JPH0568709B2 - - Google Patents

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JPH0568709B2
JPH0568709B2 JP59198359A JP19835984A JPH0568709B2 JP H0568709 B2 JPH0568709 B2 JP H0568709B2 JP 59198359 A JP59198359 A JP 59198359A JP 19835984 A JP19835984 A JP 19835984A JP H0568709 B2 JPH0568709 B2 JP H0568709B2
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JP
Japan
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thin film
film
film transistor
electrode
active matrix
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JP59198359A
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English (en)
Japanese (ja)
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Kenichi Oki
Satoru Kawai
Kenichi Yanai
Yasuhiro Nasu
Yoshiro Koike
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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US5686326A (en) * 1985-08-05 1997-11-11 Canon Kabushiki Kaisha Method of making thin film transistor
JPS639157A (ja) * 1986-06-30 1988-01-14 Canon Inc 薄膜トランジスタの製造方法

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JPS6175379A (ja) 1986-04-17

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