JP2007210037A - 吸着装置および切断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着装置は、空気負圧によりワーク120を吸着可能な吸着部1と、該空気負圧を発生させる真空源3と、吸着部から真空源までの負圧経路2,3,9からの排水を行うための排水経路2と、吸着部を吸着可能状態と吸着解除状態とに切り替える第1の切替手段6と、排水経路を封止状態と排水可能状態とに切り替える第2の切替手段12とを有する。制御手段15は、第1の切替手段が吸着部を吸着可能状態とするときに排水経路を封止状態とするよう第2の切替手段を制御し、第1の切替手段が吸着部を吸着解除状態とするときに排水経路を排水可能状態とするよう第2の切替手段を制御する。
【選択図】図5
Description
2 負圧管路
3 エジェクタ
4 空気源
5 吸着解除圧調整弁
6 吸着/吸着解除切替弁
7 真空度センサ
9 真空ドレン
10,11 逆止弁
12 吸着/ドレン排水切替弁
15 コントローラ
18,19 排水管路
105 スピンドル
110 リングフレーム
113 切削水パイプ
120 半導体基板
Claims (6)
- 空気負圧によりワークを吸着可能な吸着部と、
該空気負圧を発生させる真空源と、
前記吸着部から前記真空源までの負圧経路からの排水を行うための排水経路と、
前記吸着部を吸着可能状態と吸着解除状態とに切り替える第1の切替手段と、
前記排水経路を封止状態と排水可能状態とに切り替える第2の切替手段と、
前記第1の切替手段が前記吸着部を吸着可能状態とするときに前記排水経路を封止状態とするよう前記第2の切替手段を制御し、前記第1の切替手段が前記吸着部を吸着解除状態とするときに前記排水経路を排水可能状態とするよう前記第2の切替手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする吸着装置。 - 前記真空源は、正圧空気が供給されることにより空気負圧を発生するエジェクタであることを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。
- 前記第2の切替手段は、前記正圧空気を利用して前記排水経路を排水可能状態とすることを特徴とする請求項2に記載の吸着装置。
- 前記排水経路上に、前記正圧空気の前記負圧経路への導入により排水を許容する排水弁が設けられており、
前記第2の切替手段は、前記負圧経路に前記正圧空気を導く状態と前記負圧経路に前記正圧空気を導かない状態とに切り替わることを特徴とする請求項3に記載の吸着装置。 - 前記ワークは、半導体装置であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の吸着装置。
- 請求項1から5のいずれか1つに記載の吸着装置と、切削水を供給しながら前記吸着部に吸着されたワークの切削を行う切削部とを有することを特徴とする切削装置。
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