方法 |
| CN113196046A (zh) * | 2018-12-17 | 2021-07-30 | Tdk株式会社 | 气体传感器 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007036983A1 (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-05 | Yamatake Corporation | 熱伝導率測定方法および装置、並びにガス成分比率測定装置 |
| JP6493235B2 (ja) * | 2016-01-20 | 2019-04-03 | オムロン株式会社 | 流量測定装置、流量の測定方法及び流量測定プログラム |
-
1997
- 1997-07-30 JP JP20496797A patent/JP3153787B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011123076A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Siemens Ag | 二酸化炭素センサ及びガス測定値を発生させるための付属する方法 |
| US8683845B2 (en) | 2009-12-14 | 2014-04-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Carbon dioxide sensor and associated method for generating a gas measurement value |
| CN113196046A (zh) * | 2018-12-17 | 2021-07-30 | Tdk株式会社 | 气体传感器 |
| CN113196046B (zh) * | 2018-12-17 | 2024-03-08 | Tdk株式会社 | 气体传感器 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3153787B2 (ja) | 2001-04-09 |
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