JPH0569367A - 鋼球移動式吸着ステージ - Google Patents
鋼球移動式吸着ステージInfo
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- JPH0569367A JPH0569367A JP3263239A JP26323991A JPH0569367A JP H0569367 A JPH0569367 A JP H0569367A JP 3263239 A JP3263239 A JP 3263239A JP 26323991 A JP26323991 A JP 26323991A JP H0569367 A JPH0569367 A JP H0569367A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被吸着物の多種多様な形状に起因して吸着ス
テージに不定的に点在する未吸着穴を鋼球により完全に
塞ぐことができるようにする。 【構成】 吸気道１０はＳ字状に湾曲し、ステージ面１
１に設けた吸着口１２から真空チャンバーへの開口１３
へ抜ける。吸気道１０の途中に少し大径の鋼球移動部１
４を設けて鋼球１５を入れる。鋼球移動部１４の開口１
３側のテーパー部１６は鋼球１５を吸着した際に鋼球１
５との間に隙間が生じない寸法、形状とし、吸着口１２
側のテーパー部１７は鋼球１５が自重により着座した際
に鋼球１５との間に隙間が生じる寸法、形状とする。吸
気時に吸着口１２がワークによって塞がれると、吸気は
鋼球１５とテーパー部１７の間の隙間を通って真空チャ
ンバーへと吸引され、吸気道１０内が真空となってワー
クを吸着する。吸着口１２が未吸着になると、吸着口１
２からの強い空気流によって鋼球１５が上方へと移動
し、隙間の無いテーパー部１６に着座して保持され、こ
れによって吸気道１０を塞ぐ。
テージに不定的に点在する未吸着穴を鋼球により完全に
塞ぐことができるようにする。 【構成】 吸気道１０はＳ字状に湾曲し、ステージ面１
１に設けた吸着口１２から真空チャンバーへの開口１３
へ抜ける。吸気道１０の途中に少し大径の鋼球移動部１
４を設けて鋼球１５を入れる。鋼球移動部１４の開口１
３側のテーパー部１６は鋼球１５を吸着した際に鋼球１
５との間に隙間が生じない寸法、形状とし、吸着口１２
側のテーパー部１７は鋼球１５が自重により着座した際
に鋼球１５との間に隙間が生じる寸法、形状とする。吸
気時に吸着口１２がワークによって塞がれると、吸気は
鋼球１５とテーパー部１７の間の隙間を通って真空チャ
ンバーへと吸引され、吸気道１０内が真空となってワー
クを吸着する。吸着口１２が未吸着になると、吸着口１
２からの強い空気流によって鋼球１５が上方へと移動
し、隙間の無いテーパー部１６に着座して保持され、こ
れによって吸気道１０を塞ぐ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多様な形のワーク（被
吸着物）を吸着する吸着ステージに関し、特に吸気道内
に鋼球とその鋼球を移動可能に保持する鋼球移動部を有
する鋼球移動式吸着ステージに関する。
吸着物）を吸着する吸着ステージに関し、特に吸気道内
に鋼球とその鋼球を移動可能に保持する鋼球移動部を有
する鋼球移動式吸着ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】電子部品等の小物に限らず種々のワーク
（被吸着材）を吸着して移動させるための吸着ステージ
が種々開発されているが、これらにおいて問題となるの
は、被吸着材の形状により未吸着穴が点在し、また多種
多様な形状のワークを吸着する場合には点在する未吸着
穴が不定の場所に現われるという点である。
（被吸着材）を吸着して移動させるための吸着ステージ
が種々開発されているが、これらにおいて問題となるの
は、被吸着材の形状により未吸着穴が点在し、また多種
多様な形状のワークを吸着する場合には点在する未吸着
穴が不定の場所に現われるという点である。
【０００３】この問題に対する従来の解決手段として
は、吸着穴をマトリクス状に散在させ、不定的に点在す
る未吸着穴に対して行及び列ごとに手動弁の開閉を行っ
て塞ぐというものであった。しかしながらこの従来の対
処法では、未吸着穴の存在する行及び列をすべて塞いで
しまうので、本来ワークを吸着するべき穴までも塞いで
しまい、未吸着穴が拡散しているほど吸着すべき穴の数
も減少して吸着力の低下につながるという問題を有する
ものとなっていた。
は、吸着穴をマトリクス状に散在させ、不定的に点在す
る未吸着穴に対して行及び列ごとに手動弁の開閉を行っ
て塞ぐというものであった。しかしながらこの従来の対
処法では、未吸着穴の存在する行及び列をすべて塞いで
しまうので、本来ワークを吸着するべき穴までも塞いで
しまい、未吸着穴が拡散しているほど吸着すべき穴の数
も減少して吸着力の低下につながるという問題を有する
ものとなっていた。
【０００４】この様な未吸着穴の存在による吸着力の低
下の問題を解決するために、吸着口から真空チャンバー
へ抜ける吸気道中に鋼球移動部を設け、この鋼球の移動
によって未吸着穴を塞いでしまう技術も開発されてい
る。図４はこのような鋼球移動式吸着ステージの一例を
示す図である。この例の鋼球移動部は、図に示すように
チャンバー１に取り付ける吸着パットをゴム板２とニ枚
の鋼板３、４から構成し、これらに小さな穴、すなわち
吸気道５を多数形成し、鋼板３、４内の吸気道５に少し
大径の鋼球移動部６を形成してその内部に鋼球７を入れ
たものである。吸着口８はゴム板２の外側面、即ちステ
ージ面９に開口する。そして、チャンバー１の内部を真
空にすることによってワークＷを吸着していない吸気道
５においては、鋼球７が上部に吸い上げられてその吸気
道５を塞ぎ、吸着口８がワークＷにあたっている吸気道
５においては、鋼球７の横を吸気がすり抜け、チャンバ
ー１内を真空にしてステージ面９にワークＷを吸着す
る。
下の問題を解決するために、吸着口から真空チャンバー
へ抜ける吸気道中に鋼球移動部を設け、この鋼球の移動
によって未吸着穴を塞いでしまう技術も開発されてい
る。図４はこのような鋼球移動式吸着ステージの一例を
示す図である。この例の鋼球移動部は、図に示すように
チャンバー１に取り付ける吸着パットをゴム板２とニ枚
の鋼板３、４から構成し、これらに小さな穴、すなわち
吸気道５を多数形成し、鋼板３、４内の吸気道５に少し
大径の鋼球移動部６を形成してその内部に鋼球７を入れ
たものである。吸着口８はゴム板２の外側面、即ちステ
ージ面９に開口する。そして、チャンバー１の内部を真
空にすることによってワークＷを吸着していない吸気道
５においては、鋼球７が上部に吸い上げられてその吸気
道５を塞ぎ、吸着口８がワークＷにあたっている吸気道
５においては、鋼球７の横を吸気がすり抜け、チャンバ
ー１内を真空にしてステージ面９にワークＷを吸着す
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような構成では、
ステージ面９を下方に向けて使用する際には、非吸気時
に鋼球７が自重により下部（吸着口８側）に存在し、吸
気時には未吸着穴のみ鋼球７が吸い上げられることによ
り未吸着の吸気道５を塞ぐことが可能であるが、ステー
ジ面９を上方に向けて使用する際には、非吸気時に自重
により鋼球７がチャンバー１側に落ちて吸気道５を完全
に塞いでしまい、チャンバー内を真空状態としてもワー
クを吸着することが不可能になるという問題がある。
ステージ面９を下方に向けて使用する際には、非吸気時
に鋼球７が自重により下部（吸着口８側）に存在し、吸
気時には未吸着穴のみ鋼球７が吸い上げられることによ
り未吸着の吸気道５を塞ぐことが可能であるが、ステー
ジ面９を上方に向けて使用する際には、非吸気時に自重
により鋼球７がチャンバー１側に落ちて吸気道５を完全
に塞いでしまい、チャンバー内を真空状態としてもワー
クを吸着することが不可能になるという問題がある。
【０００６】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なしたもので、吸気道及び鋼球移動部を工夫することに
より非吸気状態では、鋼球を常に吸着口に通じる吸気道
側に存在させ、吸気状態においては、未吸着穴のみ真空
チャンバーに通じる吸気道側に鋼球を移動させるように
して、被吸着物の多種多様な形状に起因して不定的に点
在する未吸着穴を鋼球により完全に塞ぐことができる鋼
球移動式吸着ステージを提供することを目的とする。
なしたもので、吸気道及び鋼球移動部を工夫することに
より非吸気状態では、鋼球を常に吸着口に通じる吸気道
側に存在させ、吸気状態においては、未吸着穴のみ真空
チャンバーに通じる吸気道側に鋼球を移動させるように
して、被吸着物の多種多様な形状に起因して不定的に点
在する未吸着穴を鋼球により完全に塞ぐことができる鋼
球移動式吸着ステージを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る鋼球移動式
吸気ステージは上記目的を達成するために、ステージ面
に開口する吸着穴から真空チャンバーに至る吸気道中
に、鋼球及び鋼球移動部を有する吸着ステージにおい
て、上記吸気道を湾曲させ、その途中に鋼球移動部を設
け、その鋼球移動部の吸気入口が吸気出口より下側に位
置するようにした構成を有する。
吸気ステージは上記目的を達成するために、ステージ面
に開口する吸着穴から真空チャンバーに至る吸気道中
に、鋼球及び鋼球移動部を有する吸着ステージにおい
て、上記吸気道を湾曲させ、その途中に鋼球移動部を設
け、その鋼球移動部の吸気入口が吸気出口より下側に位
置するようにした構成を有する。
【０００８】上記鋼球移動式吸気ステージは、未吸着時
の吸引力より鋼球自重を小さくした構成とすることがで
きる。
の吸引力より鋼球自重を小さくした構成とすることがで
きる。
【０００９】本発明に係る鋼球移動式吸気ステージは上
記目的を達成するために、ステージ面に開口する吸着穴
から真空チャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移
動部を有する吸着ステージにおいて、上記鋼球移動部の
吸気入口を吸気出口よりも上側に位置させ、上記鋼球を
スプリングにより上記吸気入口側に付勢するようにした
構成を有する。
記目的を達成するために、ステージ面に開口する吸着穴
から真空チャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移
動部を有する吸着ステージにおいて、上記鋼球移動部の
吸気入口を吸気出口よりも上側に位置させ、上記鋼球を
スプリングにより上記吸気入口側に付勢するようにした
構成を有する。
【００１０】上記鋼球移動式吸気ステージは、上記スプ
リングの張力を、未吸着時の吸引力よりも小さくした構
成とすることができる。
リングの張力を、未吸着時の吸引力よりも小さくした構
成とすることができる。
【００１１】本発明に係る鋼球移動式吸気ステージは上
記目的を達成するために、ステージ面に開口する吸着穴
から真空チャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移
動部を有する吸着ステージにおいて、上記鋼球移動部の
吸気入口を吸気出口よりも上側に位置させ、上記鋼球移
動部の上部を磁性体としかつ下部を非磁性体とした構成
を有する。
記目的を達成するために、ステージ面に開口する吸着穴
から真空チャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移
動部を有する吸着ステージにおいて、上記鋼球移動部の
吸気入口を吸気出口よりも上側に位置させ、上記鋼球移
動部の上部を磁性体としかつ下部を非磁性体とした構成
を有する。
【００１２】上記鋼球移動式吸気ステージは、上記鋼球
と磁性体間の磁力を、未吸着時の吸引力よりも小さくし
た構成とすることができる。
と磁性体間の磁力を、未吸着時の吸引力よりも小さくし
た構成とすることができる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明に係る鋼球移動式吸着ステージ
の第１実施例を示す断面図である。図中１０は吸気道
で、ステージ面１１に設けた吸着口１２から図示せぬ真
空チャンバーへの開口１３へ抜けるようになっており、
かつＳ字状に湾曲している。この吸気道１０はその途中
に少し大径となる鋼球移動部１４を設けてあり、この鋼
球移動部１４内に鋼球１５を入れてある。鋼球移動部１
４は、上下端がテーパー部１６、１７としてあり、開口
１３側（上側）のテーパー部１６は鋼球１５を吸着した
際に鋼球１５との間に隙間が生じない寸法、形状として
あり、一方吸着口１２側（下側）の開口のテーパー部１
７は鋼球１５が自重により着座した際に鋼球１５との間
に隙間が生じる寸法、形状としてある。鋼球１５は、未
吸着時の吸引力より自重を小さくしてあり、通常時（非
吸気時）は自重により隙間を有するテーパー部１７に着
座保持される。
の第１実施例を示す断面図である。図中１０は吸気道
で、ステージ面１１に設けた吸着口１２から図示せぬ真
空チャンバーへの開口１３へ抜けるようになっており、
かつＳ字状に湾曲している。この吸気道１０はその途中
に少し大径となる鋼球移動部１４を設けてあり、この鋼
球移動部１４内に鋼球１５を入れてある。鋼球移動部１
４は、上下端がテーパー部１６、１７としてあり、開口
１３側（上側）のテーパー部１６は鋼球１５を吸着した
際に鋼球１５との間に隙間が生じない寸法、形状として
あり、一方吸着口１２側（下側）の開口のテーパー部１
７は鋼球１５が自重により着座した際に鋼球１５との間
に隙間が生じる寸法、形状としてある。鋼球１５は、未
吸着時の吸引力より自重を小さくしてあり、通常時（非
吸気時）は自重により隙間を有するテーパー部１７に着
座保持される。
【００１４】そして吸気時において、ステージ面１１の
吸着口１２がワークによって塞がれている場合には、鋼
球１５はテーパー部１７に保持されたままで、吸気は鋼
球１５とテーパー部１７の間の隙間を通って吸気道１０
内を真空チャンバーへと吸引され、吸気道１０内を真空
としてワークを吸着する。また、ステージ面１１の吸着
口１２が未吸着穴としてフリーになっている場合には、
吸着口１２から真空チャンバーに向かって吸気道１０中
に強い空気の流れが生じ、この空気流によって鋼球１５
が上方へと移動し、隙間の無いテーパー部１６に着座し
て保持され、これによって吸気道１０が塞がれる。
吸着口１２がワークによって塞がれている場合には、鋼
球１５はテーパー部１７に保持されたままで、吸気は鋼
球１５とテーパー部１７の間の隙間を通って吸気道１０
内を真空チャンバーへと吸引され、吸気道１０内を真空
としてワークを吸着する。また、ステージ面１１の吸着
口１２が未吸着穴としてフリーになっている場合には、
吸着口１２から真空チャンバーに向かって吸気道１０中
に強い空気の流れが生じ、この空気流によって鋼球１５
が上方へと移動し、隙間の無いテーパー部１６に着座し
て保持され、これによって吸気道１０が塞がれる。
【００１５】図２は本発明に係る鋼球移動式吸着ステー
ジの第２実施例を示す断面図である。本実施例は、ステ
ージ面１１上の吸着口１２から図示せぬ真空チャンバー
へ抜ける吸気道２０を直線としてその途中に鋼球移動部
２１を設けたものである。この鋼球移動部２１は第１実
施例の鋼球移動部１４を、天地逆に設けたものであり、
上側に隙間の有るテーパー部１７を、下側に隙間の無い
テーパー部１６が位置するようにしてある。また鋼球移
動部２１内にはスプリング２２が配してあり、鋼球１５
が上方のテーパー部１７に着座するように付勢してあ
る。
ジの第２実施例を示す断面図である。本実施例は、ステ
ージ面１１上の吸着口１２から図示せぬ真空チャンバー
へ抜ける吸気道２０を直線としてその途中に鋼球移動部
２１を設けたものである。この鋼球移動部２１は第１実
施例の鋼球移動部１４を、天地逆に設けたものであり、
上側に隙間の有るテーパー部１７を、下側に隙間の無い
テーパー部１６が位置するようにしてある。また鋼球移
動部２１内にはスプリング２２が配してあり、鋼球１５
が上方のテーパー部１７に着座するように付勢してあ
る。
【００１６】スプリング２２はその張力を、未吸着時の
吸引力よりも小さくしてあり、非吸気時にはスプリング
２２により鋼球１５が隙間の有るテーパー部１７に保持
され、吸気時には第１実施例と同様に未吸着でフリーと
なっている吸着道２０のみが強い空気の流れを生じ、こ
の空気流によりスプリング２２が縮み、鋼球１５が下側
の隙間の無いテーパー部１６に着座して保持され、その
吸気道２０を塞ぐ。
吸引力よりも小さくしてあり、非吸気時にはスプリング
２２により鋼球１５が隙間の有るテーパー部１７に保持
され、吸気時には第１実施例と同様に未吸着でフリーと
なっている吸着道２０のみが強い空気の流れを生じ、こ
の空気流によりスプリング２２が縮み、鋼球１５が下側
の隙間の無いテーパー部１６に着座して保持され、その
吸気道２０を塞ぐ。
【００１７】図３は本発明に係る鋼球移動式吸着ステー
ジの第３実施例を示す断面図である。本実施例は、ステ
ージの構成部材が磁性体３０と非磁性体３１とからなる
２層構造で、鋼球移動部３２は直線の吸気道３３の途中
で磁性体３０と非磁性体３１との間に設けてある。また
鋼球移動部３２のテーパー部は、第２実施例と同様に上
側に隙間の有るテーパー部１７を、下側に隙間の無いテ
ーパー部１６が位置するようにしてある。
ジの第３実施例を示す断面図である。本実施例は、ステ
ージの構成部材が磁性体３０と非磁性体３１とからなる
２層構造で、鋼球移動部３２は直線の吸気道３３の途中
で磁性体３０と非磁性体３１との間に設けてある。また
鋼球移動部３２のテーパー部は、第２実施例と同様に上
側に隙間の有るテーパー部１７を、下側に隙間の無いテ
ーパー部１６が位置するようにしてある。
【００１８】鋼球１５と磁性体３０間の磁力は、未吸着
時の吸引力よりも小さくしてあり、非吸気時には磁性体
３０の磁力によって鋼球１５が隙間の有るテーパー部１
７に着座して保持され、強い空気の流れが磁力に打ち勝
つことにより、吸気と同時に未吸着穴となっている箇所
の鋼球１５のみが隙間の無いテーパー部１６側へ移動し
て吸気道３３を塞ぐ。
時の吸引力よりも小さくしてあり、非吸気時には磁性体
３０の磁力によって鋼球１５が隙間の有るテーパー部１
７に着座して保持され、強い空気の流れが磁力に打ち勝
つことにより、吸気と同時に未吸着穴となっている箇所
の鋼球１５のみが隙間の無いテーパー部１６側へ移動し
て吸気道３３を塞ぐ。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係る鋼球移動式吸着ステージは
以上説明してきたようなものなので、吸着面を上側に向
けても被吸着物の形状の多様性に起因して生じる不定的
に点在する未吸着穴を完全に塞ぐことができるようにな
り、吸着力の低下を防ぐことができるという効果があ
る。
以上説明してきたようなものなので、吸着面を上側に向
けても被吸着物の形状の多様性に起因して生じる不定的
に点在する未吸着穴を完全に塞ぐことができるようにな
り、吸着力の低下を防ぐことができるという効果があ
る。
【図１】本発明に係る鋼球移動式吸着ステージの第１実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図２】本発明に係る鋼球移動式吸着ステージの第２実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図３】本発明に係る鋼球移動式吸着ステージの第３実
施例を示す断面図である。
施例を示す断面図である。
【図４】従来の鋼球移動式吸着ステージを示す断面図で
ある。
ある。
１０、２０、３３ 吸気道 １１ ステージ面 １２ 吸着口 １３ 開口 １４、２１、３２ 鋼球移動部 １５ 鋼球 １６、１７ テーパー部 ２２ スプリング ３０ 磁性体 ３１ 非磁性体
Claims (6)
- 【請求項１】 ステージ面に開口する吸着穴から真空チ
ャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移動部を有す
る吸着ステージにおいて、上記吸気道を湾曲させ、その
途中に鋼球移動部を設け、その鋼球移動部の吸気入口が
吸気出口より下側に位置することを特徴とする鋼球移動
式吸気ステージ。 - 【請求項２】 未吸着時の吸引力より鋼球自重を小さく
したことを特徴とする請求項１の鋼球移動式吸気ステー
ジ。 - 【請求項３】 ステージ面に開口する吸着穴から真空チ
ャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移動部を有す
る吸着ステージにおいて、上記鋼球移動部の吸気入口を
吸気出口よりも上側に位置させ、上記鋼球をスプリング
により上記吸気入口側に付勢してなることを特徴とする
鋼球移動式吸着ステージ。 - 【請求項４】 上記スプリングの張力を、未吸着時の吸
引力よりも小さくしたことを特徴とする請求項３の鋼球
移動式吸着ステージ。 - 【請求項５】 ステージ面に開口する吸着穴から真空チ
ャンバーに至る吸気道中に、鋼球及び鋼球移動部を有す
る吸着ステージにおいて、上記鋼球移動部の吸気入口を
吸気出口よりも上側に位置させ、上記鋼球移動部の上部
を磁性体としかつ下部を非磁性体としてなることを特徴
とする鋼球移動式吸着ステージ。 - 【請求項６】 上記鋼球と磁性体間の磁力を、未吸着時
の吸引力よりも小さくしたことを特徴とする請求項５の
鋼球移動式吸着ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26323991A JP3248930B2 (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 鋼球移動式吸着ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26323991A JP3248930B2 (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 鋼球移動式吸着ステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0569367A true JPH0569367A (ja) | 1993-03-23 |
| JP3248930B2 JP3248930B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=17386712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26323991A Expired - Fee Related JP3248930B2 (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 鋼球移動式吸着ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3248930B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH104104A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 吸着搬送装置の吸着部 |
| JP2010269373A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Taiyo Tec Co | 真空吸着装置及び吸着具構成具 |
-
1991
- 1991-09-12 JP JP26323991A patent/JP3248930B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH104104A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Dainippon Printing Co Ltd | 吸着搬送装置の吸着部 |
| JP2010269373A (ja) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Taiyo Tec Co | 真空吸着装置及び吸着具構成具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3248930B2 (ja) | 2002-01-21 |
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