JPH0564460B2 - - Google Patents

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JPH0564460B2
JPH0564460B2 JP59207784A JP20778484A JPH0564460B2 JP H0564460 B2 JPH0564460 B2 JP H0564460B2 JP 59207784 A JP59207784 A JP 59207784A JP 20778484 A JP20778484 A JP 20778484A JP H0564460 B2 JPH0564460 B2 JP H0564460B2
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Japan
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lead bonding
bonding pads
bonding
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outer lead
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Yoshitaka Fukuoka
Emiko Matsumoto
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は、回路基板上にダイボンドされた半導
体チツプのインナーリードボンデイングパツドと
同じ回路基板上に設けられたアウターリードボン
デイングパツドとをボンデイングワイヤにより電
気的に接続する方法に関する。
[発明の技術的背景] 近年、ICモジユールにおいては、ゲートが高
密度化される傾向にあり、これに伴つて以下に示
すレントの法則により、ピン数が増加しボンデツ
イングパツドの間隔も狭くなつてきている。
<レントの法則> P=KGr 但し K:定数 r:レントの常数 G:ゲート数 P:ピン数 このため、半導体チツプのインナーリードボン
デイングパツドと回路基板上のアウターリードボ
ンデイングパツドとを直線的に配列した従来のモ
ジユールに代り、最近は第3図に示すように、イ
ンナーリードボンデイングパツド1およびアウタ
ーリードボンデイングパツド2をいずれも千鳥状
に配列することにより、隣接するボンデイングパ
ツドの配列ピツチを狭めたり、半導体チツプ3の
面積を増大させたりせずにピン数を増加させるよ
うにしたものが開発されている。
しかして、これらのインナーリードボンデイン
グパツド1と、対応するアウターリードボンデイ
ングパツド2とを、それぞれボンデイングワイヤ
4を用いて電気的に接続するには、従来のモジユ
ールにおけると同様に、配列順通り接続していく
方法がとられていた。
なお第3図において、符号5は回路基板を示し
ており、ボンデイングワイヤ4の横に記載された
、、…の連続番号はボンデイング順序を示
している。
[背景技術の問題点] しかしながら、このような従来のボンデイング
方法においては、隣接するボンデイングワイヤ4
間の間隔が狭いため、不良事故が起こり易いとい
う問題があつた。
すなわち、ボンデイングワイヤ4の湾曲が生じ
た場合にこれと隣接するボンデイングワイヤ4と
の間に短絡事故を生じ易く、またボンデイングの
際にすでに接続された隣りのボンデイングワイヤ
4のボンデイング点にキヤピラリーの先端が接触
して断線等を生じ易く、製品の歩留りが低下する
ばかりでなく信頼性の高いボンデイングを行なう
ことができないという問題があつた。
[発明の目的] 本発明はこれらの問題点を解決するためになさ
れたもので、接続作業が容易で、修正がし易く、
ボンデイングワイヤ間のシヨートや断線等の不良
事故が起こることが少ないワイヤボンデイング方
法を提供することを目的とする。
[発明の概要] すなわち本発明のワイヤボンデイング方法は、
回路基板上にダイボンドされた半導体チツプ上に
千鳥状に配列された複数のインナーリードボンデ
イングパツドと、前記回路基板上にこれらのイン
ナーリードボンデイングパツドと対向して千鳥状
に設けられた複数のアウターリードボンデイング
パツドとを、ボンデイングワイヤによりそれぞれ
電気的に接続するにあたり、1つ以上のボンデイ
ングパツドを隔ててインナーリードボンデイング
パツドとこれに対応するアウターリードボンデイ
ングパツドとを順に接続した後、接続された各ボ
ンデイグンパツド間に位置するインナーリードボ
ンデイングパツドとアウターリードボンデイング
パツドとを順に電気的に接続することを特徴とし
ている。
[発明の実施例] 以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
なお以下の図面においては、第3図と同じ部分
には同一符号を付し、またボンデイング順を丸で
囲んだ連続番号を示している。
この実施例においては、まず第1図aに示すよ
うに、回路基板5上にダイボンドされた半導体チ
ツプ3上に千鳥状に配列された複数のインナーリ
ードボンデイングパツド1と、回路基板5上の、
これらのインナーリードボンデイングパツド1に
対向して千鳥状に配設された複数のアウターリー
ドボンデイングパツド2とを1つおきにボンデイ
ングワイヤ4で接続した後、同図bに示すよう
に、接続された各ボンデイングパツド間に位置す
るインナーリードボンデイングパツド1とアウタ
ーリードボンデイングパツド2とを順に接続して
ボンデイング作業が行なわれる。
この実施例によれば、例えばボンデイングワイ
ヤ4にたるみ等の湾曲が生じた場合、直ちに修正
を行なえば隣接するボンデイングワイヤ4との間
に短絡事故を起こすことがない。
また、最初の1つおきのボンデイングの際に
は、ボンデイングワイヤ相互の間隔が広いのでワ
イヤ形状の修正を容易に行なうことができる利点
がある。
次に本発明の別の実施例を第2図を参照して説
明する。
この実施例においては、第2図に示すように、
まず1つおきに配列された半導体チツプ3からの
距離が近い方のアウターリードボンデイングパツ
ド2とこれと対応するインナーリードボンデイン
グパツド1とを順に接続した後、次に残りのイン
ナーリードボンデイングパツド1とこれに対応す
る半導体チツプ3からの距離が遠い方のアウター
リードボンデイングパツド2とを順に接続する。
この実施例においては、ボンデイングの行ない
難いアウターリードボンデイングパツド2へのボ
ンデイングワイヤ4の接続を広いスペースで行な
うことになるので、ボンデイング作業が容易であ
るばかりでなく、不良事故の発生時の修正も容易
に行なうことができる。
[発明の効果] 以上の記載から明らかなように本発明によれ
ば、ボンデイングワイヤ断線やシヨート等の不良
事故が起こり難く、ボンデイング作業の歩留りが
向上し、製品に対する信頼性向上する。
なお本発明の方法は、自動ボンデイング機械に
よる作業と手作業のいずれにも有効に適用するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
第1図a,bは本発明の一実施例を説明するた
めの平面図、第2図は別の実施例を説明するため
の平面図、第3図は従来のワイヤボンデイング方
法を示す平面図である。 1……インナーリードボンデイングパツド、2
……アウターリードボンデイングパツド、3……
半導体チツプ、4……ボンデイングワイヤ、5…
…回路基板。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 回路基板上にダイボンドされた半導体チツプ
    上に千鳥状に配列された複数のインナーリードボ
    ンデイングパツドと、前記回路基板上にこれらの
    インナーリードボンデイングパツドと対向して千
    鳥状に設けられた複数のアウターリードボンデイ
    ングパツドとを、ボンデイングワイヤによりそれ
    ぞれ電気的に接続するにあたり、1つ以上のボン
    デイングパツドを隔ててインナーリードボンデイ
    ングパツドとこれに対応するアウターリードボン
    デイングパツドとを順に接続した後、接続された
    各ボンデツイングパツド間に位置するインナーリ
    ードボンデイングパツドとアウターリードボンデ
    イングパツドとを順に電気的に接続することを特
    徴とするワイヤボンデイング方法。 2 半導体チツプからの距離が近い方のアウター
    リードボンデイングパツドとこれに対向するイン
    ナーリードボンデイングパツドとを順に接続した
    後、次に残されたインナーリードボンデイングパ
    ツドとこれに対向する半導体チツプからの距離が
    離れた方のアウターリードボンデイングパツドと
    を順に接続する特許請求の範囲第1項記載のワイ
    ヤボンデイング方法。
JP59207784A 1984-10-03 1984-10-03 ワイヤボンデイング方法 Granted JPS6185833A (ja)

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JP59207784A JPS6185833A (ja) 1984-10-03 1984-10-03 ワイヤボンデイング方法

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JP59207784A JPS6185833A (ja) 1984-10-03 1984-10-03 ワイヤボンデイング方法

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Publication Number Publication Date
JPS6185833A JPS6185833A (ja) 1986-05-01
JPH0564460B2 true JPH0564460B2 (ja) 1993-09-14

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0695538B2 (ja) * 1987-06-29 1994-11-24 日本電気株式会社 半導体装置の製造方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5925238A (ja) * 1982-08-03 1984-02-09 Toshiba Corp 半導体装置
JPS59195856A (ja) * 1983-04-20 1984-11-07 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5925238A (ja) * 1982-08-03 1984-02-09 Toshiba Corp 半導体装置
JPS59195856A (ja) * 1983-04-20 1984-11-07 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法

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